JP2006292567A - X線用レンズ光軸調整機構、x線用レンズ光軸調整方法、およびx線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X線分析装置に搭載するX線用レンズの光軸調整機構において、前記X線用レンズのレンズ出射側焦点をX線検出器に合わせる出射側調整機構と、前記X線用レンズのレンズ入射側焦点を試料分析点に合わせる入射側調整機構と、を有し、前記前記入射側調整機構を前記出射側調整機構よりもX線用レンズ遠方に設置する。
【選択図】 図1
Description
ところで、発生したX線の進行方向は個々で異なるため、検出器の受光効率を上げるためには、検出器の受光部面積を大きくすることが望ましい。
Giorgio Cappuccio et.al.,「Capillary optics as an x-ray condensing lens:An aligment procedure」Kumakhov optics and application:selected research papers on Kumakhov optics and application 1998-2000 Edited by Muradin A.Kumakhov.Bellingham,Wash.,USA:SPIE,c2000.
このようにすると、前記出射側焦点を調整する際に、前記X線用レンズの光軸に垂直な2方向に平行移動させて、前記X線検出器との焦点合わせを行うことができる。
このようにすると、入射側焦点位置を変えることなく、出射側焦点位置を調整することができる。
このようにすると、前記レンズ出射側焦点をX線検出器に合わせる際には、前記脱着部が装着された状態で作業を行うことで作業者による操作を行い易くすることができる。そして、前記レンズ出射側焦点を前記X線検出器に合わせた後に、前記脱着部を取り外すことで、前記入射側調整機構によりレンズ入射側焦点を試料分析点に合わせる際に前記出射側調整機構が障害となることを防止でき、作業性を向上することができる。
このようにすると、まず、前記出射側調整機構により前記X線用レンズのレンズ出射側焦点を調整し、前記保持機構により前記調整位置を保持したまま、前記入射側調整機構により前記X線用レンズのレンズ入射側焦点を調整することができるので、作業性を向上することができる。なお、前記出射側調整機構が脱着部を有している場合には、前記レンズ出射側焦点の調整後に、前記保持機構により前記調整位置を保持したまま、前記脱着部を取り外してレンズ入射側焦点を調整できるので、作業性をさらに向上することができる。
このようにすると、前記入射側調整機構により前記X線用レンズのレンズ入射側焦点を前記試料分析点に合わせる際に、前記冷凍機と一体的に移動させることで、出射側焦点と検出器の位置関係を保ったまま、前記X線検出器の温度を前記冷凍機により所定温度に保持しつつ、前記レンズ入射側焦点の調整を行うことができるので、作業性を向上することができる。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、前記X線用レンズの光軸とは平行ではない2方向に前記冷凍機を平行移動させることで、前記X線用レンズを冷凍機と一体的に移動させて前記試料分析点との焦点合わせを行うことができる。従って、試料が搭載される機器に装着するにあたっては、予め前記X線用レンズの光軸とは平行ではない2方向に対する位置合わせを行った状態で装着する必要がなく、装着後に前記入射側調整機構によりX線用レンズの位置合わせを行えば足りる。ゆえに、試料が搭載される機器に装着する際のX線用レンズの位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、X線用レンズの光軸方向の移動を抑え、光軸方向で焦点が外れてしまう危険を回避することができる。従って、前記平行移動の調整範囲を拡げることができ、試料が搭載される機器に装着する際のX線用レンズの位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、X線用レンズの光軸に略垂直であって、かつ、水平方向に、前記冷凍機を平行移動させることで、前記X線用レンズを冷凍機と一体的に移動させて前記試料分析点との焦点合わせを行うことができる。従って、試料が搭載される機器に装着するにあたっては、上述の平行移動可能な方向への位置合わせを行った状態で装着する必要がなく、装着後に前記入射側調整機構によりX線用レンズの位置合わせを行えば足りる。