JP2006292065A - 遊星歯車減速装置 - Google Patents

Abstract

【課題】予圧調整を簡易に行なうことのできる遊星歯車減速装置を提供する。
【解決手段】内ピン１４０と第１支持フランジ１５０を（単一の部材として）一体的に構成し、前記内ピン１４０の先端面１４０Ａと第２支持フランジ１６０に設けた凹部１４６の底面１４６Ａとの間にシム１７０を配置する。更に、第２軸受１６４の外輪１６４Ａにおける玉１６４Ｃとの接触面を第１軸受１５４側へ向かうに従い半径方向内側に向かって盛り上がるように形成し、且つ、第２軸受１６４の内輪１６４Ｂにおける玉１６４Ｃとの接触面を反第１軸受１５４側に向かうに従い半径方向外側に向かって盛り上がるように形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車とを備え、前記内歯歯車と外歯歯車との相対回転成分を出力として取り出す遊星歯車減速装置に関する。

内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車とを備え、当該内歯歯車と外歯歯車との相対回転成分を出力として取り出す遊星歯車減速装置が広く利用されている。

例えば、特許文献１において、図５に示されるような遊星歯車減速装置が開示されている。

この遊星歯車減速装置１０は、入力軸１２、偏心体１４、２枚の外歯歯車１６（１６Ａ、１６Ｂ）、内歯歯車１８、相対回転取出機構Ｋ、及び第１、第２支持フランジ５０、６０を主な構成要素として備える。

各外歯歯車１６は、該外歯歯車１６を貫通する内ピン孔３０を備える。前記相対回転取出機構Ｋは、この内ピン孔３０と、前記第１支持フランジ５０及び第２支持フランジ６０に嵌合され、且つ前記内ピン孔３０に内ローラ４２を介して遊嵌される内ピン４０と、内ローラ４２とで構成されている。内ピン４０には段部４０ａが形成され、第１、第２支持フランジ５０、６０の位置を規制している。

図示せぬモータによって入力軸１２が回転すると、偏心体１４が該入力軸１２と一体的に回転する。偏心体１４の外周は入力軸１２の軸心に対して偏心しているため、入力軸１２が１回転すると該偏心体１４の外周に装着されている外歯歯車１６が１回揺動する。この結果、内歯歯車１８に対して外歯歯車１６が両歯車１８、１６の歯数差に相当する分だけ相対回転する。この相対回転が、相対回転取出機構Ｋの内ピン孔３０・内ローラ４２及び内ピン４０を介して第１、第２支持フランジ５０、６０へと取り出される。

なお、外歯歯車１６の揺動成分は、相対回転取出機構Ｋにおける内ピン孔３０と内ローラ４２、及び内ローラ４２と内ピン４０との遊嵌によって吸収される。この結果、（内歯歯車１８と外歯歯車１６の歯数差）／（外歯歯車１６の歯数）に相当する減速比を実現することができる。

この遊星歯車減速装置１０は、コンパクトで高い減速比を得ることができるという利点があり、さまざまな分野で利用されている。

特開２０００−６５１６２号公報

この種の遊星歯車減速装置の分野、特に産業用ロボットを駆動する減速装置として用いられる場合には、非常に高い回転精度が要求される。特に、バックラッシを無くしてロボットの作業部の位置決め精度を高めるのは重要であり、使用により、事後的に調整が必要となる場合には、その調整を簡易且つ効果的に行なうことができることが望ましい。

更に、産業用ロボットに利用される場合の特徴として、モータ等の駆動力が正転方向に伝達されるのみならず、正転と反転、更には加減速及び停止を繰り返しながら、複雑に伝達される。これに起因して、遊星歯車減速装置における動力伝達部分（部材）においては、単に一方向に連続回転を続ける場合に比べてよりストレスが掛かり易いため、耐久性の面でも相応の特性が要求される。第１、第２支持フランジ部への内ピンの嵌入部が「段部」形成のために細くなっているのは、この点で好ましくない。

又、遊星歯車減速機の機構上、相対回転を取り出す第１支持フランジは、内ピンを介して軸方向反対側の第２支持フランジと一体化している場合がある。このような場合に、支持フランジや内ピンの段部形成等に僅かでも製造誤差が存在すれば、その誤差が組立誤差となり、がた付き、バックラッシの増大に繋がってしまう。

