JP2006329861A - プリント基板の電気検査装置および電気検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 設置装置20に設置されたプリント基板11の接点11aに検査用プローブ36を接触させて、プリント基板11の電気検査を行う電気検査装置10に、検査用プローブ36が取り付けられる検出部37と、駆動装置と、反力検出センサ38と制御装置50を設けた。また、駆動装置を、検出部37が着脱可能に取り付けられる支持部材35と、支持部材35を移動させて検査用プローブ36をプリント基板11に接触させるモータ32とで構成した。そして、検査用プローブ36がプリント基板11に接触したときに、モータ32に掛かる反力を反力検出センサ38が検出し、その検出値に応じて制御装置50がモータ32を駆動させるようにした。
【選択図】 図1
Description
Claims (6)
- 設置装置に設置されたプリント基板の接点に検査用プローブを接触させることにより、前記プリント基板の電気検査を行うプリント基板の電気検査装置であって、
前記検査用プローブが取り付けられる取付部材と、
前記取付部材が着脱可能に取り付けられる支持部と、前記取付部材を前記設置装置に設置されたプリント基板に対して進退させることにより、前記検査用プローブを前記プリント基板に接触させる駆動装置と、
前記検査用プローブが前記プリント基板に接触したときに、前記プリント基板に対する検査用プローブの押圧力を前記駆動装置に掛かる反力として検出する検出装置と、
前記検出装置の検出値に応じて前記駆動装置を駆動させて前記検査用プローブの前記プリント基板に対する押圧力が所定値になるように制御する制御装置と
を備えたことを特徴とするプリント基板の電気検査装置。 - 前記駆動装置に掛かる反力が前記駆動装置の駆動力に対する反力である請求項1に記載のプリント基板の電気検査装置。
- 前記駆動装置に掛かる反力が前記支持部に掛かる反力である請求項1に記載のプリント基板の電気検査装置。
- 検査用プローブが取り付けられた取付部材が着脱可能に取り付けられる支持部と、前記取付部材をプリント基板に対して進退させることにより、前記検査用プローブを前記プリント基板に所定の押圧力で接触させる駆動装置を用いて、前記プリント基板の電気検査を行うプリント基板の電気検査方法であって、
前記検査用プローブを前記プリント基板に接触させる接触工程と、
前記検査用プローブが前記プリント基板に接触したときに、前記プリント基板に対する検査用プローブの押圧力を前記駆動装置に掛かる反力として検出する反力検出工程と、
前記反力検出工程において検出された検出値に応じて前記駆動装置を駆動させて前記検査用プローブの前記プリント基板に対する押圧力が所定値になるように制御する押圧力制御工程と
を備えたことを特徴とするプリント基板の電気検査方法。 - 前記反力検出工程において検出される前記駆動装置に掛かる反力が前記駆動装置の駆動力に対する反力である請求項4に記載のプリント基板の電気検査方法。
- 前記反力検出工程において検出される前記駆動装置に掛かる反力が、前記支持部に掛かる反力である請求項4に記載のプリント基板の電気検査方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008309601A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | プリント基板の検査装置および検査方法 |
CN104155600A (zh) * | 2014-08-15 | 2014-11-19 | 宁波昌隆机电有限公司 | 一种高效率的电气开关挤压测试方法 |
JP2021012117A (ja) * | 2019-07-08 | 2021-02-04 | ヤマハファインテック株式会社 | 電気検査装置及び保持ユニット |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101049396B1 (ko) * | 2010-06-11 | 2011-07-15 | 한국기계연구원 | 프린팅 공정 시뮬레이션 장치 및 방법 |
JP6726077B2 (ja) | 2016-10-13 | 2020-07-22 | ヤマハファインテック株式会社 | 処理装置 |
CN109212273A (zh) * | 2017-07-07 | 2019-01-15 | 南京泊纳莱电子科技有限公司 | 飞针测试机 |
CN108525895B (zh) * | 2018-04-17 | 2019-08-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种取向膜印刷***及印刷装置的控制方法 |
JP7310345B2 (ja) * | 2019-06-17 | 2023-07-19 | ニデックアドバンステクノロジー株式会社 | 検査装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06140479A (ja) * | 1992-10-23 | 1994-05-20 | Mitsubishi Denki Eng Kk | 半導体集積回路テスト装置 |
JPH06273445A (ja) * | 1993-03-18 | 1994-09-30 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH0763819A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Toyota Motor Corp | インサーキットテストにおけるプローブピンの配置決定装置 |
JPH0772218A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Azusa Denshi Kk | プリント配線基板の検査方法及び装置 |
JPH0794560A (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-07 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH0855883A (ja) * | 1994-08-15 | 1996-02-27 | Hitachi Ltd | 回路素子の検査方法および検査装置 |
JPH0989983A (ja) * | 1995-09-25 | 1997-04-04 | Ando Electric Co Ltd | Icの接触圧をデータで変えるic搬送装置 |
JPH102931A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Tescon:Kk | バーンインボード検査装置 |
JPH11248800A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-17 | Nec Corp | プロービング装置および方法 |
JP2000284019A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Seiko Epson Corp | Icデバイス検査装置の押圧装置及びこれを有するicデバイスの検査装置 |