ゆえに、試料が搭載される機器に装着する際のX線用レンズの位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。なお、前記移動可能方向に対して直交する方向に対しての位置合わせが必要な場合には、電子銃の焦点距離を変える等の手段で励起源の照射位置を変えることにより行うことが可能である。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、前記X線用レンズの光軸とは重ならない位置となるとともに前記冷凍機またはその近傍を通過する2軸の各々を中心に、前記冷凍機を回転移動させることで、前記X線用レンズを冷凍機と一体的に移動させて前記試料分析点との焦点合わせを行うことができる。従って、試料が搭載される機器に装着するにあたっては、予めX線用レンズの上述の回転移動可能な方向への位置合わせを行った状態で装着する必要がなく、装着後に前記入射側調整機構によりX線用レンズの位置合わせを行えば足りる。ゆえに、試料が搭載される機器に装着する際のX線用レンズの位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、前記冷凍機を前記回転中心軸に対して回転移動させることで、前記X線用レンズを冷凍機と一体的に移動させて前記試料分析点との焦点合わせを行うことができる。従って、試料が搭載される機器に装着するにあたっては、上述の回転移動に伴うX線用レンズの移動可能方向への位置合わせを行った状態で装着する必要がなく、装着後に前記入射側調整機構によりX線用レンズの位置合わせを行えば足りる。ゆえに、試料が搭載される機器に装着する際のX線用レンズの位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。なお、前記移動可能方向に対して直交する方向に対しての位置合わせが必要な場合には、電子銃の焦点距離を変える等の手段で励起源の照射位置を変えることにより行うことが可能である。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、X線用レンズの光軸方向の移動を抑え、光軸方向で焦点が外れてしまう危険を回避することができる。従って、前記回転移動の調整範囲を拡げることができ、試料が搭載される機器に装着する際のX線用レンズの位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。
また、前記入射側調整機構は、前記冷凍機と一体的に、前記X線用レンズの入射側焦点を、水平方向に移動可能な手段を備えることが好ましい。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、前記冷凍機を水平方向に移動させることで、前記X線用レンズの入射側焦点を水平方向に移動させて、前記試料分析点との焦点合わせを行うことができる。従って、試料が搭載される機器に装着するにあたっては、予め前記X線用レンズを水平な方向への位置合わせを行った状態で装着する必要がなく、装着後に前記入射側調整機構によりX線用レンズの位置合わせを行えば足りる。ゆえに、入射側焦点調整用の機器に装着する際の位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。
このようにすると、前記入射側焦点を調整する際に、前記冷凍機を前記光軸に対して上述の関係を有する軸に対して略平行移動および回転移動させることで、前記X線用レンズを冷凍機と一体的に移動させて前記試料分析点との焦点合わせを行うことができる。従って、試料が搭載される機器に装着するにあたっては、上述の略平行移動および回転移動可能な方向への位置合わせを行った状態で装着する必要がなく、装着後に前記入射側調整機構によりX線用レンズの位置合わせを行えば足りる。ゆえに、試料が搭載される機器に装着する際のX線用レンズの位置精度に対する要求を軽減することができ、作業性を向上することができる。
このようにすると、前記架台を前記分析容器に対して堅牢に接続した状態で、前記冷凍機の位置を前記入射側調整機構により調整することで、前記X線用レンズの入射側焦点を調整することができるので、作業性を向上することができる。
このようにすると、前記架台を前記走査電子顕微鏡に対して堅牢に接続した状態で、前記冷凍機の位置を前記入射側調整機構により調整することで、前記X線用レンズの入射側焦点を調整することができるので、作業性を向上することができる。
この発明によれば、前記試料に対する焦点合わせを行う際に、前記X線分析装置の障害とならずに前記入射側調整機構を操作することが可能となり、作業性を向上できる。
