JP2006322811A - 磁気エンコーダ及び被検出部材 - Google Patents

磁気エンコーダ及び被検出部材 Download PDF

Info

Publication number
JP2006322811A
JP2006322811A JP2005146218A JP2005146218A JP2006322811A JP 2006322811 A JP2006322811 A JP 2006322811A JP 2005146218 A JP2005146218 A JP 2005146218A JP 2005146218 A JP2005146218 A JP 2005146218A JP 2006322811 A JP2006322811 A JP 2006322811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
region
detection
detected
poles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005146218A
Other languages
English (en)
Inventor
Masawaka Tomioka
正稚 冨岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Uchiyama Manufacturing Corp
Original Assignee
Uchiyama Manufacturing Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Uchiyama Manufacturing Corp filed Critical Uchiyama Manufacturing Corp
Priority to JP2005146218A priority Critical patent/JP2006322811A/ja
Priority to PCT/JP2006/309971 priority patent/WO2006123758A1/ja
Publication of JP2006322811A publication Critical patent/JP2006322811A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457Incremental encoders having reference marks

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

【課題】狭いスペース内でも、移動検出及び原点検出の両機能を発現し得ると共に、コストの高騰を来たさない新規な磁気エンコーダ及びこれに用いる被検出部材を提供する。
【解決手段】可動側部材2及び固定側部材1のいずれか一方に直線移動方向に沿って設けられた被検出部材5と、他方に設けられた検出手段6とよりなり、上記被検出部材5が、複数のN極及びS極が上記移動方向に沿って交互に繰り返し着磁された第1領域5aと、該第1領域5aと平行で長手方向の一部に欠如部分5cを有する第2領域5bとを備え、前記検出手段6が、上記第1領域5aに対向配置され、前記可動側部材2の直線移動に伴うN極及びS極の磁気変化による移動パルス信号を検出する第1検出部材7と、上記第2領域5bに対向配置され、該直線移動に伴う上記欠如部分5c及び非欠如部分の磁気変化による原点信号を検出する第2検出部材8とよりなることを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、自動車のパワーウインドウ、パワーシート、ブレーキ踏込み部分、事務機器、更には各種産業機械等において、直線的往復移動をする部分の相対的移動状態を磁気的に検出する磁気エンコーダ及びこれに用いられる被検出部材に関する。
上記のような直線的往復移動をする部分には、固定側部材及び可動側部材の相対的移動状態を磁気的に検出する為の磁気エンコーダが装備されることがある。そして、これらの相対的移動状態の検出としては、移動速度、移動距離、移動方向等の検出に加え、これらの検出値をより確度の高いものとする為、同時に原点検出も行われるようになされている場合がある。移動速度、移動距離、移動方向等の検出は、移動方向に沿ってS極、N極を交互に着磁形成した被検出部材(検出スケール)を固定側部材及び可動側部材の一方に固着し、被検出部材の直線移動に伴うS極、N極の磁気変化による移動パルスを、他方の部材に固定された磁気センサによって検出するよう構成された磁気エンコーダによってなされる。また、原点検出は、移動方向に沿った被検出部材の1箇所に、他の部位とは磁気特性が異なる部位を設け、可動側部材の移動時に発せられる信号を原点信号として検出するよう構成された磁気エンコーダによってなされる。
