JP2006501532A - 欠陥検出方法及びシステム - Google Patents

Abstract

欠陥を検出する方法。この方法は、オブジェクト像内で理論的に対称的な窓を識別する手順と、前記理論的に対称的な窓の予想される対称性に基づいて前記理論的に対称的な窓を分析する手順と、前記予想される対称性からの偏差に基づいて欠陥の存在を決定する手順とを備えている。

Description

開示技術の分野

ここに開示する技術は、一般に、欠陥検出方法及びシステムに関し、より詳細には、半導体製造手順において欠陥を検出する方法及びシステムに関する。

開示技術の背景

写真マスク即ちホトマスクは、大規模集積（ＬＳＩ）半導体回路、超大規模集積（ＶＬＳＩ）半導体回路、又は超々大規模集積（ＵＬＳＩ）半導体回路を製造する製造プロセスに使用される。ウェハの製造は、通常、ウェハ上に異なる層を各々刻印するために複数の異なる写真マスクの使用を必要とする。これらの写真マスクは、全て、多数のウェハを製造するために何回も再使用することができる。一般に、写真マスクには、所定のパターンに基づいてパターンが刻印される。当業者であれば、写真マスクに刻印されるパターンは、所定のパターンと本質的に同一でなければならないことが明らかであろう。写真マスクのパターンが所定のパターンからずれると、欠陥が生じて、写真マスクが欠陥品になってしまう。欠陥品の写真マスクを使用すると、製造されたウェハも欠陥品になってしまうことに注意されたい。

従って、このような欠陥を検出することが重要である。欠陥が見つかったときには、写真マスクを破棄するか、又は欠陥を分析して、修理できるかどうか決定する。それ故、検査システムは、「偽の欠陥」を宣言（即ち、欠陥のない写真マスクに対して欠陥を宣言）してはならないことも重要である。

半導体チップは、構造的に益々複雑で且つ凝縮されたものになると共に、サイズ的に小型になってきており、従って、益々欠陥が生じる傾向にある。欠陥を検出する従来の方法は、しばしば多数の異なるテスト手順を含む。

ホトマスクの欠陥は、ホール（「ピンホール」）、「クラック」、スポット等の形態をとり得る。これらの欠陥は、製造中、取り扱い中又は運搬中にマスクに導入される。従って、製造後及び更には日常的にマスクの欠陥を検査しなければならない。

集積回路写真マスク検査方法は、一般に、ダイ対ダイ方法と、ダイ対データベース方法とに分割することができる。ダイ対ダイの検査では、同一であると想定される写真マスク（ダイパターン）の２つの部分が比較され、それらの間の著しい相違は、ダイパターンの一方に欠陥のおそれがあることを指示する。この検査は、同じ欠陥が両方のダイに現われる確率が非常に低いという仮定に基づいている。欠陥が見つかったときには、第３のダイパターンとの比較で、元の２つのダイパターンのどちらに欠陥があるか指示することができる。

ダイ対データベースの方法では、適切な（欠陥のない）写真マスクを表わす像がデータベースに記憶される。データベースの像と、写真マスクダイパターンの実際の像とが比較され、それらの間に著しい相違があると、おそらく欠陥があることを指示する。

ミナミ氏等の「Apparatus for Detecting the Defects of the Mask Pattern Using Spatial Filtering」と題する米国特許第３，９７２，６１６号は、ダイ対データベースの欠陥検査装置に関する。この開示された装置において、検査中の写真マスクの一部分を、各々異なるカラーのコヒレントな光源及びインコヒレントな光源により同時に照射する。像は、空間フィルタに通され、スクリーンに投影される。空間フィルタは、適切な写真マスクパターンのフーリエスペクトルに対応する。このフィルタは、コヒレント光の波長の光しかフィルタしない波長選択性を有する。従って、このフィルタは、コヒレントな光源のカラーで欠陥をスクリーンに表示させる。その波長選択性のために、フィルタは、インコヒレントな光源からの光をほとんど通過させる。従って、写真マスクの一部分の像全体がインコヒレント光のカラーで表示される。欠陥を１つのカラーで且つマスクの全部分を別のカラーでこのように同時に表示することで、写真マスクの欠陥を位置決めすることができる。

ヨシワラ氏の「Apparatus for Inspecting a Circuit Pattern Drawn on a PhotomaskUsed in Manufacturing Large Scale Integrated Circuits」と題する米国特許第４，５５９，６０３号は、ダイ対データベースの写真マスク検査装置に関する。ホトマスクに描かれた回路がＸ−Ｙテーブルにのせられ、照射される。線型像センサが、写真マスクを経て透過された光を測定し、アナログ測定信号を発生する。これらの信号は、多レベルグレー像を表わすデジタル信号に変換される。同時に、レーザ干渉計型測定システムが、写真マスクに対するテーブルの位置を正確に監視する。像センサは、基準クロックを使用してテーブル位置測定と同期される。テーブル位置座標を使用して基準像が発生される。これらの座標は一般に整数個のピクセルではないので、基準像は、所定の関数での畳み込みにより適宜シフトされる。基準データと、像センサからの実際の像データとが比較され、欠陥が報告される。

レビー氏等の「Photomask Inspection Apparatus and Method with Improved Defect Detection」と題する米国特許第４，５７９，４５５号は、ホトマスクのダイ対ダイ検査を実行する方法及び装置に関する。２つのダイパターンを検査して、それらの間の相違を明らかにする。２つのデジタル化像センサ及び２つのメモリを使用して、写真マスクの２つのダイパターンのピクセル表示が発生される。所与の瞬間に、各メモリは、検査されたダイの７ｘ７ピクセル部分のピクセル表示を含む。欠陥検出器は、２つの表示が一致するかどうか決定する。欠陥検出器は、検査された部分の考えられる異なる整列をチェックすることにより、２ピクセルまでのダイの不整列を捕える。検査された考えられる整列がいずれも一致を生じない場合には、システムは、１つのダイパターンの対応位置に欠陥があると宣言する。

Ｍ．チェン氏等の「Anomaly Detection through Registration」と題する論文は、生物の検査器官の医療像の登録を実行する方法に関する。チェン氏は、脳の異常を検出する方法を述べている。この方法は、正常な脳は、その中心線に対して本質的に対称的であるという事実を利用するものである。検査プロセスは、脳の像と、中心線に対してひっくり返した同じ像との間の登録を含む。この登録（位置合わせ）プロセスは、像を一致させるように一方の像のピクセル（画素）を変形させることを含む。従って、脳の像と、ひっくり返した脳の像との間の登録で著しいピクセル変形が生じる場合には、検査された脳に異常があるという結論になる。

開示技術の概要

ここに開示する技術の目的は、従来技術の欠点を克服して、像の不規則性を検出する新規な方法及びシステムを提供することである。従って、ここに開示する技術によれば、像の不規則性を検出する方法が提供される。この方法は、像内の理論的に対称的な素子を識別する手順と、その理論的に対称的な素子をそれらの理論的対称性に基づいて分析する手順と、理論的対称性からの偏差に基づいて欠陥の存在を決定する手順とを備えている。

ここに開示する技術は、添付図面を参照した以下の詳細な説明から完全に理解され、明らかとなろう。

実施形態の詳細な説明

以下の説明では、次の用語を使用する。

・オブジェクト像 − 物理的オブジェクトを表わす像。このようなオブジェクトは、マスク、ダイ、ファブリック等である。

・データベース像 − データベースに記憶された像。データベース像は、コンピュータ化されたデザインツールにより仮想的に発生することもできるし、又はカメラやスキャナ等のソースから取得することもできる。

・像素子 − 像の他のエリアから区別できる像の一部分。

・欠陥 − 像素子又は冗長像素子或いはその一部分の欠落部分。

・領域 − 像の任意の部分。

・窓 − その中の特性を検出するために特に選択された領域。以下の説明に関連した図面中では、窓は、破線で示される。

・ピクセル − 像の基本的視覚単位である画素。

・操作 − 像又は領域に対して行なわれる数学的又は物理的動作、例えば、回転、ひっくり返し、拡大等、又はそれらの組み合わせ。

・操作された像（又は領域）の形態 − 既存の像を操作することで形成された像。

・対称性テスト窓 − 対称特性又は対称特性からの偏差を検出するために特に選択された窓。

・対称的類似性 − 所定の１組の操作又はその組み合わせから選択された対称性指向の操作及び少なくとも１つの任意の操作により一方の像を他方の像から形成することのできる２つの像の特性。

・理論的に対称的な窓 − 欠陥が存在しないと仮定すると、各データベース像窓と同じ対称特性を示すと予想される窓。

・理論的に対称的な類似窓 − 欠陥が存在しないと仮定すると、対称的類似性を示すと予想される窓。

・理論的に同一の窓 − 欠陥が存在しないと仮定すると、同一であると予想される窓。

・登録 − 第１像（又は領域）の各部分を第２像の各部分に関連付けて、相関関数を決定するプロセス。このような登録プロセスは、「第１像を第２像と登録（位置合わせ）する」と称されてもよい。

・軸方向対称性 − 対称線により２つの側部に分割することができ、像の片側が他側の鏡像であるような像（又は領域）の特性。

・回転対称性 − 像の少なくとも一部分を軸の周りで回転し、像の少なくとも別の部分と同一にすることのできる像（又は領域）の特性。この軸は、回転軸と称され、像を回転する角度は、回転角と称される。

・軸方向回転対称性 − 像の少なくとも一部分を回転及びひっくり返して、像の少なくとも別の部分と同一にすることのできる像（又は領域）の特性。

以下の説明及びその関連図面において、窓、区分、領域及び対称線は、説明の目的で図示されたものに過ぎず、実際の像には現われない。

参照番号１００で一般的に示されたデータベース像の概略図である図１を参照して以下に説明する。このデータベース像１００は、写真マスク又はダイに刻印されるべき所定の回路パターンを表わす。図１及びそれに続く幾つかの図において、斜線エリアは、非ゼロ強度の領域を示し、ブランクエリアは、ゼロ又はほぼゼロ強度の領域を示す。データベース像１００は、異なる位置に分配されたデータベース像素子１０２、１０４及び１０６を含む。

データベース像素子１０２は、長方形の窓１１０で包囲され、垂直の対称線１１２で分割されている。データベース像素子１０２及び窓１１０は、両方とも、対称線１１２に対して対称的である。対称線１１２は、窓１１０を左窓区分１２０及び右窓区分１２２に分割する。左窓区分１２０及び右窓区分１２２は面積が等しい。