このようにすると、前記試料に対する焦点合わせを行う際に、前記X線分析装置の障害とならずに前記入射側調整機構を操作することが可能となり、作業性を向上できる。
図1は、本発明の実施の形態におけるX線用レンズ光軸調整機構を備えるX線分析装置の概略断面図である。同図に示すように、本実施の形態におけるX線分析装置11は、走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)7に装着して用いられ、走査電子顕微鏡7内に保持された試料10から発生するX線を検出して、分析するためのものである。
そして、スノート3の基端側には冷凍機6が設けられ、該冷凍機6により超伝導X線検出器9を転移端近傍の所定温度に冷却している。本実施の形態においては、スノート3は冷凍機6と一体的に設けられている。これにより、入射側調整機構(具体的な構成については、図9〜図18の説明で後述)13を操作するにより、冷凍機6を矢印のように光軸Lに直交する2方向に移動させ、これに伴って、冷凍機6に一体的に設けられたスノート3を移動させ、スノート3に装着されたX線用レンズ1の入射側(試料10側)焦点を調整することができる。一方、スノート3先端側には出射側調整機構12が設けられ、この出射側調整機構12を操作することで、X線用レンズ1の出射側(検出器9側)焦点を調整することができる。
そして、このケース28の開口部29からスノート3の先端部を挿入し、この状態でスノート3の先端部に装着されたマイクロメータ25を操作することで、X線用レンズ1を収容したレンズ保持部品2をスライド移動させて、X線用レンズ1の出射側位置を調整する。
図7は出射側調整機構を示す平面図である。同図に示すように、スノート3の先端部には、挿入用溝31、31にマイクロメータ25、25が装着されており、このマイクロメータ25、25を作業者が操作することで、X線用レンズ1の出射側調整が行われる。また、スノート3の外周側には、マイクロメータ25、25を保持するためのフレーム37が配設されている。このように、作業者が操作を行うマイクロメータ25、25は、スノート3に対して着脱可能となっている。
図19は出射側調整機構の他の例を示す概略断面図である。同図に示す構成の出射側調整機構においては、前記X線用レンズ1を、その入射側焦点(この場合はX線源27)を通り、かつ、その光軸Lに垂直な2軸R1、R2を中心に回転移動可能に構成されている。すなわち、同図において、軸R1、R2は互いに光軸Lに垂直であって、軸R1は紙面に対して直交する方向であり、軸R2は紙面と同一平面内であり軸R1に対して直交する方向に設定している。従って、X線用レンズ1は、軸R1を回転中心とした場合に紙面と同一平面内の円である回転軌跡r1で回転移動する。また、X線用レンズ1は、軸R2を回転中心とした場合に紙面と直交する平面内の円である回転軌跡r2で回転移動する(図示都合上、図19では斜行する平面内の円を示している)。このようにすると、入射側焦点位置を変えることなく、出射側焦点位置を調整することができる。なお、軸R1、R2は、光軸Lに対して垂直であれば上述した設定に限られないことはもちろんである。
以上、本発明の内容を実施の形態により説明したが、本発明の内容は実施の形態のみに限定されるものでないことはもちろんである。例えば、実施の形態では、超伝導X線検出器に適用した場合について説明したが、これに限らず他のX線検出器、例えば、シリコン検出器を利用したX線検出器に適用してもよい。
2…レンズ保持部品
3…スノート
4…レンズ保持部品のスライド
5…冷凍機駆動部
6…冷凍機
7…SEM
8…ベローズ
9…超伝導X線検出器
10…試料
Claims (18)
- X線分析装置に搭載するX線用レンズの光軸調整機構において、
前記X線用レンズのレンズ出射側焦点をX線検出器に合わせる出射側調整機構と、
前記X線用レンズのレンズ入射側焦点を試料分析点に合わせる入射側調整機構と、を有し、
前記入射側調整機構を前記出射側調整機構よりもX線用レンズ遠方に設置することを特徴とするX線用光軸調整機構。 - 前記出射側調整機構は、前記X線用レンズをその光軸に垂直な2方向に平行移動可能な手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記出射側調整機構は、前記X線用レンズを、その入射側焦点を通り、かつ、その光軸に垂直な2軸を中心に回転移動可能な手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記出射側調整機構は、少なくとも作業者により操作される部位を、脱着可能に構成されている脱着部を有していることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記X線用レンズには、前記出射側調整機構による調整位置を保持する保持機構を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のX線用光軸調整機構。
