JP2006294857A - リードフレーム、半導体装置、半導体装置の製造方法および射出成型用金型 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ゲート樹脂部の密着性を向上する変形部をリードフレームに形成することにより、ゲート樹脂部を確実に除去することができ、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止することができるリードフレーム、このリードフレームを用いた半導体装置、半導体装置の製造方法および射出成型用金型を提供する。
【解決手段】 リードフレーム11を射出成型用金型に適宜配置し、ランナ部12から封止樹脂を樹脂流れRFに沿って注入する。封止樹脂はゲート部13を介してキャビティ(樹脂封止部15に対応する射出成型用金型の空間)に射出され、半導体素子チップを樹脂封止して樹脂封止部15を成型する。ゲート樹脂部13r(射出成型用金型のゲート部13)に対応するリードフレーム11に変形部(孔16)を形成する。
【選択図】 図1
【解決手段】 リードフレーム11を射出成型用金型に適宜配置し、ランナ部12から封止樹脂を樹脂流れRFに沿って注入する。封止樹脂はゲート部13を介してキャビティ(樹脂封止部15に対応する射出成型用金型の空間)に射出され、半導体素子チップを樹脂封止して樹脂封止部15を成型する。ゲート樹脂部13r(射出成型用金型のゲート部13)に対応するリードフレーム11に変形部(孔16)を形成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、射出成型用金型のゲート部に対応して形成されたゲート樹脂部の封止樹脂を確実に除去することができるリードフレーム、このようなリードフレームを用いた半導体装置、このような半導体装置の製造方法およびこのような半導体装置の製造に適用できる射出成型用金型に関する。
従来、光センサや光ピックアップなど透明樹脂を用いた樹脂封止により樹脂封止部を成型した半導体装置(光半導体装置)が知られており、光半導体素子チップである受光素子チップをリードフレームに搭載したものやメタル配線基板に搭載したものなどがある。
図12は、従来の半導体装置の樹脂封止方法を説明する概略部分断面図である。半導体装置についてはハッチングを省略し、透視的に示している。
リードフレーム81に受光素子チップ82を例えばAgペーストなどで接合し、さらにリードフレーム81の一部であるリード端子81tと受光素子チップ82とを例えばAuワイヤなどの内部配線83によって接続することにより、受光素子チップ82をリードフレーム81に実装する。なお、リードフレーム81には相互に分離される複数の受光素子チップ82が実装されることは言うまでもない。
次に、受光素子チップ82を透明樹脂で樹脂封止するために、リードフレーム81と受光素子チップ82を射出成型用金型(以下金型)である上金型85と下金型86とで挟み込み、透明樹脂を注入(射出)して成型することにより樹脂封止部87を形成する(成型工程)。
この成型工程で用いる金型には、複数の受光素子チップ82それぞれに対応して樹脂封止部87を形成するために、隣り合う受光素子チップ82の間を連通するゲート部88が設けてある。したがって、ゲート部88に対応して、樹脂封止部87に密着した状態のゲート樹脂部89が樹脂封止部87と共に形成される。複数の受光素子チップ82は、同時に樹脂成型することにより量産性を向上することができるが、完成品とするためには半導体装置として単品化する必要があることから、ゲート樹脂部89は除去される。
図13は、従来の半導体装置の成型工程で形成されるゲート樹脂部を除去するときの状態を説明する概略断面図であり、(A)は、ゲートカットパンチによりゲート樹脂部を除去している状態を示し、(B)は、除去後の状態を示す。このような従来例は例えば特許文献1に記載してある。
同図(A)の状態では、ゲートカットパンチ91は矢印方向に押し下げられ、ゲート樹脂部92を半導体装置の樹脂封止部94から除去(切断)する。しかし、透明樹脂で樹脂封止した半導体装置(光半導体装置)の場合、透明樹脂の弾性が集積回路などの半導体装置で一般的に用いられる黒色樹脂に比較して大きいことから、ゲート樹脂部92は割れにくくなり切断されずにゲートカットパンチ91と樹脂封止部94との隙間に入り込んでしまうことがある。
同図(B)の状態では、ゲートカットパンチ91は矢印方向に戻り、切断されずに残ったゲート樹脂部92は、弾性でそのまま元の状態に復帰することとなり、ゲート樹脂部92は樹脂残りを発生することとなる。ゲート樹脂部92の樹脂残りは樹脂封止部94の形状不良となり、後工程の処理でトラブルを発生する恐れがあり、また信頼性に影響を及ぼす恐れがあることから、エアーで飛ばすなどの追加の工程(樹脂飛ばし工程)が必要となる。
また、ゲート樹脂部92を切断するときに、ゲートカットパンチ91が滑り、切断位置がずれることにより、ゲート樹脂部92が切断されずに半導体装置の樹脂封止部94に樹脂残りが発生することがあった。
したがって、ゲート樹脂部92の樹脂残りは、製造工程でのトラブルを発生する恐れがあることから、樹脂残りを除去するために余分な工程(樹脂飛ばし工程)を必要とし、製造効率の向上が困難となり、また歩留まり低下の原因となるという問題がある。
特開2002−184928号公報
