JP2006153180A - 流体用ガスケット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体用ガスケットGは、これを介装する第1及び第2流体デバイス1,2の流体給排口部1B,2Bとの間に、管状の流体通路4の軸方向の相対移動によって嵌合自在な環状溝6と嵌合突起8との嵌合によるシール部S1,S2と、その内径側に形成される環状押え突起O1,O2のテーパ外周面7aと周壁端部C1,C2のテーパ内周面5aとの当接により、環状溝6と嵌合突起8との嵌合による周壁端部C1,C2の拡がり規制構造とを構成させる。
【選択図】図2
Description
前記第1端部T1は、前記第1流体給排口部1Bにおける前記第1流体通路E1の外径側部分に形成される第1環状溝R1に嵌合してシール部Sを形成自在な第1環状突起D1と、前記第1流体通路E1の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面5aに当接するテーパ外周面7aが形成される先細り状の第1環状押え突起O1とを有し、
前記第2端部T2は、前記第2流体給排口部2Bにおける前記第2流体通路E2の外径側部分に形成される第2環状溝R2に嵌合してシール部Sを形成自在な第2環状突起D2と、前記第2流体通路E2の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面5aに当接するテーパ外周面7aを有する先細り状の第2環状押え突起O2とを有し、
前記第1、第2流体通路E1,E2どうしを連通するための流体経路Fが形成されていることを特徴とするものである。
前記第1端部T1は、前記第1流体給排口部1Bにおける前記第1流体通路E1の外径側部分に形成される第1環状突起D1に嵌合してシール部を形成自在な第1環状溝R1と、前記第1流体給排口部1Bにおける前記第1流体通路E1と前記第1環状突起D1との間の部分に形成される先細り状の第1環状押え突起O1の内向きテーパ外周面17aに当接するテーパ内周面15aが形成される第1周壁端部C1とを有し、
前記第2端部T2は、前記第2流体給排口部2Bにおける前記第2流体通路E2の外径側部分に形成される第2環状突起D2に嵌合してシール部Sを形成自在な第2環状溝R2と、前記第2流体給排口部2Bにおける前記第2流体通路E2と前記第2環状突起D2との間の部分に形成される先細り状の第2環状押え突起O2の内向きテーパ外周面17aに当接するテーパ内周面15aが形成される第2周壁端部C2とを有し、
前記第1、第2流体通路E1,E2どうしを連通するための流体経路Fが形成されていることを特徴とするものである。
前記第1端部T1は、前記第1流体給排口部1Bにおける前記第1流体通路E1の外径側部分に形成される環状溝Rに嵌合してシール部Sを形成自在な環状突起Dと、前記第1流体通路E1の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面5aに当接するテーパ外周面7aが形成される先細り状の第1環状押え突起Oとを有し、
前記第2端部T2は、前記第2流体給排口部2Bにおける前記第2流体通路E2の外径側部分に形成される環状突起Dに嵌合してシール部Sを形成自在な環状溝Rと、前記第2流体給排口部2Bにおける前記第2流体通路E2と前記環状突起Dとの間の部分に形成される先細り状の環状押え突起Oの内向きテーパ外周面17aに当接するテーパ内周面15aが形成される周壁端部Cとを有し、
前記第1、第2流体通路E1,E2どうしを連通するための流体経路Fが形成されていることを特徴とするものである。
実施例1による流体用ガスケットは、フランジ配管どうしの接続構造に用いられるものである。図1に示すように、円管状の流体通路4を有した管状部1Aの端部に、この管状部1Aより大径で断面円形の第1フランジ部1Bを有するPFA、PTFE等のフッ素樹脂製の第1フランジ配管(第1流体デバイスの一例)1の第1フランジ部(第1流体給排口部の一例)1Bと、円管状の流体通路4を有した管状部2Aの端部に、この管状部2Aよりも大径で断面円形の第2フランジ部2Bを有するPFA、PTFE等のフッ素樹脂製の第2フランジ配管(第2流体デバイスの一例)2の第2フランジ部(第2流体給排口部の一例)2Bとを、第1フランジ部1Bと第2フランジ部2Bとの間に介在するリング状の流体用流体用ガスケットGを介してシール状態で連通接続する接続部、即ち、フランジ配管どうしの接続部として構成されている。
