JP2006295051A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップ11の外周部にリード10が配置され、半導体チップ11とリード10とがワイヤボンディング部13で接続され、これらの半導体チップ11、リード10及びワイヤボンディング部13が樹脂層(14,15,17)で封止されており、さらにリード10に達するように樹脂層にリード開口部C1が設けられ、このリード開口部内に取り出し電極(21a,22a)が埋め込まれて形成されている構成とする。
【選択図】図1
Description
また、特許文献1に記載の半導体装置では、基本的に発熱性の高い半導体チップをパッケージの内部に閉じ込めるため放熱性が悪いという不利益があった。
例えば、不図示の部分でリード10と一体に形成されているチップ支持部10c上に、半導体チップ11がダイアタッチフィルムなどの接着層12を介して固定されており、リード10は、半導体チップ11の外周部において半導体チップ11に近い内側から遠い外側に向けて伸びるように配置されている。リード10の半導体チップ11に近い内側の部分10e及びチップ支持部10cの表面は、外側の部分の表面より下げられた構成となっている。
また、リード開口部C1が設けられていない領域における被覆樹脂層15上においても導電箔16と導電層19からパターン加工されており、取り出し電極21aに接続して形成された配線及び/または電極21bが構成されている。
また、被覆樹脂層15に対してチップ支持部10cの表面に達するチップ支持部開口部C2が形成されており、銅などの導電層20が埋め込まれており、パターン加工された導電箔18と導電層20からチップ支持部開口部C2内に埋め込まれた熱放散層22bが構成されている。
また、内蔵する半導体チップに熱的に接続する熱放散層の厚みが通常のコア基板に形成される銅層の厚み(35μm程度)より厚く、熱容量が十分あって、内蔵する半導体チップからの放熱性が優れており、信頼性が高く、高発熱の半導体チップを内蔵することができる。
図2(a)は本実施形態で使用するリードフレームの平面図であり、図2(b)は図2(a)中のX−X’における断面図である。
例えば、第1金属板10aと第2金属板10bがそれぞれパターン加工されており、一部重ねて貼り合わされている。第1金属板10aには枠部分Fが一体に形成されており、第2金属板10bにはチップ支持部10cが一体に形成されている。
まず、図3(a)に示すように、例えば0.2mmの厚みの金属板を、パンチングあるいはエッチングなどにより上記のような所定のパターンに加工して、第1金属板10aを作成する。
一方、図3(b)に示すように、例えば0.15mmの厚みの金属板を、パンチングあるいはエッチングなどにより、チップ支持部10cを有するような所定のパターンに加工して、第2金属板10bを作成する。
次に、図3(c)に示すように、第1金属板10aと第2金属板10bとを銀ペーストなどの導電性接着層10dで接着する。これで、上記のようなリード10とチップ支持部10cが一体に形成されたリードフレームが形成される。
リードフレームは、第1金属板10aと第2金属板10bを合わせて0.35mm程度の厚みであり、リード10の半導体チップ11に近い内側の部分10e及びチップ支持部10cの表面が、外側の部分の表面より0.2mm程度下げられた構成となっている。
また、3枚以上の金属板をパターン加工して貼り合わせる方法でもよい。
尚、歩留まりは低くなるが、ハーフエッチングなどの手法により、一枚の金属板を凹凸を有するようにパターン加工することで、上記の2枚の金属板を貼り合わせた構成と同じ構成を実現することも可能である。
偏平に成形されたコア基板の表面において、リード10の上下の表面及びチップ支持部10cの支持面の裏面は露出した構成となっている。
樹脂シートが一体化された銅箔としては、例えば、40μmのエポキシ樹脂からなるシートに12μmの銅箔が形成された三菱金属社製樹脂付銅箔(MGR200)を使用できる。この結果、図6(a)に示す構成となる。
また、チップ支持部10cの支持面の裏面に達するチップ支持部開口部C2も同様にして形成する。
上記以外の加工方法で、リード開口部C1及びチップ支持部開口部C2を形成することも可能である。
一方、導電層20上においても同様の処理を行い、リード開口部C1に埋め込まれた取り出し電極22aを形成し、さらにチップ支持部10cの裏面に達するチップ支持部開口部C2内に埋め込んで、パターン加工された導電箔18と導電層20からなる熱放散層22bを形成する。
例えば、本実施形態では、2枚のリードフレームを貼り合わせているが、3枚あるいはそれ以上のリードフレームを重ねて貼り合わせることにより、さらに効果を高めることができる。
また、リードフレームを含むコア基板の上下に、導電パターンを形成するために樹脂付銅箔を各1層ずつ貼り合わせているが、さらに1層以上重ねた多層積層構造とすることにより、さらなる高密度実装を達成することができる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (12)
- 半導体チップと、
前記半導体チップの外周部に配置されたリードと、
前記半導体チップと前記リードとを接続するワイヤボンディング部と、
