JP2006269816A - 処理方法及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 条件(低温や低圧)を緩和することができ、効率的に洗浄液を除去することができる処理方法及び処理装置を提供する。
【解決手段】 チャンバ10において、ウェハWの表面に形成されたパターン溝に洗浄液導入溶液が入り込んだ状態で液封し、洗浄液タンク61から下部供給弁12を介してチャンバ10に洗浄液を導入し、パターン溝に洗浄液に入り込ませる。次に、CO2タンク21から上部供給弁11を介してチャンバ10にCO2を供給するとともに、チャンバ10を臨界点より低い圧力温度に維持したまま、下部供給弁12から排出する。これによりチャンバ10内で生じたCO2の流れにより洗浄液が排出される。また、このCO2の流れだけでは排出されないパターン溝の洗浄液は、チャンバ10のCO2に溶解して排出される。
【選択図】 図1
【解決手段】 チャンバ10において、ウェハWの表面に形成されたパターン溝に洗浄液導入溶液が入り込んだ状態で液封し、洗浄液タンク61から下部供給弁12を介してチャンバ10に洗浄液を導入し、パターン溝に洗浄液に入り込ませる。次に、CO2タンク21から上部供給弁11を介してチャンバ10にCO2を供給するとともに、チャンバ10を臨界点より低い圧力温度に維持したまま、下部供給弁12から排出する。これによりチャンバ10内で生じたCO2の流れにより洗浄液が排出される。また、このCO2の流れだけでは排出されないパターン溝の洗浄液は、チャンバ10のCO2に溶解して排出される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、構造体、例えばパターン溝などの凹凸形状が表面に形成されているウェハなどを洗浄し、乾燥する場合に用いられる処理方法及び処理装置に関する。
今日、高性能、高集積の半導体デバイスを実現するために、微細なパターンが用いられる。構造上、パターンの高さに対してライン幅を減少させた場合、アスペクト比が高くなる。この場合、パターン倒れが生じる場合がある。特にレジストパターンの場合、その倒壊は微細加工において大きな問題となる。
このパターン倒れが生じる原因の一つは、洗浄工程後の乾燥時において、パターン溝に入り込んだ洗浄液の毛細管力にある。すなわち、毛細管力は、洗浄液の表面張力に関係し、微細な間隔で配置された複数の微細なパターン間に残存した洗浄液内の圧力と大気圧との差で生じる。従って、洗浄液の表面張力が大きいほど、毛細管力は大きくなりパターンは倒れ易くなる。ここで、毛細管力は、液体と気体との界面が形成されるために発生する。パターン溝内の液面がそろっている場合は、発生する力はつり合うのでパターン倒れは生じないが、乾燥操作等により液面にばらつきが生じると釣り合いがとれず、力がかかりパターンが倒れる場合がある。また、パターン溝の上の部分に水滴が付着した際も、液面とパターン溝で界面張力が発生し、液滴濡れの端部等では力の釣り合いがとれず、パターンは面方向に押されたり引っ張られたりして、パターンがくっついた状態になる場合もある。従って、パターン倒れを抑制するために、液体と気体の界面を形成しない表面張力の小さな超臨界流体を用いる方法が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。
この特許文献1においては、密閉可能な超臨界室、第1及び第2減圧室を、密閉された通路により、この順番に接続した乾燥装置が開示されている。この乾燥装置においては、7.5MPa(メガパスカル)の圧力の超臨界室において超臨界流体を用いて乾燥処理を行なう。そして、超臨界室の圧力と同じ圧力にした第1減圧室と超臨界室とを連通し、乾燥処理が終わったウェハを超臨界室に搬送した後、第1減圧室と超臨界室とを遮断する。次に、5.5MPaの圧力に設定した第2減圧室と第1減圧室とを連通し、第2減圧室にウェハを搬送する。そして、第2減圧室を大気圧まで減圧して、ウェハを乾燥装置から排出する。従って、同じ室で徐々に減圧するよりも、低圧の第2減圧室に連通させて一気に圧力を低下させることができるので、乾燥処理を行ったウェハを次の処理に供給するまでの時間を短くできるとしている。
特開2004−207579号公報(図1〜図2)
しかしながら、特許文献1では、パターン倒れを防止するために、ウェハ上のリンス液(例えば、水)を超臨界流体に置換する必要がある。通常、リンス液は超臨界流体に溶解させて除去するが、溶解したリンス液がパターンに再付着することがある。リンス液が水の場合には、再付着した水がパターンに悪影響を及ぼし、超臨界流体を用いてもパターン倒れを防止できないことがあった。そこで、超臨界流体に界面活性剤を混合させ、水をミセル化して分散して除去することが通常行なわれていた。
従って、超臨界状態を維持しながら、界面活性剤を混入させる必要があったために、乾燥装置は、高温高圧に十分に耐えられる構成にする必要があった。更に、大量のリンス液を超臨界流体に溶解させるためには、その分、多くの界面活性剤が必要であった。
本発明は、上述の課題に鑑みてなされ、その目的は、条件(低温や低圧)を緩和することができ、効率的に洗浄液を除去することができる処理方法及び処理装置を提供することにある。