参照番号１３０で一般的に示された検査オブジェクト像の概略図である図２を参照して更に説明する。このオブジェクト像１３０は、データベース像１１０でも表わされた写真マスク、レチクルダイ、ファブリック、印刷材料等を表わすことができる。或いは又、オブジェクト像１３０は、データベース像１１０の複写であってもよい。オブジェクト像１３０は、オブジェクト像素子１３２、１３４及び１３６を含む。図１のデータベース像素子１０２、１０４及び１０６は、データベース像１００（図１）においてオブジェクト像素子１３２、１３４及び１３６を各々表わす。オブジェクト像１３０は、更に、オブジェクト像素子１３２に接近して位置する欠陥１３８も含む。

半導体チップの製造に使用される写真マスクのようなオブジェクト像における欠陥は、ホール（「ピンホール」）、「クラック」、スポット等の形態をとり得る。これら欠陥は、製造中、取り扱い中又は運搬中にこのようなマスクに導入される。従って、製造後及び更には日常的にマスクの欠陥を検査しなければならない。ここに開示する技術の１つの態様によれば、マスクは、そのオブジェクト像を調べることで検査される。

オブジェクト像素子１３２及び欠陥１３８は、長方形の窓１４０により包囲される。垂直の対称線１４２は、窓１４０を左窓区分１４４及び右窓区分１４６に分割する。左窓区分１４４及び右窓区分１４６は、面積が等しい。オブジェクト像素子１３２は、対称線１４２に対して対称的である。対称線１４２は、オブジェクト像素子１３２を左素子部分１４８及び右素子部分１５０に分割する。欠陥１３８は、右窓区分１４６に位置している。

データベース像１００（図１）の窓１１０は、オブジェクト像１３０の窓１４０に関連している。従って、窓１４０のサイズ及び位置は、データベース像１００（図１）の窓１１０から導出されてもよい。窓１１０は、対称線１１２に対して対称的であるから、窓１４０も、欠陥が存在しないと仮定すれば、対称線１４２に対して対称的でなければならない。

更に、図３Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃも参照する。図３Ａは、左素子部分１４８を含む左窓区分１４４（図２）の概略図である。図３Ｂは、ここに開示する技術の実施形態に基づき構成された、右窓区分１４６（図２）をひっくり返した形態である参照番号１４６_Ｆで一般的に示すひっくり返し像の概略図である。図３Ｃは、ここに開示する技術の別の実施形態に基づき構成された、参照番号１６０で一般的に示す差の像の概略図である。

図３Ｂを参照すれば、ひっくり返し像１４６_Ｆは、右窓区分１４６を水平方向にひっくり返し、即ち軸１４２の周りで反転することにより形成される。ひっくり返し像１４６_Ｆは、ひっくり返された右素子部分１５０_Ｆ及びひっくり返された欠陥１３８_Ｆを含む。ひっくり返された右素子部分１５０_Ｆ及びひっくり返された欠陥１３８_Ｆは、右素子部分１５０及び欠陥１３８（図２）を各々水平方向にひっくり返した形態である。

ここに開示する技術に基づく欠陥検出手順は、操作（即ち、ひっくり返し、回転、拡大等）を、コンピュータ化されたやり方で数学的に実行することに注意されたい。従って、検出手順は、実際に操作された像を発生するのではなく、計算操作された像を発生する。或いは又、検出手順は、操作関数を介して、操作されるべき像にアクセスすることもできる（例えば、水平方向のひっくり返しは、ｆ（ｘ、ｙ）＝（−ｘ、ｙ）で表わされ、ここで、（ｘ、ｙ）は、ひっくり返されるべき像における各ポイントの座標を定義し、Ｙ軸が対称線を定義する）。例えば、この手順は、右窓区分１４６（図２）からのデータを使用してひっくり返し像１４６_Ｆにアクセスしてもよい。しかしながら、操作された像は、ディスプレイにおいてユーザに表示することができる。

図３Ｃを参照すれば、差の像１６０は、欠陥領域１６２及びブランク領域１６４を含む。ブランク領域１６４は、左窓区分１４４（図３Ａ）及びひっくり返し像１４６_Ｆにおける各々左素子部分１４８（図３Ａ）及びひっくり返された右素子部分１５０_Ｆ（図３Ｂ）と同じ幾何学軌跡を差の像１６０に有する。ブランク領域１６４は、ゼロ強度を有する。欠陥領域１６２は、ひっくり返し像１４６_Ｆにおけるひっくり返された欠陥１３８_Ｆと同じ幾何学的軌跡を差の像１６０に有する。

差の像１６０は、ひっくり返し像１４６_Ｆ（図３Ｂ）と左窓区分１４４（図３Ａ）との間の減算動作を実行することにより発生される。２つの像間の減算動作は、第１像の各ピクセルの強度値を第２像の各ピクセルから減算することより成る。数学項では、減算動作の簡単な式は、選択されたピクセルの座標をｘ及びｙで表わし、且つ第１像、第２像及び差の像の強度値を各々Ｉ_１（ｘ、ｙ）、Ｉ_２（ｘ、ｙ）、Ｉ_Ｓ（ｘ、ｙ）で表わすとすれば、Ｉ_Ｓ（ｘ、ｙ）＝Ｉ_２（ｘ、ｙ）−Ｉ_１（ｘ、ｙ）となる。操作に関して上述したように、減算動作は、実際の差の像を形成せずに、数学的に実行できることに注意されたい。差の像１６０において、左窓区分１４４（図３Ａ）のゼロ強度領域（図示せず）を、ひっくり返し像１４６_Ｆ（図３Ｂ）における非ゼロ強度のひっくり返された欠陥１３８_Ｆから減算すると、欠陥領域１６２における非ゼロ強度が生じる。非ゼロ強度の左素子部分１４８を、これも非ゼロ強度のひっくり返された右素子部分１５０_Ｆから減算すると、ブランク領域１６４におけるほぼゼロの強度が生じる。

差の像におけるピクセルの強度Ｉ_Ｓ（ｘ、ｙ）は、一般に、正でも負でもゼロでもよいことに注意されたい。ここに示す実施例では、差の像１６０の強度値は、全て正又はゼロである。しかしながら、ひっくり返された像１４６_Ｆ（図３Ｂ）が左窓区分１４４（図３Ａ）から減算された場合には、差の像は、負の値を含むことになる。

欠陥を検出するために、差の像１６０が所定の基準に基づいて調査される。差の像１６０に非ゼロ強度の領域が存在することは、ひっくり返し像１４６_Ｆ（図３Ｂ）及び左窓区分１４４（図３Ａ）の各領域が強度的に異なることを示す。この差は、右窓区分１４６又は左窓区分１４４に欠陥があるために存在する。従って、欠陥検出のための所定の基準は、例えば、差の像１６０の著しい部分が非ゼロ強度を有することでもよいし、或いは差の像１６０の一部分の強度が所定の正のスレッシュホールドレベルより上又は負のスレッシュホールドレベルより下、等々であってもよい。差の像が所定の基準を満足する場合には、左窓区分１４４とひっくり返し像１４６_Ｆとの間に著しい差があり、おそらく欠陥が存在することを指示する。従って、ここに開示する技術の方法では、これらエリアの１つに欠陥が存在するという結論になる。さもなければ、他の欠陥検出手順が適用されてもよい。

或いは又、絶対減算動作を使用して、差の像１６０に代わって絶対差の像を形成してもよい。２つの像間の絶対減算動作は、ピクセルごとに像の強度値Ｉ間の絶対差をとることより成る。選択されたピクセルの座標をｘ及びｙで表わし、且つ第１及び第２像の強度値を各々Ｉ_１（ｘ、ｙ）及びＩ_２（ｘ、ｙ）で表わすとすれば、数学式｜Ｉ_１（ｘ、ｙ）−Ｉ_２（−ｘ、ｙ）｜は、このような絶対減算のための簡単な式を決定する。例えば、像が２進像で、ピクセル強度値０及び１をもつ場合には、絶対減算動作は、ＸＯＲ動作と同じになる（即ち、ＸＯＲ動作は、１ＸＯＲ０＝０ＸＯＲ１＝１；１ＸＯＲ１＝０ＸＯＲ０＝０で定義される）。通常の減算とは対照的に、絶対減算動作は、オペランドの次数に対して対称的であることに注意されたい（即ち、第１像と第２像との間の絶対減算の結果は、第２像と第１像との間の絶対減算の結果と同一である）。更に、絶対差の像は、ゼロ強度領域及び正強度領域より成ることにも注意されたい。従って、絶対差の像における欠陥検出の基準は、例えば、像の著しい部分が正であることでもよいし、或いは像のある部分の強度が所定の正のスレッシュホールドレベルを越える等々でもよい。例えば、絶対差の重み付けされた和を、欠陥検出のための基準として使用してもよい。従って、像の各部分には、所定の重みが指定される。各部分の絶対差に各重みを乗算し、それにより得られる積が加算される。その和を所定のスレッシュホールドレベルと比較して、欠陥が存在するかどうか決定する。

ここに示す実施例では、差の像１６０が正及びゼロ強度しかもたないので、差の像と絶対差の像は本質的に同一である。しかしながら、ひっくり返し像１４６_Ｆ（図３Ｂ）が左窓区分１４４（図３Ａ）から減算された場合には、差の像は負及びゼロ強度を含むが、絶対差は、依然、正及びゼロ強度を含むことになる。

差の像１６０と、以下に示す他の差の像及び絶対差の像では、オブジェクト像の非ゼロ強度の領域が、均一又はほぼ均一の強度を有し、従って、非ゼロ強度を減算すると、ゼロ又はほぼゼロの強度になると仮定することに注意されたい。更に、「ほぼゼロ強度の領域」、「ゼロ強度の領域」、及び「ブランク領域」という語は、ここでは、交換可能に使用され、「ゼロ又はほぼゼロ強度の領域」を意味することにも注意されたい。

例えば、均一な非ゼロ強度という仮定は、非ゼロ強度の全領域が厳密に同じ強度を有する２進像において有効である。又、この仮定は、おそらく、比較される非ゼロ領域が同じオブジェクト像素子の異なる部分であるか又は異なるオブジェクト像素子の領域である非２進像においても有効である。この仮定は、強度が連続的に著しく変化することのあるエッジ付近では無効化されてもよい。ここに開示する技術は、補間を適用することでこのような無効化に向けられ、これは、図１９、２０Ａ及び２０Ｂを参照して説明する。