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、リードフレームに対するゲート樹脂部の密着性を向上する変形部をリードフレームに形成することにより、ゲート樹脂部(の封止樹脂)を確実に除去することができ、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止することができるリードフレームを提供することを目的とする。
また、本発明は、ゲート樹脂部の密着性を向上したリードフレームを用いることにより、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止し製造工程を簡略化できる半導体装置を提供することを他の目的とする。
また、本発明は、ゲート樹脂部の密着性を向上したリードフレームを用いることにより、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止し製造工程を簡略化できる半導体装置の製造方法を提供することを他の目的とする。
また、本発明は、射出成型用金型のゲート部にくびれを設けてゲート樹脂部を割れやすくすることにより、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止、抑制することができる半導体装置の製造方法を提供することを他の目的とする。
また、本発明は、射出成型用金型のゲート部の表面にシボを設けてゲート樹脂部の表面にシボを形成することにより、ゲートカットパンチのすべりを防止して、ゲート樹脂部の切断位置のずれを抑制するので、樹脂残りの発生を防止、抑制することができる半導体装置の製造方法を提供することを他の目的とする。
また、本発明は、ゲート部にくびれを設けた射出成型用金型とすることにより、ゲート樹脂部を割れやすくしてゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止、抑制することができる射出成型用金型を提供することを他の目的とする。
また、本発明は、ゲート部表面にシボを設けた射出成型用金型とすることにより、ゲート樹脂部でのゲートカットパンチのすべりを防止して、ゲート樹脂部の切断位置のずれを抑制することにより、樹脂残りの発生を防止、抑制することができる射出成型用金型を提供することを他の目的とする。
本発明に係るリードフレームは、半導体素子チップを実装し、射出成型用金型のゲート部を介して封止樹脂を射出することにより樹脂封止部を成型するリードフレームにおいて、前記ゲート部に形成されるゲート樹脂部に対応する変形部を有することを特徴とする。
この構成により、ゲート部に対応して形成されるゲート樹脂部のリードフレームに対する接触面積を拡大し、リードフレームに対してゲート樹脂部を係合状態とすることができるので、リードフレームに対するゲート樹脂部(封止樹脂)の密着性を向上することが可能となり、ゲート樹脂部を除去する際にゲート樹脂部の封止樹脂を確実に除去することから、ゲート樹脂部が半導体装置に付着したままで残るということがなくなる。
本発明に係るリードフレームでは、前記変形部は、孔であることを特徴とする。
この構成により、簡単な構成で接触面積を拡大し、係合状態を強固にすることができることから、リードフレームに対する封止樹脂の密着性を向上することが可能となる。
本発明に係るリードフレームでは、前記孔は、貫通孔であることを特徴とする。
この構成により、リードフレームに対する封止樹脂の密着性をより確実に向上することが可能となる。
本発明に係るリードフレームでは、前記変形部は、溝であることを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部での封止樹脂に対するリードフレームの接触面積をさらに拡大し、係合状態の領域を拡大することができることから、リードフレームに対する封止樹脂の密着性をさらに向上することが可能となる。
本発明に係るリードフレームでは、前記溝は、前記封止樹脂の射出方向に対して交差する方向に形成してあることを特徴とする。
この構成により、リードフレームに対する封止樹脂の係合状態をより強固にすることができるので、リードフレームに対する封止樹脂の密着性をさらに向上することが可能となる。
本発明に係るリードフレームでは、前記変形部は、突起であることを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部での封止樹脂に対するリードフレームの接触面積を拡大することができることから、リードフレームに対する封止樹脂の密着性を向上することが可能となる。
本発明に係るリードフレームでは、前記突起は、前記ゲート樹脂部を切断する範囲の境界である切断端部に位置整合して形成してあることを特徴とする。
この構成により、突起上のゲート樹脂部は封止樹脂の厚さが薄くなり、ゲート樹脂部は突起の位置で割れやすくなることから、突起に対応して位置決めした切断端部でゲート樹脂部の封止樹脂を確実に除去することができる。したがって、半導体装置の外形寸法のバラツキを抑えることができる。
本発明に係るリードフレームでは、前記突起は、前記切断端部と前記樹脂封止部の間に形成してあることを特徴とする。
この構成により、切断端部と樹脂封止部との間でのゲート樹脂部の封止樹脂を確実に除去することができる。