上記問題点を解決するために、請求項1に記載の発明は、処理槽内において、洗浄液で液封された構造体を洗浄し乾燥させる処理方法であって、前記処理槽内に作用流体を導入し、この作用流体の流れにより、前記構造体の表面の洗浄液を押し流す第1の段階と、前記作用流体の少なくとも温度又は圧力を制御して、前記構造体における洗浄液滞留領域に残留した洗浄液を、前記作用流体に溶解させることにより除去する第2の段階とを含むことを要旨とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の処理方法において、前記作用流体には、超臨界状態を実現可能な流体を用い、前記第2の段階においては、少なくとも温度又は圧力を制御して、前記作用流体を超臨界点近傍の液体状態に維持し、前記洗浄液の前記作用流体への溶解を促進させることを要旨とする。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の処理方法において、前記超臨界状態を実現可能な流体には、液体状態の二酸化炭素を用いることを要旨とする。
請求項4に記載の発明は、請求項2又は3に記載の処理方法において、第2の段階において、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入することを要旨とする。
請求項4に記載の発明は、請求項2又は3に記載の処理方法において、第2の段階において、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入することを要旨とする。
請求項5に記載の発明は、処理槽内において、洗浄液で液封された構造体を洗浄し乾燥させる処理装置であって、前記処理槽内に作用流体を導入し、この作用流体の流れにより、前記構造体の表面の洗浄液を押し流す第1の手段と、前記作用流体の少なくとも温度又は圧力を制御して、前記構造体における洗浄液滞留領域に残留した洗浄液を、前記作用流体に溶解させることにより除去する第2の手段とを有することを要旨とする。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の処理装置において、前記作用流体には、超臨界状態を実現可能な流体を用い、前記第2の手段においては、少なくとも温度又は圧力を制御して、前記作用流体を超臨界点近傍の液体状態に維持し、前記洗浄液の前記作用流体への溶解を促進させることを要旨とする。
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の処理装置において、前記超臨界状態を実現可能な流体には、液体状態の二酸化炭素を用いることを要旨とする。
請求項8に記載の発明は、請求項6又は7に記載の処理装置において、前記第2の手段において、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入することを要旨とする。
請求項8に記載の発明は、請求項6又は7に記載の処理装置において、前記第2の手段において、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入することを要旨とする。
(作用)
請求項1又は5に記載の発明によれば、処理槽内に導入した作用流体の流れという物理的作用により、構造体の表面の洗浄液を押し流し、更に温度又は/及び圧力を制御して、構造体における洗浄液滞留領域に残留した洗浄液を作用流体に溶解させる。ここで、「作用流体」とは、表面張力が生じない又は小さい流体であって、圧力や温度を調整することにより洗浄液を溶解することができる流体を意味する。すなわち、作用流体の流れにより除去できなかった洗浄液、すなわち処理槽内(例えばパターン溝などの構造体の洗浄液滞留領域や処理槽の壁面など)に残留する洗浄液を作用流体に溶解させて除去する。このため、構造体は、洗浄液や作用流体により液封され、更に作用流体の表面張力が小さいため、毛細管力を抑制し、例えば構造体に微細パターンが形成されている場合にもパターン倒れを抑止することができる。
請求項1又は5に記載の発明によれば、処理槽内に導入した作用流体の流れという物理的作用により、構造体の表面の洗浄液を押し流し、更に温度又は/及び圧力を制御して、構造体における洗浄液滞留領域に残留した洗浄液を作用流体に溶解させる。ここで、「作用流体」とは、表面張力が生じない又は小さい流体であって、圧力や温度を調整することにより洗浄液を溶解することができる流体を意味する。すなわち、作用流体の流れにより除去できなかった洗浄液、すなわち処理槽内(例えばパターン溝などの構造体の洗浄液滞留領域や処理槽の壁面など)に残留する洗浄液を作用流体に溶解させて除去する。このため、構造体は、洗浄液や作用流体により液封され、更に作用流体の表面張力が小さいため、毛細管力を抑制し、例えば構造体に微細パターンが形成されている場合にもパターン倒れを抑止することができる。
更に、処理槽内に導入した作用流体の流れにより洗浄液をまず押し流す。そして、この流れにより、残留する洗浄液を少量にすることができるので、残留洗浄液を作用流体に溶解させる条件(低温や低圧)を緩和することができ、効率的に洗浄液を除去することができる。このように、温度や圧力を緩和した条件で洗浄・乾燥することができるため、装置構成を簡易にすることが可能である。なお、この「洗浄液」には、構造体の表面を洗浄する液のみならず、他の薬液を濯ぐためのリンス液等も含む。
請求項2又は6に記載の発明によれば、超臨界状態を実現可能な流体を用い、第2の段階においては、少なくとも温度又は圧力を制御して、作用流体を超臨界点近傍の液体状態に維持し、洗浄液の作用流体への溶解を促進させる。このため、残留した洗浄液を除去し、構造体を乾燥させることができる。作用流体が超臨界状態の場合には、構造体の洗浄液滞留領域で液相と気相との界面が形成されず、表面張力が生じない。また、作用流体が亜臨界状態又はこれに近い状態の場合には、表面張力が小さくなる。
