JP2006242689A - 自動焦点制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被測定物に傷をつけたり、障害物との衝突による測定プローブの破損を防止すること。
【解決手段】測定プローブによる押し込み量の設定が不適切な場合には、位置制御からフォーカス制御に切り換わらない構成とし、また、光検出器11a、11bの検出信号とフォーカス誤差信号のいずれかが設定範囲を超えるとX軸方向あるいはY軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向に設定量駆動するので、被測定物21に傷をつけたり、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することが可能となる。
【選択図】図1
【解決手段】測定プローブによる押し込み量の設定が不適切な場合には、位置制御からフォーカス制御に切り換わらない構成とし、また、光検出器11a、11bの検出信号とフォーカス誤差信号のいずれかが設定範囲を超えるとX軸方向あるいはY軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向に設定量駆動するので、被測定物21に傷をつけたり、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することが可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、レーザ光を利用した光学測定装置等において、レーザ光の焦点が常に被測定物の面上に合うように構成された自動焦点制御装置に関するものである。
レーザ光のフォーカス位置を自動的に制御する自動焦点制御装置は、レーザ光のフォーカス位置に対する誤差量に基づいてフォーカス誤差信号を発生させ、この誤差信号がゼロとなるようにフォーカス制御を行うフォーカス制御機構を持っている(例えば、特許文献1参照)。
また、フォーカス制御を利用した三次元測定用プローブ及び形状測定方法は特許第3000819号公報に記載されており、図2に示す構成となっている。
Z方向に移動可能なフォーカス制御機構15において半導体レーザ1から発したレーザ光Gはコリメートレンズ2、偏光ビームスプリッタ3、λ/4波長板4を透過した後、ダイクロイックミラー5を反射し、対物レンズ6によってスタイラス7の上面に取り付けられたミラー23上に集光する。対物レンズ6に戻ったレーザ光Gの反射光はダイクロイックミラー5及び偏光ビームスプリッタ3を全反射し、レンズ8で集光されてハーフミラー9で2つに分離され、ピンホール10a、10bを通過し、2つの光検出器11a、11bで受光される。2つの光検出器11a、11bの出力はフォーカス誤差信号発生部12によりフォーカス誤差信号となり、サーボ回路13によってこのフォーカス誤差信号がゼロとなるようにリニアモータ14を制御し、フォーカス制御機構15を含むZ移動部の自重分は渦巻きバネ16により支持される。スタイラス7は円筒状のスライド部22を有し、スライド部22はエアー供給部18から供給されるエアーの吹き出し穴を有するガイド19の内壁をエアースライドとしてZ方向に可動である。スライド部22の上部にはミラー23が固定され、スライド部22、スタイラス7、ミラー23からなる可動部の重量はバネ20によって支えられる。
スタイラス7の下端には各種の曲率半径を持つ針がついており、被測定面21上を10〜100mgという弱い測定圧で走査され、被測定面の形状に沿って上下するが、スタイラス7が上下するとフォーカス制御が働いてフォーカス制御機構15全体が上下するのでミラー23上に常に対物レンズ6の焦点が合っている。
Fzは発振周波数安定化ヘリウムネオンゼーマンレーザの光でミラー23に当たって反射しレーザ測長器によってZ座標を測定するためのものである。
図3は、対物レンズ6とミラー23との距離Lと各光検出器11a、11bで検出される信号との関係を示す図である。図3(a)は光検出器11aで検出される電流から変換された電圧V1に関するグラフで、図3(b)は光検出器11bで検出される電流から変換された電圧V2に関するグラフで、図3(c)は電圧V1と電圧V2の差電圧Veに関するグラフである。図3(c)の曲線を以下、S字曲線と呼ぶ。このS字曲線の真中のVe=0の点がフォーカス位置であり、この位置にくるようにフォーカス制御がかけられる。
フォーカスOFF時のVeが図3(c)に示す所にある状態で、スタイラス7を被測定面21に接触させフォーカス制御をかけると、図3(c)に示す押し込み量だけスタイラス7が押し込まれた状態になる。したがって、フォーカスOFF時の対物レンズ6とミラー23の距離を調整することにより、フォーカス制御時のスタイラス7の押し込み量を自由に設定することができる。
S字曲線のリニアな領域は、フォーカス引き込み範囲と呼ばれるが、この範囲が数十μm程度であるのに対し、様々な形状の被測定物に対応するためには、対物レンズ6の可動範囲としては数十mm程度は必要なため、フォーカス引き込み範囲外では、フォーカス制御機構15の位置を制御する必要がある。