本発明に係るリードフレームでは、前記変形部は、前記射出成型用金型のゲート部に対応する一平面に形成してあることを特徴とする。
この構成により、変形部を確実に作用させることが可能となる。
本発明に係る半導体装置は、リードフレームに実装した半導体素子チップと、射出成型用金型のゲート部を介して封止樹脂を射出することにより前記半導体素子チップを樹脂封止した樹脂封止部とを有する半導体装置において、前記リードフレームは、請求項1ないし請求項9のいずれか一つに記載のリードフレームであることを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部の封止樹脂による樹脂残りの発生を防止できることから、樹脂飛ばし工程が不要となり製造工程を簡略化した半導体装置とすることができる。
本発明に係る半導体装置では、前記封止樹脂は、透明樹脂であることを特徴とする。
この構成により、弾性の強い透明樹脂による樹脂封止をした場合でも、ゲート樹脂部での樹脂残りが発生しない半導体装置とすることができる。
本発明に係る半導体装置では、前記半導体素子チップは、光半導体素子チップであることを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止した光半導体装置とすることができ、工程トラブルが少なく、製造歩留まりを向上した信頼性の高い光半導体装置とすることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、リードフレームに半導体素子チップを実装し、射出成型用金型のゲート部を介して封止樹脂を射出することにより前記半導体素子チップを樹脂封止し、前記ゲート部に形成されたゲート樹脂部の封止樹脂を除去する半導体装置の製造方法において、前記リードフレームは、請求項1ないし請求項9のいずれか一つに記載のリードフレームであることを特徴とする。
この構成により、リードフレームに対するゲート樹脂部(封止樹脂)の密着性を向上することが可能となり、ゲート樹脂部を除去する際に封止樹脂を確実に除去することから、ゲート樹脂部除去工程後の半導体装置に樹脂残りが発生することを防止することができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記ゲート部は、前記封止樹脂の射出方向に対して交差する方向にくびれを有することを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部(封止樹脂)がくびれの位置で割れやすくなることから、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を確実に防止、抑制することが可能となる。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記ゲート部は、表面にシボを有することを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部の表面にシボを形成することから、ゲート樹脂部を除去する際にゲートカットパンチがゲート樹脂部の表面ですべることを防止できるので、正確な位置でゲート樹脂部を確実に除去することができ、樹脂残りの発生を防止、抑制することができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記ゲート部は、前記リードフレームの一平面に対応して配置してあることを特徴とする。
この構成により、必要な封止圧力を有する封止樹脂の射出が可能となり精密に制御した樹脂封止が可能となる。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記封止樹脂は、透明樹脂であることを特徴とする。
この構成により、弾性の強い透明樹脂による樹脂封止をした場合でも、ゲート樹脂部での樹脂残りが発生しない半導体装置(光半導体装置)とすることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記半導体素子チップは、光半導体素子チップであることを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止した光半導体装置とすることができるので、工程トラブルが少なく、製造歩留まりを向上した信頼性の高い光半導体装置とすることができる。
本発明に係る射出成型用金型は、リードフレームに実装した半導体素子チップをゲート部から封止樹脂を射出することにより樹脂封止する射出成型用金型において、前記ゲート部は、くびれを有することを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部をくびれで割れやすくすることができるので、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止、抑制することができる射出成型用金型とすることができる。
本発明に係る射出成型用金型では、リードフレームに実装した半導体素子チップをゲート部から封止樹脂を射出することにより樹脂封止する射出成型用金型において、前記ゲート部の表面は、シボを有することを特徴とする。
この構成により、ゲート樹脂部でのゲートカットパンチのすべりを防止して、ゲート樹脂部の切断位置のずれを抑制することができるので、樹脂残りの発生を防止、抑制することができる射出成型用金型とすることができる。