ここに開示する技術に基づく欠陥検出は、異なる形式の対称性、例えば、水平、垂直又は対角軸との軸方向対称性、回転対称性、その組み合わせ等に向けられる。参照番号１７０で一般的に示されたデータベース像の概略図である図４を参照して以下に説明する。このデータベース像１７０は、物理的オブジェクトに刻印されるべき所定の回路パターンを表わし、このパターンは、回転対称性を示す素子と、軸方向回転対称性を示す素子とを含む。データベース像１７０は、その中の異なる位置に分配されたデータベース像素子１７２、１７６、１７８及び１８０を含む。これらのデータベース像素子１７２、１７６、１７８、１８０は、各々窓１８４、１８６、１８８、１８１で包囲される。

データベース像素子１７８は、これを水平にひっくり返して反時計方向に角度β_１だけ回転した場合に、データベース像素子１７６と同一になり、ここに示す実施例では、β_１＝４５度である。データベース像素子１８０は、図面の紙面に垂直な軸１８３の周りで回転対称性を有し、即ちオブジェクト像素子１８０を図面の紙面において軸１８３の周りで角度γ_１＝１８０度（時計方向又は反時計方向に）回転すると、オブジェクト像素子１８０の元々のものと、回転したものとが同一になる。又、データベース像素子１８０は、軸方向対称性も示し、即ち図面の紙面において軸１８３に交差する分割線、例えば、線１８５は、素子１８０の２つの半部分を定義し、従って、各半部分は、２つの垂直軸に対して他の半部分を２回ひっくり返したものと同一であることに注意されたい。データベース像素子１７２は、方形部分１７４と、右上隅のエンハンスメント１７６と、左上隅のエンハンスメント１７８と、左下隅のエンハンスメント１８０と、右下隅のエンハンスメント１８２とを含む。隅のエンハンスメント１７６、１７８、１８０及び１８２は、ウェハ製造プロセスにおいて生じることのある隅の丸め現象を修正する目的でデータベース像素子１７２に付加されている。データベース像素子１７２は、図面の紙面に垂直な軸１７３の周りで回転対称性を有し、回転角は、α_１＝９０度（時計方向又は反時計方向）である。又、データベース像素子１７２は、垂直、水平及び対角対称線に対して軸方向対称性も示すことに注意されたい。

参照番号１９０で一般的に示された検査オブジェクト像の概略図である図５を参照して更に説明する。オブジェクト像１９０は、オブジェクト像素子１９２、１９６、１９８及び１９９を含む。これらオブジェクト像素子１９２、１９６、１９８及び１９９は、データベース像１７０（図４）において各々データベース像素子１７２、１７６、１７８及び１８０で表わされたものである。オブジェクト像１９０は、更に、欠陥２００も含む。ここに示す実施例では、欠陥２００で画成されたエリアは、オブジェクト像素子１９８と同じ特性を有していたものである。

オブジェクト像素子１９２、１９６、１９８及び１９９は、各々窓２０４、２０６、２０８及び２１１で包囲される。オブジェクト像素子１９４は、これを反時計方向に角度α_２だけ回転した場合にオブジェクト像素子１９２と同一になり、ここで、角度α_２は、図４の角度α_１と同じ角度である。データベース像１７０（図４）の分析によれば、オブジェクト像素子１９８は、これを水平にひっくり返して反時計方向に角度β_２＝β_１だけ回転した場合にオブジェクト像素子１９６と同一にならねばならない。しかしながら、オブジェクト像素子１９８と１９６との間の対称性に基づく比較は、オブジェクト像素子１９８が欠陥２００を含むので、このような同一性を生じてはならない。オブジェクト像１９９は、軸１８５の周りでのオブジェクト像素子１８０の回転に関して説明したのと同様に、角度γ_２＝γ_１で回転したときに垂直軸１９３の周りで回転対称性を示す。

窓２０４、２０６、２０８及び２１１は、データベース像１７０（図４）において各々窓１８４、１８６、１８８及び１８１で表わされたものである。従って、窓２０４、２０６、２０８及び２１１のサイズ及び位置は、各々窓１８４、１８６、１８８及び１８１のサイズ及び位置から導出されてもよい。

窓１８４は、回転角α_１で回転対称性を示すので、窓２０２及び２０４は、欠陥が存在しないと仮定すれば、回転角α_２＝α_１で回転対称性を示さねばならない。従って、窓１８４を時計方向に角度α_２だけ回転すると、窓１８４の元々のものと回転したものとが完全に同一にならねばならない。

窓１８６及び１８８は、回転角β_１で軸方向回転対称性を示すので、窓２０６及び２０８も、欠陥が存在しないと仮定すれば、回転角β_２＝β_１で軸方向回転対称性を示さねばならない。従って、窓２０８を時計方向に角度β_２だけ回転し、次いで、水平にひっくり返すと、窓２０６と同一にならねばならない。窓１８１は、回転角γ_１で回転対称性を示すので、窓２１１も、欠陥が存在しないと仮定すれば、回転角γ_２＝γ_１で回転対称性を示さねばならない。従って、窓２１１を角度γ_２だけ回転すると、窓２１１の元々のものと、回転されたものとが完全に同一にならねばならない。

更に、図６Ａ、６Ｂ及び６Ｃも参照する。図６Ａは、オブジェクト像素子１９２を含む窓２０４（図５）の概略図である。図６Ｂは、ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づいて構成された、窓２０４（図５）の回転された形態である参照番号２０４_Ｒで一般的に示す回転像の概略図である。図６Ｃは、ここに開示する技術の別の実施形態に基づいて構成された、参照番号２１０で一般的示す絶対差の像の概略図である。

図６Ｂを参照すれば、回転像２０４_Ｒは、窓２０４（図６Ａ）を角度α_２だけ時計方向に回転することにより形成される。回転像２０４_Ｒは、回転されたオブジェクト像素子１９２_Ｒを含む。この回転されたオブジェクト像素子１９２_Ｒは、オブジェクト像素子１９２（図６Ａ）の回転された形態である。

図６Ｃを参照すれば、絶対差の像２１０は、窓２０４（図６Ａ）と回転像２０４_Ｒ（図６Ｂ）との間で絶対減算を実行することにより形成される。絶対差の像２１０は、ブランク領域２１２を含む。

ブランク領域２１２、オブジェクト像素子１９２、及び回転されたオブジェクト像素子１９２_Ｒは、各々、絶対差の像２１０、窓２０４、及び回転像２０４_Ｒに同じ幾何学軌跡を有する。オブジェクト像素子１９２、及び回転されたオブジェクト像素子１９２_Ｒは、非ゼロ強度を有する。従って、ブランク領域２１２は、絶対差の像２１０においてゼロ強度を有する。欠陥が存在するかどうか決定するために、絶対差の像２１０は、図３の差の像１６０と同じ手順で調査される。

更に、図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃを参照する。図７Ａは、オブジェクト像素子１９６を含む窓２０６（図５）の概略図である。図７Ｂは、ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づいて構成された、窓２０８（図５）の操作された形態である参照番号２０８_ＲＦで一般的に示す操作像の概略図である。図７Ｃは、ここに開示する技術の別の実施形態に基づいて構成された、参照番号２２０で一般的示す絶対差の像の概略図である。

図７Ｂを参照すれば、操作像２０８_ＲＦは、窓２０８（図５）を時計方向に角度β_２だけ回転し、次いで、水平にひっくり返すことにより形成される。操作像２０８_ＲＦは、操作されたオブジェクト像素子１９８_ＲＦを含む。この操作されたオブジェクト像素子１９８_ＲＦは、オブジェクト像素子１９８（図５）を回転してひっくり返した形態である。操作像２０８_ＲＦは、更に、操作された欠陥２００_ＲＦも含む。この操作された欠陥２００_ＲＦは、欠陥２００（図５）を回転してひっくり返したものを表わす。

図７Ｃを参照すれば、絶対差の像２２０は、窓２０６（図７Ａ）と、操作像２０８_ＲＦ（図７Ｂ）との間で絶対減算を行なうことにより形成される。絶対差の像２２０は、ブランク領域２２４及び欠陥領域２２２を含む。

ブランク領域２２４は、操作窓２０８_ＲＦにおける操作されたオブジェクト像素子１９８_ＲＦと同じ幾何学的軌跡を窓２２０に有している。窓２２０におけるブランク領域２２４の幾何学的軌跡は、窓２０６におけるオブジェクト像素子１９６の幾何学的軌跡に含まれる。オブジェクト像素子１９６、及び操作されたオブジェクト像素子１９８_ＲＦは、非ゼロ強度を有する。従って、ブランク領域２２４は、ゼロ強度を有する。

欠陥領域２２２は、操作像２０８_ＲＦにおける操作された欠陥２００_ＲＦと同じ幾何学的軌跡を窓２２０に有する。絶対差の像２２０における欠陥領域２２４の幾何学的軌跡は、窓２０６におけるオブジェクト像素子１９６の幾何学的軌跡に含まれる。オブジェクト像素子１９６は、非ゼロ強度を有する。操作された欠陥２００_ＲＦは、ゼロ強度を有する。従って、欠陥領域２２４は、非ゼロ強度を有する。

絶対差の像２２０は、図３の差の像１６０に適用された同様の手順で、欠陥が存在するかどうか決定するために調査される。

ここに開示する技術の別の態様によれば、必ずしも個々に対称性を示さず全体で対称性を示す層の結合に、対称性に基づく欠陥検出手順が適用される。図８Ａ、図８Ｂ及び図８Ｃを参照して以下に説明する。図８Ａは、参照番号２３０で一般的に示す下部層データベース像窓の概略図である。図８Ｂは、参照番号２４０で一般的に示す上部層データベース像の概略図である。図８Ｃは、参照番号２５０で一般的に示す合成データベース像の概略図である。

図８Ａを参照すれば、下部層データベース像２３０は、２層オブジェクトの下部層に刻印されるべき所定の回路パターンを表わす。下部層データベース像２３０は、その中の異なる位置に分配されたデータベース像素子２３２及び２３４を含む。

図８Ｂを参照すれば、上部層データベース像２４０は、既に印刷された下部層の上に、２層オブジェクトの上部層として刻印されるべき所定の回路パターンを表わす。上部層データベース像２４０は、データベース像素子２４２を含む。

図８Ｃを参照すれば、合成データベース像２５０は、下部層データベース像２３０（図８Ａ）及び上部層データベース像２４０（図８Ｂ）により形成された像を表わす。合成データベース像２５０は、データベース像素子２３２及び２４２を含む。データベース像素子２４２内の領域２６２は、下部層データベース像２３０（図８Ａ）の像素子２３４と同じ幾何学的軌跡を有する。領域２６２は、データベース像素子２４２がデータベース像素子２３４を隠すので、実際のデータベース像には現われないことに注意されたい。

