JP2006210899A - Soiウエーハの製造方法及びsoiウェーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶シリコンウェーハ中にイオン注入してイオン注入層を形成し、該単結晶シリコンウェーハのイオン注入面及び/又は透明絶縁性基板の表面をプラズマ及び/又はオゾンで処理し、単結晶シリコンウェーハのイオン注入面と透明絶縁性基板の表面とを前記処理をした表面を接合面として室温で密着させて接合し、イオン注入層に衝撃を与えて単結晶シリコンウェーハを機械的に剥離して透明絶縁性基板上にSOI層を形成して得られたSOIウェーハに、不活性ガス、水素ガス、あるいはこれらの混合ガス雰囲気下でSOI層表面を平坦化する熱処理を施す。
【選択図】図1
Description
単結晶シリコンウェーハの表面から水素イオンまたは希ガスイオンの少なくとも一方を注入し、ウェーハ中にイオン注入層を形成する工程、
該単結晶シリコンウェーハのイオン注入面及び/又は前記透明絶縁性基板の表面を、プラズマ及び/又はオゾンで処理する工程
前記単結晶シリコンウェーハのイオン注入面と前記透明絶縁性基板の表面とを、前記処理をした表面を接合面として室温で密着させて接合する工程、
前記イオン注入層に衝撃を与えて単結晶シリコンウェーハを機械的に剥離し、前記透明絶縁性基板上にSOI層を形成し、SOIウェーハを得る工程、
前記得られたSOIウェーハに、不活性ガス、水素ガス、あるいはこれらの混合ガス雰囲気下でSOI層表面を平坦化する熱処理を施す工程、
を行なうことを特徴とするSOIウエーハの製造方法を提供する(請求項1)。
前記熱処理を施したSOIウェーハに熱酸化を行って、前記SOI層の表面に熱酸化膜を形成する工程、
前記熱酸化膜を除去することにより、前記SOI層の厚さを減ずる工程、
を行なうことが好ましい(請求項2)。
このように、SOI層表面を平坦化する熱処理を施したSOIウェーハに熱酸化を行ってSOI層の表面に熱酸化膜を形成し、これを除去してSOI層の厚さを減ずることにより、より薄くて良好な膜厚均一性を有し、さらに表面粗れ、結晶欠陥やダメージが十分に除去されたSOI層を有するSOIウェーハを製造することができる。
このように、接合した単結晶シリコンウェーハ及び透明絶縁性基板を、熱歪が発生しないような100〜300℃という低温で熱処理してより結合力を高めてから、イオン注入層に衝撃を与えて機械的な剥離工程を行なえば、機械的応力による接合面の剥離、ひび割れ等の発生をより確実に防止してSOIウェーハを製造できる。
このように、SOI層表面を平坦化する熱処理の温度を1100℃以上とすれば、比較的短い時間で表面粗さを改善できるし、1350℃以下とすれば、熱処理の際に重金属不純物による汚染や熱処理炉の耐久性の問題が生じずに、SOIウェーハを製造できる。
このように、透明絶縁性基板を石英基板、サファイヤ(アルミナ)基板、のいずれかとすれば、これらは光学的特性が良好な透明絶縁性基板であるから、光学デバイス作製に好適なSOIウェーハを製造できる。
このように、イオン注入層を形成する際のイオン注入線量を、8×1016/cm2より大きくすることにより、機械剥離を容易に行うことができる。
このように、上記のいずれかの製造方法により製造されたSOIウェーハであれば、製造の際に熱歪、剥離、ひび割れ等が発生しておらず、また、各種デバイス作製に有用な、より薄くて良好な膜厚均一性を有し、結晶性に優れ、キャリア移動度の高い透明絶縁性基板上にSOI層を持つSOIウエーハとなる。
しかし、SOIウェーハの生産性向上の為に、より工程数が少なく、短時間で前記問題を解決する技術が望まれていた。
そこで本発明者らは、そのようなSOI層の膜厚均一性の低下を防止するために、SOI層を形成した後、不活性ガス、水素ガス、あるいはこれらの混合ガス雰囲気下でSOI層の表面を平坦化する熱処理を行い、剥離工程により生じた表面粗れ等を除去し、その後必要に応じてSOI層表面に熱酸化を形成、除去してSOI層の厚さを減ずることにより、より薄くて良好な膜厚均一性を有し、さらに表面粗れ、結晶欠陥やダメージが十分に除去されたSOI層を形成できることに想到し、本発明を完成させた。
以下、本発明の実施の形態について具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
単結晶シリコンウェーハとしては特に限定されず、例えばチョクラルスキー法により育成された単結晶をスライスして得られたもので、例えば直径が100〜300mm、導電型がP型またはN型、抵抗率が10Ω・cm程度のものを用いることができる。
また、透明絶縁性基板も特に限定されないが、これを石英基板、サファイヤ(アルミナ)基板、のいずれかとすれば、これらは光学的特性が良好な透明絶縁性基板であるから、光学デバイス作製に好適なSOIウェーハを製造できる。
例えば、単結晶シリコンウェーハの温度を250〜450℃とし、その表面から所望のSOI層の厚さに対応する深さ、例えば0.5μm以下の深さにイオン注入層を形成できるような注入エネルギーで、所定の線量の水素イオンまたは希ガスイオンの少なくとも一方を注入する。このときの条件として、例えば注入エネルギーは20〜100keV、注入線量は1×1016〜1×1017/cm2とできる。この場合、イオン注入層での剥離を容易にするため、イオン注入線量は8×1016/cm2より大きくすることが好ましい。また、単結晶シリコンウェーハの表面にあらかじめ薄いシリコン酸化膜などの絶縁膜を形成しておき、それを通してイオン注入を行なえば、注入イオンのチャネリングを抑制する効果が得られる。
プラズマで処理をする場合、真空チャンバ中にRCA洗浄等の洗浄をした単結晶シリコンウェーハ及び/又は透明絶縁性基板を載置し、プラズマ用ガスを導入した後、100W程度の高周波プラズマに5〜10秒程度さらし、表面をプラズマ処理する。プラズマ用ガスとしては、単結晶シリコンウェーハを処理する場合、表面を酸化する場合には酸素ガスのプラズマ、酸化しない場合には水素ガス、アルゴンガス、又はこれらの混合ガスあるいは水素ガスとヘリウムガスの混合ガスを用いることができる。透明絶縁性基板を処理する場合はいずれのガスでもよい。
工程Cにおいて、単結晶シリコンウェーハのイオン注入面または透明絶縁性基板の表面の少なくとも一方がプラズマ処理及び/又はオゾン処理されているので、これらを例えば減圧または常圧下、一般的な室温程度の温度下で密着させるだけで後工程での機械的剥離に耐え得る強度で強く接合できる。従って、1200℃以上といった高温の結合熱処理が必要でなく、加熱により問題になる熱膨張係数の差異による熱歪、ひび割れ、剥離等が発生するおそれがなく好ましい。