請求項3又は7に記載の発明によれば、超臨界状態を実現可能な流体には、液体状態の二酸化炭素を用いることができる。
請求項4又は8に記載の発明によれば、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入する。これにより、洗浄液の前記作用流体への溶解を更に促進させることができる。なお、作用流体に洗浄液を溶解して除去する前に、作用流体の流れにより構造体の表面の洗浄液を減少させているので、残留する洗浄液が少量となっている。このため、脱水助剤としての界面活性剤を少なくした場合においても乾燥を行なうことができる。また、界面活性剤を少量とするができるので、界面活性剤を作用流体に分散させるための作用流体の条件(温度や圧力)を緩和(低温や低圧)することができる。
請求項4又は8に記載の発明によれば、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入する。これにより、洗浄液の前記作用流体への溶解を更に促進させることができる。なお、作用流体に洗浄液を溶解して除去する前に、作用流体の流れにより構造体の表面の洗浄液を減少させているので、残留する洗浄液が少量となっている。このため、脱水助剤としての界面活性剤を少なくした場合においても乾燥を行なうことができる。また、界面活性剤を少量とするができるので、界面活性剤を作用流体に分散させるための作用流体の条件(温度や圧力)を緩和(低温や低圧)することができる。
本発明によれば、残留洗浄液を作用流体に溶解させる条件(低温や低圧)を緩和することができ、効率的に洗浄液を除去することができる。このため、装置構成を簡易にしたり、界面活性剤を低減したりすることができる。更に、パターン溝のように凹凸形状が形成された構造体の場合には、パターン倒れを抑止することができ、微細パターンを良好に洗浄乾燥することができる。
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図3に基づいて説明する。本実施形態では、ウェハWを構造体として洗浄乾燥する場合を想定する。また、このウェハWには、表面にレジストを用いて洗浄液滞留領域としてのパターン溝(Line and Space)が形成されている。ここで、ウェハWの表面には、パターンとして220本のラインを、ポジ型の電子線レジストを用いて形成する。なお、ライン幅は80nm(ナノメートル)、高さ400nm、長さ1mm、スペース幅は80〜100nmであり、アスペクト比を約「5」とした。更に、ポジ型の電子線レジストとして、日本ゼオン社製のZEP520(商品名)を用いる。これにより、ウェハW上には、疎水性ポリスチレン(PS)でなるレジスト皮膜が形成される。
また、本実施形態では、作用流体として二酸化炭素(以下、「CO2」と記載する)を用いる。CO2の臨界点は、31℃で7.4MPaである。
まず、ウェハWを洗浄し乾燥させる処理装置としての洗浄乾燥装置の配管について、図1を用いて説明する。
まず、ウェハWを洗浄し乾燥させる処理装置としての洗浄乾燥装置の配管について、図1を用いて説明する。
図1に示すように、本実施形態の洗浄乾燥装置は、CO2タンク21と高純度CO2タンク26とを備えている。CO2タンク21は、液状のCO2を収容する。高純度CO2
タンク26は、CO2が通過するラインを洗浄するために、CO2タンク21に収容されるCO2より高純度(ほぼ100%の純度)のCO2を収容する。CO2タンク21及び高純度CO2タンク26は、CO2供給管に設けられた切換弁を介して供給弁24に接続されている。このCO2供給管には、液ポンプ22及び加熱部23が設けられている。液ポンプ22はCO2を加圧するために用いられる。加熱部23はヒータによりCO2を加熱するために用いられる。そして、供給弁24を介して、高温高圧(例えば超臨界点近傍の液体状態)のCO2を供給することができる。
タンク26は、CO2が通過するラインを洗浄するために、CO2タンク21に収容されるCO2より高純度(ほぼ100%の純度)のCO2を収容する。CO2タンク21及び高純度CO2タンク26は、CO2供給管に設けられた切換弁を介して供給弁24に接続されている。このCO2供給管には、液ポンプ22及び加熱部23が設けられている。液ポンプ22はCO2を加圧するために用いられる。加熱部23はヒータによりCO2を加熱するために用いられる。そして、供給弁24を介して、高温高圧(例えば超臨界点近傍の液体状態)のCO2を供給することができる。
供給弁24は切換弁であり、CO2タンク21と、混合分散部30又は後述する処理槽としてのチャンバ10との連通・遮断を制御する。具体的には、供給弁24を第1の連通位置にしたときには、CO2タンク21とチャンバ10とを連通させる。一方、供給弁24を第2の連通位置にしたときには、CO2タンク21と混合分散部30とを連通する。また、この供給弁24を遮断位置にしたときには、CO2タンク21を混合分散部30及びチャンバ10から遮断し、CO2タンク21からのCO2の供給を停止する。