水平方向対称線２５６は、合成データベース像２５０を、等しい面積を有する上部データベース像区分２５２及び下部データベース像区分２５４に分割する。合成データベース像２５０は、対称線２５６に対して対称的である。

更に、参照番号２７０で一般的に示すオブジェクト像の概略図で、２層物理的オブジェクトを表わしている図９を参照する。このオブジェクト像２７０は、その中の異なる位置に分配されたオブジェクト像素子２７２及び２７４を含む。これらのオブジェクト像素子２７２及び２７４は、合成データベース像２５０（図８Ｃ）においてデータベース像素子２３２及び２４２によって各々表わされたものである。オブジェクト像２７０は、更に、オブジェクト像素子２７２におけるクラックである欠陥２７６も含む。ここに示す実施例では、欠陥２７６で画成されたエリアは、オブジェクト像素子１９８と同じ特性でなければならない。欠陥２７６は、オブジェクト像素子２７２を、第１オブジェクト像素子部分２７８及び第２オブジェクト像素子部分２８０に分割する。

オブジェクト像素子部分２８０内には領域２８８が指示されている。この領域２８８は、図８Ａの下部層データベース像２３０において像素子２３４により表わされたオブジェクト像素子の幾何学的軌跡である。領域２８８は、オブジェクト像素子２７２のオブジェクト像素子部分２８０が領域２８８におけるオブジェクト像素子を隠すので、実際のオブジェクト像には現われないことに注意されたい。

水平の対称線２８６は、オブジェクト像２７０を、同じ面積を有する上部オブジェクト像区分２８２及び下部オブジェクト像窓２８４に分割する。これら上部オブジェクト像区分２８２及び下部オブジェクト像窓２８４は、各々、合成データベース像２５０（図８Ｃ）において上部データベース像区分２５２及び下部データベース像区分２５４により表わされたものである。従って、上部オブジェクト像区分２８２及び下部オブジェクト像窓２８４のサイズ及び位置は、各々、上部データベース像区分２５２及び下部データベース像区分２５４のサイズ及び位置から導出されてもよい。合成データベース像２５０は、対称線２５６に対して対称的であるので、オブジェクト像２７０は、欠陥が存在しないと仮定すれば、対称線２８６に対して対称的でなければならない。

更に、図１０Ａ、図１０Ｂ及び図１０Ｃを参照する。図１０Ａは、オブジェクト像素子２７４（図９）を含む下部オブジェクト像窓２８４の概略図である。図１０Ｂは、ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づいて構成された、上部オブジェクト像窓２８２（図９）のひっくり返し形態である参照番号２８２_Ｆで一般的に示すひっくり返し像の概略図である。図１０Ｃは、ここに開示する技術の別の実施形態に基づいて構成された、参照番号２９０で一般的に示す絶対差の像の概略図である。

図１０Ｂを参照すれば、ひっくり返し像２８２_Ｆは、オブジェクト像区分２８２（図８Ｃ）を垂直にひっくり返すことにより形成される。ひっくり返し像２８２_Ｆは、ひっくり返されたオブジェクト像素子２７２_Ｆを含む。このひっくり返されたオブジェクト像素子２７２_Ｆは、オブジェクト像素子２７２（図８Ｃ）をひっくり返した形態である。ひっくり返し像２８２_Ｆは、更に、ひっくり返された欠陥２７６_Ｆも含む。このひっくり返された欠陥は、欠陥２７６（図８Ｃ）をひっくり返した形態である。ひっくり返された欠陥２７６_Ｆは、ひっくり返されたオブジェクト像素子２７２_Ｆを、ひっくり返されたオブジェクト像素子部分２７８_Ｆ及び２８０_Ｆに分割し、これらは、各々、オブジェクト像素子部分２７８及び２８０（図８Ｃ）をひっくり返した形態である。

図１０Ｃを参照すれば、絶対差の像２９０は、オブジェクト像窓２８４（図１０Ａ）と、ひっくり返し像２８２_Ｆ（図１０Ｂ）との間で絶対減算を実行することにより形成される。この絶対差の像２９０は、ブランク領域２９２及び２９４と、欠陥領域２９６とを含む。ブランク領域２９２及び２９４は、各々、ひっくり返し像２８２_Ｆにおけるひっくり返された成分２７８_Ｆ及び２８０_Ｆと同じ幾何学的軌跡を絶対差の像２９０に有する。ブランク領域２９２及び２９４の幾何学的軌跡は、オブジェクト像窓２８４（図１０Ａ）におけるオブジェクト像素子２７４の幾何学的軌跡に含まれる。ひっくり返されたオブジェクト像素子部分２７８_Ｆ及び２７４_Ｆと、オブジェクト像素子２７４は、非ゼロ強度を有する。従って、ブランク領域２９２及び２９４は、ゼロ強度を有する。欠陥領域２９６は、ひっくり返し像２８２_Ｆ（図１０Ｂ）のひっくり返された欠陥２７６_Ｆと同じ幾何学的軌跡を有する。欠陥領域２９６は、オブジェクト像窓２８４におけるオブジェクト像素子２７４の幾何学的軌跡に含まれる。ひっくり返された欠陥２７６_Ｆは、ゼロ強度を有する。オブジェクト像素子２７４は、非ゼロ強度を有する。従って、欠陥領域２９６は、絶対差の像２９０において非ゼロ強度を有する。絶対差の像２９０は、図３の差の像１６０に適用されたものと同じ手順で、欠陥が存在するかどうか決定するように検査される。

ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づき構成されて動作される、参照番号３００で一般的に示す欠陥検出システムの概略図である図１１を参照して、以下に説明する。このシステム３００は、データベース３０２と、像スキャナ３０４と、記憶ユニット３０６と、プロセッサ３０８と、ヒューマンインターフェイス３１０とを備えている。

プロセッサ３０８は、ヒューマンインターフェイス３１０、記憶ユニット３０６及びデータベース３０２に結合される。像スキャナ３０４は、記憶ユニット３０６及び物理的オブジェクト３１２に結合される。検査される物理的オブジェクト３１２は、ホトマスク、レチクルダイ、ファブリック等である。

データベース３０２は、検査される物理的オブジェクト３１２に刻印されていなければならないデータベース像の像データを含む。プロセッサ３０８は、データベース３０２からデータベース像を検索し、それを分析して、その対称特性を決定する。分析結果は、元のデータベース像に関連してデータベース３０２に記憶できることに注意されたい。

像スキャナ３０４は、物理的オブジェクト３１２を光学的に走査し、各データベース像を発生し、オブジェクト像を記憶ユニット３０６に記憶する。プロセッサ３０８は、データベース像の対称性分析に基づいて、記憶ユニット３０６に記憶されたオブジェクト像に欠陥分析手順を適用する。欠陥分析手順は、オブジェクト像とデータベース像とを整列させ、対称性を示さねばならないエリアを探索し、それらエリアがその対称性を示すかどうか決定し、これにより、欠陥のおそれを指示する等の多数の段階を含む。

更に、ここに開示する技術の別の実施形態に基づいて動作する図１１のシステム３００の動作方法を概略的に示す図１２を参照して説明する。手順３２０では、データベース像が分析され、その中の対称的窓を識別する。対称的データベース像窓とは、種々の形式又はその組合せの対称性を、個々に示すか又は窓のグループとして考えたときに示す窓である。例えば、図１及び４を参照すれば、データベース像窓１４０（図１）は、個々に軸方向対称性を示し、一方、窓１８６及び１８８（図４）は、一対の窓として考えたときに軸方向回転対称性を示す。図４に示す窓１８１の例は、軸１８３の周りでの１８０度の回転対称性を含む。回転対称性は、一般に９０又は１８０度に限定されるものではなく、他の状況では、非長方形の対称的領域又は窓を必要とする対称性にも関連し得ることが明らかであろう。又、対称性は、単にオブジェクト像の一部分に関連することもでき、従って、オブジェクト像の残り部分が対称性追求のために操作されないことにも注意されたい。例えば、素子の形状が円である場合には、回転対称性の数は無限に存在する。同様に、Ｎ次の正多角形は、３６０／Ｎ度離れたＮ−１個の異なる回転対称性を定義する。

図１１に示す実施例では、プロセッサ３０８は、データベース３０２からデータベース像を受け取り、その中の対称的窓を、像の対称性を識別するための既知の方法を使用して識別する。プロセッサ３０８は、検出された対称性窓の座標、及びその対称特性に関連した他のデータを記憶ユニット３０６に記憶する。或いは又、データベース３０２は、対称性データ（即ち、対称的素子又は領域の座標及び対称特性）を予め含んでもよい。この場合、プロセッサ３０８は、データベース３０２から対称性データを検索する。

手順３２２では、物理的オブジェクトが走査され、オブジェクト像が形成される。図１１に示す実施例では、像スキャナ３０４が物理的オブジェクト３１２を光学的に走査する。システム３００は、取得したオブジェクト像を記憶ユニット３０６に記憶することができる。オブジェクト像は、種々の像圧縮フォーマットのいずれかに基づいて圧縮されたカラービットマップ、グレイスケールビットマップ、２進ビットマップ、等々である。

手順３２４では、対称的データベース像窓に基づきオブジェクト像において理論的対称的窓が識別される。この理論的対称的窓の座標は、それらの各データベース像対称的窓の座標から決定される。図１及び図２に示す実施例では、オブジェクト像窓１４０は、理論的対称的窓として識別され、その座標は、データベース像窓１１０の座標から導出される。

手順３２６では、検出された理論的対称的窓が、それらの予想される対称性に基づいて分析される。図２、図３Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃに示す実施例では、差の像１６０（図３Ｃ）を形成し、その中の非ゼロ領域を検出することにより、窓１４０（図２）が分析される。

手順３２８では、予想される対称性からの偏差に基づいて欠陥の存在が決定される。分析手順３２６からの結果が、１つ以上の所定スレッシュホールドと比較される。予想される対称性からの偏差が所定スレッシュホールドを越える場合には、欠陥検出システムが欠陥の疑いを宣言する。さもなければ、システムは、他の欠陥検出方法又は他の対称的窓へと進むことができる。