これを防止するために、支持フランジや内ピン等の全ての部材をより精度良く製作することも考えられるものの、元々、精度が高く製作されている部材の精度を更に高めるには非常にコスト高となり、現実問題として妥当ではない。特に、前記従来例の場合、位置規制のための段部は、内ピンを両サイドから加工した「残り」の部分で形成するため、寸法精度の確保は非常に難しい。

そこで、本発明は、これらの不具合を解消するべく提案されたものであって、バックラッシやがた付きが少なく、又、事後調整作業が容易な遊星歯車減速装置を提供することをその課題としている。

本発明は、内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車とを備え、前記内歯歯車と外歯歯車との相対回転成分を出力として取り出す遊星歯車減速装置において、前記外歯歯車の軸方向一方側に第１軸受を介して配置された第１支持フランジと、前記外歯歯車の軸方向他方側に第２軸受を介して配置された第２支持フランジと、前記第１支持フランジと一体的に形成されると共に、前記外歯歯車を貫通して前記第２支持フランジにまで延在された内ピンと、該内ピンと前記第２支持フランジとを圧接可能なボルトと、を備え、且つ、前記第２支持フランジと前記内ピンとの間にシムを挟装して前記内ピンと前記第２支持フランジとを前記ボルトを介して圧接することにより、上記不具合を解消したものである。

本発明では、内ピンを第１支持フランジと（単一の部品として）一体的に形成し、更に、内ピンと第２支持フランジをボルトにより圧接することにより、本減速装置の中核となる第１支持フランジ−内ピン−第２支持フランジ−第２軸受部分の予圧調整を容易に且つ的確に行なうことができる。又、必要ならば、若干の構成上の工夫により第１支持フランジと第１軸受との予圧調整も同時に行なうこともできる。又、シムの厚さを変更することにより調整が可能となるため、複数の内ピンのうち、必要な箇所に必要な厚さのシムを挟装することで、部品の製造誤差を吸収できる。この結果、部品の製造精度を必要以上に上げる必要がなく、コスト上昇を抑えることができ、且つ、予圧の調整不良に起因するがた付きの発生やバックラッシの増大を効果的に防止できる。

本発明により、装置の中核を構成する部材の予圧調整作業が容易且つ的確に行える遊星歯車減速装置を提供することができる。

以下図面に基づいて、本発明の実施形態の例を詳細に説明する。

図１は、本発明の実施形態の一例に係る遊星歯車減速装置を示す図５相当の縦断面図である。

この遊星歯車減速装置１１０は、入力軸１１２、偏心体１１４（１１４Ａ〜１１４Ｃ）、３枚の外歯歯車１１６（１１６Ａ〜１１６Ｃ）、内歯歯車１１８、相対回転取出機構Ｋ１を主な構成要素として備える。また、相対回転取出機構Ｋ１の構成要素の一つである内ピン１４０を両持ち的に支持するために、外歯歯車１１６の軸方向両サイドに第１支持フランジ１５０及び第２支持フランジ１６０を備える。

前記入力軸１１２は、第１、第２支持フランジ１５０、１６０にそれぞれ当接している第３軸受１５２、第４軸受１６２によって回転自在に支持されている。この入力軸１１２は、中央に大径の中空部１１２Ａを備え（ホロー構造）、図示せぬモータのモータ軸とスプライン１１２Ｂを介して連結可能とされている。尚、モータ軸とスプライン１１２Ｂとの間に歯車を介して連結しても良い。

前記偏心体１１４は、入力軸１１２と一体的に成形されている。偏心体１１４は、３つの偏心部１１４Ａ〜１１４Ｃを備える。各偏心部１１４Ａ〜１１４Ｃの外周の中心ＯｅＡ〜ＯｅＣは、それぞれ入力軸１１２の軸心Ｏｉに対してΔＥだけ偏心している。また、各偏心部１１４Ａ〜１１４Ｃの偏心位相は互いに１２０度ずれている。

前記３枚の外歯歯車１１６（１１６Ａ〜１１６Ｃ）は、偏心体１１４の各偏心部１１４Ａ〜１１４Ｃにローラ１１７（１１７Ａ〜１１７Ｃ）を介してそれぞれ回転自在に装着されている。ローラ１１７は、入力軸１１２を支持している第３軸受１５２、第４軸受１６２によってその軸方向の位置決めがなされている。なお、外歯歯車１１６が軸方向に３枚並列に配置されているのは、伝達容量の増大を意図したためである。各外歯歯車１１６には、該外歯歯車１１６を貫通する内ピン孔１３０を備える。