そのため、フォーカス誤差信号発生部12とサーボ回路13を含めた制御装置は図4に示すように構成されている。フォーカス制御機構15の位置制御を行うために、位置指令信号を出力するZ位置指令出力手段40と、フォーカス制御機構15の位置を検出し実位置信号として出力する位置検出回路24と、位置指令信号と実位置信号との誤差を検出する減算器37と、減算器37から出力される位置誤差信号に基づき、リニアモータ14に流す電流指令信号を出力するZ位置制御回路35と、Z位置制御回路35から出力される電流指令信号に基づき、リニアモータ14に流れる電流を制御するZ駆動回路33が設けられている。また、フォーカス制御を行うために、光検出器11a、11bで検出される光量に比例した電気信号を発生させるフォーカス信号1発生回路25及びフォーカス信号2発生回路26と、フォーカス信号1発生回路25から出力される信号とフォーカス信号2発生回路26から出力される信号との差をフォーカス誤差信号として出力するフォーカス誤差信号発生回路27と、フォーカス誤差信号がゼロとなるようにリニアモータ14に流す電流指令信号を出力するフォーカス制御回路36とが設けられ、フォーカス制御回路36から出力される電流指令信号は位置制御時と同じZ駆動回路33に入力される。なお、位置制御とフォーカス制御とを切り換えるために、位置制御回路35及びフォーカス制御回路36とZ駆動回路33との間に切換スイッチ34が設けられており、フォーカス制御ON/OFF設定手段41により切り換えられる。
スタイラス7を被測定物21の面に沿って走査させるために、フォーカス制御機構15はX−Y駆動機構28により、X方向及びY方向に駆動される。X方向については、X位置指令出力手段38から出力されるX位置指令に基づき、X駆動回路31によりXパルスモーター29が駆動される。Y方向についても同様に、Y位置指令出力手段39から出力されるY位置指令に基づき、Y駆動回路32によりYパルスモーター30が駆動される。
特開平1−220227号公報(第2−3頁)
しかしながら、前記従来の自動焦点制御装置の構成では、スタイラスの押し込み量を一定にするために、フォーカスOFF時のフォーカス誤差電圧が所定の値になるように対物レンズとミラー面の距離を調整しているが、同じ電圧になる所が2箇所あるため、押し込み量が大きくなる方に設定してしまう可能性がある。また、所定の値に調整されていない状態でも、フォーカス制御はかかるので、押し込み量が強すぎる場合には、被測定物に傷をつけたり、測定プローブを破損させてしまうという問題点を有していた。
また上記のような従来の自動焦点制御装置では、測定プローブの可動範囲に障害物がある場合に、測定プローブの動作設定を誤って動作させると、測定プローブが障害物にぶつかって破損してしまうという問題点を有していた。
本発明は、上記従来の問題点を解決するもので、測定プローブの押し込み量の設定が不適切な場合には、フォーカス制御を禁止し、被測定物への傷つけや測定プローブの破損を防止することができ、また、操作を誤った場合でも、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することができる自動焦点制御装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の請求項1に記載の自動焦点制御装置は、一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、前記可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、前記スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光を前記ミラー面に照射し、前記レーザ光の焦点が常に前記ミラー面に合うように前記可動部Bを駆動することにより、前記可動部Aと前記可動部Bとの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段とを有する形状測定装置における自動焦点制御装置であって、前記レーザ光の前記ミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、前記2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、前記可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、前記フォーカス誤差信号がゼロとなるように前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路部と、前記可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、前記可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、前記位置検出器からの実位置信号と前記位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御する位置制御回路部と、前記フォーカス制御機構駆動手段に前記位置制御回路部と前記フォーカス制御回路部とを切り換え接続する切換スイッチとを備え、前記2つの光検出器で検出される信号と前記フォーカス誤差信号とがそれぞれあらかじめ設定しておいた範囲内にある場合にのみ、前記切換スイッチにより、前記位置制御回路部を前記フォーカス制御回路部に切り換える構成としたことを特徴とする。
本構成によって、押し込み量の設定が不適切な場合には、位置制御からフォーカス制御に切り換わらないので、被測定物に傷をつけたり、測定プローブを破損させることを防止することができる。