図１２に示す方法は、２回以上繰り返されてもよく、且つその手順は、異なる順序で又は並列に繰り返され又は実行されてもよいことに注意されたい。例えば、図１１を参照すれば、像スキャナ３００は、物理的オブジェクト３１２を動的に検査してもよい（即ち、記憶ユニット３０６及びプロセッサ３０８が、全データベース像及びオブジェクト像を記憶し分析するに必要なメモリスペース又は処理能力を有していない場合）。従って、この手順の各段階に、像スキャナ３０４は、物理的オブジェクト３１２の一部分を走査し、その走査された像部分をオブジェクト像として記憶ユニット３０６に記憶する。プロセッサ３０８は、像の各部分をデータベース像としてデータベース３０２から検索する。プロセッサ３０８は、記憶されたオブジェクト像に対して検査を実行する。次いで、像スキャナ３０４は、物理的オブジェクト３１２の別の部分を走査するように進む。

ここに開示する技術の別の特徴によれば、対称的データベース像窓は、対称的データベース像素子を使用して識別される。従って、対称的データベース像素子が最初に識別され、次いで、これらの対称的データベース像素子に基づいて対称的窓が識別される。

ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づき、図１２の方法の手順３２０を詳細に示す図１３を参照して以下に説明する。図１３の方法は、単一のデータベース像素子の対称性を検出する状況において以下に説明するが、データベース像素子のグループの対称性を検出することに関して同様の方法を適用してもよいことに注意されたい。従って、グループとして考えたときに対称性を示すデータベース像素子のグループが最初に識別され、次いで、対称性窓の各グループをそこから導出することができる。更に、単一素子及び素子グループの対称性検出方法を組合せて適用してもよい。

図１３の方法は、ピクセルマップデータベース像に関連して以下に説明する。ピクセルマップ像とは、ピクセルの２次元アレイ及びそれらの各視覚特性（例えば、強度値、クロミナンス値等）、例えば、グレイスケールマップ、２進ビットマップ、カラーマップ等で表わされた像である。説明上、ここに開示する技術に関連して述べる像は、単色（即ち、グレイスケール又は２進ピクセルマップ）である。しかしながら、データベース像は、種々のフォーマットで記憶されてもよいことに注意されたい。例えば、データベース像は、素子、それらの座標及びそれらの特性のリストを含む素子マップとして記憶されてもよい。図１３の方法及びその手順は、更に、ノイズ減少のためにデータベース像を平滑化し、データベース像を異なるフォーマットに変換し（例えば、ピクセル、ラスタ又はベクトル表示へと変換し、解像度、強度スペクトル、ピクセルサイズ又はカラー表示を変更し）、等々の付加的な手順を含んでもよいことに更に注意されたい。図１３の方法及びその手順は、２回以上繰り返されてもよく、且つその手順は、異なる順序で又は並列に実行されてもよい。

手順３３０では、データベース像素子が識別される。この素子は、ピクセルマップにおいて像素子を識別するための既知の方法を使用して識別される。例えば、データベース像の閉じた形状又は連続強度の領域がデータベース像素子として識別されてもよい。

手順３３２では、データベース像素子の寸法及び対称特性が決定される。素子は、対称性検出方法を使用してテストされて、示された対称性の形式（例えば、水平、垂直、回転対称性、又はその組合せ）と、それに関連したパラメータ（例えば、対称線の座標又は回転角）とが決定される。データベース像素子の寸法を予め知っていて、その対称特性のみが決定されてもよいことに注意されたい。或いは又、素子の対称特性を予め知っていてもよく、この場合にはその寸法だけが決定される。手順３３２は、更に、データベース像素子の他の特性、例えば、カラー表示及び強度スペクトルを決定することを含んでもよいことに更に注意されたい。

手順３３４では、データベース像素子に関連した対称的データベース像窓が識別される。この対称的データベース像窓は、データベース像素子の少なくとも一部分及びそれに隣接した領域を含み、各データベース像素子と同じ対称特性を示す。手順３３４は、ある種の対称性を示す素子に対してのみ要求されることに注意されたい。

対称的データベース像窓の座標は、データベース像素子の座標及び特性と、所定の基準とに基づいて決定される。例えば、対称的データベース像窓は、データベース像素子を包囲すると共に、検出された対称特性を示すと考えられる最大の窓として定義されてもよい。

ここに開示する技術の別の実施形態に基づく図１２の方法の手順３２６を詳細に示す図１４を参照して以下に説明する。図１４の手順は、理論的に対称的な窓ごとに又は窓のグループごとに一度づつ、複数回繰り返されることに注意されたい。更に、図１４の手順は、個々に対称性を示すデータベース像窓、及びそれらの各理論的に対称的な窓に関連して説明することにも注意されたい。窓のグループにおける対称性をテストするのに同様の手順が適用されてもよいことに注意されたい。

手順３５０では、理論的に対称的な同様の窓及びそれに関連した操作が、理論的に対称的な窓から識別される。図２に示す実施例では、左窓区分１４４及び右窓区分１４６が、理論的に対称的な同様の領域として識別され、それに関連した操作が、水平方向のひっくり返しとして識別される。図５に示す実施例では、オブジェクト像窓２１１が、１８０度の回転として識別される操作に基づき、それ自身に対して対称的類似性を示すものとして識別される。

手順３５２では、理論的に対称的な類似窓の少なくとも１つを操作して、理論的に同一の窓を形成する。理論的に対称的な類似窓は、その予想される類似性に関連した操作に基づいて操作される。図２、図３Ａ及び図３Ｂに示す実施例では、理論的に同一の像である左窓区分１４４の像及びひっくり返し像１４６_Ｆが、理論的に対称的な類似領域である窓区分１４４及び１４６から形成される。

手順３５４では、理論的に同一の窓が互いに比較されて、比較結果を発生する。比較結果は、理論的に対称的な同一の窓が実際にどの程度同一であるかを指示する。従って、比較結果は、理論的に対称的な窓が実際にどの程度まで対称的であるかを指示する。図３Ａ、３Ｂ及び３Ｃを参照すれば、差の像１６０は、理論的に同一の像１４４及び１４６から形成され、その中の非ゼロ領域の存在が検出される。

手順３５２及び３５４は、操作が数学的に実行される単一の手順で組み込まれてもよく、更に、比較は、理論的に同一の窓を形成せずに、理論的に対称的な類似窓の各ピクセル間で直接行なわれてもよいことに注意されたい。

ここに開示する技術の別の態様によれば、理論的に対称的な窓及び各々の理論的に対称的な類似窓は、最適化プロセスにおいてオブジェクト像で識別される。このプロセスは、理論的に対称的な窓を近似するオブジェクト像窓を見つけ、次いで、この近似を精巧化することを含む。この最適化プロセスは、最適な対称性テスト窓を形成し、これは、次いで、理論的に対称的な窓として識別されてもよい。以下の実施例では、最適化手順は、理論的に対称的な窓の座標だけを決定する。しかしながら、理論的に対称的な窓の他の特性が決定されてもよいことに注意されたい。例えば、理論的に対称的な窓に関連した理論的に対称的な類似窓の座標が、同様の最適化プロセスで決定されてもよい。

次いで、図１５Ａ、図１５Ｂ、図１５Ｃ、図１５Ｄ、図１５Ｅ、図１５Ｆ、図１５Ｇ及び図１５Ｈを参照する。図１５Ａは、図２のオブジェクト像１３０から取り出された参照番号３６０で一般的に示す領域であって、対称性テスト窓３６２を含む領域の概略図である。図１５Ｂは、対称性テスト窓３６２（図１５Ａ）に基づいて形成された、参照番号３７０で一般的に示す絶対差の像の概略図である。図１５Ｃは、対称性テスト窓３８０を含む領域３６０（図１５Ａ）の概略図である。図１５Ｄは、対称性テスト窓３８０（図１５Ｃ）に基づいて形成された、参照番号３９０で一般的に示す絶対差の像の概略図である。図１５Ｅは、対称性テスト窓４００を含む領域３６０（図１５Ａ）の概略図である。図１５Ｆは、対称性テスト窓４００（図１５Ｅ）に基づいて形成された、参照番号４１０で一般的に示す絶対差の像の概略図である。図１５Ｇは、対称性テスト窓４２０を含む領域３６０（図１５Ａ）の概略図である。図１５Ｈは、対称性テスト窓４２０（図１５Ｇ）に基づいて形成された、参照番号４２５で一般的に示す絶対差の像の概略図である。図１５Ｉは、得られた最良の対称性を示す対称性テスト窓４３０を含む領域３６０（図１５Ａ）の概略図である。図１５Ｊは、対称性テスト窓４３０（図１５Ｉ）に基づいて形成された、参照番号４３５で一般的に示す絶対差の像の概略図である。

図１５Ａを参照すれば、領域３６０は、オブジェクト像素子１３２、欠陥１３８（図２）及び対称性テスト窓３６２を含む。対称性テスト窓３６２は、水平方向の対称性についてテストされる。オブジェクト像素子１３２は、対称線１４２（図２）に対して対称的である。対称線３６８は、対称性テスト窓３６２を左窓区分３６４及び右対称性窓３６６に分割する。左右の窓区分３６４及び３６６は、面積が等しい。対称線３６８は、対称線１４２から左へ大きく変位され、従って、対称性テスト窓３６２は、対称線３６８に対して対称的ではない。

図１５Ｂを参照すれば、絶対差の像３７０は、図３Ａ、３Ｂ及び３Ｃに示された手順と同様の手順で、右窓区分３６６（図１５Ａ）と、左窓区分３６４の水平にひっくり返した形態（図示せず）との間で絶対減算の動作を遂行することにより形成される。絶対差の像３７０は、非ゼロ領域３７２を含む。図１５Ａを参照すれば、絶対差の像３７０における非ゼロ領域３７２の幾何学的軌跡は、右窓区分３６６におけるオブジェクト像素子１３２の幾何学的軌跡に含まれる。左窓区分３６４のひっくり返し形態における各領域はゼロ強度を有するので、非ゼロ領域３７２は非ゼロ強度を有し、対称性テスト窓３６２の非対称性を指示する。

図１５Ｃを参照すれば、領域３６０は、オブジェクト像素子１３２、欠陥１３８（図２）及び対称性テスト窓３８０を含む。対称性テスト窓３８０は、対称性テスト窓３６２（図１５Ａ）に対して１長さ単位だけ右へ変位される。例えば、この長さ単位は、単一ピクセルの長さでよい。

対称性テスト窓３８０は、水平方向の対称性についてテストされる。対称線３８６は、対称性テスト窓３８０を、面積の等しい左窓区分３８２及び右窓区分３８４に分割する。対称線３８６は、対称線１４２から左へ若干変位される。

