JP2006289523A - 研磨パッド貼着用加圧ローラを備えた両面研磨装置及び研磨パッドの貼着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 両面研磨装置における上下の定盤に加圧ローラを用いて研磨パッドを機械的に貼着することができる、構成が簡単で操作も容易な新たな技術手段を得る。
【解決手段】 円柱形をしたローラ本体21と該ローラ本体21を回転自在に支持するローラ軸22とからなる加圧ローラ20Aを、支持機構25を介して装置本体に取り付け、定盤1,2に対するパッド貼着時に、上記支持機構25による位置操作によって該加圧ローラ20Aを上下の定盤間1,2に半径方向に介在させ、上下の定盤1,2を互いに逆向きに回転させることにより上記ローラ本体21を従動回転させ、回転する該ローラ本体21によって上記研磨パッド5をパッド貼着面1a,2aに圧着させる。
【選択図】 図5
Description
この方法は、手作業の場合よりは少ない労力で済むうえに、短時間のうちに研磨パッド全体を均一に加圧することができるため、非常に簡単かつ効率的である。
この場合に好ましくは、上記係止受部が例えばサンギヤとインターナルギヤとにおける歯であり、また、上記係止部がこれらの歯に係合する凹部を有していることである。
この方法は、上記パッド貼着面の幅より短い長さを持つ円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在かつ軸線方向に移動自在に支持するローラ軸とからなる加圧ローラを使用し、上記上定盤及び/又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に該定盤の半径方向に介在させ、上定盤により荷重を加えた状態で上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させると共に上記ローラ軸に沿って定盤の半径方向に移動させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させることを特徴とするものである。
また、上下の定盤によって加圧ローラ全体が同時にかつ均等に加圧されるため、この加圧ローラによる加圧力が研磨パッド全体に均等に作用することになり、このため接着むらが発生せず、研磨パッド全体を定盤に対して均一に貼着することができる。
更に、上記加圧ローラを支持機構で研磨装置の装置本体に取り付けておくことにより、該加圧ローラをパッド貼着位置と収納位置とに簡単に位置操作することができる。
上記研磨パッド5,5の貼着が終わると、上定盤1を上昇させ、支持機構25により各加圧ローラ20Aを収納位置に変位させる。
しかし、上記係止部及び係止受部はこのようなものに限らず、係止専用のピンや突起あるいは孔などの相互に係合し合う凸部と凹部とを有するものであれば、どのような形態のものであっても良い。
2 下定盤
1a,2a パッド貼着面
3 サンギヤ
4 インターナルギヤ
5 研磨パッド
16 キャリヤ
20A,20B,20C 加圧ローラ
21 ローラ本体
22 ローラ軸
23,23a,23b 係止部
24,24a,24b 係止受部
25 支持機構
X 貼着位置
Y 収納位置
W ワーク
Claims (8)
- 円環状のパッド貼着面と、該貼着面に貼着された円環状の研磨パッドとを有し、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤、
上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤ、
円柱形をしたローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸とからなっていて、支持機構を介して装置本体に取り付けられ、該支持機構を駆動することにより、上記ローラ本体が上下の定盤間に半径方向に介在した状態でこれら両定盤の回転に追随して従動回転しながら研磨パッドを加圧するパッド貼着位置と、上下の定盤から離れた収納位置との間を変位する加圧ローラ、
を有することを特徴とする研磨パッド用加圧ローラを備えた両面研磨装置。 - 上記ローラ軸の基端部が、上記支持機構によって昇降自在かつ旋回自在なるように支持され、該ローラ軸の先端部に、上記パッド貼着位置において装置本体の係止受部に係止する係止部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨装置。
- 上記加圧ローラのローラ本体が、上記パッド貼着面の幅と同等以上の長さを有していて、該パッド貼着面上の研磨パッドに全幅にわたり当接するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の両面研磨装置。
- 上記加圧ローラのローラ本体が、上記パッド貼着面の幅より短い長さを有していて、該パッド貼着面上の研磨パッドに部分的に当接し、上下の定盤の回転に追随して従動回転しながら該定盤の半径方向に移動するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の両面研磨装置。
- 円環状のパッド貼着面と、該貼着面に貼着された円環状の研磨パッドとを有し、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤;上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤ;円柱形をしたローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸とからなっていて、装置に対して個別に着脱自在なるように形成され、上定盤及び/又は下定盤に対する研磨パッドの貼着時に両定盤間に半径方向に配設される複数の加圧ローラ;を有し、
上記加圧ローラのローラ本体が、上記パッド貼着面の幅より短い長さを有していて、研磨パッドの貼着時に該パッド貼着面上の研磨パッドに部分的に当接し、上下の定盤の回転に追随して従動回転しながら該定盤の半径方向に移動するように構成されていることを特徴とする研磨パッド用加圧ローラを備えた両面研磨装置。 - 上記加圧ローラが、ローラ軸の両端にそれぞれ係止部を有し、これらの係止部を研磨装置の係止受部に係止させることによって該研磨装置に取り付けられることを特徴とする請求項5に記載の両面研磨装置。
- 上記係止受部がサンギヤとインターナルギヤとにおける歯であり、上記係止部がこれらの歯に係合する凹部を有することを特徴とする請求項6に記載の両面研磨装置。
- キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤとを備えた両面研磨装置において、上記上定盤及び/又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための方法であって、
上記パッド貼着面の幅より短い長さを持つ円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在かつ軸線方向に移動自在に支持するローラ軸とからなる加圧ローラを使用し、
上記上定盤及び/又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に該定盤の半径方向に介在させ、上定盤により荷重を加えた状態で上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させると共に上記ローラ軸に沿って定盤の半径方向に移動させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させることを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼着方法。
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