例えば透明絶縁性基板が石英の場合、熱膨張係数はシリコンに比べて小さく(Si:2.33×10−6、石英:0.6×10−6)、同程度の厚さのシリコンウェーハと張り合わせて加熱すると、300℃を超えるとシリコンウェーハが割れてしまう。しかし、このような比較的低温の熱処理であれば、熱膨張係数の差異による熱歪、ひび割れ、剥離等が発生するおそれがなく好ましい。なお、バッチ処理式の熱処理炉を用いる場合、熱処理時間は0.5〜24時間程度であれば十分な効果が得られる。
水素イオン注入剥離法においては、接合ウェーハを不活性ガス雰囲気下500℃程度で熱処理を行ない、結晶の再配列効果と注入した水素の気泡の凝集効果により熱剥離を行なうという方法であるが、本発明においてはイオン注入層に衝撃を与えて機械的剥離を行なうので、加熱に伴う熱歪、ひび割れ、剥離等が発生するおそれがない。
イオン注入層に衝撃をあたえるためには、例えばガスや液体等の流体のジェットを接合したウェーハの側面から連続的または断続的に吹き付ければよいが、衝撃により機械的剥離が生じる方法であれば特に限定はされない。
これによって、剥離工程により生じた表面粗れや、イオン注入により生じたSOI層表面近傍の結晶欠陥やダメージを除去できる。
なお、SOI層表面を平坦化する熱処理の温度を1100〜1350℃とすることが好ましい。熱処理の温度を1100℃以上とすれば、比較的短い時間で表面粗さを改善できるし、1350℃以下とすれば、熱処理の際に重金属不純物による汚染や熱処理炉の耐久性の問題が生じない。なお、すでにSOI層は十分に薄膜化されているので、このような高温熱処理を行なっても熱歪、剥離、ひび割れ等の発生のおそれはない。
これよって、表面粗さの長周期成分(例えば、周期1〜10μm程度)を改善することができる。すなわち、工程Gの熱処理により表面粗れの短周期成分(例えば周期1μm以下)は十分に除去されるが、長周期成分をより確実に除去するには、これをわずかの研磨により除去することが好ましい。このように、一旦熱処理が行なわれれば、表面粗さ及び表面のダメージが大幅に改善されているので、研磨代を従来に比べて大幅に少なくすることができ、特には半分以下にすることも可能であり、薄膜の膜厚均一性に及ぼす影響を最小限に留めて、表面粗さの長周期成分の改善を確実に行なうことができる。
このようにSOI層表面に熱酸化膜を形成することで、工程Gにおいて除去しきれなかった結晶欠陥やダメージを熱酸化膜に取り込むことができ、また膜厚均一性をほとんど低下させることなくSOI層を所定の厚さまで薄膜化できる。熱酸化膜は例えば950℃の温度でパイロジェニック酸化を行なうことにより形成することができるが、酸化膜の形成方法は特に限定されない。
熱酸化膜の除去は、例えばHFを含有する水溶液にウェーハを浸漬する等により行なうことができる。
こうして、透明絶縁性基板上にSOI層が形成されたSOIウェーハが得られる。
特に、タッチポリッシュを省略できるかまたはごく小さい研磨代でのみ行なえるので、機械加工的要素を含む研磨による膜厚均一性の低下が確実に発生しないSOIウェーハとできる。
また、このようなSOIウェーハは、透明絶縁性基板の上にSOI層が形成されているものであるから、TFT−LCD等の光学デバイスの作製用に特に適する。
SOI層形成用ウェーハとして、一方の面が鏡面研磨された直径200mmの単結晶シリコンウェーハを用意し、その表面に熱酸化によりシリコン酸化膜層を100nm形成した。貼り合わせを行う鏡面側の酸化膜層の表面粗さ(Ra)は0.2nmであった。測定は原子間力顕微鏡を用い、10μm×10μmの測定領域において行った。
Claims (7)
- 単結晶シリコンウェーハと透明絶縁性基板とを接合後、前記単結晶シリコンウェーハを薄膜化することにより前記透明絶縁性基板上にSOI層を形成してSOIウェーハを製造する方法において、少なくとも、
単結晶シリコンウェーハの表面から水素イオンまたは希ガスイオンの少なくとも一方を注入し、ウェーハ中にイオン注入層を形成する工程、
該単結晶シリコンウェーハのイオン注入面及び/又は前記透明絶縁性基板の表面を、プラズマ及び/又はオゾンで処理する工程
前記単結晶シリコンウェーハのイオン注入面と前記透明絶縁性基板の表面とを、前記処理をした表面を接合面として室温で密着させて接合する工程、
前記イオン注入層に衝撃を与えて単結晶シリコンウェーハを機械的に剥離し、前記透明絶縁性基板上にSOI層を形成し、SOIウェーハを得る工程、
前記得られたSOIウェーハに、不活性ガス、水素ガス、あるいはこれらの混合ガス雰囲気下でSOI層表面を平坦化する熱処理を施す工程、
を行なうことを特徴とするSOIウエーハの製造方法。 - 請求項1に記載したSOIウェーハの製造方法において、前記SOI層表面を平坦化する熱処理を施す工程の後に、
前記熱処理を施したSOIウェーハに熱酸化を行って、前記SOI層の表面に熱酸化膜を形成する工程、
前記熱酸化膜を除去することにより、前記SOI層の厚さを減ずる工程、
を行なうことを特徴とするSOIウエーハの製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載したSOIウェーハの製造方法において、前記接合工程を行なった後、該接合ウェーハを100〜300℃で熱処理して結合力を高める工程を行い、その後前記剥離工程を行なうことを特徴とするSOIウェーハの製造方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載したSOIウェーハの製造方法において、前記SOI層表面を平坦化する熱処理の温度を1100〜1350℃とすることを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載したSOIウエーハの製造方法において、前記透明絶縁性基板を、石英基板、サファイヤ(アルミナ)基板、のいずれかとすることを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載したSOIウエーハの製造方法において、前記イオン注入層を形成する際のイオン注入線量を、8×1016/cm2より大きくすることを特徴とするSOIウエーハの製造方法。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載した製造方法により製造されたことを特徴とするSOIウェーハ。
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KR1020087017506A KR100972213B1 (ko) | 2005-12-27 | 2006-07-12 | Soi 웨이퍼의 제조 방법 및 soi 웨이퍼 |
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---|---|