図１５Ｄを参照すれば、絶対差の像３９０は、右窓区分３８４（図１５Ａ）と、左窓区分３８２（図１５Ａ）の水平にひっくり返した形態（図示せず）との間で絶対減算の動作を遂行することにより形成される。絶対差の像３９０は、非ゼロ領域３９２、３９４及び欠陥領域３９６を含む。これら非ゼロ領域３９２、３９４及び欠陥領域３９６は、非ゼロ強度を有する。図１５Ｃを参照すれば、非ゼロ領域３９２、３９４は、右窓区分３８４の像素子１３２の部分と同じ幾何学的軌跡を絶対差の像３９０に有する。左窓区分３８２の水平にひっくり返した形態における各領域は、ゼロ強度を有するので、領域３９２及び３９４は、非ゼロ強度を有する。欠陥領域３９６は、右窓区分３８４における欠陥１３８と同じ幾何学的軌跡を絶対差の像３９０に有する。左窓区分３８２の水平にひっくり返した形態における各領域は、ゼロ強度を有するので、欠陥領域３９６は非ゼロ強度を有する。

絶対差の像３９０における非ゼロ領域３９２、３９４及び欠陥領域３９６の存在は、対称性テスト窓３８０の非対称性を指示する。しかしながら、絶対差の像３９０における非ゼロ領域３９２、３９４及び欠陥領域３９６の合成面積は、絶対差の像３７０（図１５Ｂ）における非ゼロ領域３７２の面積より著しく小さい。これは、対称性テスト窓３８０が、対称性テスト窓３６２（図１５Ａ）よりも水平対称状態に著しく近いことを示す。

図１５Ｅを参照すれば、領域３６０は、オブジェクト像素子１３２、欠陥１３８（図２）及び対称性テスト窓４００を含む。対称性テスト窓４００は、領域３６０における対称性テスト窓３８０（図１５Ｃ）に対して１長さ単位だけ右へ変位される。対称性テスト窓４００は、水平方向の対称性についてテストされる。対称線４０６は、対称性テスト窓４００を、面積が同じ左窓区分４０２及び右窓区分４０４に分割する。対称線４０６は、対称線１４２から右へ若干変位される。

図１５Ｆを参照すれば、絶対差の像４１０は、右窓区分４０４（図１５Ａ）と、左窓区分４０２（図１５Ａ）の水平にひっくり返した形態（図示せず）との間で絶対減算の動作を遂行することにより形成される。絶対差の像４１０は、非ゼロ領域４１２、４１４、非ゼロ欠陥領域４１６、及びブランク欠陥領域４１８を含む。図１５Ｅを参照すれば、非ゼロ領域４１２及び４１４の幾何学的軌跡は、左窓区分４０２におけるオブジェクト像素子１３２の幾何学的軌跡に含まれる。右窓区分４０４の各領域はゼロ強度を有し、従って、領域４１２及び４１４は非ゼロ強度を有する。非ゼロ欠陥領域４１６の幾何学的軌跡は、右窓区分４０４の欠陥１３８の幾何学的軌跡に含まれる。左窓区分４０２の各領域はゼロ強度を有し、従って、非ゼロ欠陥領域は非ゼロ強度を有する。ブランク欠陥領域の幾何学的軌跡は、オブジェクト像素子１３２の幾何学的軌跡に含まれるが、右窓区分４０４の欠陥１３８の幾何学的軌跡にも含まれ、従って、ブランク欠陥領域４１８は、ゼロ強度を有する。

絶対差の像４１０における非ゼロ領域４１２、４１４及び４１６の存在は、対称性テスト窓４００の非対称性を示す。非ゼロ領域４１２の合成面積は、絶対差の像３９０（図１５Ｄ）における非ゼロ領域３９２、３９４及び３９６の合成面積より大きい。これは、対称性テスト窓３８０が、対称性テスト窓４００（図１５Ｃ）よりも水平対称状態に近いことを示す。

図１５Ｇを参照すれば、領域３６０は、オブジェクト像素子１３２、欠陥１３８（図２）、及び対称性テスト窓４２０を含む。対称性テスト窓４２０は、領域３６０の対称性テスト窓４００（図１５Ｅ）に対して１長さ単位だけ右へ変位される。対称性テスト窓４２０は、水平方向の対称性についてテストされる。対称線４２３は、対称性テスト窓４２０を、左窓区分４２１及び右窓区分４２２に分割する。左右の窓区分４２１及び４２２は面積が等しい。対称線４２３は、対称線から右へ大きく変位される。

図１５Ｈを参照すれば、絶対差の像４２５は、右窓区分４２２（図１５Ｇ）と、左窓区分４２１（図１５Ｇ）の水平にひっくり返した形態（図示せず）との間で絶対減算の動作を遂行することにより形成される。絶対差の像４２５は、非ゼロ領域４２６、非ゼロ欠陥領域４２７、及びブランク欠陥領域４２８を含む。図１５Ｇを参照すれば、非ゼロ領域４２８の幾何学的軌跡は、窓区分４２１のひっくり返した形態におけるオブジェクト像素子１３２の幾何学的軌跡に含まれる。右窓区分４２２の各領域はゼロ強度を有し、従って、非ゼロ領域４２６は非ゼロ強度を有する。非ゼロ欠陥領域の幾何学的軌跡は、右窓区分４２２における欠陥１３８の幾何学軌跡に含まれる。左窓区分の各領域はゼロ強度を有し、従って、非ゼロ欠陥領域４２７は、非ゼロ強度を有する。ブランク欠陥領域の幾何学的軌跡は、左窓区分４２１におけるオブジェクト像素子１３２の幾何学的軌跡に含まれると共に、右窓区分４２２における欠陥１３８の幾何学的軌跡にも含まれ、従って、ブランク欠陥領域は、ゼロ強度を有する。

絶対差の像４２５における非ゼロ領域４２７及び４２８の合成面積は、絶対差の像３７０（図１５Ａ）における非ゼロ領域の合成面積にほぼ等しい。これは、対称性テスト窓４２０が、対称性テスト窓３６２（図１５Ａ）とほぼ同程度に水平対称状態に近いことを示す。

図１５Ｉを参照すれば、領域３６０は、オブジェクト像素子１３２、欠陥１３８（図２）、及び対称性テスト窓４３０を含む。対称性テスト窓４３０は、領域３６０における対称性テスト窓３８０（図１５Ｃ）に対してほぼ０．２５長さ単位だけ右へ変位される。垂直対称線４３３は、対称性テスト窓４３０を左窓区分４３１及び右窓区分４３２に分割する。左窓区分４３１及び右窓区分４３２は、面積が等しい。対称線４３３は、対称線１４２に本質的に一致する。対称性テスト窓４３０は、所与の欠陥検出システムの限界内で達成される最良の対称性を示し、従って、理論的に対称的な窓を表わすのに使用されてもよい。

図１５Ｊを参照すれば、絶対差の像４３５は、欠陥領域４３６を含む。この欠陥領域４３６は、右窓区分４３２の欠陥領域１３８と同じ幾何学的軌跡を有する。欠陥領域４３６の面積は、絶対減算像３７０（図１５Ｂ）、３９０（図１５Ｄ）、４１０（図１５Ｆ）及び４２５（図１５Ｈ）における合成非ゼロ強度面積の各々より小さい。

ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づく図１２の方法の手順３２４を詳細に示した図１６を参照して以下に説明する。図１６の方法によれば、理論的に対称的な窓が最適化プロセスでオブジェクト像において識別される。

手順４４０では、対称的なデータベース像窓がオブジェクト像と登録され、対称性テスト窓を識別する。最初の対称性テスト窓は、各々の理論的に対称的な窓の近似である。減算のような２進演算は、一般に、登録された像において第１像の各部分と第２像の各部分とに対して作用することにより実行されてもよいことに注意されたい。登録手順は、図１７を参照して説明する。

手順４４２では、対称性に基づく最適化により対称性テスト窓がより精巧化される。対称性に基づく最適化は、最も対称状態に近い対称性テスト窓を識別することに向けられる。従って、精巧化された対称性テスト窓は、その予想される対称性からの偏差が最も少ない対称性テスト窓を選択することにより識別される。対称性からの偏差は、図１４の方法に基づき理論的に対称的な窓に適用される同様のプロセスで決定される。対称性テスト窓を精巧化することは、窓の座標を精巧化することに限定されず、窓の座標を精巧化したり、その対称特性に関連したパラメータを精巧化したり、等々を一般に含んでもよいことに注意されたい。

手順４４４では、対称性に基づく最適化で計算された結果を補間することにより対称性テスト窓が精巧化される。補間は、対称性からの偏差についてテストされないが、手順４４２で生じる結果に基づいて最適な結果を与えると予想される対称性テスト窓を形成する。図１５Ｉを参照すれば、対称性テスト窓４３０は、対称性テスト窓３６２（図１５Ｂ）、３８０（図１５Ｄ）、４００（図１５Ｆ）及び４２０（図１５Ｈ）からの結果を補間することにより、精巧化された対称性テスト窓として識別される。

手順４４６では、検出された対称性テスト窓が、理論的に対称的な窓として識別される。理論的に対称的な窓は、次いで、手順３２６及び３２８（図１２）に使用されて、欠陥の存在を決定する。

図１６の方法は、一般に、検査手順の精密さ及び正確さの事項に基づき、手順４４０、４４２及び４４４のいずれを、又はそれを組合せて適用してもよく、且つこれら手順は、一般に、異なる順序で実行されてもよいことに注意されたい。更に、図１６の方法又はその手順は、像の平滑化やフォーマット変換といった前処理手順を含んでもよいことにも注意されたい。

ここに開示する技術の別の実施形態に基づく図１６の方法の手順４４０を詳細に示した図１７を参照して以下に説明する。以下に述べる実施例では、対称的なデータベース像窓及び各々のオブジェクト像窓は、それらの間の考えられるシフトはさておき、同様に表示されると仮定する。この場合に、データベース像窓とオブジェクト像との登録は、それらの間の水平及び垂直のシフトを決定することにより実行される。

手順４５０では、整列評価関数が定義される。この整列評価関数は、対称的なデータベース像窓と各々のオブジェクト像窓との間のシフトを入力として受け取り、それらがどれほど良好に整列されているか指示する値を出力する。この値は、以下、対称性評価値と称される。例えば、整列評価関数は、データベース像窓のピクセルとオブジェクト像窓の各ピクセルとの間の強度絶対差の和であってもよい。