JP2002082144A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Toshiba Microelectronics Corp | 半導体パッケージの電気特性測定方法およびこのためのテストハンドラ |
JP2003066097A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Toshiba Corp | 半導体装置の試験装置 |
JP2003185704A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Seiko Epson Corp | 電極検査装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL9001478A (nl) * | 1990-06-28 | 1992-01-16 | Philips Nv | Testinrichting voor electrische schakelingen op panelen. |
KR0138754B1 (ko) | 1990-08-06 | 1998-06-15 | 이노우에 아키라 | 전기회로측정용 탐침의 접촉검지장치 및 이 접촉검지장치를 이용한 전기회로 측정장치 |
KR0163688B1 (ko) * | 1995-07-28 | 1999-03-20 | 전주범 | 내부회로 측정장치 |
TW369601B (en) * | 1997-06-17 | 1999-09-11 | Advantest Corp | Probe card |
JP3397713B2 (ja) * | 1999-03-10 | 2003-04-21 | キヤノン株式会社 | 電気的接続装置 |
JP2003202359A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Fujitsu Ltd | 接触子の接触圧力制御装置 |
JP2004228332A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-08-12 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 電気検査装置 |
-
2005
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06140479A (ja) * | 1992-10-23 | 1994-05-20 | Mitsubishi Denki Eng Kk | 半導体集積回路テスト装置 |
JPH06273445A (ja) * | 1993-03-18 | 1994-09-30 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH0763819A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Toyota Motor Corp | インサーキットテストにおけるプローブピンの配置決定装置 |
JPH0772218A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Azusa Denshi Kk | プリント配線基板の検査方法及び装置 |
JPH0794560A (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-07 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH0855883A (ja) * | 1994-08-15 | 1996-02-27 | Hitachi Ltd | 回路素子の検査方法および検査装置 |
JPH0989983A (ja) * | 1995-09-25 | 1997-04-04 | Ando Electric Co Ltd | Icの接触圧をデータで変えるic搬送装置 |
JPH102931A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Tescon:Kk | バーンインボード検査装置 |
JPH11248800A (ja) * | 1998-03-04 | 1999-09-17 | Nec Corp | プロービング装置および方法 |
JP2000284019A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Seiko Epson Corp | Icデバイス検査装置の押圧装置及びこれを有するicデバイスの検査装置 |
JP2002082144A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Toshiba Microelectronics Corp | 半導体パッケージの電気特性測定方法およびこのためのテストハンドラ |
JP2003066097A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Toshiba Corp | 半導体装置の試験装置 |
JP2003185704A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Seiko Epson Corp | 電極検査装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6010069412; Kenichi Kataoka, Toshihiro Itoh, Tadatomo Suga: 'Characterization of Fritting Phenomena on Al Electrode for Low Contact Force Probe Card' IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS AND PACKAGING TECHNOLOGIES VOL.26, NO.2, 200306, 382-387 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008309601A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | プリント基板の検査装置および検査方法 |
CN104155600A (zh) * | 2014-08-15 | 2014-11-19 | 宁波昌隆机电有限公司 | 一种高效率的电气开关挤压测试方法 |
JP2021012117A (ja) * | 2019-07-08 | 2021-02-04 | ヤマハファインテック株式会社 | 電気検査装置及び保持ユニット |
JP7371885B2 (ja) | 2019-07-08 | 2023-10-31 | ヤマハファインテック株式会社 | 電気検査装置及び保持ユニット |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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