また、本発明の請求項2に記載の自動焦点制御装置は、一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、前記可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、前記スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光を前記ミラー面に照射し、前記レーザ光の焦点が常に前記ミラー面に合うように前記可動部Bを駆動することにより、前記可動部Aと前記可動部Bとの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段とを有する形状測定装置における自動焦点制御装置であって、前記レーザ光の前記ミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、前記2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、前記可動部Bを駆動するフォーカス制御機構と、前記フォーカス誤差信号がゼロとなるように前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路部と、前記可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、前記可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、前記位置検出器からの実位置信号と前記位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御する位置制御回路部と、前記フォーカス制御機構駆動手段に前記位置制御回路部と前記フォーカス制御回路部とを切り換え接続する切換スイッチと、前記スタイラスを前記被測定物の面上を水平方向に走査させるX軸駆動手段及びY軸駆動手段とを備え、前記切換スイッチが前記位置制御回路部側か前記フォーカス制御回路部側のどちら側にあっても常に前記2つの光検出器で検出される信号と前記フォーカス誤差信号とを監視し、前記X軸駆動手段あるいは前記Y軸駆動手段によりX軸方向あるいはY軸方向に駆動している時に、前記2つの光検出器で検出される信号と前記フォーカス誤差信号のいずれかがそれぞれあらかじめ設定しておいた範囲を超えるとX軸方向あるいはY軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向にあらかじめ設定しておいた量だけ駆動するように構成としたことを特徴とする。
本構成によって、X軸方向あるいはY軸方向に駆動している時に、2つの光検出器で検出される信号とフォーカス誤差信号のいずれかがそれぞれあらかじめ設定しておいた範囲を超えるとX軸方向あるいはY軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向にあらかじめ設定しておいた量だけ駆動するので、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することができる。
以上のように、本発明の自動焦点制御装置によれば、位置制御からフォーカス制御に切り換える前に、フォーカス信号1及びフォーカス信号2及びフォーカス誤差信号の状態を確認することにより、押し込み量の設定が適切な範囲であるかどうかを判定し、押し込み量の設定が不適切な場合にはフォーカス制御に切り換えることを禁止することができ、その結果、被測定物に傷をつけたり、測定プローブを破損させることを防止することができる。
また、X−Y駆動機構を駆動中にフォーカス信号1及びフォーカス信号2及びフォーカス誤差信号の状態を監視することにより、測定プローブの異常を検出し、その駆動方向と逆方向に退避させることができ、その結果、測定プローブと何らかの障害物との衝突による測定プローブの破損を防止することができる。
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態における自動焦点制御装置の構成を示すブロック図である。図2は、図1に示す自動焦点制御装置におけるフォーカス制御系の構造図であり、従来の自動焦点制御装置におけるフォーカス制御系と全く同じ構成となっている。また、図3は、図1に示す自動焦点制御装置における2つの光検出器で検出される信号の波形を示す図であり、従来の自動焦点制御装置における信号の波形と全く同一である。
図1において、基本構成は、従来の自動焦点制御装置と同じであり、フォーカス制御機構15の位置制御を行うために、位置指令信号を出力するZ位置指令出力手段40と、フォーカス制御機構15の位置を検出し実位置信号として出力する位置検出回路24と、位置指令信号と実位置信号との誤差を検出する減算器37と、減算器37から出力される位置誤差信号に基づき、リニアモータ14に流す電流指令信号を出力するZ位置制御回路35と、Z位置制御回路35から出力される電流指令信号に基づき、リニアモータ14に流れる電流を制御するZ駆動回路33が設けられている。また、フォーカス制御を行うために、光検出器11a、11bで検出される光量に比例した電気信号を発生させるフォーカス信号1発生回路25及びフォーカス信号2発生回路26と、フォーカス信号1発生回路25から出力される信号とフォーカス信号2発生回路26から出力される信号との差をフォーカス誤差信号として出力するフォーカス誤差信号発生回路27と、フォーカス誤差信号がゼロとなるようにリニアモータ14に流す電流指令信号を出力するフォーカス制御回路36とが設けられ、フォーカス制御回路36から出力される電流指令信号は位置制御時と同じZ駆動回路33に入力される。なお、位置制御とフォーカス制御とを切り換えるために、位置制御回路35及びフォーカス制御回路36とZ駆動回路33との間に切換スイッチ34が設けられており、フォーカス制御ON/OFF設定手段41により切り換えられる。