手順４５２では、オブジェクト像窓が識別される。最初のオブジェクト像窓は、オブジェクト像において各々の対称的データベース像窓と同じ座標に定義されてもよい。その後のオブジェクト像窓は、一般に、最初のオブジェクト像窓に対して近傍の座標に定義される。オブジェクト像窓は、全て前もって決定されてもよいし、又は手前の結果に基づいて動的に決定されてもよい。

手順４５４では、オブジェクト像窓に対する整列評価値が整列評価関数に基づいて形成される。整列評価値は、更なる基準として記録されてもよいことに注意されたい。更に、手順４５２及び４５４のシーケンスを複数回繰り返し、各繰返しが異なるオブジェクト像窓を含むようにしてもよいことに注意されたい。加えて、手順４５２を複数の窓に対して実行し、それに続いて、手順４５４を、識別された窓の各々に対して実行することができる。

手順４５６では、最適なオブジェクト像窓が識別される。最適なオブジェクト像窓とは、最適な整列評価値を生じる窓である。例えば、整列評価関数が強度絶対差の和である場合には、最適なオブジェクト像窓は、絶対差の最小和を生じる窓である。従って、最適なオブジェクト像窓は、図１６の方法のその後の手順において最初の対称性テスト窓として識別することができる。最適なオブジェクト像窓は、図１９、２０Ａ及び２０Ｂを参照して以下に述べる補間と同様の補間により精巧化されてもよいことに注意されたい。

ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づく図１６の方法の手順４４２を詳細に示した図１８を参照して以下に説明する。手順４６０では、対称性評価関数が定義される。対称性評価関数は、対称性テスト窓を入力として受け取り、対称性からの偏差を指示する値を出力する。この値は、以下、対称性評価値と称される。図１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ、１５Ｅ、１５Ｆ、１５Ｇ、１５Ｈ、１５Ｉ及び１５Ｊに示す実施例では、対称性評価関数は、任意の基準点に対する水平方向シフトをＸとすれば、Ａ（Ｘ）で表わすことができる。この対称性評価関数Ａ（Ｘ）は、対称性テスト窓の左窓区分及びひっくり返された右窓区分から形成される絶対差の像における非ゼロ領域の存在に基づくものである。例えば、次のようになる。

但し、ｉ及びｊは、絶対差の像の水平及び垂直座標であり、Ｌ_ｉｊ（Ｘ）及びＲ_ｉｊ（Ｘ）は、各々、座標ｉ及びｊを有する左窓区分及び右窓区分におけるピクセルの強度である。

手順４６２では、対称性評価関数に基づき対称性テスト窓に対して対称性評価値が形成される。最初の対称性テスト窓は、手順４４０において識別される。その後の対称性テスト窓は、次の手順４６４において定義されてもよい。

手順４６４では、別の対称性テスト窓が、必要なときに（例えば、対称性評価値が対称性評価基準を満足しないとき、最小繰り返し数に到達しなければならないとき、等々に）オブジェクト像において識別される。手順４６４で識別される対称性テスト窓は、一般に、手順４４０で識別された最初の対称性テスト窓に対して近傍の座標に定義される。対称性テスト窓は、全て前もって決定されてもよいし、又は手前の結果に基づいて動的に決定されてもよい。手順４６４を実行した後に、方法は、手順４６２から進む。

対称性評価値は、更なる基準として記録されてもよいことに注意されたい。更に、手順４６４を複数の窓に対して実行し、その後、識別された窓の各々に対して手順４６２を実行できることにも注意されたい。

図１５Ａに示した実施例では、対称性テスト窓３６２（図１５Ａ）は、データベース像窓１１０（図１）に関連した最初の対称性テスト窓として識別され、更に、対称性テスト窓３８０（図１５Ｃ）、４００（図１５Ｅ）及び４２０（図１５Ｇ）は、それに接近して水平にシフトされた位置に定義される。

手順４６６では、最適な対称性テスト窓が識別される。最適な対称性テスト窓とは、最適な対称性評価値を生じる対称性テスト窓である。従って、最適な対称性テスト窓は、図１６の方法のその後の手順において、精巧化された対称性テスト窓として識別することができる。図１５Ａ、図１５Ｂ、図１５Ｃ、図１５Ｄ、図１５Ｅ、図１５Ｆ、図１５Ｇ及び図１５Ｈに示す実施例では、対称性テスト窓４００（図１５Ｅ）が最適な対称性テスト窓として識別される。

ここに開示する技術の別の実施形態に基づき手順４４４（図１６）に使用される、対称性からの偏差対水平方向変位を表わす構成、参照番号５００で一般的に示す、の概略図である図１９を参照して以下に説明する。

この構成５００は、対称性からの偏差Ｄ対水平方向シフトＸを表わす。対称性からの偏差は、手順４４２の対称性に基づく最適化に使用される対称性評価関数Ａ（Ｘ）に基づいて定義される。対称性からの偏差Ｄは、構成１００において０から１００までの偏差単位を使用して示されている。水平方向シフトＸを表わすのに使用される単位は、図１５Ａ、図１５Ｃ、図１５Ｅ及び図１５Ｇにおける次々の窓間の水平方向変位（例えば、図１５Ａの窓３６２と図１５Ｃの窓３８０との間の水平方向変位）である。

構成５００は、テストポイント５０２、５０４、５０６及び５０８と、線５１２及び５１４と、補間ポイント５１０とを含む。各テストポイントのＸ座標は、各対称性テスト窓と、対称性テスト窓３６２（これは任意の基準）との間の水平方向シフトを表わす。各テストポイントのＤ座標は、対称性評価関数Ａを使用して計算された対称性からの偏差を表わす。テストポイント５０２、５０４、５０６及び５０８の座標（Ｘ、Ｄ）は、各々、（０、９０）、（１、３０）、（２、４０）及び（３、８０）である。

線５１２は、テストポイント５０２及び５０４を通る。線５１４は、テストポイント５０６及び５０８を通る。図１９に示す実施例では、ここに提案する補間は、偏差Ｄが最小偏差ポイント付近で水平方向シフトに対してほぼ区分的に線型であるという簡単な仮定に基づいている。他の仮定を適用してもよいことに注意されたい。線５１２及び５１４は、区分的線型近似に基づいて補間され、補間ポイント５１０において交差する。補間ポイント５１０の座標は、ほぼ（１．２５、１５）である。

補間ポイント５１０は、Ａ（Ｘ）の最小値を生じる対称性テスト窓の近似を表わす。従って、補間ポイント５１０のＸ及びＤ座標は、各々、精巧化シフトと、対称性からの各偏差の近似とを表わす。補間ポイント５１０のＤ座標は、対称性からの偏差として識別され、従って、手順３２６及び３２８に使用されてもよい。或いは又、Ｘ座標は、対称性テスト窓を精巧化するのに使用されてもよい。構成１００において、テストポイント５０２、５０４、５０６及び５０８は、各々、対称性テスト窓３６２（図１５Ａ）、３８０（図１５Ｃ）、４００（図１５Ｅ）及び４２０（図１５Ｇ）を表わす。補間ポイント５１０は、対称性テスト窓４３０（図１５Ｉ）を定義するのに使用される。

図２０Ａ及び２０Ｂを参照して以下に説明する。図２０Ａは、オブジェクト像窓（図示せず）を表わす、参照番号５４０で一般的に示されたピクセルアレイの概略図である。図２０Ｂは、ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づいて構成された、参照番号５８０で一般的に示されたシフトされたピクセルアレイの概略図である。

図２０Ａを参照すれば、ピクセルアレイ６００は、二次元アレイに配列されたピクセル６０２_１、６０２_２及び６０２_Ｎのような、参照番号６０２_ｉで一般的に示された複数の方形ピクセルを含む。ピクセル６０２_１、６０２_２及び６０２_Ｎは、各々、（Ｘ、Ｙ）座標（２、３）、（３、３）及び（６、３）を有し、但し、Ｘ及びＹは、任意の基準点に対する水平及び垂直の位置を表わす。

図２０Ｂを参照すれば、シフトされたピクセルアレイ６２０は、ピクセルアレイ６００（図２０Ａ）により表わされたオブジェクト像窓から右へ０．２５ピクセルだけシフトされたオブジェクト像領域（図示せず）を表わす。例えば、図１９で適用されたものと同様の補間プロセスは、シフトされたピクセルアレイ６２０により表わされたオブジェクト像窓を最適な対称性テスト窓として識別してもよく、従って、シフトされたピクセルアレイ６２０は、このオブジェクト像窓をテストする目的で形成される。

シフトされたピクセルアレイ６２０は、ピクセルアレイ６０２の強度値を補間し、従って、０．２５ピクセルだけそこからシフトされたポイントにおいて強度値を近似することにより形成される。図２０Ａ、図２０Ｂに示す実施例は、次の仮定のもとで作用し、

従って、次のような簡単な線型近似を使用する。

例えば、ピクセル６２２_１（図２０Ｂ）は、（Ｘ、Ｙ）座標（２．２５、３）を有し、従って、ピクセル６２２_１の強度は、次のように近似される。
I(2.25, 3)＝0.75×I(2, 3)＋0.25×(3, 3)
座標（２、３）及び（３、３）を各々有するピクセル６０２_１及び６０２_２は、強度値３２及び９６を各々有するので、補間は、近似強度値０．７５ｘ３２＋０．２５ｘ９６＝４８を生じる。

しかしながら、種々の他の近似を使用してもよいことに注意されたい。従って、近似強度値は、元のピクセルアレイの多数のピクセルの強度値に依存してもよい。数学的には、次のようになる。

但し、（Ｘ’、Ｙ’）は、近似強度の座標であり、Ｋ（ｓ、ｔ）は、所定の重み関数（カーネル関数としても知られている）である。

当業者であれば、ここに開示する技術は、特に図示して上述されたものに限定されないことが明らかであろう。むしろ、ここに開示する技術の範囲は、特許請求の範囲のみによって規定される。

