JP2006229129A - 真空吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークを真空吸着装置の吸着部に吸着しカッターで個片に切断する場合、ワークに反りがあると、吸着力が弱まったり、切断前のワークに歪みを与えたりする問題がある。
【解決手段】 真空吸着プレート上に吸着部を設け、該真空吸着プレートと吸着部を連通する真空吸着孔を介して該吸着部上に載置されたワークを真空吸着する真空吸着装置において、該吸着部は、板状の第1の弾性体と、該第1の弾性体の周囲を取り囲むように立設され該第1の弾性体より硬い第2の弾性体で構成された縁部を有し、かつ該縁部の高さを該第1の弾性体の高さより低くする。
【選択図】 図2
【解決手段】 真空吸着プレート上に吸着部を設け、該真空吸着プレートと吸着部を連通する真空吸着孔を介して該吸着部上に載置されたワークを真空吸着する真空吸着装置において、該吸着部は、板状の第1の弾性体と、該第1の弾性体の周囲を取り囲むように立設され該第1の弾性体より硬い第2の弾性体で構成された縁部を有し、かつ該縁部の高さを該第1の弾性体の高さより低くする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、真空に引いてワーク(被加工部材)を吸着部で保持する真空吸着装置に関する。
図6は従来の真空吸着装置を説明するための断面図である。図6において1は真空吸着プレートであり、この真空吸着プレート1の上面には弾性体材料からなる吸着部2が接着材で固着されている。この真空吸着プレート1と吸着部2を連通する真空吸着孔3が設けられていて、真空吸着プレート1は図示されていない真空吸着機構に接続され、真空に引かれる。ワーク4は吸着部2により吸着され吸着部2の上に保持され、例えば図示されないカッターにより複数の個片に切断される。なお、11はカッター刃の逃げ溝である。
真空吸着装置の吸着面に弾性体を配置したものとしては、例えば、特開平5−84682号公報に示されている。
特開平5−84682号公報
従来の真空吸着装置の吸着部の材質は、スポンジゴム等の柔らかい弾性体またはスポンジゴムより硬いシリコンゴムを使用している。
ところで、例えば、複数個のCSP(チップ・サイズ・パッケージ:Chip Size Package)がガラスエポキシ樹脂等の基板上に一体的にモールド成形されたワークを真空吸着装置の吸着部に保持し、カッターを使用して個々のCSPに切断する場合に、ワークに反りがあると切断作業が困難となる。
つまり、吸着部の材質がスポンジゴム等の柔らかい弾性体の場合は、ワークの反りに対応できるが材質が柔らかい為、切断時の抵抗により変形し、切断位置ずれが発生しやすい問題がある。一方、吸着部の材質がシリコンゴム等の場合は、スポンジゴム等に比べ硬いので切断時の抵抗による変形はほとんど発生しないが、スポンジゴムより硬い為ワークの反りが大きいと対応できず、ワークに対する吸着力を弱めたり、切断前のワークに歪みを与えたりする問題がある。
また、従来の真空吸着装置では、吸着部を真空吸着プレート上に接着剤等で固着しているので、吸着部を交換する場合に接着剤が硬化するまで使用できず、さらに真空吸着プレートと吸着部との位置合わせにも時間がかかる。そして一個の吸着部はワーク内部のCSPの複数個分に対応しているので、吸着部の一部が劣化した場合でも一個の吸着部全体を交換しなければならず、コスト効率が良くないという問題がある。
上記課題を解決するため、本発明の一観点によれば、真空吸着プレート上に吸着部を設け、真空吸着プレートと吸着部を連通する真空吸着孔を介して吸着部上に載置されたワークを真空吸着する真空吸着装置において、この吸着部は、板状の第1の弾性体と、第1の弾性体の周囲を取り囲むように立設され第1の弾性体より硬い第2の弾性体で構成された縁部を有し、かつ縁部の高さを第1の弾性体の高さより低くしたことを特徴とする。
また、この吸着部は、第2の弾性体で形成された箱状体の内部に第1の弾性体を充填した複数の分割吸着部で構成され、各分割吸着部は前記真空吸着プレートから取り外し可能であることを特徴とする。
本発明は、このような構成にすることにより、ワークに反りがある場合でも、柔らかい第1の弾性体がワークの反りに対応し、ワークに対する吸着力を弱めたり、ワークに歪を与えることがない。また第1の弾性体の周囲の第2の弾性体の縁部は第1の弾性体より硬く、かつこの縁部は第1の弾性体より高さが低いので、ワーク切断時の抵抗により変形して切断位置ずれを発生することのない真空吸着装置を実現できる。
また、吸着部を真空吸着プレートから取り外し可能な複数の分割吸着部で構成したので、吸着部が劣化した場合でも一部の分割吸着部のみ交換すればよく、コスト効率のよい真空吸着装置を実現できる。
図1は、本発明の第1の実施例における真空吸着装置を説明するための斜視図、図2は、本発明の第1の実施例における真空吸着装置を説明するための断面図であり図2(A) はワークを吸着する前、図2(B) はワークを吸着した時の状態を示す。
図1および図2に示すように、第2の弾性体である板状のシリコンゴム5に4個の凹部12を形成し、その凹部に第1の弾性体である板状で、かつ中央に吸着孔3が開けられたポリウレタン等のスポンジゴム7を接着材で接着して吸着部2を製作する。
このシリコンゴム5の周囲の縁部9はスポンジゴムの高さより若干低くなるように形成されている。そして、吸着部2の真空吸着孔3と真空吸着プレート1の真空吸着孔3を位置合わせして、吸着部2を真空吸着プレート1上に接着材で接着する。第2の弾性体の硬度はショアA70前後の材質が好ましい。