本発明に係るリードフレームによれば、リードフレームに対するゲート樹脂部の密着性を向上する変形部を有することから、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止することができ、樹脂残りのない半導体装置を実現できるという効果を奏する。
本発明に係る半導体装置によれば、ゲート樹脂部の密着性を向上したリードフレームを用いることから、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止して製造工程を簡略化でき、また、外形寸法のばらつきを低減した信頼性の高い半導体装置を実現できるという効果を奏する。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、ゲート樹脂部の密着性を向上したリードフレームを用いることから、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止し製造工程を簡略化でき、また、外形寸法のばらつきを低減した信頼性の高い半導体装置を製造できるという効果を奏する。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、射出成型用金型のゲート部にくびれを設けてゲート樹脂部を割れやすくすることから、ゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止、抑制することができるという効果を奏する。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、射出成型用金型のゲート部の表面にシボを設けてゲート樹脂部の表面にシボを形成することにより、ゲートカットパンチのすべりを防止して、ゲート樹脂部の切断位置のずれを抑制するので、樹脂残りの発生を防止、抑制することができるという効果を奏する。
本発明に係る射出成型用金型によれば、ゲート部にくびれを設けたことから、ゲート樹脂部を割れやすくしてゲート樹脂部の樹脂残りの発生を防止、抑制することができるという効果を奏する。
本発明に係る射出成型用金型によれば、ゲート部表面にシボを設けたことから、ゲート樹脂部でのゲートカットパンチのすべりを防止でき、ゲート樹脂部の切断位置のずれを抑制することができるので、樹脂残りの発生を防止、抑制することができるという効果を奏する。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
<実施の形態1>
図1は、本発明の実施の形態1に係るリードフレームを用いて樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図2は、図1の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。
図1は、本発明の実施の形態1に係るリードフレームを用いて樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図2は、図1の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。
半導体装置は概略以下の実装工程、成型工程、ゲート樹脂部除去工程(およびリードフレーム分離工程)により製造される。
リードフレーム11に半導体素子チップ(不図示)を例えばAgペーストなどで接合し、さらにリードフレーム11の一部を構成するリード端子11tと半導体素子チップとを例えばAuワイヤなどの内部配線によって接続することにより、半導体素子チップがリードフレーム11に実装される(実装工程)。
その後、リードフレーム11を射出成型用金型(不図示)に適宜配置し、ランナ部12から封止樹脂を樹脂流れRFに沿って注入する。ゲート部13はリードフレーム11の一平面に当接するように配置されることから、必要な封止圧力を有する封止樹脂の射出が可能となり精密に制御した樹脂封止が可能となる。
封止樹脂はゲート部13を介してキャビティ(樹脂封止部15に対応する射出成型用金型の空間)に射出され、半導体素子チップを樹脂封止して樹脂封止部15を成型する(成型工程)。なお、樹脂封止部15の内部でのリードフレーム11の状態は図示を省略している。
樹脂封止部15の成型の際にゲート部13に対応してゲート樹脂部13rが成型(形成)され図1、図2の状態となる。なお、ゲート樹脂部13rは個々の半導体装置には不要な部分であるから後の工程でゲートカットパンチ22(図7、図8参照)により適宜除去される(ゲート樹脂部除去工程)。
ゲート樹脂部13r(射出成型用金型のゲート部13)に対応(対向、対面)するリードフレーム11(の一平面)に変形部を形成することにより、変形部がゲート樹脂部13rに対して確実に作用することができる構成としてある。本実施の形態では、変形部として孔16を設けてある。
したがって、ゲート樹脂部13rは封止樹脂が孔16に流れ込んで成型された状態となることから、リードフレーム11に対するゲート樹脂部13rの接触面積を拡大し、リードフレーム11に対してゲート樹脂部13rを係合状態とすることができるので、リードフレーム11に対するゲート樹脂部13r(封止樹脂)の密着性を向上することとなる。