データベース像を概略的に示す図である。 検査オブジェクトの像を概略的に示す図である。 左素子部分を含む図２の窓の左窓区分を概略的に示す図である。 ここに開示する技術の実施形態に基づき構成された、図２の窓の右窓区分をひっくり返した形態であるひっくり返し像の概略図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づき構成された差の像の概略図である。 データベース像を概略的に示す図である。 検査オブジェクト像の像を概略的に示す図である。 オブジェクト像素子を含む図５の窓を概略的に示す図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づき構成された、図６Ａの窓を回転した形態である回転像の概略図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づき構成された絶対差の像の概略図である。 別のオブジェクト像素子を含む図５の別の窓を概略的に示す図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づき構成された、図５の別の窓を操作した形態である操作像の概略図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づき構成された絶対差の像の概略図である。 下部層データベース像を概略的に示す図である。 上部層データベース像を概略的に示す図である。 合成データベース像を概略的に示す図である。 ２層の物理的オブジェクトを表わすオブジェクト像を概略的に示す図である。 図９のオブジェクト像素子を含む図９の下部オブジェクト像窓を概略的に示す図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づき構成された、図９の上部オブジェクト像窓をひっくり返した形態であるひっくり返し像の概略図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づき構成された絶対差の像の概略図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づいて構成されて動作する欠陥検出システムの概略図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づいて動作する図１１のシステムの動作方法を示す概略図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づく図１２の方法のデータベース像分析手順を詳細に示す図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づく図１２の方法の、理論的に対称的な窓を分析する手順を詳細に示す図である。 図２のオブジェクト像から取り出された、対称性テスト窓を含む領域の概略図である。 図１５Ａの対称性テスト窓に基づき発生された絶対差の像の概略図である。 別の対称性テスト窓を含む図１５Ａの領域の概略図である。 図１５Ｃの対称性テスト窓に基づき発生された絶対差の像の概略図である。 別の対称性テスト窓を含む図１５Ａの領域の概略図である。 図１５Ｅの対称性テスト窓に基づき発生された絶対差の像の概略図である。 別の対称性テスト窓を含む図１５Ａの領域の概略図である。 図１５Ｇの対称性テスト窓に基づき発生された絶対差の像の概略図である。 対称性テスト窓４３０を含み、得られる最良の対称性を示す図１５Ａの領域の概略図である。 図１５Ｊの対称性テスト窓に基づき発生された絶対差の像の概略図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づく図１２の方法の、理論的に対称的な窓を識別する手順を詳細に示す図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づく図１６の方法の登録手順を詳細に示す図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づく図１６の方法の、対称性に基づく最適化手順を概略的に示す図である。 ここに開示する技術の別の実施形態に基づく図１６の方法の補間手順に使用される、対称性からの偏差対水平方向変位を表わす構成を概略的に示す図である。 オブジェクト像領域を表わすピクセルアレイの概略図である。 ここに開示する技術の更に別の実施形態に基づき構成されたシフトされたピクセルアレイの概略図である。

符号の説明

１００・・・データベース像、１０２、１０４、１０６・・・データベース像素子、１１０・・・窓、１１２・・・対称線、１２０・・・左窓区分、１２２・・・右窓区分、１３０・・・検査オブジェクト像、１３２、１３４、１３６・・・オブジェクト像素子、１３８・・・欠陥、１３８_Ｆ・・・ひっくり返された欠陥、１４０・・・窓、１４２・・・対称線、１４４・・・左窓区分、１４６・・・右窓区分、１４６_Ｆ・・・ひっくり返し像、１４８・・・左素子部分、１５０・・・右素子部分、１５０_Ｆ・・・ひっくり返された右素子部分、１６０・・・差の像、１６２・・・欠陥領域、１６４・・・ブランク領域、１７０・・・データベース像、１７２、１７６、１７８、１８０・・・データベース像素子、１８１、１８４、１８６、１８８・・・窓、３００・・・欠陥検出システム、３０２・・・データベース、３０４・・・像スキャナ、３０６・・・記憶ユニット、３０８・・・プロセッサ、３１０・・・ヒューマンインターフェイス、３１２・・・物理的オブジェクト、３６０・・・領域、３６２、３８０、４００、４２０、４３０・・・対称性テスト窓、３６８・・・対称線、３７０、３９０、４１０、４２５、４３５・・・絶対差の像

Claims (36)

1. 欠陥を検出する方法において、
   オブジェクト像内で理論的に対称的な窓を識別する手順と、
   前記理論的に対称的な窓の予想される対称性に基づいて前記理論的に対称的な窓を分析する手順と、
   前記予想される対称性からの偏差に基づいて欠陥の存在を決定する手順と、
   を備えた方法。
2. 物理的オブジェクトを走査して前記オブジェクト像を形成する準備手順を更に備えた、請求項１に記載の方法。
3. データベース像を分析してその中の対称的なデータベース像窓を識別する準備手順であって、前記対称的なデータベース像窓に基づいて前記理論的に対称的な窓を識別する準備手順を更に備えた、請求項１に記載の方法。
4. データベース像を分析してその中の対称的なデータベース像窓を識別する準備手順であって、前記対称的なデータベース像窓に基づいて前記理論的に対称的な窓を識別する準備手順を更に備えた、請求項２に記載の方法。
5. 前記データベース像を分析する前記手順は、
   少なくとも１つのデータベース像素子を識別するステップと、
   前記少なくとも１つのデータベース像素子の各々に対して対称的なデータベース像窓を決定するステップと、
   を備えた、請求項３に記載の方法。
6. データベース像を分析する前記手順は、前記データベース像素子の対称特性を決定するステップを更に備えた、請求項５に記載の方法。
7. データベース像を分析する前記手順は、前記データベース像素子の寸法を決定するステップを更に備えた、請求項５に記載の方法。
8. 前記データベース像を分析する前記手順は、前記データベース像素子の寸法を決定するステップを更に備えた、請求項６に記載の方法。
9. 理論的に対称的な窓を分析する前記手順は、
   理論的に対称的な類似窓及びそれに関連した操作を前記理論的に対称的な窓から識別するステップと、
   前記理論的に対称的な類似窓の少なくとも１つを操作して複数の理論的に同一の窓を形成するステップと、
   前記理論的に同一の窓を互いに比較して比較結果を発生するステップと、
   を備えた、請求項１に記載の方法。
10. オブジェクト像内で理論的に対称的な窓を識別する前記手順は、
    前記オブジェクト像内で対称的なデータベース像窓を登録して、最初の対称性テスト窓を識別するステップと、
    前記対称性テスト窓を理論的に対称的な窓として識別するステップと、
    を備えた、請求項３に記載の方法。
11. 前記対称性テスト窓を精巧化する手順を更に備えた、請求項１０に記載の方法。
12. 前記対称性テスト窓を精巧化する前記手順は、対称性に基づく最適化に従って実行される、請求項１１に記載の方法。
13. 前記対称性に基づく最適化で計算された結果を補間することにより前記対称性テスト窓を精巧化する手順を更に備えた、請求項１２に記載の方法。
14. 前記オブジェクト像内で対称的なデータベース像窓を登録する前記ステップは、
    オブジェクト像窓を識別する段階と、
    整列評価関数に基づいて前記オブジェクト像窓に対する整列評価値を生成する段階と、
    最適なオブジェクト像窓を識別する段階と、
    を備え、オブジェクト像窓を識別する前記段階と、整列評価値を生成する前記段階とのシーケンスを複数回繰り返し、該複数の繰り返しの各々が異なるオブジェクト像窓を含むようにする、請求項１０に記載の方法。
15. 前記オブジェクト像内で対称的なデータベース像窓を登録する前記ステップは、前記整列評価関数を定義する準備段階を更に備えた、請求項１４に記載の方法。
16. 前記対称性テスト窓を精巧化する前記手順は、
    対称性評価関数に基づいて前記対称性テスト窓に対する対称性評価値を生成するステップと、
    最適な対称性テスト窓を識別するステップと、
    を備えた、請求項１２に記載の方法。
17. 対称性評価値を形成する前記ステップの後に、前記オブジェクト像において別の対称性テスト窓を識別するステップを更に備え、
    別の対称性テスト窓を識別する上記ステップと、対称性評価値を生成する前記ステップとのシーケンスを少なくとも１回繰り返し、該少なくとも１回の繰り返しの各々が異なる対称性テスト窓を含むようにする、請求項１６に記載の方法。
18. 前記対称性テスト窓を精巧化する前記手順は、前記対称性評価関数を定義する準備手順を更に備えた、請求項１６に記載の方法。
19. 前記物理的オブジェクトは写真マスクである、請求項２に記載の方法。
20. 前記物理的オブジェクトはレチクルである、請求項２に記載の方法。
21. 前記物理的オブジェクトは印刷材料である、請求項２に記載の方法。
22. 前記物理的オブジェクトは織物材料である、請求項２に記載の方法。
23. 前記手順はリアルタイムで実行される、請求項１に記載の方法。
24. 前記予想される対称性は軸方向である、請求項１に記載の方法。
25. 前記予想される対称性は回転である、請求項１に記載の方法。
26. 前記予想される対称性は軸方向−回転である、請求項１に記載の方法。
27. オブジェクト像内で欠陥を検出するシステムにおいて、
    少なくとも前記オブジェクト像の少なくとも一部分を記憶する記憶ユニットと、
    前記記憶ユニット、データベース及びヒューマンインターフェイスに結合されたプロセッサであって、前記オブジェクト像の前記少なくとも一部分における理論的に対称的な窓を、前記データベースから検索されたデータベース像の少なくとも一部分の分析に基づいて識別すると共に、前記理論的に対称的な窓の予想される対称特性からの偏差に基づいて前記理論的に対称的な窓における欠陥を検出するプロセッサと、
    を備えたシステム。
28. 前記オブジェクト像を発生するスキャナを更に備えた、請求項２７に記載のシステム。
29. 前記プロセッサは、更に、前記データベース像における少なくとも１つのデータベース像素子を識別し、
    前記プロセッサは、更に、前記データベース像が対称的であるときに前記少なくとも１つのデータベース像素子に関連した対称的データベース像窓を決定する、請求項２７に記載のシステム。
30. 前記プロセッサは、更に、前記データベース像素子の寸法及び対称特性を決定する、請求項２９に記載のシステム。
31. 前記プロセッサは、前記オブジェクト像内で対称的なデータベース像窓を登録して、対称性テスト窓を識別し、更に、
    前記プロセッサは、前記対称性テスト窓を理論的に対称的な窓として識別する、請求項３０に記載のシステム。
32. 前記プロセッサは、更に、前記対称性テスト窓を精巧化する、請求項３１に記載のシステム。
33. 前記プロセッサは、前記対称性テスト窓の前記精巧化を、対称性に基づく最適化に従って実行する、請求項３２に記載のシステム。
34. 前記プロセッサは、更に、前記対称性に基づく最適化で計算された結果を補間することにより前記対称性テスト窓を精巧化する、請求項３３に記載のシステム。
35. 前記プロセッサは、更に、前記対称性に基づく最適化で計算された結果を補間することにより前記対称性テスト窓を精巧化する、請求項３３に記載のシステム。
36. 前記記憶ユニットは、更に、前記データベースを記憶する、請求項２７に記載のシステム。
    

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