混合分散部30は、界面活性剤を混入したCO2を生成するためのチャンバである。この混合分散部30は、界面活性剤が収容された界面活性剤タンク31に界面活性剤供給管を介して接続される。この界面活性剤供給管には液ポンプ32及び加熱部33が設けられており、高温高圧にした界面活性剤を混合分散部30に供給する。これにより、混合分散部30は、供給弁24を介してCO2タンク21から供給される高温高圧のCO2と、界面活性剤タンク31から供給される高温高圧の界面活性剤とを混合する。更に、混合分散部30は、後述する上部供給弁11を介してチャンバ10に接続されており、混合分散部30において生成した界面活性剤入りのCO2をチャンバ10に供給する。
また、本実施形態の洗浄乾燥装置は、導入溶液タンク41及び圧縮空気タンク51を備えている。導入溶液タンク41は、ウェハW上に形成したパターンに洗浄液を導入するための洗浄液導入溶液を収容する。この洗浄液導入溶液としては、レジスト材と化学的な親和力が強く、洗浄液のぬれ性を向上させる溶液を用いる。これにより、毛細管現象を利用して洗浄液をパターン溝に導入することができる。本実施形態では、レジスト(例えば、疎水性のポリスチレン)の表面において接触角が10度以下となるような溶液を用いる。具体的には、導入剤としてIPA(イソプロピルアルコール)を13wt%(重量パーセント)混入させた水溶液又はAFPO(パーフルオロオクタン酸アンモニウム;C7H15
COONH4)水溶液などを用いる。
COONH4)水溶液などを用いる。
導入溶液タンク41は、液ポンプ42及び遮断弁43を介して、上部供給弁11に接続されている。遮断弁43は、導入溶液タンク41と上部供給弁11との連通・遮断を制御し、開弁時には、液ポンプ42を介して供給される導入溶液を、上部供給弁11を介してチャンバ10に供給する。
また、圧縮空気タンク51は遮断弁53を介して上部供給弁11に接続される。この圧縮空気は、チャンバ10の内部圧力より高い圧力に設定され、チャンバ10内のパージやCO2の押し出しに用いられる。
更に、洗浄乾燥装置は洗浄液タンク61を備える。本実施形態では、洗浄液として純水を用いる。洗浄液タンク61は、液ポンプ62を介して後述する下部供給弁12に接続され、洗浄液をチャンバ10に供給する。
ウェハ洗浄を行なうチャンバ10は、上部供給弁11、下部供給弁12、上部排出弁13及び下部排出弁14に接続されている。上部排出弁13及び下部排出弁14は、分離槽71に冷却部70を介して接続される。この冷却部70は、チャンバ10において使用し
たCO2を冷却するために用いられる。
たCO2を冷却するために用いられる。
分離槽71は、めっき分散体を構成する液体の比重差を利用して、洗浄液とCO2とを分離する。この分離槽71は、廃液回収タンク73に接続される。
また、分離槽71は、CO2再生装置76に接続される。このCO2再生装置76は、底部が漏斗状になっており、CO2に溶解していた比重の重い不純物を底部に沈殿させてCO2から除去する。更に、CO2再生装置76は、上部から気体を排気できる構造になっており、水素ガスや酸素ガスなどの不純物のガスが溶解している気体のCO2を排気する。
また、分離槽71は、CO2再生装置76に接続される。このCO2再生装置76は、底部が漏斗状になっており、CO2に溶解していた比重の重い不純物を底部に沈殿させてCO2から除去する。更に、CO2再生装置76は、上部から気体を排気できる構造になっており、水素ガスや酸素ガスなどの不純物のガスが溶解している気体のCO2を排気する。
CO2再生装置76は、中央部に、CO2タンク21に連通する再生管が接続されており、この再生管を介して液体CO2がCO2タンク21に供給される。この再生管には、CO2再生装置76に近い順に、活性炭充填カラム78及び吸着脱水材充填カラム79が設けられている。活性炭充填カラム78は、活性炭が充填された筒状通路であり、液体CO2が通過すると、液体CO2に含まれている有機物を除去する。吸着脱水材充填カラム79は、モレキュラーシープなど、吸着脱水材を充填した脱水部であり、液体CO2が通過すると、この液体CO2に溶存している水分を除去する。
次に、図2を用いて、チャンバ10の構成を説明する。
本実施形態のチャンバ10には、デッドボリュームを低減し、流し落とした水を速やかに槽外へ排出するために、その内部に液体が残留しない構造を用いる。具体的には、チャンバ10内の下部が漏斗形状にしている。更に、チャンバ10内に導入された液体等がスムーズに流れるように、上部も漏斗形状を連結したような形状に構成している。このチャンバ10内の上端部には、接続孔が形成されており、この接続孔を介してチャンバ10と上部配管100とが接続される。上部配管100は上部供給弁11及び上部排出弁13に接続されている。従って、上部供給弁11が開弁状態で上部排出弁13が閉弁状態の場合には、接続孔を介して液体等がチャンバ10の内部に供給される。逆に、上部供給弁11が閉弁状態で上部排出弁13が開弁状態の場合には、接続孔を介してチャンバ10内の液体等が排出される。
本実施形態のチャンバ10には、デッドボリュームを低減し、流し落とした水を速やかに槽外へ排出するために、その内部に液体が残留しない構造を用いる。具体的には、チャンバ10内の下部が漏斗形状にしている。更に、チャンバ10内に導入された液体等がスムーズに流れるように、上部も漏斗形状を連結したような形状に構成している。このチャンバ10内の上端部には、接続孔が形成されており、この接続孔を介してチャンバ10と上部配管100とが接続される。上部配管100は上部供給弁11及び上部排出弁13に接続されている。従って、上部供給弁11が開弁状態で上部排出弁13が閉弁状態の場合には、接続孔を介して液体等がチャンバ10の内部に供給される。逆に、上部供給弁11が閉弁状態で上部排出弁13が開弁状態の場合には、接続孔を介してチャンバ10内の液体等が排出される。