なお、本発明の実施例による吸着部2は、4個のCSPが一体的にモールド成形されたワーク4を個々のCSP個片に切断するための保持部を想定している。従って、ワーク4の種類によってはシリコンゴム5に設ける凹部12の個数やスポンジゴム7の個数を変えても良い。また、シリコンゴム5を枠体に成形し、その枠内にスポンジゴム7を充填する構造でもよい。またシリコンゴム以外に、ニトリルゴムやテフロンゴム等を使用することもできる。
本発明の実施例による真空吸着装置では、図2(A)に示すように反りのあるワーク4(但し、ワーク4の反りを誇張して示している)を真空吸着すると、図2(B) に示すように柔らかいスポンジゴム7がワーク4の反り倣って変形するのでワーク4に対する吸着圧が安定し、かつ周囲のシリコンゴム5の縁部9により切断時の抵抗によるスポンジゴム7の変形を抑えてワーク4の切断位置ずれを防止することができる。
図3は、本発明の第2の実施例による真空吸着装置を説明するための斜視図、図4は本発明の第2の実施例による真空吸着装置を説明するための断面図、図5は、図3および図4における吸着部を説明するための斜視図である。
第2の実施例では、図3および図4に示すように吸着部を4個の分割吸着部6で構成し、各分割吸着部6が真空吸着プレート1から取り外し可能となっている。分割吸着部6は、図5に示すように箱状体のシリコンゴム5内に板状で、かつ中央に吸着孔の開けられたスポンジゴム7を接着材で接着し、シリコンゴム5周囲の縁部9をスポンジゴム7の高さより若干低くなるように形成している。そして、箱状体で、かつ中央に吸着孔3の開けられたシリコンゴム5の底部に角孔8を設け、この角孔8を真空吸着プレート1上に形成され、かつ中央に吸着孔の開けられた吸着部用突起10に接着材を使用することなく嵌め込む。これにより分割吸着部6の真空プレート1に対する位置決めが容易になり、また吸着部を分割することにより、前記第1の実施例の効果に加えて、吸着部の劣化した部分の分割吸着部6のみを交換することが可能になり、コスト効率のよい真空吸着装置を実現できる効果がある。
なお、第2の実施例では、真空吸着プレート1側に突起を設け、分割吸着部6のシリコンゴム5の底部に角孔を設ける構成になっているが、真空吸着プレート1側に角孔を設け、分割吸着部6のシリコンゴム5の底部に突起を設ける構成にしてもよい。
本発明は、複数の電子部品が形成された基板や、複数の半導体回路が形成されたウェーハを切断するためワークを保持する真空吸着装置に適用することができる。
1 真空吸着プレート
2 吸着部
3 真空吸着孔
4 ワーク
5 シリコンゴム
6 分割吸着部
7 スポンジゴム
8 角孔
9 縁部
10 吸着部用突起
11 カッター刃の逃げ溝
12 凹部
2 吸着部
3 真空吸着孔
4 ワーク
5 シリコンゴム
6 分割吸着部
7 スポンジゴム
8 角孔
9 縁部
10 吸着部用突起
11 カッター刃の逃げ溝
12 凹部
Claims (4)
- 真空吸着プレート上に吸着部を設け、該真空吸着プレートと該吸着部を連通する真空吸着孔を介して該吸着部上に載置されたワークを真空吸着する真空吸着装置において、
該吸着部は、板状の第1の弾性体と、該第1の弾性体の周囲を取り囲むように立設され該第1の弾性体より硬い第2の弾性体で構成された縁部を有し、かつ該縁部の高さを該第1の弾性体の高さより低くしたことを特徴とする真空吸着装置。 - 前記吸着部は、前記第2の弾性体で形成された箱状体の内部に前記第1の弾性体を充填した複数の分割吸着部で構成され、該各分割吸着部は前記真空吸着プレートから取り外し可能であることを特徴とする請求項1記載の真空吸着装置。
- 前記箱状体の底部に凹部を設け、該凹部と嵌合する突起を前記真空吸着プレートに設けたことを特徴とする請求項2記載の真空吸着装置。
- 前記箱状体の底部に凸部を設け、該凸部と嵌合する凹部を前記真空吸着プレートに設けたことを特徴とする請求項2記載の真空吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005043973A JP2006229129A (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | 真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005043973A JP2006229129A (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | 真空吸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006229129A true JP2006229129A (ja) | 2006-08-31 |
Family
ID=36990191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005043973A Withdrawn JP2006229129A (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | 真空吸着装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006229129A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-02-21 JP JP2005043973A patent/JP2006229129A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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