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1936679A1 (en) * | 2006-12-18 | 2008-06-25 | Shinetsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing an SOI substrate |
EP1980884A2 (en) * | 2007-04-12 | 2008-10-15 | Shin-Etsu Chemical Company, Ltd. | Optical waveguide apparatus and method for manufacturing the same |
JP2008270775A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-11-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2008270774A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-11-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2008288579A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Soi基板の製造方法 |
JP2008300660A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Soiウエーハの製造方法 |
JP2009177155A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-08-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Soi基板の作製方法 |
JP2009218579A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-09-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Soi基板の表面処理方法 |
WO2009147778A1 (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-10 | 信越半導体株式会社 | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
US8420503B2 (en) * | 2008-04-01 | 2013-04-16 | Shin—Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for producing SOI substrate |
KR101384845B1 (ko) | 2007-10-25 | 2014-04-15 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 반도체 기판의 제조 방법 |
JP2016516304A (ja) * | 2013-03-14 | 2016-06-02 | サンエディソン・セミコンダクター・リミテッドSunEdison Semiconductor Limited | ライトポイント欠陥と表面粗さを低減するための半導体オンインシュレータウエハの製造方法 |
EP1981079B1 (en) * | 2007-04-11 | 2018-05-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing an SOI substrate |
CN113690135A (zh) * | 2020-05-18 | 2021-11-23 | 联华电子股份有限公司 | 半导体结构的制作方法及其平坦化制作工艺 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0391227A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Nippon Soken Inc | 半導体基板の接着方法 |
JPH0529183A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-05 | Fuji Electric Co Ltd | 接合方法 |
JPH07249749A (ja) * | 1994-03-11 | 1995-09-26 | Canon Inc | Soi基板の作製方法 |
JP2000036583A (ja) * | 1998-05-15 | 2000-02-02 | Canon Inc | 半導体基板、半導体薄膜の作製方法および多層構造体 |
JP2000183316A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Denso Corp | 半導体基板およびその製造方法 |
JP2001244444A (ja) * | 2000-02-25 | 2001-09-07 | Teien-Shi Rii | 薄膜転移及び薄膜分離方法 |
WO2003009386A1 (fr) * | 2001-07-17 | 2003-01-30 | Shin-Etsu Handotai Co.,Ltd. | Procede de production de plaquettes de liaison |
JP2004296487A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Seiko Epson Corp | トランジスタの製造方法、トランジスタ、電気光学基板、電気光学装置、電子機器 |
-
2005
- 2005-12-27 JP JP2005374889A patent/JP2006210899A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0391227A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Nippon Soken Inc | 半導体基板の接着方法 |
JPH0529183A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-05 | Fuji Electric Co Ltd | 接合方法 |
JPH07249749A (ja) * | 1994-03-11 | 1995-09-26 | Canon Inc | Soi基板の作製方法 |