更に、チャンバ10内の下端部には、接続孔が形成されており、この接続孔を介してチャンバ10と下部配管105とが接続される。この下部配管105は下部供給弁12及び下部排出弁14に接続されている。従って、下部供給弁12が開弁状態で下部排出弁14が閉弁状態の場合には、接続孔を介して液体等がチャンバ10の内部に供給される。逆に、下部供給弁12が閉弁状態で下部排出弁14が開弁状態の場合には、接続孔を介してチャンバ10内の液体等が排出される。
また、チャンバ10には、上部配管100の入口部分にヒータからなる予備加熱部が設けられ、チャンバ10に導入されるCO2の予備加熱が行なわれる。更に、チャンバ10には、ブロックヒータ110が設けられている。このブロックヒータ110は、チャンバ10の内部温度を所定の温度に保持するための加熱手段である。また、チャンバ10には、内部の温度を測定する温度測定部111及び内部の圧力を測定する圧力測定部112が設けられている。更に、チャンバ10には、ウェハWの挿入及び取り出しを行なうウェハ搬入孔(図示せず)やチャンバ10圧力を低減するための減圧弁が設けられている。
なお、構造体の表面の洗浄液を押し流す第1の手段は、本実施形態では、チャンバ10内で高温高圧(例えば超臨界点近傍の液体状態)のCO2の流れを生成させる手段が相当する。具体的には、チャンバ10に高温高圧のCO2を連続的に供給する手段と、この高温高圧のCO2をチャンバ10から連続的に排出する手段とから構成される。更に、作用流体に溶解させることにより除去する第2の手段は、本実施形態では、洗浄液である水を
高温高圧のCO2に溶解させるために、チャンバ内の温度及び圧力を制御する手段から構成される。
高温高圧のCO2に溶解させるために、チャンバ内の温度及び圧力を制御する手段から構成される。
次に、上述した洗浄乾燥装置を用いた処理方法について図3を参照して説明する。
まず、チャンバ10のウェハ搬入孔を介して、表面にパターンを形成したウェハWをチャンバ10に搬入する。
まず、チャンバ10のウェハ搬入孔を介して、表面にパターンを形成したウェハWをチャンバ10に搬入する。
そして、導入溶液タンク41から導入溶液を、遮断弁43及び上部供給弁11を介してチャンバ10内に供給する。この結果、チャンバ10に供給された導入溶液は、図3(a)に示すようにウェハW上に滴下される。この場合、毛細管現象により、ウェハWの表面に形成されたパターン溝に導入溶液がしみ込む。これにより、パターン溝は液封される。
次に、上部供給弁11を閉じ下部供給弁12を開いて、液ポンプ62を駆動して、洗浄液タンク61の洗浄液(純水)をチャンバ10に供給する。
この場合、洗浄液を、ウェハWの表面の液封状態を維持するようにチャンバ10内に静かに流し込む。そして、ウェハW全体を洗浄液で浸す。これにより、ウェハWの表面に形成されたパターンの溝内の導入溶液が洗浄液中に拡散する。この結果、ウェハWのパターン溝の導入溶液は、液封されたまま大気に晒されることなく徐々に洗浄液と置換される。
この場合、洗浄液を、ウェハWの表面の液封状態を維持するようにチャンバ10内に静かに流し込む。そして、ウェハW全体を洗浄液で浸す。これにより、ウェハWの表面に形成されたパターンの溝内の導入溶液が洗浄液中に拡散する。この結果、ウェハWのパターン溝の導入溶液は、液封されたまま大気に晒されることなく徐々に洗浄液と置換される。
更に、上部排出弁13を開き、かつ洗浄液の導入を続けて、導入溶液が拡散した洗浄液をチャンバ10から排出する。これにより、図3(b)に示すように、液封されたままパターン溝の導入溶液がすべて洗浄液に置換される。なお、この場合、チャンバ10から排出された導入溶液や洗浄液は、冷却部70、分離槽71を介して廃液回収タンク73に排出される。
次に、CO2をチャンバ10に導入する。ここでは、まず、下部供給弁12及び上部排出弁13を閉じ、上部供給弁11を開く。そして、供給弁24を第1の連通位置にして、CO2タンク21とチャンバ10とを連通させる。これにより、CO2タンク21に保存されていたCO2が、供給弁24及び上部供給弁11を介してチャンバ10に供給される。このとき、CO2タンク21から供給されるCO2は、液ポンプ22により加圧され、加熱部23及び予備加熱部で予熱された後にチャンバ10に供給される。
その後、チャンバ10の上部及び下部排出弁13,14が閉じた状態でCO2がチャンバ10に導入し、圧力を高くする。また、チャンバ10のブロックヒータ110により、チャンバ10に導入されたCO2の温度を高くする。
そして、チャンバ10に導入されたCO2が所定の温度及び所定の圧力になるように制御する。本実施形態では、作用流体として用いるCO2の臨界点(31℃、7.4MPa)よりも少し低い温度と圧力を用いる。具体的には、チャンバ10内部の温度が30℃、圧力が7.0MPaになるように、CO2の供給量やブロックヒータ110の温度を調節する。この調節は、ブロックヒータ110や液ポンプ22の駆動条件により行なわれる。
そして、温度測定部111及び圧力測定部112を用いて、このように設定された温度及び気圧を維持しながら下部排出弁14を開く。この場合、図3(c)に示すように、上部供給弁11を介してチャンバ10内に導入されたCO2が下部排出弁14から排出される。これにより、チャンバ10内の洗浄液が下部排出弁14を介して押し流される(第1の段階)。すなわち、チャンバ10内は設定された温度、圧力に維持されたまま、図3(d)に示すように、洗浄液が排出される。
