JP2006165524A - 高周波スイッチングトランジスタおよび高周波回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高周波スイッチングトランジスタ100は、基板ドーパント濃度を有する基板102と、基板上に境界を有し、第1伝導型であり、基板ドーパント濃度よりも高いバリヤ領域ドーパント濃度を有するバリヤ領域104と、バリヤ領域に埋設されており、第2伝導型の、バリヤ領域ドーパント濃度よりも高いドーパント濃度を有するソース領域108およびドレイン領域110と、ソース領域108から延びており、バリヤ領域104のサブ領域を含むチャネル領域と、チャネル領域112を覆いチャネル領域112とゲート電極116との間に配置されている絶縁領域114とを備えている。
【選択図】図1A
Description
基板ドーパント濃度を有する基板と、
上記基板上に境界を有し、第1伝導型であり、上記基板ドーパント濃度よりも高いバリヤ領域ドーパント濃度を有するバリヤ領域と、
上記バリヤ領域に埋設されており、上記第1伝導型とは異なる第2伝導型であり、上記バリヤ領域ドーパント濃度よりも高いソース領域ドーパント濃度を有するソース領域と、
上記バリヤ領域に埋設されており、上記ソース領域からはオフセットして配置されており、上記第2伝導型であり、上記バリヤ領域ドーパント濃度よりも高いドーパント濃度を有するドレイン領域と、
上記ソース領域と上記ドレイン領域との間にて延び、上記バリヤ領域のサブ領域を含むチャネル領域と、
上記チャネル領域を覆い、上記チャネル領域とゲート電極との間に配置されている絶縁領域と、を備えている。
上記高周波スイッチングトランジスタを有するスイッチと、
制御信号に応じてスイッチを開閉するように形成されている制御回路とを備え、
上記制御回路は、さらに、上記ゲート電極に上記スイッチを開くための電位を供給して上記ソース領域と上記ドレイン領域との間の電流フローをイネーブルするように形成されている。
第2伝導型であり、さらに、基板ドーパント濃度よりも高いドーパント濃度を有している別のバリヤ領域と、
上記別のバリヤ領域に埋設されており、第1伝導型であり、上記別のバリヤ領域のドーパント濃度よりも高い基板端子領域ドーパント濃度を有する基板端子領域と、を備えている。
102 基板
104 バリヤ領域
106 別のバリヤ領域
108 ソース領域
110 ドレイン領域
112 チャネル領域
114 絶縁領域
116 ゲート電極
118 基板端子領域
120 被覆層
122 基板102の表面
124 別のバリヤ領域106の表面
126 基板端子領域118の表面
128 バリヤ領域104の表面
130 ドレイン領域110の表面
132 絶縁領域114とゲート電極116との側面
134 絶縁領域114の表面
136 ソース領域108の表面
138 端子接触部
200 マルチゲート構造
202 サブチャネル領域
204 補助構造
206 サブトランジスタ
302 ソース領域108のドーパント濃度
304 バリヤ領域104のドーパント濃度
306 基板102のドーパント濃度
308 バリヤ領域104のドーパント濃度
310 ドレイン領域110のドーパント濃度
312 ソースドレイン間領域との間の電位曲線
314 ソースとドレイン端子領域との間に電圧を印加した場合のソースとドレイン領域との間の電位曲線
316 電位曲線312の注入張りや位置
402 基板端子領域118のドーパント濃度
404 別のバリヤ領域106のドーパント濃度
406 基板102のドーパント濃度
408 バリヤ領域104のドーパント濃度
410 ドレイン領域110のドーパント濃度
412 基板端子領域とソース領域との間に電圧を印加した場合の基板端子領域118とドレイン領域110との間の電位曲線
414 基板端子領域とソース領域との間に電圧を印加した場合の基板端子領域118とドレイン領域110との間の電位曲線
416 電位曲線414の注入(電位)バリヤ位置
502 基板端子領域とドレイン領域との間に電圧を印加した場合の基板端子領域118とドレイン領域110との間の電位曲線
504 基板端子領域とドレイン領域との間に電圧を印加した場合の基板端子領域118とドレイン領域110との間の電位曲線
506 基板端子領域とドレイン領域との間に電圧を印加した場合の基板端子領域118とドレイン領域110との間の電位曲線
Claims (32)
- 基板ドーパント濃度を有する基板(102)と、
上記基板(102)上に境界を有し、第1伝導型であり、上記基板ドーパント濃度よりも高いバリヤ領域ドーパント濃度を有するバリヤ領域(104)と、
上記バリヤ領域(104)に埋設され、上記第1伝導型とは異なる第2伝導型であり、上記バリヤ領域ドーパント濃度よりも高いソース領域ドーパント濃度を有するソース領域(108)と、
