JP2006237494A - 干渉縞の解析方法及び装置、該解析装置を有する露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の一形態は、光の干渉によって生じる干渉縞の解析方法であって、2つの光の干渉によって生じる第1の干渉縞の情報を取得する工程と、前記2つの光の少なくとも一方の位相を、nを整数とすると、(2n+1)πラジアン変化させて生成される第2の干渉縞の情報を取得する工程と、前記取得された第1と第2の干渉縞の情報に基づき、フーリエ変換を利用して前記第1と第2の干渉縞の位相情報を平均した情報を求める工程とを有することを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
実施例1は、点回折干渉法を用いた波面計測において、フレアの影響を低減して波面を回復する方法に関する実施例である。干渉計の構成は図1と同じである。
次に、実施例2について説明する。実施例1は点回折干渉法を用いたのに対し、実施例2はシアリング干渉法を用いている。シアリング干渉法には幾つか種類が存在するが、本実施例では直交回折格子(2次元回折格子)を用いた方式、Cross Grating Lateral Shearing Interferometry(以下、CGLSI)を用いている。
続いて、実施例3について説明する。実施例3は、実施例2と同じくCGLSIを用いている。CGLSIを用いて、干渉縞を観察する工程までは実施例2と同じなので、説明は省略する。
次に、実施例1〜3の干渉測定装置を搭載した投影露光装置の実施例について説明する。
11 物面マスク
12 1次元回折格子
13 被検光学系
14 像面マスク
15 検出器
40 直交回折格子
41 4つ窓付像面マスク
Claims (9)
- 光の干渉によって生じる干渉縞の解析方法であって、
2つの光の干渉によって生じる第1の干渉縞の情報を取得する工程と、
前記2つの光の少なくとも一方の位相を、nを整数とすると、(2n+1)πラジアン変化させて生成される第2の干渉縞の情報を取得する工程と、
前記取得された第1と第2の干渉縞の情報に基づき、フーリエ変換を利用して前記第1と第2の干渉縞の位相情報を平均した情報を求める工程とを有することを特徴とする干渉縞の解析方法。 - 前記平均した情報を求める工程は、前記第1の干渉縞の情報からフーリエ変換を利用して該干渉縞の位相情報を求める工程と、前記第2の干渉縞の情報からフーリエ変換を利用して該干渉縞の位相情報を求める工程と、前記干渉縞の2つの位相情報を平均する工程とを含むことを特徴とする請求項1記載の解析方法。
- 前記平均した情報を求める工程は、前記第1と第2の干渉縞の情報を平均する工程と、前記平均された干渉縞の情報からフーリエ変換を利用して該平均された干渉縞の位相情報を求める工程とを含むことを特徴とする請求項1記載の解析方法。
- 前記第1と第2の干渉縞は、点回折干渉又はシアリング干渉を利用して生成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の解析方法。
- 前記シアリング干渉は、直交する2つの方向に周期を有する直交回折格子を用いた2次元シアリング干渉であることを特徴とする請求項4記載の解析方法。
- 前記直交回折格子を、前記2つの周期方向のいずれに対しても45度異なる方向に前記直交回折格子を移動することにより前記干渉する2つの光の少なくとも一方の位相を変化させることを特徴とする請求項5記載の解析方法。
- 干渉縞を解析する解析装置であって、
2つの光の干渉によって生じる第1の干渉縞の情報と、前記2つの光の少なくとも一方の位相を、nを整数とすると、(2n+1)πラジアン変化させて生成される第2の干渉縞の情報とを取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記第1と第2の干渉縞の情報に基づき、フーリエ変換を利用して前記第1と第2の干渉縞の位相情報を平均した情報を求める演算手段と、
を有することを特徴とする解析装置。 - 請求項7記載の解析装置を有することを特徴とする露光装置。
- 請求項8記載の露光装置を用いたデバイスの製造方法。
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