前記内歯歯車１１８は、遊星歯車減速装置１１０のケーシング１１１と一体化されている内歯歯車体１１８Ｂと、内歯１１８Ａを構成するローラ状のピンとによって構成されている。

前記第１支持フランジ１５０及び第２支持フランジ１６０は、第１軸受１５４、第２軸受１６４によってケーシング１１１にそれぞれ回転自在に支持されている。第１支持フランジ１５０には駆動対象である外部機械（図示略）が、図示せぬボルト等を用いて連結可能とされている。また、第１支持フランジ１５０は、内ピン１４０を（自身の一部として）一体的に備える。具体的には、第１支持フランジ１５０と内ピン１４０とは鍛造にて一体形成されている。

又、前記第１軸受１５４と第２軸受１６４の外輪１５４Ａ、１６４Ａはそれぞれケーシング１１１に固定されている。一方、第１軸受の内輪１５４Ｂは第１支持フランジ１５０に、更に、第２軸受の内輪１６４Ｂは第２支持フランジ１６０にそれぞれ固定されている。尚、ここで「固定されている」とは一体的に成形することも含む概念である。

各外輪１５４Ａ、１６４Ａの玉（転動体）１５４Ｃ、１６４Ｃとの接触面は、共にそれぞれの軸受１５４、１６４の軸方向外歯歯車１１６側（第１軸受１５４を基準とすれば第２軸受１６４側、第２軸受１６４を基準とすれば第１軸受１５４側）へ向かうに従い、玉１５４Ｃ、１６４Ｃの円弧と略同様の円弧を描いて半径方向内側に向かって盛り上がっている。より具体的に説明すると、第２軸受１６４の外輪１６４Ａには、玉１６４Ｃと接触している接触面Ｃ３が存在している。該接触面Ｃ３における前記外輪１６４Ｃの半径方向の厚みＨは、外歯歯車１１６側（第１軸受１５４側）が最も厚く形成され（Ｈ１）、反外歯歯車１１６側が最も薄く形成されている（Ｈ２）。

一方、第１軸受１５４の外輪１５４Ａにおいても軸方向対称に同様の構成とされている。即ち、各外輪１５４Ａ、１６４Ａは、玉１５４Ｃ、１６４Ｃの外歯歯車側への移動を規制している。

これとは逆に各内輪１５４Ｂ、１６４Ｂの玉１５４Ｃ、１６４Ｃとの接触面の形状は、反外歯歯車側に向かうに従い半径方向外側に向かって盛り上がった形状とされている。即ち、各内輪１５４Ｂ、１６４Ｂは、玉１５４Ｃ、１６４Ｃの反外歯歯車側への移動を規制している。

前記相対回転取出機構Ｋ１は、この内ピン１４０と、内ローラ１４２と、外歯歯車１１６に形成された内ピン孔１３０とで構成されている。各内ピン１４０の外周には内ローラ１４２が回転自在に装着されており、内ピン孔１３０と内ピン１４０はこの内ローラ１４２を介して動力伝達を行う構成とされている。

ここで、図２を参照しながら、内ピン１４０と第２支持フランジ１６０との連結構造について説明する。図２は、図１における矢視II部の拡大図である。

図２に示されるように、前記第２支持フランジ１６０には、前記内ピン１４０が嵌入可能な凹部１４６が形成されている。該凹部１４６に内ピン１４０が嵌入しており、内ピン先端面１４０Ａと凹部底面１４６Ａとの間には、シム１７０が挟装されている。本実施形態では２枚のシム１７０が挟装されているが、必要に応じてシム１７０の枚数及び厚みは調整可能である。２種〜３種程度の厚さのシム１７０を用意し、これらを適宜に組み合せて用いれば幅広い調整が可能である。

シム１７０は、扁平なドーナツ状の形状を有しており、中央に内ピン１４０と第２支持フランジ１６０とを連結するボルト１８０が挿通可能な穴１７０Ａが空いている。

図１に戻って、本実施形態において内ピン１４０と一体的に形成されている第１支持フランジ１５０には、全体的に表面硬度を上げるための浸炭焼入焼戻し処理（硬化処理）がされている。更に軸受の内軸として機能する部位Ｃ２には、高周波焼入処理がされている。尚、硬化処理として、窒化処理を施しても良い。