特許文献1及び特許文献2には、直線移動部を有する機構において上記のような原点検出機能をも備えた磁気エンコーダが開示されている。特許文献1の磁気エンコーダは、2つの相対移動部材の一方に、被検知部として、移動方向に沿ってN極、S極が交互に繰り返す移動検出用の多極着磁部と、移動方向に沿った1箇所に原点検出用の着磁部とを形成し、他方にこれら着磁部に対向するよう磁気センサを設けたものであり、被検知部として、磁性剤の塗布、めっき若しくはスパッタリング、更には磁性部材を接着剤により貼着したもの、等の磁性皮膜からなる例が開示されている。また、特許文献2の磁気エンコーダは、スプライン軸受の移動状態を検出するものであり、スプライン軸に上記と同様の多極着磁部及び原点検出用の着磁部を形成し、移動側部材(外筒)に各着磁部に対応する磁気センサが設けられており、被検知部としてのスケールは、強磁性体(Fe−Cr−Coなど)から構成されることが開示されている。
特開平7−83228号公報 特開平10−61665号公報
上記特許文献1、2に開示された磁気エンコーダにおける被検出部は、磁性皮膜やFe−Cr−Coなどの合金からなるが、前者の場合は皮膜形成の為の高精度な技術を必要とし、また、後者の場合は剛体であるから、所望形状に加工するための煩雑な工程を必要とする。また、両者とも、原点検出用の被検出部も着磁する必要がある為、着磁工程が煩雑となり、製造コストの高騰を来たすことにもなる。
本発明は、上記実情に鑑みなされたものであり、狭いスペース内でも、移動検出及び原点検出の両機能を発現し得ると共に、コストの高騰を来たさない新規な磁気エンコーダ及びこれに用いる被検出部材を提供することを目的としている。
請求項1の発明に係る磁気エンコーダは、固定側部材と、該固定側部材に対して直線往復移動をする可動側部材との2部材間における相対移動状態を検出する磁気エンコーダであって、上記可動側部材及び固定側部材のいずれか一方に上記直線移動方向に沿って設けられた被検出部材と、他方に設けられた検出手段とよりなり、上記被検出部材が、複数のN極及びS極が上記移動方向に沿って交互に繰り返し着磁された第1領域と、該第1領域と平行で長手方向の一部に欠如部分を有する第2領域とを備え、前記検出手段が、上記第1領域に対向配置され、前記可動側部材の直線移動に伴うN極及びS極の磁気変化による移動パルス信号を検出する第1検出部材と、上記第2領域に対向配置され、該直線移動に伴う上記欠如部分及び非欠如部分の磁気変化による原点信号を検出する第2検出部材とよりなることを特徴とする。
本発明においては、請求項2の発明のように、前記第1検出部材が、磁気センサからなり、可動側部材の直線移動に伴う前記第1領域のN極及びS極の交互の磁気変化を、当該磁気センサをして移動パルス信号として検出するものであり、一方、前記第2検出部材が、磁気センサと永久磁石とよりなり、可動部材の直線運動に伴う前記第2領域の欠如部分及び非欠如部分に基づく上記永久磁石が発する磁界の変化を、当該磁気センサをして原点信号として、検出するものであることとすることができる。また、請求項3の発明のように、前記第1検出部材が、第1領域における前記移動方向に沿って、前記パルス信号の位相が互いにずれた位置になるよう配置された2個の磁気センサからなるものとすることもできる。
更に、請求項5の発明に係る被検出部材は、固定側部材と、該固定側部材に対して直線往復移動をする可動側部材との2部材間における相対的移動状態を検出する磁気エンコーダを構成すべく上記2部材の内の一方に固着される被検出部材であって、複数のN極及びS極が移動方向に沿って交互に繰り返し着磁された第1領域と、該第1領域と平行で移動方向の一部に欠如部分を有する第2領域とを備え、上記一方の部材に固着された状態では、該第1領域が、他方の部材に固定された前記検出手段を構成するパルス信号検出用の第1検出部材に対向するよう配置され、上記第2領域が、前記検出手段を構成する原点信号検出用の第2検出部材に対向するよう配置されるものであることを特徴とする。
そして、上記発明においては、請求項4或いは請求項6の発明のように、前記被検出部材が、帯状芯金と、該芯金に貼着一体とされた磁性ゴムまたは磁性プラスチックの成型体とよりなるものとすることが望ましいが、磁性ゴムまたは磁性プラスチックの成型体のみで被検出部材とすることも可能である。
請求項1の発明に係る磁気エンコーダによれば、複数のN極及びS極が可動側部材の直線的移動方向に沿って交互に繰り返し着磁された第1領域の磁気変化が検出手段により検出され、移動パルス信号が出力されることにより、可動側部材の移動速度及び移動位置が検出される。また、第1領域と平行で移動方向の一部に欠如部分を有する第2領域の磁気変化が検出手段により検出され、原点パルス信号として出力される結果、この原点検出情報により移動速度及び移動位置検出情報をより確度の高いものとすることができる。そして、請求項1或いは請求項5の発明に係る磁気エンコーダ或いは被検出部材によれば、上記被検出部材が、複数のN極及びS極が周方向に沿って交互に繰り返し着磁された第1領域と、該第1領域と同心的で周方向の一部に欠如部分を有する第2領域とを備えたものであるから、少なくとも第1領域のみを着磁すればよく、着磁に要する工数を増やすことなく、原点検出機能を備えた磁気エンコーダを構成することができる。
