JP2006308187A - 気化冷却装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 反応釜1のジャケット部2の内部に冷却流体管路6を設ける。冷却流体管路6には超音波振動子18、及び、図示しない複数の冷却流体噴射口を設けると共に、冷却流体供給管5の一端を接続する。冷却流体供給管5の他端は、組み合わせ真空ポンプ4の循環路15の一部と接続する。
反応釜1を冷却する場合は、冷却流体供給管5と冷却流体管路6からジャケット部2内へ冷却流体を噴射することによって、反応釜1の全体に冷却流体が供給され、反応釜1をムラなく気化冷却することができ。
【選択図】 図1
Description
2 ジャケット部
3 蒸気エゼクタ
4 組み合わせ真空ポンプ
5 冷却流体供給管
6 冷却流体管路
8 蒸気供給管
9 排出管
10 エゼクタ
12 気液分離器
13 タンク
14 循環ポンプ
15 循環路
18 超音波振動子
Claims (1)
- 被冷却物を冷却する気化冷却室を形成して、当該気化冷却室に冷却流体を供給すると共に、気化冷却室を吸引手段と接続して被冷却物を気化冷却するものにおいて、気化冷却室内に冷却流体の流下する冷却流体管路を配置して、当該冷却流体管路に冷却流体を外部に噴射する冷却流体噴射口を複数個設けると共に、冷却流体管路に冷却流体を霧化又は液滴化する超音波振動子を取り付けたことを特徴とする気化冷却装置。
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JP2005130985A JP2006308187A (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | 気化冷却装置 |
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