上記バリヤ領域(104)に埋設されており、上記ソース領域(108)からはオフセットして配置されて、上記第2伝導型であり、上記バリヤ領域ドーパント濃度よりも高いドーパント濃度を有するドレイン領域(110)と、
上記ソース領域(108)と上記ドレイン領域(110)との間に延び、上記バリヤ領域(104)のサブ領域を含むチャネル領域(112)と、
上記チャネル領域(112)を覆い、上記チャネル領域とゲート電極(116)との間に配置されている絶縁領域(114)と、を備える高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。 - さらに、上記第2伝導型であり、上記基板ドーパント濃度よりも高いドーパント濃度を有している別のバリヤ領域(106)と、
上記別のバリヤ領域(106)に埋設され、上記第1伝導型であり、上記別のバリヤ領域(106)のドーパント濃度よりも高い基板端子領域ドーパント濃度を有する基板端子領域(118)と、をさらに備える請求項1に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。 - 上記第1伝導型はpドープされた半導体材料を含み、上記第2伝導型はnドープされた半導体材料を含む、請求項1または2に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。
- 上記第1伝導型はnドープされた半導体材料を含み、上記第2伝導型はpドープされた半導体材料を含む、請求項1または2に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。
- 上記基板ドーパント濃度は、1立方センチメートルにつきドーパント原子が1014原子未満である、請求項1〜4の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタ。
- 上記ドレイン領域ドーパント濃度、上記ソース領域ドーパント濃度または上記基板端子領域ドーパント濃度は、1立方センチメートルにつきドーパント原子が1018原子を上回る、請求項1〜5の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。
- 上記バリヤ領域ドーパント濃度または上記別のバリヤ領域のドーパント濃度は、1立方センチメートルにつきドーパント原子が1014〜1018原子の範囲である、請求項1〜6の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。
- 上記ドレイン領域(110)と上記基板(102)との間の上記バリヤ領域(104)の厚み、または、上記ソース領域(108)と上記基板(102)との間の上記バリヤ領域(104)の厚みは、0.05μm〜1μmの値の範囲内である、請求項1〜7の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。
- 上記基板(102)と上記基板端子領域(108)との間の上記別のバリヤ領域(106)の厚みは、0.05〜1μmの値の範囲内である、請求項2〜8の請求項2に従属する請求項の1つに記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。
- 上記チャネル領域(112)は、上記ソース領域(108)と上記ドレイン領域(110)との間に直列に配置されている複数のサブチャネル領域(202)を備え、
上記絶縁領域(114)は、複数のサブ絶縁領域を備え、
上記ゲート電極(116)は、複数のサブゲート電極を備え、
上記複数の各サブ絶縁領域は、上記複数の各サブチャネル領域(202)をそれぞれ覆い、
上記複数の各サブ絶縁領域は、それぞれ対応する上記サブチャネル領域(202)および上記サブゲート電極との間に配置されている、請求項1〜9の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。 - 上記ドレイン領域(110)と上記基板端子領域(118)との間隔は、少なくとも1μmである、請求項2〜10の請求項2に従属する請求項の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタ(200)。
- 上記サブチャネル領域は、最短で0.1μmである、請求項10に記載の高周波スイッチングトランジスタ(200)。
- 上記チャネル領域の幅は、100μm〜500μmの値の範囲内である、請求項12に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)。
- 請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタ(100;200)を有するスイッチと、