また、請求項2の発明のように、第1検出部材を、移動パルス信号を検出する磁気センサで構成し、第2検出部材を、磁気センサと永久磁石とより構成し、当該磁気センサが第2領域の欠如部分及び非欠如部分に基づく上記永久磁石が発する磁界の変化を原点信号として検出するものとすれば、磁気センサと永久磁石とのセンサ組立体が1個で済み、コストの高騰を来たすことなく、また狭いスペース内でもこれらを組み付けることができる。更に、請求項3の発明のように、前記第1検出部材が、第1領域における前記移動方向に沿って、前記移動パルス信号の位相が互いにずれた位置になるよう配置された2個の磁気センサからなるものとすれば、この位相差に基づくパルス信号の時間的ずれによってその移動方向をも検出判定することができる。
加えて、前記被検出部材を、請求項4或いは請求項6の発明のように、帯状芯金と、該芯金に貼着一体とされた磁性ゴムまたは磁性プラスチックの成型体とよりなるものとすれば、金属板とゴム材或いはプラスチック材との一体化が容易である上に、磁性ゴム或いは磁性プラスチックはゴム材或いはプラスチック材に磁性粉末を混練するだけで得られるから、被検出部材を簡易且つ低コストで調製することができ、また複雑な形状にすることも可能である。
以下に本発明の最良の実施の形態について、図面に基づいて説明する。図1は本発明の磁気エンコーダが組み込まれた直線往復移動構造体を示す要部の斜視図、図2は図1におけるX−X線縦断面図、図3は図1の平面図、図4は図3におけるY−Y線縦断面図、図5は同磁気エンコーダにおける検出手段による波形図であり、(a)は同第1検出部材の一方による波形図、(b)は同他方による波形図、(c)は第2検出部材による波形図である。図6は第2実施例の図4と同様図である。
図1乃至図4は、直状のガイド体(固定側部材)1に対して、スライド体(可動側部材)2がガイド体1の長手方向に沿ってスライド可能に組付けられた直線往復移動構造体Aを示す。スライド体2はガイド体1に対し、ガイド体1を包持するように係合し、ガイド体1の両側部にはその長手方向に沿って断面半円形のガイド溝1a、1aが形成されている。スライド体2の内面には、複数の転動ボール2a…が保持されており、該転動ボール2a…がガイド溝1a、1a内を転動するようにして、スライド体2がガイド体1に対して円滑に往復移動し得るよう構成されている。このような直線往復移動構造体Aが適用される装置においては、ガイド体1が装置の機体に固設され、スライド体2が装置において所望の直線往復移動をする可動部分に固定される。
上記直線往復移動構造体Aは、図例のものに限定されず、例えば、ガイド体1が円柱状その他の形状のものであってもよく、また、スプライン軸受やボールねじ等と同様な構造のものであっても良い。更に、ガイド体1が可動側部材、スライド体2が固定側部材であっても良いことも言うまでもない。
ガイド体1の上面には、帯状芯金3と、該芯金3の上面に貼着一体とされた磁性ゴムシート(成型体)4とよりなる被検出部材5が、長手方向に沿って半埋設状態で固着されている。磁性ゴムシート4は、ゴム材にフェライト等の磁性粉末を混練してなるもので、ガイド体1の長手方向に沿って平行な第1領域5aと、第2領域5bとを備えている。スライド体2には、後記する検出手段6を構成する第1検出部材7及び第2検出部材8が内蔵され、これら第1検出部材7及び第2検出部材8の検出面が、上記両領域5a、5b上に夫々対面するよう配置されている。
上記第1領域5aは、着磁領域とされ、その長手方向全体に亘って多数のN極、S極が交互且つ等間隔で着磁形成されている。一方、第2領域5bは、非着磁領域とされ、その磁性ゴムシート4の表面における長手方向1箇所に凹部(欠如部分)5cが形成されている。上記芯金3は、SPCC等の冷間圧延鋼板を板金加工して、図例のような帯状に形成したものである。また、磁性ゴムシート4は、NBR、H−NBR、ACM、AEM、FKM等から選ばれたいずれかのゴム材にフェライト系、希土類系等の磁性粉末を事前に混練し、上記芯金3に接着剤を介し或いは加硫成型により貼着一体とされる。上記凹部5cは、ゴム材の成型時に同時に形成され、図4の拡大部分でも理解される通り、ゴム材自体が凹まされたような形状とされる。磁性ゴムシート4は、図例のように芯金3と貼着一体に成型されたものの他、単独で成型されたものも採用可能である。
次に、第1領域5a及び第2領域5bと第1検出部材7及び第2検出部材8との配置関係について説明する。第1検出部材7は、2個の磁気センサ7a、7bからなり、両磁気センサ7a、7bは、上記第1領域5aにおけるN極、S極の着磁パターン面に対し、N極及びS極を1サイクルとした場合に90度に相当する位相分ずれた状態で対向配置されている。また、第2検出部材8は、第2領域5bに対向するよう配置された磁気センサ8aと、その背後に一体とされた永久磁石8bとが組合わさってなり、この永久磁石8bのN極、S極の配列方向は第2領域5bの被検出面に垂直な方向とされる。尚、上記位相のずれは90度に限らず、移動方向の検出が可能な他の位相差で以って両磁気センサ7a、7bを配置し得ることは言うまでもない。
上記第1検出部材7を構成する磁気センサ7a、7bとしては、ホール効果(磁気による抵抗変化)により出力するホールセンサや、MR素子(半導体)がN極、S極を感じると方形波を出力することを利用したMRセンサが採用される。また、第2検出部材8を構成する磁気センサ8aは、鉄心に導線を巻きつけて、永久磁石8bが発する磁界の被検出部(被検出部材5)の凹凸による変化で出力値が変化する現象を利用したものである。この凹凸による変化に代え、被検出部のN極、S極による変化で出力値が変化する現象を利用するものとすることができ、この場合は、このセンサ組立体を第1検出部材7に適用させることも可能である。更に、上記ホールセンサと永久磁石とを組合わせて、第2検出部材8とすることも可能である。