リードフレーム11に対するゲート樹脂部13rの密着性を向上することができることから、ゲート樹脂部13r(および対応する位置のリードフレーム11)を除去する際(ゲート樹脂部除去工程)に、ゲート樹脂部13rの封止樹脂がリードフレーム11と共に確実に除去されることとなり、ゲート樹脂部13rの封止樹脂が樹脂封止部15に付着して樹脂残りを発生することがなくなる。したがって、従来必要であった樹脂飛ばし工程が不要となり製造工程でのトラブルも防止できることから、製造歩留まりの向上、製造効率の向上が可能となり、また、外形寸法のばらつきを低減した信頼性の高い半導体装置とすることができる。
ゲート樹脂部13rを確実に除去することができるので、黒色樹脂に比べて弾性の強い透明樹脂を封止樹脂とした場合でも、樹脂残りを発生することのない半導体装置とすることができる。したがって、透明樹脂による樹脂封止が必要な光半導体装置に適用することができる。
半導体素子チップを光半導体素子チップとすることができるので、樹脂残りの発生を防止した信頼性の高い光半導体装置とすることができ、また、光半導体装置の製造歩留まりを向上することができる。
孔16は、リードフレーム11を貫通しない深さであっても良いが、貫通孔とすることにより、簡単な構成で接触面積をさらに拡大し、係合状態をより強固にすることができ、リードフレーム11に対するゲート樹脂部13rの密着性をさらに向上することができる。
孔16は、リードフレーム11の表面を適宜エッチングすること、またはパンチングすることで容易に形成することができる。
<実施の形態2>
図3は、本発明の実施の形態2に係るリードフレームを用いて樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図4は、図3の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。実施の形態1と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図3は、本発明の実施の形態2に係るリードフレームを用いて樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図4は、図3の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。実施の形態1と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
樹脂封止部15の成型の際にゲート部13に対応してゲート樹脂部13rが成型(形成)され図3、図4の状態となる。
ゲート樹脂部13rに対応させてリードフレーム11に変形部としての溝18を設けてある。したがって、ゲート樹脂部13rは封止樹脂が溝18に流れ込んで成型された状態となることから、リードフレーム11に対するゲート樹脂部13rの接触面積を孔16に比較してさらに拡大し、リードフレーム11に対してゲート樹脂部13rを係合状態とすることができるので、リードフレーム11に対するゲート樹脂部13r(封止樹脂)の密着性をさらに向上することとなる。
リードフレーム11に対するゲート樹脂部13r(封止樹脂)の密着性を向上することができることから、ゲート樹脂部13r(および対応する位置のリードフレーム11)を除去する際に、ゲート樹脂部13rの封止樹脂がリードフレーム11と共に確実に除去されることとなり、ゲート樹脂部13rの封止樹脂が樹脂封止部15に付着して樹脂残りを発生することがなくなる。したがって、従来必要であった樹脂飛ばし工程が不要となり製造工程でのトラブルも防止できることから、製造歩留まりを向上でき、また、信頼性の高い半導体装置とすることができる。
溝18は封止樹脂の射出方向に対して交差する方向に形成することにより、さらに係合状態を向上することができ、密着性をさらに向上することができる。
溝18は、リードフレーム11の表面を適宜エッチングすること、またはパンチングすることで容易に形成することができる。
<実施の形態3>
図5は、本発明の実施の形態3に係るリードフレームを用いて樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図6は、図5の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。実施の形態1、実施の形態2と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図5は、本発明の実施の形態3に係るリードフレームを用いて樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図6は、図5の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。実施の形態1、実施の形態2と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
樹脂封止部15の成型の際にゲート部13に対応してゲート樹脂部13rが成型(形成)され図5、図6の状態となる。
ゲート樹脂部13rに対応させてリードフレーム11に変形部としての突起20を設けてある。なお、突起20は溝18と同様の方向で尾根状とすることが作用を大きくする観点からより好ましい。