図１の符号１８５はグリスを封入するための封入口、符号１８７はシール部材である。

次に、この遊星歯車減速装置１１０の作用を説明する。

図示せぬモータ軸の回転により、入力軸１１２が回転すると、該入力軸１１２と一体化されている偏心体１１４が回転する。偏心体１１４の外周は入力軸１１２の軸心Ｏｉに対してΔＥだけ偏心しているため、該偏心体１１４の回転によりローラ１１７を介して３枚の外歯歯車１１６がそれぞれ１２０度の位相差をもって内歯歯車１１８に内接しながら揺動回転する。この例では、内歯歯車１１８がケーシング１１１と一体化されているため、入力軸１１２が１回転することによって外歯歯車１１６が１回揺動回転すると、該外歯歯車１１６は、内歯歯車１１８に対して両歯車１１６、１１８の歯数差に相当する分だけ相対的に回転（自転）することになる。

この相対回転は、相対回転取出機構Ｋ１を構成する内ピン孔１３０、内ローラ１４２及び内ピン１４０を介して第１、第２支持フランジ１５０、１６０側に取り出される。外歯歯車１１６の揺動成分は、相対回転取出機構Ｋ１における内ピン孔１３０と内ローラ１４２、及び内ローラ１４２と内ピン１４０との遊嵌によって吸収される。この結果、（内歯歯車１１８と外歯歯車１１６の歯数差）／（外歯歯車１１６の歯数）に相当する減速比を僅か一段で実現することができる。

この実施形態に係る遊星歯車減速装置１１０においては、第１支持フランジ１５０と駆動対象である外部機械（図示略）とを、図示せぬボルト等を用いて連結するようにしてあるため、結局、該第１支持フランジ１５０側を介して外部機械を駆動することができる。なお、第１支持フランジ１５０を固定して、ケーシング１１１自体を出力部材（いわゆる枠回転構造）として活用することも可能である。

又、内ピン１４０と第２支持フランジ１６０の間に様々な厚さのシム１７０を挟むことによって、遊星歯車減速装置１１０の軸方向の長さＬ１（図１参照）を調整することが可能となる。この長さＬ１を調整するということは、当該遊星歯車減速装置１００全体の組み付けのがたの調整、ひいてはラジアル方向のがたの調整を行なうことを意味する。仮に、挟装するシム１７０をより薄いものとすれば長さＬ１は短縮されることとなるが、前述したように、第１軸受１５４及び第２軸受１６４の外輪１５４Ａ、１６４Ａにおける玉１５４Ｃ、１６４Ｃとの接触面が外歯歯車１１６側に向かうに従い半径方向内側に向かって盛り上がった形状をしており、及び内輪１５４Ｂ、１６４Ｂにおける玉１５４Ｃ、１６４Ｃとの接触面が反外歯歯車側へ向かうに従い半径方向外側へ向かって盛り上がった形状をしていることに起因して、玉１５４Ｃ、１６４Ｃの半径方向の位置ががたなく定まると同時に、軸方向の位置もがたなく定まることとなる。即ち、接点（玉１５４Ｃと外輪１５４Ａ、玉１５４Ｃと内輪１５４Ｂ、玉１６４Ｃと外輪１６４Ａ、玉１６４Ｃと内輪１６４Ｂ）の予圧が同時にバランスする位置に規定され、第１軸受１５４及び第２軸受１６４はそれぞれがたなく、且つ必要以上の接触圧を生じることなく組み付けられる。それに応じて、内歯１１８Ａ、外歯歯車１１６、内ローラ１４２等の位置も所定の位置に組み付けられることとなり、結果として回転時のラジアル方向のがたつきが小さくなる傾向となる。

尚、前記シム１７０は、常に全ての内ピン１４０と第２支持フランジ１６０の間に挟装する必要はなく、各内ピン１４０や第２支持フランジ１６０の製造誤差に起因する長さＬ１のバラツキを修正するように挟装可能である。よって、いずれかの内ピン１４０に対して一箇所でもシム１７０が挿入されている限り、各内ピン１４０において挟まれるシム１７０の厚さや枚数、更には、挟装しない等の選択は自由である。

