JP2006186291A - 直接露光装置および直接露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 露光対象物である露光対象基板3に光を照射する光源2を有する直接露光装置1は、露光対象基板3の露光面に相当する位置における光の照度分布を計測する計測手段11と、計測手段11の計測結果に基づいて、目的の照度分布が得られるよう光源2を制御する制御手段12と、を備える。
【選択図】 図1
Description
露光対象基板3の露光面に相当する位置における光の照度分布を計測する計測手段11と、計測手段11の計測結果に基づいて、目的の照度分布が得られるよう光源2を制御する制御手段12と、を備える。目的の照度分布とは、例えば、場所によってムラのない、均一な照度分布をいう。
2 光源
3 露光対象基板
11 計測手段
12 制御手段
21 センサ
22 ステージ
23 ハーフミラー
30 レーザダイオード
31 発光部
32 フィードバック回路
51 DMD
52 パターン生成器
53 位置センサ
54 拡散板
55 レンズ
56 レンズ
57 反射板
58 レーザダイオード
Claims (18)
- 露光対象物に光を照射する光源を有する直接露光装置であって、
露光対象物の露光面に相当する位置における光の照度分布を計測する計測手段と、
該計測手段の計測結果に基づいて、目的の照度分布が得られるよう前記光源を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする直接露光装置。 - 前記計測手段は、露光対象物に対する露光処理が開始される前に、露光対象物相当の露光面における光の照度分布を予め計測するセンサを有する請求項1に記載の直接露光装置。
- 前記計測手段は、前記センサが計測したデータを保存するメモリをさらに有する請求項2に記載の直接露光装置。
- 前記計測手段は、
露光処理中に露光対象物に照射される光のうち、一部の光を分光するハーフミラーと、
該ハーフミラーによって分光された前記一部の光の照度分布を計測するセンサと、を有する請求項1に記載の直接露光装置。 - 前記計測手段は、
ミラーと、
露光対象物に照射される光の光路上に前記ミラーを配置可能とする光路切替え手段と、
露光対象物に照射される光のうち、前記ミラーによって反射された一部の光の照度分布を計測するセンサと、
を有する請求項1に記載の直接露光装置。 - 前記光源は、複数の点光源がマトリクス状に配列された光源アレイを有し、
前記計測手段は、複数のセンサ個体がマトリクス状に配列されたセンサアレイを有する請求項1に記載の直接露光装置。 - 前記制御手段は、
各前記点光源を1つずつ点灯したときの前記計測手段の計測結果に基づいて、各前記点光源の発光量と各前記センサ個体の光計測量との対応関係を、行列の形式で算出する第1の算出手段と、
前記行列に基づいて、前記目的の照度分布を達成するための各前記点光源ごとの目標発光量を算出する第2の算出手段と、を備え、
前記制御手段は、前記目標発光量が得られるよう各前記点光源を制御する請求項6に記載の直接露光装置。 - 前記第2の算出手段は、前記行列と各前記点光源を同時に全て点灯したときの前記計測手段の計測結果とに基づいて、前記目標発光量を算出する請求項7に記載の直接露光装置。
- 前記第1の算出手段は、各前記点光源の1つを点灯したときの当該点光源の発光量と、当該点光源を点灯したときに各前記センサ個体が計測する光計測量と、に基づいて前記行列中の各成分を導出する請求項7に記載の直接露光装置。
- 露光対象物に光源からの光を照射して該露光対象物を露光する直接露光方法であって、
露光対象物の露光面に相当する位置における光の照度分布を計測する計測ステップと、
該計測ステップにおける計測結果に基づいて、目的の照度分布が得られるよう前記光源を制御する制御ステップと、
を備えることを特徴とする直接露光方法。 - 前記計測ステップでは、露光対象物に対する露光処理が開始される前に、露光対象物相当の露光面における光の照度分布をセンサを用いて予め計測する請求項10に記載の直接露光方法。
- 前記センサが計測したデータをメモリに保存する保存ステップと、をさらに備える請求項11に記載の直接露光方法。
- 前記計測ステップでは、露光処理中に露光対象物に照射される光のうち、ハーフミラーによって分光された光の照度分布を計測する請求項10に記載の直接露光方法。
- 前記計測ステップは、露光対象物に照射される光の光路上にミラーを配置可能とする光路切替えステップをさらに備え、
露光対象物に照射される光のうち、前記ミラーによって反射された光の照度分布を計測する請求項10に記載の直接露光方法。 - 前記光源は、複数の点光源がマトリクス状に配列された光源アレイを有し、
前記計測ステップでは、複数のセンサ個体がマトリクス状に配列されたセンサアレイを用いて光の照度分布を計測する請求項10に記載の直接露光方法。 - 前記制御ステップは、
各前記点光源を1つずつ点灯したときの前記計測ステップの計測結果に基づいて、各前記点光源の発光量と各前記センサ個体の光計測量との対応関係を、行列の形式で算出する第1の算出ステップと、
前記行列に基づいて、前記目的の照度分布を達成するための各前記点光源ごとの目標発光量を算出する第2の算出ステップと、を備え、
前記制御ステップは、前記目標発光量が得られるよう各前記点光源を制御する請求項15に記載の直接露光方法。 - 前記第2の算出ステップは、前記行列と各前記点光源を同時に全て点灯したときの前記計測ステップの計測結果とに基づいて、前記目標発光量を算出する請求項16に記載の直接露光方法。
- 前記第1の算出ステップは、各前記点光源の1つを点灯したときの当該点光源の発光量と、当該点光源を点灯したときに各前記センサ個体が計測する光計測量と、に基づいて前記行列中の各成分を導出する請求項16に記載の直接露光方法。
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