JP2006324409A - 半導体レーザ装置およびそれを備えた光ピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワイヤボンディングする電極の配置やワイヤレイアウトの制約を無くすことができ、半導体レーザ素子への受光素子の発熱の悪影響を低減できる半導体レーザ装置およびそれを備えた光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザ素子7、立上げミラー13および信号受光素子9を一面に搭載する積層セラミックパッケージ5は、互いに異なる導電性パターンを有する複数のセラミックシートを積層して構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体レーザ素子7、立上げミラー13および信号受光素子9を一面に搭載する積層セラミックパッケージ5は、互いに異なる導電性パターンを有する複数のセラミックシートを積層して構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えばCD(コンパクトディスク)、CD−R(一度だけ書き込み可能なコンパクトディスク)、DVD(デジタル万能ディスク)およびDVD−R(一度だけ書き込み可能なデジタル万能ディスク)等の光記録媒体の情報の読み取り、または、そのような光記録媒体への情報の書き込みに用いる半導体レーザ装置に関する。また、本発明は上記半導体レーザ装置を備えた光ピックアップ装置に関する。
半導体レーザ装置の小型化、薄型化の傾向が進む中、より安価な半導体レーザ装置の開発が望まれてきた。従来、半導体レーザ装置としては、特開平6−203403号公報(特許文献1)に開示されたものがある。
図5Aに、上記従来の半導体レーザ装置の概略上面図を示す。また、図5Bに、上記従来の半導体レーザ装置の概略断面図を示す。
上記半導体レーザ装置は、図5A,図5Bに示すように、ダイパッド部59およびリード端子部60から成るリードフレーム52と、このリードフレーム52に対して樹脂モールドされた樹脂製パッケージ53とを備えている。
上記リードフレーム52のダイパッド部59には、半導体レーザ素子57を搭載したシリコン基板58がダイボンドされている。このシリコン基板58には受光部56が形成されている。また、上記シリコン基板の58の半導体レーザ素子57側の表面には、光ディスクによる反射光を受光する受光部56と、この受光部56および半導体レーザ素子57を電気的にリード端子部60に接続するためのパッドとが形成されている。
上記リードフレーム52のリード端子部60は、金属細線51およびパッドを介して半導体レーザ素子57および信号受光素子56に電気的に接続されている。
上記樹脂製パッケージ53には、バーンイン、特性検査後、ホログラム素子54がUV(紫外線)樹脂55で固定される。このホログラム素子57の表面には微細な凹凸の溝が形成されている。
上記構成の半導体レーザ装置によれば、半導体レーザ素子57から出射したレーザ光はミラーで反射されて光ディスクへ向かう。上記レーザ光は、光ディスクで反射されて、光ディスクに書かれている種々の情報を含む光信号になって、信号受光素子56に向かうようにホログラム素子57で回折される。上記光信号は信号受光素子56で電気信号に変換され、この電気信号が金属細線51を介して外部に出力される。
しかしながら、上記従来の半導体レーザ装置では、金属細線51は2次元的にしか引き回すことが出来ないため、金属細線51をワイヤボンディングするパッド(電極)の配置や、金属細線51のワイヤレイアウトに制約がある。
また、上記受光部56を含むシリコン基板58上に半導体レーザ素子57を配置しているから、受光部56による発熱が半導体レーザ素子57に悪影響を及ぼす。
特開平6−203403号公報
そこで、本発明の課題は、ワイヤボンディングする電極の配置やワイヤレイアウトの制約を無くすことができ、半導体レーザ素子への受光素子の発熱の悪影響を低減できる半導体レーザ装置およびそれを備えた光ピックアップ装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、第1の発明の半導体レーザ装置は、
半導体レーザ素子と、
上記半導体レーザ素子が出射したレーザ光を被照射物へ向けて反射する立上げミラーと、
上記半導体レーザ素子および立上げミラーを搭載するパッケージと
を備え、
上記パッケージは、互いに異なる導電性パターンを有する複数のセラミックシートを積層して構成されていることを特徴としている。
半導体レーザ素子と、
上記半導体レーザ素子が出射したレーザ光を被照射物へ向けて反射する立上げミラーと、
上記半導体レーザ素子および立上げミラーを搭載するパッケージと