前記半導体チップ、前記リード及び前記ワイヤボンディング部を封止する樹脂層と、
前記リードに達するように前記樹脂層に設けられたリード開口部内に埋め込まれて形成された、取り出し電極と
を有する半導体装置。 - 前記樹脂層に封止され、前記半導体チップの前記ワイヤボンディング部の接続面と反対の面において前記半導体チップと接するチップ支持部をさらに有し、
前記チップ支持部は前記リードの一部と一体に形成されている
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記リードの前記半導体チップに近い内側の表面が前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面より低く、前記チップ支持部の支持面が前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面より低く、前記ワイヤボンディング部の頂部が前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面より低くなるように形成されている
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記リードと前記チップ支持部は、表面として前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面を有してパターン加工された第1金属板と、表面として前記支持面及び前記リードの前記半導体チップに近い内側の表面を有してパターン加工された第2金属板とを貼り合わせて形成されている
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記樹脂層上に、前記取り出し電極に接続して配線及び/または電極が形成されている
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記樹脂層に対して前記チップ支持部の表面に達するチップ支持部開口部が形成されており、
前記チップ支持部開口部内に導電層が埋め込まれて熱放散層が構成されている
請求項2に記載の半導体装置。 - リードを半導体チップの外周部の所定の位置に配置する工程と、
前記半導体チップと前記リードとを接続するワイヤボンディング部を形成する工程と、
前記半導体チップ、前記リード及び前記ワイヤボンディング部を封止する樹脂層を形成する工程と、
前記リードに達するように前記樹脂層にリード開口部を形成する工程と、
前記リード開口部内に埋め込んで取り出し電極を形成する工程と
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記リードとして、前記半導体チップの前記ワイヤボンディング部の接続面と反対の面において前記半導体チップと接するチップ支持部が前記リードの一部と一体に形成されているリードを用い、
リードを半導体チップの外周部の所定の位置に配置する工程において、リードと一体に形成されているチップ支持部の支持面上に前記半導体チップをマウントし、
前記樹脂層を形成する工程において、前記チップ支持部も封止する
請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記リード及び前記チップ支持部として、前記リードの前記半導体チップに近い内側の表面が前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面より低く、前記チップ支持部の支持面が前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面より低く、前記ワイヤボンディング部の頂部が前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面より低くなるように形成されているリード及びチップ支持部を用いる
請求項8に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記リードを半導体チップの外周部の所定の位置に配置する工程の前に、表面として前記リードの前記半導体チップから遠い外側の表面を有してパターン加工された第1金属板と、表面として前記支持面及び前記リードの前記半導体チップに近い内側の表面を有してパターン加工された第2金属板とを貼り合わせて、前記リードと前記チップ支持部を形成する工程をさらに有する
請求項9に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記樹脂層上に、前記取り出し電極に接続して配線及び/または電極を形成する工程をさらに有する
請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記リード開口部を形成する工程において、前記樹脂層に対して前記チップ支持部の表面に達するチップ支持部開口部がさらに形成し、
前記取り出し電極を形成する工程において、前記チップ支持部開口部内に導電層を埋め込んで熱放散層を形成する
請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
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