この場合、ウェハWの表面に付着した洗浄液は、CO2によって、粗方、洗い流される
。一方、パターン溝に入り込んだ洗浄液はCO2によって押し流すことができず、部分的に残留する。上述した本実施形態のウェハWのパターンの場合、残留量は数μg程度になる。
。一方、パターン溝に入り込んだ洗浄液はCO2によって押し流すことができず、部分的に残留する。上述した本実施形態のウェハWのパターンの場合、残留量は数μg程度になる。
更に、チャンバ10へのCO2の連続的な供給を継続する。この場合、ウェハWの表面等から流し落とされた洗浄液がチャンバ10内から連続的に排出されるので、チャンバ10内の洗浄液の濃度は徐々に低くなる。そして、図3(e)に示すように、ウェハWのパターン溝内の洗浄液は、チャンバ10内の乾燥したCO2に拡散し溶解する(第2の段階)。この結果、図3(f)で示すように、パターン溝に残留した洗浄液は大気に晒されることなくCO2に置換される。
そして、チャンバ10へのCO2の供給を停止し、チャンバ10内のCO2を排出する。ここでは、超臨界点近傍の液体状態(例えば超臨界状態或いは亜臨界状態)を維持したまま、ウェハWのパターン上で、液相と気相との界面を作ることなくCO2を排出する。具体的には、遮断弁53及び上部供給弁11を開き、圧縮空気タンク51の圧縮空気をチャンバ10に供給する。この圧縮空気によって、図3(g)に示すように、CO2が下部排出弁14を介してチャンバ10から排出される。
その後、図3(h)に示すようにチャンバ10内からCO2が排出されると、圧縮空気の供給を停止する。そして、チャンバ10を減圧する。これにより、ウェハ搬入孔から洗浄乾燥されたウェハWを取り出すことができる。以上により、ウェハWの洗浄乾燥を完了する。
なお、チャンバ10から排出された高温高圧のCO2は、冷却部70で冷却されて、気液2相状態のCO2となった後、分離槽71に供給される。そして、分離槽71では、洗浄液とCO2の比重差を用いて、CO2の分離を行なう。分離槽71で分離されたCO2は、CO2再生装置76に供給される。CO2再生装置76では、比重の重い不純物や気相のCO2に混合した不純物が除去されて、液相のCO2が再生管を介してCO2タンク21に供給される。なお、この液相のCO2は、CO2タンク21に至るまでに、活性炭充填カラム78を通過することにより有機物が除去され、吸着脱水材充填カラム79において、水分が除去される。
本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
・ 本実施形態では、ウェハWの表面に形成されたパターン溝は、洗浄から乾燥まで液封されている。このため、超臨界状態で乾燥を行った場合、ウェハWのパターン上で、液相と気相との界面が形成されず、表面張力が生じない。また、亜臨界状態又はこれに近い状態の場合には、表面張力が小さくなる。従って、毛細管力を抑制し、パターン倒れを抑止することができ、良好な微細パターンを生成することができる。
・ 本実施形態では、ウェハWの表面に形成されたパターン溝は、洗浄から乾燥まで液封されている。このため、超臨界状態で乾燥を行った場合、ウェハWのパターン上で、液相と気相との界面が形成されず、表面張力が生じない。また、亜臨界状態又はこれに近い状態の場合には、表面張力が小さくなる。従って、毛細管力を抑制し、パターン倒れを抑止することができ、良好な微細パターンを生成することができる。
・ 本実施形態では、上部配管100からチャンバ10にCO2を供給し、下部配管105からCO2を排出する。このため、チャンバ10内にCO2の流れが形成され、この流れによってチャンバ10内の洗浄液を押し出すことができる。また、流れによってチャンバ10内の洗浄液を十分に排出するため、流れで除去されずにチャンバ10内に残留する洗浄液(水)をごく少量にすることができる。このため、超臨界条件より緩和された条件(低温や低圧)において、残留する洗浄液をCO2に十分に溶解させることができ、パターンから洗浄液を除去することができる。すなわち、温度や圧力を緩和した条件で洗浄・乾燥することができるため、装置構成を簡易にすることも可能である。特に、レジストでパターン形成を行ったウェハWの場合、高温高圧のCO2に晒すとレジストの溶解や膨潤や気泡発生を生じる場合があるが、従来よりも低温低圧でプロセスを実行することができるため、レジストパターンの劣化を抑制することも可能となる。
・ 本実施形態では、洗浄液を溶解させたCO2は連続的に排出され、新しいCO2が供給される。従って、残留した洗浄液を溶解させたCO2がチャンバ10内に停滞せずに排出される。また、CO2に溶け込んだ洗浄液のレジストへの再付着を抑制することができるとともに、流れによって除去されなかった洗浄液を効率的に除去することができる。よって、パターン倒れを抑制することができ、良好な微細パターンを生成することができる。
・ 本実施形態では、チャンバ10の上部配管100からCO2を供給し、チャンバ10の下部配管105からCO2を排出する。このため、CO2はチャンバ10内において一方向に流れる。従って、ウェハWからCO2によって洗い流された剥離物等の異物がウェハWに再付着することを防止することができる。