上記のように構成された磁気エンコーダにおいて、スライド体2がガイド体1の長手方向に沿ってスライド移動すると、第1検出部材7を構成する2個の磁気センサ7a、7bは、第1領域5aにおけるN極、S極による規則的な磁気変化を検出し、図5(a)(b)の波形図に示すような移動パルス信号を出力する。従って、このいずれかの単位時間当たりのパルス数を計測することにより、移動速度及び移動距離を算出することができる。また、磁気センサ7a、7bは、上記のように互いに90度の位相差を以って配置されているから、その出力パルスは、スライド体2が1方向に移動すると90度のずれを生じ、反方向に移動すると270度のずれを生じることになる。従って、両磁気センサ7a、7bの出力パルスのずれ角度を検出することにより移動方向の判定も行うことができる。
第2検出部材8は、上記のように磁気センサ8aと永久磁石8bとが組合わさったものであるので、永久磁石8bが発する磁界は、これに近接する第2領域5bの影響を受ける。第2領域5bの磁性ゴムシート4及びその背後の芯金3は磁性体であり、しかも、その長手方向1箇所に凹部(欠如部分)5cが形成されているから、スライド体2の移動に伴い、磁気センサ8aが対向する第2領域5bにおける凹部(欠如部分)5c及びそれ以外の部分(非欠如部分)において上記磁界が大きく変化する。磁気センサ8aはこの磁気変化を検出して、図5(c)の波形図に示すような原点パルス信号を出力する。この原点パルス信号は、スライド体2の1方向の移動毎に1回発現されるから、これ自体の発現回数を計数することにより、スライド体2の往復移動回数の算出も可能であるが、この原点パルス信号を基点として、上記磁気センサ7a、7bによる出力パルス信号を計数することにより、より確度の高い移動速度、更には移動距離の算出を行うことができる。
上記のような2種の領域5a、5b及び検出手段6の組合せにより、一方の領域5aのみにN極、S極の着磁をすればよく、着磁に要する手間が少なく、また大掛かりな着磁装置を不要とする。しかも、被検出部材5が、芯金4と磁性ゴムシート4との貼着一体物で構成されるから、加硫成型等により凹部5cの加工も含めて効率的にこれを製することができ、原点検出機能を備えた磁気エンコーダが簡易に構成され、製造コストの低廉化に大きく寄与する。また、凹部5cの形成は、加硫成型後にレーザー加工等により行うこともでき、このようなレーザー加工等によれば、所望箇所に所望形状の凹部5cを任意に形成することができ、しかも、複雑な形状の金型も不要とされる。
図6は、本発明の磁気エンコーダ及び被検出部材の第2実施例を示すものであり、上記第1実施例とは、欠如部分の形成態様が異なる。即ち、本実施例では、第2領域5bの長手方向1箇所において、芯金3及び磁性ゴムシート4が共に切欠かれ、この切欠部分5dが欠如部分とされている。第2領域5bをこのように構成すると、切欠部分5dとそれ以外の部分(非切欠部分)とでは、上記磁界による磁気変化が大きく、従って、スライド体2の往復直線移動に伴うこの磁気変化の検出がより的確になされ、原点パルス信号の出力精度が向上する。その他の構成・効果は上記と同様であるので、共通部分に同一の符号を付し、ここではその説明を割愛する。
尚、上記実施例では、第1領域5a及び第2領域5bが、磁性ゴムシート4に形成されている例について述べたが、磁性ゴムシート4に代え磁性プラスチックシート或いは磁性焼結体であっても良い。また、第2領域5bを非着磁領域としたが、第2領域5bの表面を凹部(欠如部分)5cを除く全面にS極又はN極の単極に着磁(裏面はその反対極)し、第2検出部材8を第1検出部材7と同様の磁気センサで構成することも可能である。このようにすれば、凹部(欠如部分)5cと凹部でない部分(非欠如部分)との磁気変化を磁気センサで検出することができ、第2領域5bの着磁も左程煩雑でなく、また、第2検出部材8を小さくすることができ、限られたスペースでの磁気エンコーダの組立ても支障なく行うことができる。更に、ガイド体1に被検出部材5を、スライド体2に検出手段6を設けた例について述べたが、これらを逆にすることも可能であり、加えて、被検出部材5及び検出手段6をガイド体1及びスライド体2に直接設けず、これらに連動する部材に設けることも可能である。
本発明の磁気エンコーダが組み込まれた直線往復移動構造体を示す要部の斜視図である。 図1におけるX−X線縦断面図である。 図1の平面図である。 図3におけるY−Y線縦断面図である。 同磁気エンコーダにおける検出手段による波形図であり、(a)は同第1検出部材の一方による波形図、(b)は同他方による波形図、(c)は第2検出部材による波形図である。 第2実施例の図4と同様図である。
符号の説明
1 ガイド体(固定側部材)
2 スライド体(可動側部材)
3 帯状芯金
4 磁性ゴムシート(成型体)
5 被検出部材
5a 第1領域
5b 第2領域
5c 凹部(欠如部分)
5d 切欠部分(欠如部分)
6 検出手段
7 第1検出部材
7a 磁気センサ
7b 磁気センサ
8 第2検出部材
8a 磁気センサ
8b 永久磁石