ゲート樹脂部13rは封止樹脂が突起20を包囲して成型された状態となることから、リードフレーム11に対するゲート樹脂部13rの接触面積を拡大し、リードフレーム11に対してゲート樹脂部13rを係合状態とすることができるので、リードフレーム11に対するゲート樹脂部13r(封止樹脂)の密着性を向上することとなる。
リードフレーム11に対するゲート樹脂部13r(封止樹脂)の密着性を向上することができることから、ゲート樹脂部13r(および対応する位置のリードフレーム11)を除去する際に、ゲート樹脂部13rの封止樹脂がリードフレーム11と共に確実に除去されることとなり、ゲート樹脂部13rの封止樹脂が樹脂封止部15に付着して樹脂残りを発生することがなくなる。したがって、従来必要であった樹脂飛ばし工程が不要となり製造工程でのトラブルも防止できることから、製造歩留まりを向上でき、また、信頼性の高い半導体装置とすることができる。
突起20は、リードフレーム11を反対側から適宜プレスすることにより容易に形成することができる。
図7は、図5および図6の変形例を示す拡大概略断面図である。
ゲート樹脂部13rは、ゲート樹脂部13rの封止樹脂を除去する範囲の境界である切断端部24に位置合わせしたゲートカットパンチ22により切断(除去)される(ゲート樹脂部除去工程)。
突起20に対応する位置でのゲート樹脂部13rの封止樹脂の厚さは薄くなり割れやすくなることから、切断端部24に対して突起20を位置整合して形成することにより、ゲート樹脂部13rを突起20(切断端部24)の位置で割れやすくすることができ、ゲート樹脂部の封止樹脂を確実に除去することができる。
つまり、突起20の位置によりゲート樹脂部13rの切断端部24を画定することができることとなることから、ゲート樹脂部13rを除去した後の半導体装置(樹脂封止部15)の外形寸法のバラツキを抑えることが可能となる。
図8は、図5および図6の他の変形例を示す拡大概略断面図である。
ゲート樹脂部13rを切断(除去)するためのゲートカットパンチ22が画定する切断端部24(の位置)と樹脂封止部15(の端部位置)との間に突起20を形成してある。つまり、切断端部24の外側に突起20を形成してある。
この構成とすることにより、切断端部24と樹脂封止部15との間にあるゲート樹脂部13rの封止樹脂を突起20により除去しやすくすることができるので、樹脂封止部15に付着する樹脂残りを確実に削減することができる。
なお、実施の形態1ないし実施の形態3では、変形部の形状/位置の調整は適宜行うことができることは言うまでもない。
<実施の形態4>
図9は、本発明の実施の形態4に係る樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。実施の形態1ないし実施の形態3と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図9は、本発明の実施の形態4に係る樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。実施の形態1ないし実施の形態3と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
リードフレーム11を射出成型用金型に適宜配置し、ランナ部12から封止樹脂を樹脂流れRFに沿って注入する。注入された封止樹脂は、ゲート部13を介してキャビティに射出され半導体素子チップを樹脂封止して樹脂封止部15を成型(成型工程)し、また、同時にゲート樹脂部13rを成型して図9の状態となる。
射出成型用金型のゲート部13はくびれ(くびれ26に対応する)を有することから、ゲート樹脂部13rにはくびれ26が形成される。ゲート樹脂部13rはくびれ26を有することから、くびれ26の部分で封止樹脂が割れやすくなり、ゲート樹脂部13rを除去するとき(ゲート樹脂部除去工程)に、ゲート樹脂部13rの封止樹脂がリードフレーム11と共に確実に除去されることとなる。つまり、ゲート樹脂部13rの封止樹脂が樹脂封止部15に付着して樹脂残りを発生することがなくなる。
なお、リードフレーム11は、本発明に係るリードフレーム11であっても、従来のものであっても、いずれでも良いが、本発明に係るリードフレーム11であることがより好ましい。
<実施の形態5>
図10は、本発明の実施の形態5に係る樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図11は、図10の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。実施の形態1ないし実施の形態4と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図10は、本発明の実施の形態5に係る樹脂封止部を形成した直後の半導体装置を示す平面図である。図11は、図10の矢符X−Xでの拡大概略断面図である。実施の形態1ないし実施の形態4と同一の構成には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
リードフレーム11を射出成型用金型に適宜配置し、ランナ部12から封止樹脂を樹脂流れRFに沿って注入する。注入された封止樹脂は、ゲート部13を介してキャビティに射出され半導体素子チップを樹脂封止して樹脂封止部15を成型(成型工程)し、また、同時にゲート樹脂部13rを成型して図10、図11の状態となる。
