JP2006308323A - 3次元形状測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 92
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 8
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 8
- 101100444142 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) dut-1 gene Proteins 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 201000003373 familial cold autoinflammatory syndrome 3 Diseases 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】3次元形状の被測定物1に形状測定用光源2から格子像を投影し、形状測定用撮像器26により撮像した格子像から被測定物1の3次元形状の測定値を得る。また、形状測定用光源2からの投影と同時に、形状測定用光源2と異なる波長の輪郭測定用光源14により被測定物1を照射して、形状測定用光源2による格子像を撮像する形状測定用撮像器26と輪郭測定用光源14による照射像を撮像する輪郭測定用撮像器28とにより被測定物1を同時に撮像する。そして、形状測定用撮像器26により撮像した格子像から得られる被測定物1の3次元形状と、輪郭測定用撮像器28により得られる被測定物1の2次元輪郭とに基づいて、被測定物1の3次元輪郭の測定値を得る。
【選択図】 図1
Description
3次元形状の被測定物に形状測定用光源から格子像を投影し、形状測定用撮像器により撮像した格子像から前記被測定物の3次元形状の測定値を得る3次元形状測定方法において、
前記形状測定用光源からの投影と同時に、前記形状測定用光源と異なる波長の輪郭測定用光源により前記被測定物を照射して、前記形状測定用光源による前記格子像を撮像する形状測定用撮像器と前記輪郭測定用光源による照射像を撮像する輪郭測定用撮像器とにより前記被測定物を同時に撮像し、前記形状測定用撮像器により撮像した前記格子像から得られる前記被測定物の3次元形状と、前記輪郭測定用撮像器により得られる前記被測定物の輪郭とに基づいて、前記被測定物の輪郭の3次元測定値を得ることを特徴とする3次元形状測定方法がそれである。
図1に示すように、1は参照平面P上に置かれた被測定物で、本実施形態では、図2に示すように、被測定物1は直方形状の台1a上に、円錐台1bが形成されたもので、台1aには、傾斜部1cが形成されている。2は形状測定用光源であり、形状測定用光源2は、白色光源4と反射鏡6と投影レンズ8とを備えると共に、白色光源4と投影レンズ8との間に形状測定用透過フィルタ10と格子縞板12とを備えている。
まず、被測定物1の3次元形状の測定に先だって、形状測定用撮像器26と輪郭測定用撮像器28との校正を図示しない基準ターゲットに基づいて行うか否かを判断する(ステップ100)。既に校正が終了している場合には、校正を行うことなく、次の処理に進む。校正が終了していない場合には、校正の処理を行う(ステップ110)。
4,16…白色光源 6,18…反射鏡
8,20…投影レンズ 10…形状測定用透過フィルタ
12…格子縞板 14…輪郭測定用光源
22…輪郭測定用透過フィルタ
24…カメラ 26…形状測定用撮像器
28…輪郭測定用撮像器
30…結像レンズ 32…波長分離プリズム
33…光軸 34,36…CCD素子
38…同期回路 40…制御回路
Claims (3)
- 3次元形状の被測定物に形状測定用光源から格子像を投影し、形状測定用撮像器により撮像した格子像から前記被測定物の3次元形状の測定値を得る3次元形状測定方法において、
前記形状測定用光源からの投影と同時に、前記形状測定用光源と異なる波長の輪郭測定用光源により前記被測定物を照射して、前記形状測定用光源による前記格子像を撮像する前記形状測定用撮像器と前記輪郭測定用光源による照射像を撮像する輪郭測定用撮像器とにより前記被測定物を同時に撮像し、前記形状測定用撮像器により撮像した前記格子像から得られる前記被測定物の3次元形状と、前記輪郭測定用撮像器により得られる前記被測定物の2次元輪郭とに基づいて、前記被測定物の3次元輪郭の測定値を得ることを特徴とする3次元形状測定方法。 - 前記形状測定用撮像器と前記輪郭測定用撮像器とは、共通の光軸を有し、波長分離プリズムによりそれぞれの波長に分離することを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定方法。
- 前記形状測定用光源と前記輪郭測定用光源とは、それぞれ白色光源から異なる波長の透過フィルタを通して照射することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の3次元形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005128271A JP5122729B2 (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 3次元形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005128271A JP5122729B2 (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 3次元形状測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006308323A true JP2006308323A (ja) | 2006-11-09 |
JP5122729B2 JP5122729B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=37475393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005128271A Active JP5122729B2 (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 3次元形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5122729B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6478725B2 (ja) | 2015-03-09 | 2019-03-06 | キヤノン株式会社 | 計測装置及びロボット |
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2005
- 2005-04-26 JP JP2005128271A patent/JP5122729B2/ja active Active
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JP7236680B2 (ja) | 2018-02-09 | 2023-03-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 投影システム |
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---|---|
JP5122729B2 (ja) | 2013-01-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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