Claims (6)

  1. 固定側部材と、該固定側部材に対して直線往復移動をする可動側部材との2部材間における相対的移動状態を検出する磁気エンコーダであって、
    上記可動側部材及び固定側部材のいずれか一方に上記直線移動方向に沿って設けられた被検出部材と、他方に設けられた検出手段とよりなり、
    上記被検出部材が、複数のN極及びS極が上記移動方向に沿って交互に繰り返し着磁された第1領域と、該第1領域と平行で長手方向の一部に欠如部分を有する第2領域とを備え、前記検出手段が、上記第1領域に対向配置され、前記可動側部材の直線移動に伴うN極及びS極の磁気変化による移動パルス信号を検出する第1検出部材と、上記第2領域に対向配置され、該直線移動に伴う上記欠如部分及び非欠如部分の磁気変化による原点信号を検出する第2検出部材とよりなることを特徴とする磁気エンコーダ。
  2. 請求項1に記載の磁気エンコーダにおいて、
    前記第1検出部材が、磁気センサからなり、可動側部材の直線移動に伴う前記第1領域のN極及びS極の交互の磁気変化を、当該磁気センサをして移動パルス信号として検出するものであり、一方、前記第2検出部材が、磁気センサと永久磁石とよりなり、可動部材の直線運動に伴う前記第2領域の欠如部分及び非欠如部分に基づく上記永久磁石が発する磁界の変化を、当該磁気センサをして原点信号として、検出するものであることを特徴とする磁気エンコーダ。
  3. 請求項1又は2に記載の磁気エンコーダにおいて、
    前記第1検出部材が、第1領域における前記移動方向に沿って、前記パルス信号の位相が互いにずれた位置になるよう配置された2個の磁気センサからなることを特徴とする磁気エンコーダ。
  4. 請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気エンコーダにおいて、
    前記被検出部材が、帯状芯金と、該芯金に貼着一体とされた磁性ゴムまたは磁性プラスチックの成型体とよりなることを特徴とする磁気エンコーダ。
  5. 固定側部材と、該固定側部材に対して直線往復移動をする可動側部材との2部材間における相対的移動状態を検出する磁気エンコーダを構成すべく上記2部材の内の一方に固着される被検出部材であって、
    複数のN極及びS極が移動方向に沿って交互に繰り返し着磁された第1領域と、該第1領域と平行で移動方向の一部に欠如部分を有する第2領域とを備え、上記一方の部材に固着された状態では、該第1領域が、他方の部材に固定された前記検出手段を構成するパルス信号検出用の第1検出部材に対向するよう配置され、上記第2領域が、前記検出手段を構成する原点信号検出用の第2検出部材に対向するよう配置されるものであることを特徴とする被検出部材。
  6. 請求項5に記載の被検出部材において、
    帯状芯金と、該芯金に貼着一体とされた磁性ゴムまたは磁性プラスチックの成型体とよりなることを特徴とする被検出部材。
JP2005146218A 2005-05-19 2005-05-19 磁気エンコーダ及び被検出部材 Withdrawn JP2006322811A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005146218A JP2006322811A (ja) 2005-05-19 2005-05-19 磁気エンコーダ及び被検出部材
PCT/JP2006/309971 WO2006123758A1 (ja) 2005-05-19 2006-05-18 磁気エンコーダ及び被検出部材