制御信号に応じてスイッチを開閉するように形成されている制御回路とを備え、
上記制御回路は、さらに、上記ゲート電極(114)にスイッチを開くための電位を供給し、上記ソース領域(108)と上記ドレイン領域(110)との間の電流フローをイネーブルするように形成されている、高周波回路。 - 上記制御回路は、上記スイッチが開放される場合に、上記基板(102)に対する、上記ソース領域(108)および上記ドレイン領域(110)との間にオフセット電圧を印加するように形成されている、請求項14に記載の高周波回路。
- 上記スイッチは、請求項2に記載の高周波スイッチングトランジスタ(200)であり、
上記制御回路は、上記基板端子領域(118)と直列に接続されている抵抗器を使用して、上記基板端子領域(118)に電位を供給するようにさらに形成されている、請求項14に記載の高周波回路。 - 請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタを有する高周波回路であって、
上記高周波スイッチングトランジスタ(100;200)の上記基板(102)に、上記ソース領域(108)および上記ドレイン領域(110)に対するオフセット電圧を供給するように形成されている、高周波回路。 - 上記オフセット電圧を生成するように形成された部分回路をさらに備える、請求項17に記載の高周波回路。
- ゲートは、抵抗器(R1)を介してノード(602)と接続されており、
抵抗器は、回路と接続されており、
回路は、高周波スイッチングトランジスタ(100a)を開放または閉鎖するための電圧をゲート電極(116)に供給するように形成されている、請求項17または18に記載の高周波回路。 - 上記高周波スイッチングトランジスタの上記ソース領域(108)は、第1抵抗器を介して電位端子と接続されており、
上記高周波スイッチングトランジスタの上記ドレイン領域(110)は、第2抵抗器を介して上記電位端子と接続されている、請求項14〜19の何れか1項に記載の高周波回路。 - 上記電位端子は、高周波回路の接地端子と接続されている、請求項20に記載の高周波回路。
- 上記高周波スイッチングトランジスタ(100a,100b,100c)は、第1高周波信号端子(HFP1)と第2高周波信号端子(HFP2)との間の高周波回路の第1分枝部に配置されている、請求項17〜21の何れか1項に記載の高周波回路。
- 第2高周波スイッチングトランジスタ(100b)は、上記第1高周波スイッチングトランジスタ(100a)と直列に、第1高周波信号端子(HFP1)と第2高周波信号端子(HFP2)との間に接続されている、請求項22に記載の高周波回路。
- 第1および第2高周波信号端子(HFP1,HFP2)は、第1分枝部において、高周波スイッチングトランジスタ(100a)または高周波スイッチングトランジスタ(100a,100b,100c)の直列回路を介して接続されており、
上記第1高周波信号端子(HFP1)は、第2分枝部(100g,100h,100i,603)を介して定電位用の電位端子(604)と接続されており、
上記第2分枝部は、さらなる高周波スイッチングトランジスタ(100g)または複数のさらなるトランジスタ(100g,100h,100i)の直列回路を含み、
高周波トランジスタ(100a)または直列回路(100a,100b,100c)が第1および第2高周波信号端子(HFP1,HFP2)の間を導通状態に切り替えていない場合は、さらなる高周波スイッチングトランジスタ(100g)またはさらなる高周波スイッチングトランジスタ(100g,100h,100i)の直列回路を導通状態に切り替えるように形成されており、
高周波トランジスタ(100a)または直列回路(100a,100b,100c)が第1および第2高周波信号端子(HFP1,HFP2)の間を導通状態となっている場合は、さらなる高周波スイッチングトランジスタ(100g)またはさらなる高周波トランジスタ(100g,100h,100i)の直列回路を遮断するように、さらに形成されている、請求項14〜23の何れか1項に記載の高周波回路。 - 上記電位端子(604)の定電位は、回路の接地電位である、請求項24に記載の高周波回路。
- 少なくとも1つのさらなる高周波スイッチングトランジスタ(100d)、または、第3分枝部(100d,100e,100f)に配置されている高周波スイッチングトランジスタ(100d,100e,100f)の直列回路をさらに備え、
第2高周波信号端子(HFP2)は、第3分枝部(100d,100e,100f)を介して、第3高周波信号端子(HFP3)と接続されている、請求項22に記載の高周波回路。 - 上記第3高周波信号端子(HFP3)を定電位用のさらなる電位端子と接続する高周波回路の第4分枝部をさらに備え、