を備え、
上記パッケージは、互いに異なる導電性パターンを有する複数のセラミックシートを積層して構成されていることを特徴としている。
上記構成の半導体レーザ装置によれば、上記パッケージを構成する複数のセラミックシートが互いに異なる導電性パターンを有するので、複数の導電性パターンからなる3次元的な配線パターンをパッケージ内に設けることができる。したがって、上記パッケージに設ける電極の配置の制約を無くすことができ、半導体レーザ素子を電極に電気的に接続する金属細線のワイヤレイアウトの制約を無くすことができる。
また、上記パッケージに例えば受光素子を搭載する場合、半導体レーザ素子を受光素子上に位置させないことにより、半導体レーザ素子への受光素子の発熱の悪影響を低減できる。したがって、上記半導体レーザ素子の高温動作特性を向上させることができる。
また、上記パッケージに、被照射物による反射光を回折するホログラム素子を搭載してもよい。この場合、上記パッケージに、ホログラム素子で回折された上記反射光を受光する受光素子をさらに搭載してもよい。
また、上記ホログラム素子をパッケージに搭載しなくても、このパッケージに、被照射物による反射光を受光する受光素子を搭載してもよい。
一実施形態の半導体レーザ装置では、
上記セラミックシートには貫通穴が設けられ、
上記貫通穴内には上記半導体レーザ素子および上記立上げミラーが配置されている。
上記セラミックシートには貫通穴が設けられ、
上記貫通穴内には上記半導体レーザ素子および上記立上げミラーが配置されている。
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体レーザ素子および立上げミラーを貫通穴内に配置するので、装置高さを下げることができる。
一実施形態の半導体レーザ装置では、上記複数のセラミックシートに貫通穴を設け、上記貫通穴の大きさを上記セラミックシート毎に異ならせることにより、上記貫通穴の側面に実装した上記立上げミラーの上記レーザ光の反射面が上記半導体レーザ素子の共振器長方向に対して略45度を成す。
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記立上げミラーのレーザ光の反射面が半導体レーザ素子の共振器長方向に対して略45度を成すから、半導体レーザ素子から出射されたレーザ光の光軸を略90度変換することができる。
一実施形態の半導体レーザ装置では、上記パッケージの側面には凹部が設けられている。
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、例えばキャップをパッケージに取り付ける場合、パッケージの側面に凹部を設けているから、その凹部にキャップの一部を嵌合させることにより、パッケージへのキャップの取り付けを簡単にすることができると共に、キャップとパッケージとの結合力を高めることができる。
一実施形態の半導体レーザ装置では、上記半導体レーザ素子の共振器長方向が上記パッケージの外縁に対して略45度を成している。
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体レーザ素子の共振器長方向がパッケージの外縁に対して略45度を成しているから、パッケージの外縁の長さを長くすること無く、半導体レーザ素子の共振器長を長くすることができる。
一実施形態の半導体レーザ装置では、上記セラミックシートの材料は窒化アルミニウムである。
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記セラミックシートの材料として窒化アルミニウムを用いるので、パッケージの放熱性を高めることができる。
第2の発明の光ピックアップ装置は、上記第1の発明の半導体レーザ装置を備えたことを特徴としている。
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体レーザ装置を備えるので、設計の自由度を大きくすることができると共に、高温動作特性を向上させることができる。
本発明の半導体レーザ装置によれば、パッケージを構成する複数のセラミックシートが互いに異なる導電性パターンを有することによって、複数の導電性パターンからなる3次元的な配線パターンをパッケージ内に設けることができるから、パッケージに設ける電極の配置の制約を無くすことができ、半導体レーザ素子を電極に電気的に接続する金属細線のワイヤレイアウトの制約を無くすことができる。
また、上記パッケージに例えば受光素子を搭載する場合、半導体レーザ素子を受光素子上に位置させないことにより、半導体レーザ素子への受光素子の発熱の悪影響を低減できる。したがって、上記半導体レーザ素子の高温動作特性を向上させることができる。