JP2000036583A (ja) * | 1998-05-15 | 2000-02-02 | Canon Inc | 半導体基板、半導体薄膜の作製方法および多層構造体 |
JP2000183316A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Denso Corp | 半導体基板およびその製造方法 |
JP2001244444A (ja) * | 2000-02-25 | 2001-09-07 | Teien-Shi Rii | 薄膜転移及び薄膜分離方法 |
WO2003009386A1 (fr) * | 2001-07-17 | 2003-01-30 | Shin-Etsu Handotai Co.,Ltd. | Procede de production de plaquettes de liaison |
JP2004296487A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Seiko Epson Corp | トランジスタの製造方法、トランジスタ、電気光学基板、電気光学装置、電子機器 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1936679A1 (en) * | 2006-12-18 | 2008-06-25 | Shinetsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing an SOI substrate |
JP2008270775A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-11-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2008270774A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-11-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
EP1981079B1 (en) * | 2007-04-11 | 2018-05-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for manufacturing an SOI substrate |
EP1980884A3 (en) * | 2007-04-12 | 2012-11-28 | Shin-Etsu Chemical Company, Ltd. | Optical waveguide apparatus and method for manufacturing the same |
EP1980884A2 (en) * | 2007-04-12 | 2008-10-15 | Shin-Etsu Chemical Company, Ltd. | Optical waveguide apparatus and method for manufacturing the same |
JP2008262052A (ja) * | 2007-04-12 | 2008-10-30 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光導波路装置および光導波路装置の製造方法 |
JP2008288579A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Soi基板の製造方法 |
KR101482792B1 (ko) * | 2007-05-31 | 2015-01-14 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | Soi 웨이퍼의 제조 방법 |
TWI456689B (zh) * | 2007-05-31 | 2014-10-11 | Shinetsu Chemical Co | Soi晶圓的製造方法 |
JP2008300660A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Soiウエーハの製造方法 |
KR101384845B1 (ko) | 2007-10-25 | 2014-04-15 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 반도체 기판의 제조 방법 |
JP2009177155A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-08-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Soi基板の作製方法 |
JP2009218579A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-09-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Soi基板の表面処理方法 |
US8420503B2 (en) * | 2008-04-01 | 2013-04-16 | Shin—Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for producing SOI substrate |
WO2009147778A1 (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-10 | 信越半導体株式会社 | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
JP2009295667A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
JP2016516304A (ja) * | 2013-03-14 | 2016-06-02 | サンエディソン・セミコンダクター・リミテッドSunEdison Semiconductor Limited | ライトポイント欠陥と表面粗さを低減するための半導体オンインシュレータウエハの製造方法 |
CN113690135A (zh) * | 2020-05-18 | 2021-11-23 | 联华电子股份有限公司 | 半导体结构的制作方法及其平坦化制作工艺 |
CN113690135B (zh) * | 2020-05-18 | 2024-05-28 | 联华电子股份有限公司 | 半导体结构的制作方法及其平坦化制作工艺 |
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