・ 本実施形態では、パターンを形成する疎水性レジストとの接触角が10度以下となる導入溶液(例えばIPA水溶液等)を用いる。このため、パターン溝の間隔が小さくてもスムーズに洗浄液が入り込む。そして、洗浄液導入溶液を、洗浄液と置換する。このため、パターン溝を形成するラインの疎水性レジストと洗浄液との親和力が悪い場合であっても、洗浄液をスムーズにパターン溝に入れることができる。また、この洗浄液導入溶液と洗浄液とは液封状態で置換されるので、気体がパターン溝に入り込むことがない。従って、洗浄液をより確実にパターン溝に入れて、パターン溝を洗浄することができる。
・ 本実施形態では、チャンバ10は、冷却部70を介して分離槽71に接続され、使用した超臨界CO2を冷却して気液2相状態として分離槽71に供給する。分離槽71は、CO2再生装置76に接続されており、比重の重い不純物や気相のCO2に混合した不純物を除去する。更に、このCO2再生装置76は、活性炭充填カラム78を介してCO2タンク21に接続されている。このため、活性炭充填カラム78を通過することにより、液相のCO2に溶存していた有機物が吸着除去される。従って、使用したCO2から不純物をより多く除去した上で、再利用することができる。
・ 本実施形態では、CO2再生装置76は、吸着脱水材充填カラム79を介してCO2タンク21に接続されている。このため、吸着脱水材充填カラム79を通過することにより、液相のCO2に溶存していた水分を吸着除去できるので、いっそう乾燥したCO2に再生することができる。従って、洗浄において、チャンバ10に供給されるCO2に、残留する洗浄液をより多く溶解させることができるので、CO2を再利用しても良好に洗浄を行なうことができる。
・ 本実施形態では、チャンバ10内の下部及び上部を漏斗形状に構成した。このため、チャンバ10内のデッドボリュームを低減することができるので、洗浄に使用する高温高圧のCO2の量を少なくすることができる。また、チャンバ10内に導入された液体等をスムーズに流すことができるので、チャンバ10に洗浄液が残留し難く、より良好な洗浄を行なうことができる。
また、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 上記実施形態においては、CO2タンク21に保存されているCO2を、界面活性剤を混在させず、そのままチャンバ10に供給した。これに限らず、混合分散部30で界面活性剤を混入させたCO2を用いて洗浄してもよい。この場合、界面活性剤を溶解させるためにCO2を上述した実施形態よりも高温高圧にする必要があるが、界面活性剤を用いることにより、洗浄液の前記作用流体への溶解を更に促進させることができるため、十分に乾燥を行なうことができ、より効率的に洗浄液を除去することができる。また、残留した洗浄液が少量であるため、CO2に溶解させる量を多くするために用いる界面活性剤
を低減することができる。
○ 上記実施形態においては、CO2タンク21に保存されているCO2を、界面活性剤を混在させず、そのままチャンバ10に供給した。これに限らず、混合分散部30で界面活性剤を混入させたCO2を用いて洗浄してもよい。この場合、界面活性剤を溶解させるためにCO2を上述した実施形態よりも高温高圧にする必要があるが、界面活性剤を用いることにより、洗浄液の前記作用流体への溶解を更に促進させることができるため、十分に乾燥を行なうことができ、より効率的に洗浄液を除去することができる。また、残留した洗浄液が少量であるため、CO2に溶解させる量を多くするために用いる界面活性剤
を低減することができる。
○ 上記実施形態においては、洗浄液をパターン溝に導入する前に洗浄液導入溶液をパターン溝に導入した。これに限らず、洗浄液がパターン溝と良好なぬれ性を有する場合には、この洗浄液導入溶液を省略してもよい。
○ 上記実施形態においては、液体CO2をチャンバ10の上部配管100から供給し、下部配管105から排出することにより、液体CO2を、チャンバ10内で上から下へと流した。作用流体の流し方はこれに限られるものではなく、例えば水平に流すようにしてもよい。
また、ウェハWの表面から洗浄液をCO2の流れによって排出する場合に、流体に対してウェハW側を動かしてもよい。例えば、ウェハWを回転させてもよい。これにより、ウェハWから洗浄液が流体の流れによって押し流されるので、より迅速にチャンバ10から排出することができる。
○ 上記実施形態においては、CO2をチャンバ10から排出するときに圧縮空気タンク51から圧縮空気を供給した。これに代えて、チャンバ10を冷却しながらCO2を放出して減圧してもよい。この場合には、圧縮空気タンク51及び遮断弁53を省略することができる。
○ 上記実施形態においては、表面にパターン溝が形成されたウェハWの洗浄・乾燥について説明したが、これに限られるものではなく、凹部や凸部など洗浄液滞留領域のある構造体の洗浄・乾燥であれば適用することができる。すなわち、本発明は、微細のパターンの有無に関わらず、金属表面の洗浄と乾燥にも用いることができる。
○ 上記実施形態においては、作用流体としてCO2を用いた。作用流体は限られるものではない。例えば、超臨界状態や亜臨界状態の他の分子も、作用流体として同様に用いることができる。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について、それらの効果とともに以下に追記する。
(a)前記洗浄液滞留領域を形成する材質とぬれ性の高い導入剤を混入させた洗浄液導入溶液を、前記洗浄液滞留領域に導入する段階と、少なくとも前記洗浄液滞留領域の前記洗浄液導入溶液を液封状態で洗浄液と置換する段階とを更に備えたことを特徴とする請求項4〜6のいずれか1つに記載の洗浄乾燥装置。