以下、本発明の半導体レーザ装置およびそれを備えた光ピックアップ装置を図示の実施の形態により詳細に説明する。
図1に、本発明の一実施の形態の半導体レーザ装置であるホログラムユニットの概略斜視図を示す。なお、図1では、上記ホログラムレーザユニットの内部の構造が分かるようにするため、キャップ11は透明としている。
上記ホログラムレーザユニットは、半導体レーザ素子7と、この半導体レーザ素子7が出射したレーザ光を光ディスクへ向けて反射する立上げミラー13と、その光ディスクによる反射光を回折するホログラム素子12と、このホログラム素子12で回折された上記反射光を受光する信号受光素子9と、半導体レーザ素子7、立上げミラー13および信号受光素子9を上面17に搭載する積層セラミックパッケージ5とを備えている。なお、上記光ディスクが被照射物の一例であり、積層セラミックパッケージ5がパッケージの一例であり、信号受光素子9が受光素子の一例である。
上記積層セラミックパッケージ5の上面17の中央部には凹部14が設けられている。また、上記積層セラミックパッケージ5の側面には凹部18および外部端子10が設けられている。
上記凹部14の開口は長方形状になっていて、凹部14の開口の長手方向が、積層セラミックパッケージ5の凹部18側の縁に対して略垂直であり、かつ、積層セラミックパッケージ5の外部端子10側の縁に対して略平行になっている。そして、上記凹部14内には、半導体レーザ素子7および立上げミラー13が配置されている。
より詳しくは、上記凹部14の底面には、半導体レーザ素子7を搭載したモニタサブマウント6がダイボンドされている。上記半導体レーザ素子7の共振器長方向は、積層セラミックパッケージ5の凹部14側の縁に対して略垂直であり、かつ、積層セラミックパッケージ5の外部端子10側の縁に対して略平行になっている。また、上記凹部14に関して半導体レーザ素子7のレーザ光出射端面に対向する側面は、階段形状になっていて立上げミラー13が実装されている。
上記モニタサブマウント6、半導体レーザ素子7および信号受光素子9は、それぞれ、積層セラミックパッケージ5の上面17に設けられた複数の電極15のうちの少なくとも1つに金属細線8で電気的に接続されている。また、上記モニタサブマウント6、半導体レーザ素子7および信号受光素子9はキャップ11で覆われて保護されている。なお、上記電極15は導電性パターンの一例である。
上記キャップ11の下部に設けられた凸部19は、積層セラミックパッケージ5の側面に設けられた凹部18に嵌め込まれる。これにより、上記キャップ11が位置決め・固定される。また、上記キャップ11の上部には開口部21が設けられており、この開口部21上にホログラム素子12が配置されている。このホログラム素子12はキャップ11の上面で光学的な位置を調整した上で、キャップ11の上面にUV樹脂等により固定される。
上記立上げミラー13は、半導体レーザ素子7のレーザ光出射端面から出射されたレーザ光を反射面20で反射する。この反射面20は半導体レーザ素子7の共振器長方向に対して略45度を成している。これにより、上記反射面20で反射されたレーザ光は、積層セラミックパッケージ5の上面17に対して略垂直方向に向かって進む。つまり、上記立上げミラー13は半導体レーザ素子7のレーザ光出射端面から出射されたレーザ光の光軸を略90度変換する。
上記電極15のそれぞれは、積層セラミックパッケージ5内部に3次元的に形成された導電性パターン4によって外部端子10に電気的に接続されている(図2B参照)。
上記ホログラム素子12の上面(ホログラム素子12の半導体レーザ素子7とは反対側の表面)には回折格子22が設けられている。また、上記ホログラム素子12の下面(半導体レーザ素子7側の表面)には、回折格子22とは形状が異なる回折格子23が設けられている。
以下、図2A〜図2Cを用いてホログラムレーザユニットの製造方法について説明する。
次に、図2Aに示すように、厚さの薄い一枚のセラミックシート3Aに、ビア穴0A,1Aと、貫通穴の一例としての抜き穴2Aとを設ける。ここで、ビア穴とは、貫通穴であるが、内面にも導電性パターンを形成して、上または下のセラミックシートのビア穴と電気的に接続するための穴を意味する。
次に、図2Bに示すように、厚さの薄い一枚のセラミックシート3Bに、ビア穴0B,1Bと、貫通穴の一例としての抜き穴2Bとを設け、導電ペースト(例えばAgペースト)を用いて導電性パターン4をセラミックシート3Bの上面にパターン印刷する。この抜き穴2Bは抜き穴2Aより大きくなるように設けられている。また、上記導電性パターン4は、ビア穴0Bの内面の導電性パターンとビア穴1Bの内面の導電性パターンに電的的に接続されている。