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005146218A JP2006322811A (ja) 2005-05-19 2005-05-19 磁気エンコーダ及び被検出部材

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006322811A true JP2006322811A (ja) 2006-11-30

Family

ID=37431330

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005146218A Withdrawn JP2006322811A (ja) 2005-05-19 2005-05-19 磁気エンコーダ及び被検出部材

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2006322811A (ja)
WO (1) WO2006123758A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012518167A (ja) * 2009-02-16 2012-08-09 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー エンコーダスケール部材および取付方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7932684B2 (en) * 2008-03-25 2011-04-26 Bose Corporation Absolute position sensing
CN201429426Y (zh) 2009-04-24 2010-03-24 广东升威电子制品有限公司 塑封直条滑动编码器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5924970Y2 (ja) * 1979-07-10 1984-07-23 株式会社デンソー 回転位置検出装置
JPS5970978A (ja) * 1982-10-16 1984-04-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気センサおよび位相・変位量検出装置
JP2003307433A (ja) * 2002-04-15 2003-10-31 Honda Motor Co Ltd ロータ角度センサ一体型パルスジェネレータ
JP4314060B2 (ja) * 2003-05-01 2009-08-12 内山工業株式会社 軸受用シールの識別構造及び識別方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012518167A (ja) * 2009-02-16 2012-08-09 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー エンコーダスケール部材および取付方法
US8739425B2 (en) 2009-02-16 2014-06-03 Renishaw Plc Encoder scale member and method for mounting

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006123758A1 (ja) 2006-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100788581B1 (ko) 자기 검출 장치
JP5509049B2 (ja) 磁気エンコーダ、アクチュエータ
ATE398765T1 (de) Positionssensor
WO2004074853A3 (en) Position sensor utilizing a linear hall-effect sensor, having a magnet arrangement for an increased linearity
JP5079846B2 (ja) 位置検出装置
CN108351222B (zh) 位置检测装置
JP2005195481A (ja) 磁気式リニアポジションセンサ
JP2013238485A (ja) エンコーダ及びそれを用いたアクチュエータ
JP2019020402A (ja) 磁気位置検知システム、磁気位置検知システムの作製方法、および回転体の位置の推定方法
JP2006322811A (ja) 磁気エンコーダ及び被検出部材
JPH08233507A (ja) 測定目盛板
KR101376243B1 (ko) 자석 및 상기 자석을 사용한 자기 검출 장치
JP2011133477A (ja) 長さ測定装置
JP2005181307A (ja) 磁気多極エンコーダの製造方法
JP5374741B2 (ja) 多重冗長型リニアセンサ
JP5374739B2 (ja) リニアセンサ
CN117545987A (zh) 角度检测装置
JP7388687B2 (ja) 磁気エンコーダ
JP5409972B2 (ja) 位置検出装置
JP5675009B2 (ja) 位置検出装置
US7415776B2 (en) Magnetic scale
JP4775705B2 (ja) 磁気式アブソリュートエンコーダー
JP2005036906A (ja) ボールねじ装置
JPH04160315A (ja) リニア型位置センサ
JP2024094093A (ja) 磁気エンコーダの着磁方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080805