射出成型用金型のゲート部13は表面(ゲート樹脂部13rでのゲートカットパンチ22に対向する表面に対する表面)にシボ(シボ28に対応する)を有することから、ゲート樹脂部13rの表面(ゲートカットパンチ22に対向する表面)にはシボ28が成型される。
ゲート樹脂部13rの表面にシボ28が成型されることにより、ゲートカットパンチ22の先端表面がゲート樹脂部13rの表面で滑ることを防止することができ、ゲートカットパンチ22の滑りにより発生する樹脂残りを抑制することができる。また、半導体装置の外形寸法のばらつきを確実に低減することができる。
なお、リードフレーム11は、実施の形態4と同様とすることができる。
11 リードフレーム
11t リード端子
12 ランナ部
13 ゲート部
13r ゲート樹脂部
15 樹脂封止部
16 孔(貫通孔:変形部)
18 溝(変形部)
20 突起(変形部)
22 ゲートカットパンチ
24 切断端部
26 くびれ
28 シボ
RF 樹脂流れ
11t リード端子
12 ランナ部
13 ゲート部
13r ゲート樹脂部
15 樹脂封止部
16 孔(貫通孔:変形部)
18 溝(変形部)
20 突起(変形部)
22 ゲートカットパンチ
24 切断端部
26 くびれ
28 シボ
RF 樹脂流れ
Claims (20)
- 半導体素子チップを実装し、射出成型用金型のゲート部を介して封止樹脂を射出することにより樹脂封止部を成型するリードフレームにおいて、
前記ゲート部に形成されるゲート樹脂部に対応する変形部を有することを特徴とするリードフレーム。 - 前記変形部は、孔であることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記孔は、貫通孔であることを特徴とする請求項2に記載のリードフレーム。
- 前記変形部は、溝であることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記溝は、前記封止樹脂の射出方向に対して交差する方向に形成してあることを特徴とする請求項4に記載のリードフレーム。
- 前記変形部は、突起であることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記突起は、前記ゲート樹脂部を切断する範囲の境界である切断端部に位置整合して形成してあることを特徴とする請求項6に記載のリードフレーム。
- 前記突起は、前記切断端部と前記樹脂封止部の間に形成してあることを特徴とする請求項6に記載のリードフレーム。
- 前記変形部は、前記射出成型用金型のゲート部に対応する一平面に形成してあることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか一つに記載のリードフレーム。
- リードフレームに実装した半導体素子チップと、射出成型用金型のゲート部を介して封止樹脂を射出することにより前記半導体素子チップを樹脂封止した樹脂封止部とを有する半導体装置において、
前記リードフレームは、請求項1ないし請求項9のいずれか一つに記載のリードフレームであることを特徴とする半導体装置。 - 前記封止樹脂は、透明樹脂であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 前記半導体素子チップは、光半導体素子チップであることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。
- リードフレームに半導体素子チップを実装し、射出成型用金型のゲート部を介して封止樹脂を射出することにより前記半導体素子チップを樹脂封止し、前記ゲート部に形成されたゲート樹脂部の封止樹脂を除去する半導体装置の製造方法において、
前記リードフレームは、請求項1ないし請求項9のいずれか一つに記載のリードフレームであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート部は、前記封止樹脂の射出方向に対して交差する方向にくびれを有することを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ゲート部は、表面にシボを有することを特徴とする請求項13または請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ゲート部は、前記リードフレームの一平面に対応して配置してあることを特徴とする請求項13ないし請求項15のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記封止樹脂は、透明樹脂であることを特徴とする請求項13ないし16のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体素子チップは、光半導体素子チップであることを特徴とする請求項17に記載の半導体装置の製造方法。
- リードフレームに実装した半導体素子チップをゲート部から封止樹脂を射出することにより樹脂封止する射出成型用金型において、
前記ゲート部は、くびれを有することを特徴とする射出成型用金型。 - リードフレームに実装した半導体素子チップをゲート部から封止樹脂を射出することにより樹脂封止する射出成型用金型において、
前記ゲート部の表面は、シボを有することを特徴とする射出成型用金型。
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