JP2006238001A5 - - Google Patents

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Claims (4)

  1. 圧電材料により形成された基部と、
    前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、
    前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
    前記長溝に形成した駆動用の電極と
    を備えており、
    前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部と、
    該縮幅部の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部と、
    該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部につながる幅変化の変更点Ｐと
    を有することを特徴とする、圧電振動片。
  2. 前記縮幅部を第１の縮幅部として、さらに前記振動腕の前記基部に対する付け根から、前記第１の縮幅部が始まる箇所までの間で、先端側に向かって急激に縮幅する第２の縮幅部を備えることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
  3. 前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームを備えることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
  4. パッケージまたはケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
    前記圧電振動片が、
    圧電材料により形成された基部と、
    前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、
    前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
    前記長溝に形成した駆動用の電極と
    を備えており、
    前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部と、
    該縮幅部の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部と、
    該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部につながる幅変化の変更点Ｐと
    を有することを特徴とする、圧電デバイス。
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