(a)前記洗浄液滞留領域を形成する材質とぬれ性の高い導入剤を混入させた洗浄液導入溶液を、前記洗浄液滞留領域に導入する段階と、少なくとも前記洗浄液滞留領域の前記洗浄液導入溶液を液封状態で洗浄液と置換する段階とを更に備えたことを特徴とする請求項4〜6のいずれか1つに記載の洗浄乾燥装置。
従って、この(a)に記載の発明によれば、洗浄液が洗浄液滞留領域とぬれ性が悪い場合であっても、洗浄液導入溶液を介して洗浄剤を洗浄液滞留領域に入れることができる。また、この洗浄液導入溶液と洗浄液とは液封状態で置換するので、気体がパターン溝に入り込むことがない。従って、洗浄液をより確実に洗浄液滞留領域に入れて、洗浄液滞留領域を洗い流すことができる。
(b)前記作用流体は、界面活性剤を含まないことを特徴とする請求項1〜3に記載の洗浄乾燥方法。
従って、この(b)に記載の発明によれば、界面活性剤を含まない作用流体を用いる。従来、洗浄液を作用流体に多量に溶解させるために、界面活性剤を用いていた。本発明では、粗方の洗浄液を排出後、構造体の表面に残留した少量の洗浄液を除去するため、界面活性剤を用いなくても、洗浄液滞留領域から洗浄液を除去することができる。従って、界面活性剤を溶解させないので、作用流体を高圧高温(高密度)にする必要がない。
従って、この(b)に記載の発明によれば、界面活性剤を含まない作用流体を用いる。従来、洗浄液を作用流体に多量に溶解させるために、界面活性剤を用いていた。本発明では、粗方の洗浄液を排出後、構造体の表面に残留した少量の洗浄液を除去するため、界面活性剤を用いなくても、洗浄液滞留領域から洗浄液を除去することができる。従って、界面活性剤を溶解させないので、作用流体を高圧高温(高密度)にする必要がない。
(c)前記処理槽内の内部圧力よりも高い圧力の圧縮空気又は窒素ガスを前記処理槽に導入することにより、前記処理槽内の作用流体を排出する段階を更に含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の洗浄乾燥方法。
従って、この(c)に記載の発明によれば、処理槽内の内部圧力よりも高い圧力の圧縮空気又は窒素ガスを処理槽に導入するので、処理槽内の作用流体を液状にして処理槽の底面から効率よく排出して回収することができる。また、処理槽内の作用流体を排出した後には、処理槽内の圧縮空気又は窒素ガスを大気に放出することにより、処理槽内の圧力を効率的に低下させることができる。
W…構造体としてのウェハ、10…処理槽としてのチャンバ。
Claims (8)
- 処理槽内において、洗浄液で液封された構造体を洗浄し乾燥させる処理方法であって、
前記処理槽内に作用流体を導入し、この作用流体の流れにより、前記構造体の表面の洗浄液を押し流す第1の段階と、
前記作用流体の少なくとも温度又は圧力を制御して、前記構造体における洗浄液滞留領域に残留した洗浄液を、前記作用流体に溶解させることにより除去する第2の段階と
を含むことを特徴とする処理方法。 - 前記作用流体には、超臨界状態を実現可能な流体を用い、
前記第2の段階においては、少なくとも温度又は圧力を制御して、前記作用流体を超臨界点近傍の液体状態に維持し、前記洗浄液の前記作用流体への溶解を促進させることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。 - 前記超臨界状態を実現可能な流体には、液体状態の二酸化炭素を用いることを特徴とする請求項2に記載の処理方法。
- 前記第2の段階において、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入することを特徴とする請求項2又は3に記載の処理方法。
- 処理槽内において、洗浄液で液封された構造体を洗浄し乾燥させる処理装置であって、
前記処理槽内に作用流体を導入し、この作用流体の流れにより、前記構造体の表面の洗浄液を押し流す第1の手段と、
前記作用流体の少なくとも温度又は圧力を制御して、前記構造体における洗浄液滞留領域に残留した洗浄液を、前記作用流体に溶解させることにより除去する第2の手段と
を有することを特徴とする処理装置。 - 前記作用流体には、超臨界状態を実現可能な流体を用い、
前記第2の手段においては、少なくとも温度又は圧力を制御して、前記作用流体を超臨界点近傍の液体状態に維持し、前記洗浄液の前記作用流体への溶解を促進させることを特徴とする請求項5に記載の処理装置。 - 前記超臨界状態を実現可能な流体には、液体状態の二酸化炭素を用いることを特徴とする請求項6に記載の処理装置。
- 前記第2の手段において、界面活性剤を前記処理槽内に更に導入することを特徴とする請求項6又は7に記載の処理装置。
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JP2011192835A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Toshiba Corp | 超臨界乾燥方法および超臨界乾燥装置 |
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-
2005
- 2005-03-24 JP JP2005086823A patent/JP2006269816A/ja active Pending
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