上記第4分枝部は、高周波スイッチングトランジスタ(100j)または直列回路(100j,100k,100l)を備えている、請求項26に記載の高周波回路。 - さらに、制御回路を備え、
上記制御回路は、第1スイッチング状態(SW)では、第1および第4分枝部の高周波スイッチングトランジスタのうちのそれぞれ1つの高周波スイッチングトランジスタを導通状態とし、
その間は、第2および第3分枝部の高周波スイッチングトランジスタのうちのそれぞれ1つの高周波スイッチングトランジスタを遮断(SW_)するように形成されており、
または、
第2スイッチング状態(SW)では、第2および第3分枝部の高周波スイッチングトランジスタのうちのそれぞれ1つの高周波スイッチングトランジスタを導通状態と、
その間は、第1および第4分枝部の高周波スイッチングトランジスタのうちのそれぞれ1つの高周波スイッチングトランジスタを遮断(SW_)するように形成されている、請求項27に記載の高周波回路。 - 少なくとも1つの高周波スイッチングトランジスタ(100d)は、第2分枝部と第3分枝部との接触点と、第3高周波信号端子(HFP3)との間に配置されている、請求項27または28に記載の高周波回路。
- 第1端子(RF1)と、第2端子(RF2)と、第3端子(RF3)と、第4端子(RF4)とを備える高周波回路であって、
第1信号(Tx)を第1端子(RF1)から第2端子(RF2)へ、または、第1端子(RF1)から第4端子(RF4)へ切り替えるように形成されている第1スイッチ(3)と、
第2信号(Rx)を第3端子(RF3)から第2端子(RF2)へ、または、第3端子(RF3)から第4端子(RF4)へ切り替えるように形成されている第2スイッチ(4)とを備え、
上記第1スイッチ(3)は、
第1端子(RF1)と第2端子(RF2)との間に接続されている、請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタを第1高周波スイッチングトランジスタとして有する第1スイッチング素子と、
第1端子(RF1)と第4端子(RF4)との間に接続されている、請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタを第2高周波スイッチングトランジスタとして有する第2スイッチング素子と、を備え、
上記第2スイッチは、
第3端子(RF3)と第2端子(RF2)との間に接続されている、請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタを第3高周波トランジスタ(FET12A)として有する第3スイッチング素子と、
第3端子(RF3)と第4端子(RF4)との間に接続されている、請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタを第4高周波スイッチングトランジスタ(FET13A)として有する第4スイッチング素子と、を備え、
第1、第2、第3および第4高周波スイッチングトランジスタは、
第1高周波スイッチングトランジスタが開放されている場合、第4高周波スイッチングトランジスタも開放されており、
第1高周波スイッチングトランジスタが閉鎖されている場合、第4高周波スイッチングトランジスタも閉鎖されており、
第2高周波スイッチングトランジスタが開放されている場合、第3高周波スイッチングトランジスタも開放されており、
高周波スイッチングトランジスタが閉鎖されている場合、第3高周波スイッチングトランジスタも閉鎖されているように制御可能である、高周波回路。 - 上記第1、第2、第3および第4スイッチング素子は、それぞれ、1つの直列回路を備え、
上記直列回路の複数の高周波スイッチングトランジスタの各々は、請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタである、請求項30に記載の高周波回路。 - 上記第1端子(RF1)は、第5スイッチング素子(FET15A〜FET15C)を介して接地と接続可能であり、
上記第3端子(RF3)は、第6スイッチング素子(FET16A〜FET16C)を介して接地と接続可能であり、
上記第5および第6スイッチング素子は、請求項1〜13の何れか1項に記載の高周波スイッチングトランジスタを備え、
上記第5および第6スイッチング素子を制御するために、
上記第5スイッチング素子の高周波スイッチングトランジスタが閉鎖される場合は、上記第6スイッチング素子の高周波スイッチングトランジスタが開放され、
上記第5スイッチング素子の高周波スイッチングトランジスタが開放される場合は、上記第6スイッチング素子の高周波スイッチングトランジスタが閉鎖されるように形成されている、請求項30または31に記載の高周波回路。
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