又、本実施形態では、ボルト１８０を取り外し、第２支持フランジ１６０を取り外すことで簡単にシム交換が行なえるため、装置の使用により経時的に再調整が必要となった場合等には、その調整作業を簡単に行なうことができる。

更に本実施形態では、当該シム１７０の厚さの調整のみで、第１軸受１５４及び第２軸受１６４の予圧を同時に調整することができるため、それぞれを独立して調整する場合と比べて調整作業の時間も短縮することができる。

又、本実施形態のように、内ピン１４０と第１支持フランジ１５０を（単一の部材として）一体的に構成し、且つ、第１軸受１５４の内輪１５４Ｂとしても機能させる場合には、単一部材であっても各部位に応じて必要となる特性が異なってくる。即ち、相対回転成分を取り出すという本来の内ピン１４０として機能する部位Ｃ１では、摺動性の他に特に耐磨耗性及び、寸法精度の確保が求められる。一方、軸受の内輪として機能する部位Ｃ２では、摺動性の他に特に耐転動疲労性が求められる。

そこで、本実施形態においては、第１支持フランジ１５０（内ピン１４０）全体を、部材の変態点を超えない範囲で一旦浸炭焼入焼戻し処理を施し、更に、軸受の内輪として機能する部位Ｃ２（オイルシール１８７と接触する面でもある）には、高周波焼入の処理を施している。内ピン１４０として機能する部分Ｃ１は、高精度に加工した後に高周波焼入処理をすると歪んで再加工が必要となるため行なわない。なお、本実施形態では構成上、この部分Ｃ１をストレート加工によって加工することができるため、高い寸法精度の確保が容易である。

これにより、部位Ｃ１は摺動性、耐磨耗性及び高寸法精度を確保でき、部位Ｃ２は摺動性および耐転動疲労性に優れた性質を確保できることになる。

なお、「変態点」とは、加熱時（処理時）に部材の結晶構造が変化し、オーステナイトが生成し始める温度のことを意味している。

又、上述の硬化処理は、浸炭焼入焼戻し処理及び高周波焼入処理に限られるものではなく、窒化処理や研磨する等、必要とされる硬度やコストを考慮して、適宜変更可能である。

次に、他の実施形態として図３を用いて遊星歯車減速装置３１０について説明する。なお、ここでは、前述した遊星歯車減速装置１１０と同一又は類似する部分については、下２桁に同一の符号を付すに止め、重複説明は省略する。

前述の遊星歯車減速装置１１０と比べて、遊星歯車減速装置３１０の特徴は、ねじ部Ｎ３（第１支持フランジ３５０と第２支持フランジ３６０とを連結しているボルト３８０が螺合可能なねじ部）の位置が異なる点にある。即ち、第２支持フランジ３６０に設けられた凹部３４６Ｂに嵌入している内ピン３４０の嵌入している部分、即ち、内ピン３４０のこの凹部３４６Ｂに対応する軸方向位置Ｐ３以外の部分（内ピン３４０と第１支持フランジ３５０の少なくとも一方）にねじ部Ｎ３が設けられている点が特徴となる。なお、便宜上、図の上部側のボルト（３８０）はその記載を省略してある。

このような構成で、ねじ部に発生する応力と、減速機にかかる荷重によって生じる嵌入部（曲げ応力が最も大になる部分）の位置が重なることを避けることにより、内ピンに働く応力を分散し、ボルト３８０の耐久性を高めることができる。

次に他の実施形態として図４を用いて遊星歯車減速装置４１０について説明する。ここでも重複説明は省略する。

この遊星歯車減速装置４１０においても、特徴はねじ部Ｎ４の位置にある。ここではねじ部Ｎ４が第１支持フランジ４５０（に対応する軸方向位置）に設けられている。このような構成とすれば必然的に使用するボルト４８０は長いものとなり、更にねじ部とボルトの頭とが離れ、ボルトの内力係数を大きくすることができ、ボルトが切れ難くなる効果が発揮される。なお、ここでも、遊星歯車減速装置３１０で説明したと同様に、第２支持フランジ４６０の凹部４４６Ｂに対応する軸方向位置Ｐ４にはねじ部が設けられていないため、剪断力に対する耐久性は確保されている。

