JP2006335036A - 記録ヘッドの製造方法およびその製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】記録ヘッドの製造方法は、記録素子基板H1101を、電気接続パッドH1105の形成されていない面を支持台10の表面に向けて、支持台10に支持させるステップと、フライングリ−ドH1304を電気接続パッドH1105に押し付け、フライングリ−ドH1304と電気接続パッドH1105とを加熱して圧接する熱間圧接ステップとを有している。熱間圧接ステップは、支持台10の表面のうち電気接続パッドH1105に近接する第1の領域22への、フライングリ−ドH1304および電気接続パッドH1105からの放熱を防止しながら、または第1の領域22を加熱しながら、残りの領域である第2の領域を除熱することを含んでいる。
【選択図】 図3
Description
図1は、第1の記録素子基板の一部破断斜視図である。第1の記録素子基板H1100は、例えば厚さ0.5〜1mmのシリコン(Si)基板H1110を有している。Si基板H1110には、インク流路を形成する長溝状の貫通口であるインク供給口H1102が設けられている。インク供給口H1102は、Siの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成される。
図2は、第2の記録素子基板の一部破断斜視図である。第2の記録素子基板H1101は、シアン、マゼンタ、イエロー用の3個のインク供給口H1102が並列して形成されている。インク色やインク数は例示であって、これに限定されない。各インク供給口H1102を挟んでその両側に、エネルギ発生素子H1103およびインク吐出口H1107が一列に千鳥状に配列形成されている。Si基板H1110上には、第1の記録素子基板H1100と同様に、電気配線、電極部H1104などが形成されている。その上には、フォトリソグラフィ技術によって樹脂材料から作られるインク流路壁H1106やインク吐出口H1107が形成されている。電気配線に電気信号を供給する電極部H1104には、Au等の電気接続パッドH1105が形成されている。このように、第2の記録素子基板H1101の基本的な構成は第1の記録素子基板H1100と同様である。なお、以下の記述において第1の記録素子基板H1100または第2の記録素子基板H1101のいずれか一方を対象として説明することがあるが、本発明は両者に対して同様に適用できる。
フレキシブル配線基材H1300は、第1の記録素子基板H1100にインクを吐出するための電気信号を印加する電気信号経路を形成している。フレキシブル配線基材H1300は、例えばポリイミドのベース基材と、その上に形成された銅箔の配線パターン(図示せず)とから構成されている。図7に示すように、フレキシブル配線基材H1300には、記録素子基板H1100を組み込む開口部H1303が形成されている。開口部H1303の縁部付近には、電気接続パッドH1105を介して記録素子基板H1100に電気信号を伝達する複数のフライングリードH1304が形成されている。フライングリードH1304と対応する電気接続パッドH1105とは、後述の方法で熱間圧接される。フレキシブル配線基材H1300には、本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子(図示せず)が形成されている。フライングリードH1304と外部信号入力端子は、フレキシブル配線基材H1300の内部に形成された、連続した銅箔の配線パターンでつながれている。
図3は、第1の実施形態による製造装置(ボンディング装置)の概念図である。同図(a)はボンディング装置の側面図、同図(b)は平面図を示している。なお、同図(b)では圧接ツールの表示は省略している(図5,6も同じ)。
図5は、第2の実施形態による製造装置(ボンディング装置)の概念図である。同図(a)はボンディング装置の側面図、同図(b)は平面図を示している。
図6は、第3の実施形態による製造装置(ボンディング装置)の概念図である。同図(a)はボンディング装置の側面図、同図(b)は平面図を示している。
H1101 第2の記録素子基板
H1102 インク供給口
H1104 電極部
H1105 電気接続パッド
H1107 インク吐出口
H1300 フレキシブル配線基材
H1304 フライングリード
1,101,201 ボンディング装置
10 支持台
11 スリット
12 放熱フィン
21,121,221 表面
22,122,221 第1の領域
23,123,223 第2の領域
24 裏面
30 圧接ツール
31,36 チップ
112,212 ペルチェ素子
113,213 ヒーター
114 断熱材
214 溝
Claims (15)
