JP2006324292A - 半導体装置の製造方法、そのボンディングテープおよびその製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法、そのボンディングテープおよびその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明による半導体装置の製造方法は、表裏面を貫通する少なくとも1つの穴12を有するボンディングテープ11と、半導体素子が形成された半導体ウェハ40とを準備し、半導体ウェハ40の所定の面とボンディングテープ11の第1面とを接触させた状態でボンディングテープ11に設けられた穴12から半導体ウェハ40とボンディングテープ11との間に存在する気体を排気する。
【選択図】 図4
Description
11 ボンディングテープ
12 穴
22 凸部
30 ウェハ吸着ステージ
31 ヒータ
32 排気穴
40 半導体ウェハ
51 耐熱ボード
52 スポンジ
53 真空脱法チャンバ
54 オーブン
100 ダイシングブレード
Claims (12)
- 第1面および該第1面と反対側の第2面を貫通する少なくとも1つの穴を有するボンディングテープと、半導体素子が形成された半導体ウェハとを準備する第1工程と、
前記半導体ウェハの所定の面と前記ボンディングテープの前記第1面とを接触させた状態で前記ボンディングテープに設けられた前記穴から前記半導体ウェハと前記ボンディングテープとの間に存在する気体を排気する第2工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ボンディングテープは熱可塑性を有し、
前記第2工程は、前記半導体ウェハと前記ボンディングテープとの間に存在する気体を前記穴から排気すると共に、前記ボンディングテープを加熱して軟化させることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2工程は、前記半導体ウェハと前記ボンディングテープとを通気性および柔軟性を有する物体で被包した状態で前記半導体ウェハと前記ボンディングテープとの間に存在する気体を前記穴から排気することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ボンディングテープは熱可塑性を有し、
前記第2工程により前記半導体ウェハに密着された前記ボンディングテープを加熱することで軟化させる第3工程を有することを特徴とする請求項1または3記載の半導体装置の製造方法。 - 半導体ウェハに接着されるボンディングテープであって、
前記半導体ウェハに接着される第1面および該第1面と反対側の第2面を貫通する少なくとも1つの穴を有することを特徴とするボンディングテープ。 - 前記穴は直径が0.5mm以上で且つ1.0mm以下であることを特徴とする請求項5記載のボンディングテープ。
- 単位面積あたりに形成された前記穴の総面積は、前記単位面積の25%より小さいことを特徴とする請求項5または6記載のボンディングテープ。
- 熱可塑性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載のボンディングテープ。
- ポリイミドまたはポリテトラフルオロエチレンで形成されたベースフィルムと、前記ベースフィルムの表裏面に形成された熱可塑性の膜とよりなることを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載のボンディングテープ。
- 前記熱可塑性の膜は、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニルのうちいずれかを含んで形成されていることを特徴とする請求項9記載のボンディングテープ。
- 表面または裏面にライン状の凸部を有することを特徴とする請求項5記載のボンディングテープ。
- ボンディングテープを準備する工程と、
複数の針が配列された金型を用いて前記ボンディングテープに複数の穴を形成する工程と
を有することを特徴とする穴開きボンディングテープの製造方法。
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