次に、図2Cに示すように、厚さの薄い一枚のセラミックシート3Cに、ビア穴0C,1Cと、電極15と、抜き穴2Aより大きな抜き穴2Cとを設ける。なお、上記抜き穴2Cは貫通穴の一例である。
次に、抜き穴が設けられていないセラミックシートとセラミックシート3A〜3Cとを積層して焼成することにより、3次元的な回路パターンが設けられた積層セラミックパッケージ5を複数含む板部材が得られる。
次に、上記モニタサブマウント6、半導体レーザ素子7および信号受光素子9を積層セラミックパッケージ5の所定の位置に搭載する。
次に、上記モニタサブマウント6、半導体レーザ素子7および信号受光素子9を金属細線8によって電極15に電気的に接続した後、図2Cの点線(ビア穴0Cの中心を横切っている点線)に沿ってカットして、積層セラミックパッケージ5の側面に凹部18及び外部端子10(ビア穴0A,0B,0Cを半分にしたもの)を形成すると、モニタサブマウント6、半導体レーザ素子7および信号受光素子9を搭載した複数の積層セラミックパッケージ5が得られる。また、上記電極15は、導電性パターン4(図2B参照)等を介して外部端子10に電気的に接続される。
最後に、上記積層セラミックパッケージ5にキャップ11を組み付けた後、キャップ11の上面にUV樹脂等でホログラム素子12を固定すると、図1に示すホログラムレーザユニットが完成する。
上記実施の形態では、凹部14の開口の長手方向を積層セラミックパッケージ5の凹部18側の縁に対して略垂直にしていたが、図3に示すように、凹部14の開口の長手方向を積層セラミックパッケージ5の凹部18側の縁に対して略45度にしてもよい。こうすると、上記積層セラミックパッケージ5の外部端子10側の縁の長さを長くすること無く、凹部14の長手方向の長さを長くして、共振器長が長い半導体レーザ素子7を凹部14内に配置できる。
また、図4に示すように、積層セラミックパッケージ5の上面17に半導体レーザ素子駆動用IC(集積回路)16を搭載してもよい。これにより、上記ホログラムレーザユニットの集積化を図ることができ、光ピックアップ装置の小型化、薄型化が可能となる。
また、図示しないが、高周波重畳が必要なシングル発振モードの半導体レーザ素子を積層セラミックパッケージ5の上面17に搭載する場合には、高周波重畳ICを積層セラミックパッケージ5の上面17に搭載してもよい。
また、上記積層セラミックパッケージ5の材料として、シリコンよりも熱伝導率のよいAlN(窒化アルミニウム)を用いてもよい。つまり、AlNからなる複数のセラミックシートで積層セラミックパッケージ5を構成してもよい。こうすると、上記半導体レーザ素子7および信号受光素子9をシリコン製パッケージに搭載する場合に比べて、ホログラムレーザユニットの放熱性を高めることができる。
また、上述したようなホログラムレーザユニットは光ピックアップ装置に搭載してもよい。
図6に、本発明の他の実施の形態の半導体レーザ装置200を備えた光ピックアップ装置230の概略構成図を示す。
上記光ピックアップ装置230は、半導体レーザ装置200の他に、光ピックアップ装置用筐体231、コリメートレンズ234、立上げミラー235および対物レンズ236を備えている。
上記半導体レーザ装置200は、積層セラミックパッケージ205の両側面にはビア穴0Cを半分に切断することによって形成された外部端子10が電極218として露出している。図6において、図1に示した半導体レーザ装置の構成部と同一構成部は、図1における構成部と同一参照番号を付して説明を省略する。
上記コリメートレンズ234は、入射光を平行光に変換する。つまり、上記半導体レーザ装置200の半導体レーザ素子7(図1参照)から出射されたレーザ光220aは、コリメートレンズ234によって平行光に変換される。
上記立上げミラー235は、コリメートレンズ234を通過したレーザ光220aの光路を90度屈曲させる。これにより、上記レーザ光220aは対物レンズ236へ導かれる。
上記対物レンズ236は、立上げミラー235によって屈曲されたレーザ光220aを光記録媒体237の立上げミラー235側の表面に集光させる。
上記光ピックアップ装置用筐体(以下、単に「筐体」と言う。)231は、金属の鋳物(ダイキャスト)で作成される。上記コリメートレンズ234および立上げミラー235は、筺体231の取付孔(図示せず)の中心と半導体レーザ装置200の光軸とが精度良く一致するように、調整した後、筺体231に固定される。
上記光ピックアップ装置230の組立ては、半導体レーザ装置200を筺体231の取付部(図示せず)に挿入する。このとき、上記積層セラミックパッケージ5のホログラム素子12側の表面を、筺体231の取付部に形成される面に当接させることによって、レーザ光220aの出射方向に平行な半導体レーザ装置200の光軸の調整を行う。