- インクを吐出するインク吐出口と、インク吐出のための電気信号を受け取る電気接続パッドとを備えた記録素子基板と、該電気接続パッドと接続されて該記録素子基板に該電気信号を伝達するフライングリ−ドを備えたフレキシブル配線基材とを有する記録ヘッドの製造方法であって、
前記記録素子基板を、前記電気接続パッドの形成されていない面を支持台の表面に向けて、該支持台に支持させるステップと、
前記フライングリ−ドを前記電気接続パッドに押し付け、該フライングリ−ドと該電気接続パッドとを加熱して圧接する熱間圧接ステップとを有し、
前記熱間圧接ステップは、前記支持台の前記表面のうち前記電気接続パッドに近接する第1の領域への、前記フライングリ−ドおよび前記電気接続パッドからの放熱を防止しながら、または該第1の領域を加熱しながら、残りの領域である第2の領域を除熱することを含んでいる、記録ヘッドの製造方法。 - 前記記録素子基板には、複数の前記電気接続パッドが配列形成されており、
前記フレキシブル配線基材には、複数の前記電気接続パッドの各々と対応する複数の前記フライングリ−ドが配列形成されており、
前記熱間圧接ステップは、少なくとも2組以上の前記電気接続パッドおよび前記フライングリ−ドを同時に熱間圧接することを含んでいる、請求項1に記載の記録ヘッドの製造方法。 - 前記熱間圧接ステップは、すべての前記電気接続パッドと前記フライングリ−ドとを同時に熱間圧接することを含んでいる、請求項2に記載の記録ヘッドの製造方法。
- 前記熱間圧接ステップは、
前記第1の領域に接続されたスリットによって、前記第1の領域への放熱を防止すること、
前記第2の領域に接続されたフィンによって、前記第2の領域を除熱することと、
とを含んでいる、請求項1から3のいずれか1項に記載の記録ヘッドの製造方法。 - 前記熱間圧接ステップは、
前記第1の領域に接続されたヒーターによって、前記第1の領域を加熱すること、
前記第2の領域に接続されたペルチェ素子によって、前記第2の領域を除熱することと、
とを含んでいる、請求項1から3のいずれか1項に記載の記録ヘッドの製造方法。 - インクを吐出するインク吐出口と、インク吐出のための電気信号を受け取る電気接続パッドとを備えた記録素子基板と、該電気接続パッドと接続されて該記録素子基板に該電気信号を伝達するフライングリ−ドを備えたフレキシブル配線基材とを有する記録ヘッドの製造装置であって、
前記記録素子基板を支持する表面を備えた支持台と、
前記フライングリ−ドを前記電気接続パッドに押し付け、該フライングリ−ドと該電気接続パッドとを加熱して圧接する熱間圧接手段とを有し、
前記支持台は、前記記録素子基板が前記表面に支持されたときに、該表面のうち前記電気接続パッドに近接する第1の領域に接続された放熱防止手段と、残りの領域である第2の領域の少なくとも一部に接続された除熱手段とを備えている、
記録ヘッドの製造装置。 - 前記除熱手段は、前記支持台の前記第2の領域の裏面に形成されたフィンを含んでいる、請求項6に記載の記録ヘッドの製造装置。
- 前記放熱防止手段は、前記支持台の前記第1の領域に形成されたスリットを含んでいる、請求項6または7に記載の記録ヘッドの製造装置。
- インクを吐出するインク吐出口と、インク吐出のための電気信号を受け取る電気接続パッドとを備えた記録素子基板と、該電気接続パッドと接続されて該記録素子基板に該電気信号を伝達するフライングリ−ドを備えたフレキシブル配線基材とを有する記録ヘッドの製造装置であって、
前記記録素子基板を支持する表面を備えた支持台と、
前記フライングリ−ドを前記電気接続パッドに押し付け、該フライングリ−ドと該電気接続パッドとを加熱して圧接する熱間圧接手段とを有し、
前記支持台は、前記記録素子基板が前記表面に支持されたときに、該表面のうち前記電気接続パッドに近接する第1の領域に接続された加熱手段と、残りの領域である第2の領域の少なくとも一部に接続された除熱手段とを備えている、
記録ヘッドの製造装置。 - 前記除熱手段は、前記支持台の前記第2の領域に接続されたペルチェ素子を含んでいる、請求項9に記載の記録ヘッドの製造装置。
- 前記加熱手段は、前記支持台の前記第1の領域に接続されたヒーターを含んでいる、請求項9または10に記載の記録ヘッドの製造装置。
- 前記支持台は、前記加熱手段と前記除熱手段との間に断熱手段を備えている、請求項9から11のいずれか1項に記載の記録ヘッドの製造装置。
- 前記断熱手段は、断熱材を含んでいる、請求項12に記載の記録ヘッドの製造装置。
- 前記断熱手段は、前記支持台の前記表面に設けられた溝を含んでいる、請求項12に記載の記録ヘッドの製造装置。
- 前記熱間圧接手段は、複数の前記フライングリ−ドと対応する複数の前記フライングリ−ドとを同時に熱間圧接する少なくとも一つの突起を備えている、請求項6から14のいずれか1項に記載の記録ヘッドの製造装置。
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