スタイラス7を被測定物21の面に沿って走査させるために、フォーカス制御機構15はX−Y駆動機構28により、X方向及びY方向に駆動される。X方向については、X位置指令出力手段38から出力されるX位置指令に基づき、X駆動回路31によりXパルスモーター29が駆動される。Y方向についても同様に、Y位置指令出力手段39から出力されるY位置指令に基づき、Y駆動回路32によりYパルスモーター30が駆動される。
従来の自動焦点制御装置との違いは、押し込み量の設定が適切かどうかを判定するために、押し込み量判定手段42を設けたことと、フォーカス制御機構15またはスタイラス7が何らかの障害物に接触したことを検出するために、プローブの異常検出手段43を設けたところにある。
押し込み量判定手段42には、フォーカス信号1発生回路25から出力される信号と、フォーカス信号2発生回路26から出力される信号と、フォーカス誤差信号発生回路27から出力されるフォーカス誤差信号が入力される。各信号が適切な範囲であるかどうかの判定を行うために、フォーカス信号1判定基準値V1aとフォーカス信号2判定基準値V2aとフォーカス誤差信号判定基準値Vea及びVebをあらかじめ設定しておき、V1>V1aかつV2>V2aかつVea<Ve<Vebの時は押し込み量が適切な範囲であり、位置制御からフォーカス制御への切り換えを許可する。それ以外の時は、押し込み量が不適切であるので、位置制御からフォーカス制御への切り換えを禁止する。
プローブ異常検出手段43には、フォーカス信号1発生回路25から出力される信号と、フォーカス信号2発生回路26から出力される信号と、フォーカス誤差信号発生回路27から出力されるフォーカス誤差信号が入力される。各信号が適切な範囲であるかどうかの判定を行うために、フォーカス信号1判定基準値V1cとフォーカス信号2判定基準値V2cとフォーカス誤差信号判定基準値Vec及びVedをあらかじめ設定しておき、プローブ異常検出条件をV1<V1cまたはV2<V2cまたはVe<VecまたはVe>Vedとする。また、前記条件によりプローブ異常を検出した時にX軸方向またはY軸方向に退避させる移動量Esをあらかじめ設定しておく。X軸方向に駆動している時に前記条件によりプローブ異常を検出すると、X位置指令出力手段38により逆方向にEsだけの指令を出力し、Y軸方向に駆動している時に前記条件によりプローブ異常を検出すると、Y位置指令出力手段39により逆方向にEsだけの指令を出力する。
本発明の自動焦点制御装置は、被測定物に傷をつけたり、測定プローブを破損させることを防止することができ、また、測定プローブの異常検出時に、その駆動方向と逆方向に退避させることにより、測定プローブと障害物との衝突による測定プローブの破損を防止することができ、三次元形状測定装置等の光学測定装置に適用できる。
1 半導体レーザ
7 スタイラス
11a、11b 光検出器
12 フォーカス誤差信号発生部
14 リニアモータ
15 フォーカス制御機構
21 被測定物
23 ミラー
24 位置検出回路
28 X−Y駆動機構
31 X駆動回路
32 Y駆動回路
33 Z駆動回路
34 切換スイッチ
35 Z位置制御回路
36 フォーカス制御回路
38 X位置指令出力手段
39 Y位置指令出力手段
40 Z位置指令出力手段
41 フォーカス制御ON/OFF設定手段
42 押し込み量判定手段
43 プローブ異常検出手段
7 スタイラス
11a、11b 光検出器
12 フォーカス誤差信号発生部
14 リニアモータ
15 フォーカス制御機構
21 被測定物
23 ミラー
24 位置検出回路
28 X−Y駆動機構
31 X駆動回路
32 Y駆動回路
33 Z駆動回路
34 切換スイッチ
35 Z位置制御回路
36 フォーカス制御回路
38 X位置指令出力手段
39 Y位置指令出力手段
40 Z位置指令出力手段
41 フォーカス制御ON/OFF設定手段
42 押し込み量判定手段
43 プローブ異常検出手段
Claims (2)
- 一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、前記可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、前記スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光を前記ミラー面に照射し、前記レーザ光の焦点が常に前記ミラー面に合うように前記可動部Bを駆動することにより、前記可動部Aと前記可動部Bとの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段とを有する形状測定装置における自動焦点制御装置であって、前記レーザ光の前記ミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