上記半導体レーザ装置200から出射されたレーザ光220aは、図6に示すように、コリメートレンズ234によって平行光に変換され、立上げミラー235によって90度屈曲され、対物レンズ236によって光記録媒体237の立上げミラー235側の表面に集光する。上記光ピックアップ装置230では、コリメートレンズ234を透過したすべてのレーザ光220aを反射させるために、レーザ光220aが入射する入射面の面積が十分大きい立上げミラー235を用いる。具体的には、上記コリメートレンズ234の有効径は5mm程度であるので、一辺が7mm以上の長さ寸法を有する立上げミラー235が必要となる。
上記光記録媒体237によって反射されたレーザ光には、光記録媒体237に記録された情報を含む信号光220bとなる。上記信号光220bは、対物レンズ236、立上げミラー235およびコリメートレンズ234の順に、半導体レーザ装置200から光記録媒体237に向かうときと同一の経路を辿り、半導体レーザ装置200に戻る。上記半導体レーザ装置200に戻ってきた信号光220bは、ホログラム素子12に形成されたホログラムパターン(図示せず)によって回折され、受光素子9(図1参照)で受光される。上記受光素子9から得られる信号に基づいて、光記録媒体237に記録される情報や、フォーカス誤差信号およびトッラキング誤差信号などの制御信号を取得することができる。
なお、上記ホログラムパターンは、上述の光記録媒体237に記録される情報や、フォーカス誤差信号およびトッラキング誤差信号などの制御信号を生成するために、複数の領域に分割されている。
また、上記ホログラムパターンは複数設けてもよく、各ホログラムパターンが互いに異なる波長を回折するものであってもよい。この場合、予め波長毎に光を分離させておけばよい。
また、図6の光ピックアップ装置230では、ホログラム素子12を積層セラミックパッケージ5に一体化した構成について説明したが、必ずしもホログラム素子12を積層セラミックパッケージ5に一体化する必要は無く、キャップも無くても良いことは言うまでもない。
0A,0B,0C ビア穴
1A,1B,1C ビア穴
2A,2B,2C 抜き穴
3A,3B,3C セラミックシート
4 導電性パターン
5 積層セラミックパッケージ
6 モニタサブマウント
7 半導体レーザ素子
8 金属細線
9 信号受光素子
10 外部端子
11 キャップ
12 ホログラム素子
13 立上げミラー
14,18 凹部
15 電極
16 半導体レーザ素子駆動用IC
17 上面
19 凸部
1A,1B,1C ビア穴
2A,2B,2C 抜き穴
3A,3B,3C セラミックシート
4 導電性パターン
5 積層セラミックパッケージ
6 モニタサブマウント
7 半導体レーザ素子
8 金属細線
9 信号受光素子
10 外部端子
11 キャップ
12 ホログラム素子
13 立上げミラー
14,18 凹部
15 電極
16 半導体レーザ素子駆動用IC
17 上面
19 凸部
Claims (7)
- 半導体レーザ素子と、
上記半導体レーザ素子が出射したレーザ光を被照射物へ向けて反射する立上げミラーと、
上記半導体レーザ素子および立上げミラーを搭載するパッケージと
を備え、
上記パッケージは、互いに異なる導電性パターンを有する複数のセラミックシートを積層して構成されていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記セラミックシートには貫通穴が設けられ、
上記貫通穴内には上記半導体レーザ素子および上記立上げミラーが配置されていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記複数のセラミックシートに貫通穴を設け、上記貫通穴の大きさを上記セラミックシート毎に異ならせることにより、上記貫通穴の側面に実装した上記立上げミラーの上記レーザ光の反射面が上記半導体レーザ素子の共振器長方向に対して略45度を成すことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記パッケージの側面には凹部が設けられていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子の共振器長方向が上記パッケージの外縁に対して略45度を成していることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記セラミックシートの材料は窒化アルミニウムであることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置を備えたことを特徴とする光ピックアップ装置。
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