尚、上記実施形態の例においては、３枚の外歯歯車が軸方向に併設された例が示されていた。本発明は、内ピンを両持ち支持するようにしているため、このように外歯歯車が軸方向に複数枚並設されている場合に特に顕著な効果が得られる。しかしながら、本発明は、必ずしもこのように３枚、あるいはそれ以上の外歯歯車が並設された場合にその適用が限定されるものではなく、例えば、図示しないが、外歯歯車が２枚のみ装備された減速装置にも適用可能であり、さらには、外歯歯車が１枚のみの減速装置にも同様に適用可能である。

また、上記実施形態の例においては、内ピンの周りに内ローラが被せられた構成が示されていた。本発明においては、この内ローラの存在は、必ずしも必須ではない。

ラジアル方向のがた付きやバックラッシの調整が非常に高い精度で要求される産業用ロボットの分野において適用されることは勿論、装置の運転時間が長いものや、正転・反転の繰り返しが多い装置に利用される場合等、精度が要求され、且つ、がたが生じ易い使用態様で使用される遊星歯車減速装置の分野において広く適用することが可能である。

本発明の実施形態の１つである遊星歯車減速装置１１０の全体側断面図 図１における矢示II部の拡大図 本発明の他の実施形態の１つである遊星歯車減速装置３１０の全体側断面図 本発明の他の実施形態の１つである遊星歯車減速装置４１０の全体側断面図 従来の遊星歯車減速装置の全体側断面図

符号の説明

１１０…遊星歯車減速装置
１１２…入力軸
１１４…偏心体
１１６…外歯歯車
１１８…内歯歯車
Ｋ１…相対回転取出機構
１３０…内ピン孔
１４０…内ピン
１４２…内ローラ
１４６…凹部
１５０…第１支持フランジ（出力軸）
１５２、１５４、１６２、１６４…軸受
１６０…第２支持フランジ
１７０…シム
１８０…ボルト

Claims (9)

1. 内歯歯車と、該内歯歯車に内接噛合する外歯歯車とを備え、前記内歯歯車と外歯歯車との相対回転成分を出力として取り出す遊星歯車減速装置において、
   前記外歯歯車の軸方向一方側に第１軸受を介して配置された第１支持フランジと、
   前記外歯歯車の軸方向他方側に第２軸受を介して配置された第２支持フランジと、
   前記第１支持フランジと一体的に形成されると共に、前記外歯歯車を貫通して前記第２支持フランジにまで延在された内ピンと、
   該内ピンと前記第２支持フランジとを圧接可能なボルトと、を備え、且つ、
   前記第２支持フランジと前記内ピンとの間にシムを挟装して前記内ピンと前記第２支持フランジとを前記ボルトを介して圧接した
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
2. 請求項１において、
   前記第２軸受は、外輪が前記遊星歯車減速装置のケーシングに固定され、内輪が第２支持フランジに固定され、転動体が前記ボルトの締結力により前記外輪と内輪とに締め付けられている
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
3. 請求項１又は２において、
   前記第２軸受の外輪における転動体との接触面は前記第１軸受側へ向かうに従い半径方向内側に向かって盛り上がるよう形成され、且つ、
   前記第２軸受の内輪における転動体との接触面は反第１軸受側へ向かうに従い半径方向外側に向かって盛り上がるよう形成されている
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
4. 請求項３において、
   更に、前記第１軸受の外輪における転動体との接触面は前記第２軸受側へ向かうに従い半径方向内側に向かって盛り上がるよう形成され、且つ、
   前記第１軸受の内輪における転動体との接触面は反第２軸受側へ向かうに従い半径方向外側に向かって盛り上がるよう形成されている
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
5. 請求項１乃至４のいずれかにおいて、
   前記第２支持フランジには凹部が形成され、該凹部に前記内ピンが嵌入している
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
6. 請求項５において、
   前記ボルトと螺合可能なねじ部が前記内ピンと前記第１支持フランジの少なくとも一方に形成されると共に、該ねじ部は前記内ピンの前記凹部に嵌入している部分には形成されていない
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
7. 請求項６において、
   前記ねじ部は、前記第１支持フランジに形成されている
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
8. 請求項１乃至７のいずれかにおいて、
   前記第１支持フランジと一体的に形成された内ピンには、所定の硬化処理が施されている
   ことを特徴とする遊星歯車減速装置。
9. 請求項１乃至８のいずれかに記載の遊星歯車減速装置を備えたロボットの関節駆動用の遊星歯車減速装置。

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