、前記2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、前記可動部Bを駆動するフォーカス制御機構駆動手段と、前記フォーカス誤差信号がゼロとなるように前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路部と、前記可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、前記可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、前記位置検出器からの実位置信号と前記位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御する位置制御回路部と、前記フォーカス制御機構駆動手段に前記位置制御回路部と前記フォーカス制御回路部とを切り換え接続する切換スイッチとを備え、前記2つの光検出器で検出される信号と前記フォーカス誤差信号とがそれぞれあらかじめ設定しておいた範囲内にある場合にのみ、前記切換スイッチにより、前記位置制御回路部を前記フォーカス制御回路部に切り換える構成としたことを特徴とする自動焦点制御装置。
- 一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた上下方向に動作可能な可動部Aと、前記可動部Aと同方向に移動可能な状態で連結された可動部Bと、前記スタイラスを被測定物の面上を水平方向に走査させる時にレーザ光を前記ミラー面に照射し、前記レーザ光の焦点が常に前記ミラー面に合うように前記可動部Bを駆動することにより、前記可動部Aと前記可動部Bとの相対位置を一定に制御する相対位置制御手段とを有する形状測定装置における自動焦点制御装置であって、前記レーザ光の前記ミラー面での反射光を2つの光検出器に導き、前記2つの光検出器で検出する光量の差からフォーカス誤差信号が得られるように構成されたフォーカス誤差信号検出手段と、前記可動部Bを駆動するフォーカス制御機構と、前記フォーカス誤差信号がゼロとなるように前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御するフォーカス制御回路部と、前記可動部Bの絶対的な位置を検出する位置検出器と、前記可動部Bの目標位置を指令するための位置指令信号を生成する位置指令生成器と、前記位置検出器からの実位置信号と前記位置指令生成器からの位置指令信号とが等しくなるように、前記フォーカス制御機構駆動手段により前記可動部Bの位置を制御する位置制御回路部と、前記フォーカス制御機構駆動手段に前記位置制御回路部と前記フォーカス制御回路部とを切り換え接続する切換スイッチと、前記スタイラスを前記被測定物の面上を水平方向に走査させるX軸駆動手段及びY軸駆動手段とを備え、前記切換スイッチが前記位置制御回路部側か前記フォーカス制御回路部側のどちら側にあっても常に前記2つの光検出器で検出される信号と前記フォーカス誤差信号とを監視し、前記X軸駆動手段あるいは前記Y軸駆動手段によりX軸方向あるいはY軸方向に駆動している時に、前記2つの光検出器で検出される信号と前記フォーカス誤差信号のいずれかがそれぞれあらかじめ設定しておいた範囲を超えるとX軸方向あるいはY軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向にあらかじめ設定しておいた量だけ駆動するように構成としたことを特徴とする自動焦点制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005057232A JP2006242689A (ja) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 自動焦点制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005057232A JP2006242689A (ja) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 自動焦点制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006242689A true JP2006242689A (ja) | 2006-09-14 |
Family
ID=37049265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP2006242689A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010026151A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス装置 |
-
2005
- 2005-03-02 JP JP2005057232A patent/JP2006242689A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010026151A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス装置 |
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