- 前記X線検出器が冷凍機に搭載される超伝導X線検出器であって、
前記入射側調整機構が冷凍機近傍に設置され、
前記出射側調整機構が前記冷凍機と一体的に移動可能であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のX線用光軸調整機構。 - 前記入射側調整機構は、前記冷凍機をX線用レンズの光軸とは平行ではない2方向に平行移動可能な手段を備えることを特徴とする請求項6に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記2方向は、X線用レンズの光軸に略垂直であることを特徴とする請求項7に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記入射調整機構は、X線用レンズの光軸に略垂直であって、かつ、水平方向に、前記冷凍機を平行移動可能な手段を備えることを特徴とする請求項6に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記入射調整機構は、前記X線用レンズの光軸とは重ならない位置となるとともに前記冷凍機またはその近傍を通過する2軸の各々を中心に、前記冷凍機を回転移動可能な手段を備えることを特徴とする請求項6に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記入射調整機構は、前記X線用レンズの光軸とは重ならない位置となるとともに前記冷凍機またはその近傍を通過する軸を中心に、前記冷凍機を回転移動可能な手段を備え、
前記回転移動可能な手段の回転中心軸は、地面に対して略垂直方向を向くことを特徴とする請求項6に記載のX線用光軸調整機構。 - 前記入射側調整機構は、前記回転中心軸を中心とする回転移動により、前記X線用レンズの入射側焦点をその光軸に略垂直な方向に近似的に平行移動させることを特徴とする請求項11に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記入射側調整機構は、前記冷凍機と一体的に、前記X線用レンズの入射側焦点を、水平方向に移動可能な手段を備えることを特徴とする請求項11に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記入射側調整機構は、前記冷凍機と一体的に、前記X線用レンズの入射側焦点を、前記光軸とは平行ではない方向に平行移動可能な手段と、前記光軸とは重ならない位置となる軸を中心に回転移動可能な手段を備えることを特徴とする請求項6に記載のX線用光軸調整機構。
- 前記入射側調整機構は、
前記試料、励起源、検出器等を含む分析容器に、前記入射側調整機構を搭載する架台を堅牢に接続した状態で、前記X線用レンズを前記分析容器内に挿入して前記レンズ入射側焦点を調整可能であることを特徴とする請求項6から請求項14のいずれかに記載のX線用レンズ光軸調整機構。 - 前記入射側調整機構は、
前記冷凍機を走査電子顕微鏡とベローズを介して接続するとともに、前記入射側調整機構を搭載する架台を前記走査電子顕微鏡と堅牢に接続した状態で、
前記X線用レンズを前記走査電子顕微鏡の真空容器内に挿入して前記レンズ入射側焦点を調整可能であることを特徴とする請求項6から請求項14のいずれかに記載のX線用レンズ光軸調整機構。 - X線分析装置に搭載するX線用レンズの光軸調整方法において、
前記X線用レンズのレンズ入射側焦点を試料分析点に合わせる入射側調整機構を、
前記X線用レンズのレンズ出射側焦点をX線検出器に合わせる出射側調整機構よりもX線用レンズ遠方に設置して、
前記出射側調整機構により前記レンズ出射側焦点を前記X線検出器に合わせた後に、前記入射側調整機構により前記レンズ入射側焦点を前記試料分析点に合わせることを特徴とするX線用レンズ光軸調整方法。 - 請求項1から請求項16のいずれかに記載のX線用光軸調整機構を搭載していることを特徴とするX線分析装置。
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