JP2006216783A - 多層膜反射鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 石英からなる基板1の上に、励起光反射防止膜2が形成され、その上に露光光反射膜3が形成されている。短波長である露光光は、表面側に配置された露光光反射膜3により反射される。一方、長波長である励起光は、露光光反射膜3を透過し、励起光反射防止膜2に到達して吸収されるので、励起光の反射が小さく抑えられる。
【選択図】 図1
Description
(実施例1)
波長が1064nmのYAGレーザー光(励起光)でプラズマを励起し、波長が13.5nmのEUV光を露光光として使用する場合の多層膜反射鏡を製作した。この多層膜反射鏡においては、入射光は13.5°の斜入射角で入射するものとして設計されたものである。
(実施例2)
波長が266nmのレーザー光(励起光)でプラズマを励起し、波長が13.5nmのEUV光を露光光として使用する場合の多層膜反射鏡を製作した。この多層膜反射鏡においては、入射光は13.5°の斜入射角で入射するものとして設計されたものである。
(発明の実施の形態)
本発明の実施の形態であるEUV露光装置は、図8に示した従来のEUV露光装置の構成と基本的に同じであるが、本実施の形態においては、平面ミラー36として、本発明に係る多層膜反射鏡を使用している。このように、比較的精度を要しない照明光学系における反射鏡として、本発明の多層膜反射鏡を使用することにより、高精度を要する投影光学系の反射ミラー(M1〜M6)に入射する露光光を減少させ、投影光学系のミラーの熱変形を小さく抑えることができる。よって、露光精度の低下を抑えることができる。
Claims (5)
- 励起光によって露光光を励起し、当該露光光によって露光を行う露光装置に用いられる多層膜反射鏡であって、前記露光光に対して斜入射角15°以下で50%以上の反射率を有すると共に、前記励起光に対して50%以下の反射率を有することを特徴とする多層膜反射膜。
- 前記多層膜が、表面側に配した露光光反射部分と基板側に配した励起光の反射防止部分を有することを特徴とする請求項1に記載の多層膜反射膜。
- 前記露光光が波長15nm以下のEUV光であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の多層膜反射膜。
- 前記励起光が波長150nm以上のレーザー光であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の多層膜反射膜。
- 請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の多層膜反射鏡を有することを特徴とするEUV露光装置。
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