実施例2による流体用ガスケットGは、図6に示すように、引寄せ手段Mが異なる以外は、基本的には図2に示す実施例1によるフランジ配管どうしの接続構造と同等の構造に用いられるものである。この場合における引寄せ手段Mは、第1,2フランジ部1B,2Bの外径側部分と、第1,2フランジ部1B,2Bの軸心P方向に沿う状態で各フランジ部1B,2Bに形成された孔1h,2hどうしに貫通自在なボルト41及びナット42とから構成されている。
実施例3による流体用ガスケットGも、図7に示すように、流体デバイスであるフランジ配管どうしの接続構造に用いられるものである。実施例1によるフランジ配管どうしの接続構造では、第1,2シール端部t1,t2を環状溝6により構成し、流体用ガスケットGの第1及び第2端部T1,T2の夫々に環状突起8を形成するものであるが、実施例3によれば、それとは反対に、第1,2シール端部t1,t2に環状突起8を形成し、流体用ガスケットG2の第1及び第2端部T1,T2の夫々に、環状突起8に圧入嵌合自在な環状溝6を形成する構成である。
実施例4による流体用ガスケットGは、図9に示すように、フランジ配管と流体機器の接続構造に用いられるものであって、手動式ストップバルブ(流体デバイスの一例)31と第2フランジ配管2との接続部に構成されている。即ち、管状の流体通路4を有した管状部2Aの端部に、この管状部2Aより大径のフランジ部2Bを有するフランジ配管2のフランジ部(第2流体給排口部の一例)2Bと、管状の流体通路32を有した流体給排口部31bを備えた手動式ストップバルブ31の流体給排口部(第1流体給排口部の一例)31bとを、フランジ部2Bと流体給排口部31bとの間に介在するリング状の流体用ガスケットGを介して連通接続する接続構造である。手動式ストップバルブ31はバルブ本体31Hと、回動操作部31Kと、一対の流体給排口部31a,31b等を有して構成されている。
実施例5による流体用ガスケットGは、図12、図13に示すように、集積パネル(流体デバイスの一例)1とバルブ(流体デバイスの一例)2との接続構造に用いられるものである。この集積パネル1とバルブ(開閉バルブ、ストップバルブ等)2との接続構造は、一対の円管状の流体通路33,34(第1流体通路E1の一例)が内部形成された集積パネル1と、これの上面1aにリング状の流体用ガスケットGを介して搭載されるバルブ2とに跨って構成された縦向きの軸心Pを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されている。
実施例6による流体用ガスケットGは、図15に示すように、集積パネル(流体デバイスの一例)1とフィルタ(流体デバイスの一例)2との接続構造に用いられるものである。この集積パネル1とフィルタ2との接続構造自体は図1〜3に示す実施例1によるものと同じである。従って、同じ箇所には同じ符号を付すものとし、その説明は割愛する。
1B,31b 第1流体給排口部
1f 外周突起部
2 第2流体デバイス
2B 第2流体給排口部
5a テーパ内周面
7a テーパ外周面
C 周壁端部
C1 第1周壁端部
C2 第2周壁端部
D 環状突起
D1 第1環状突起
D2 第2環状突起
E1 第1流体通路
E2 第2流体通路
F 流体経路
G 流体用ガスケット
O 環状押え突起
O1 第1環状押え突起
O2 第2環状押え突起
R 環状溝
R1 第1環状溝
R2 第2環状溝
S シール部
T1 第1端部
T2 第2端部
Claims (7)
- 管状の第1流体通路が開口する第1流体給排口部を備えた第1流体デバイスの前記第1流体給排口部と、管状の第2流体通路が開口する第2流体給排口部を備えた第2流体デバイスの前記第2流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第1流体給排口部に当接する第1端部と、前記第2流体給排口部に当接する第2端部とを有して、これら第1流体給排口部と第2流体給排口部との間に介在されるリング状の流体用ガスケットであって、
前記第1端部は、前記第1流体給排口部における前記第1流体通路の外径側部分に形成される第1環状溝に嵌合してシール部を形成自在な第1環状突起と、前記第1流体通路の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面に当接するテーパ外周面が形成される先細り状の第1環状押え突起とを有し、
前記第2端部は、前記第2流体給排口部における前記第2流体通路の外径側部分に形成される第2環状溝に嵌合してシール部を形成自在な第2環状突起と、前記第2流体通路の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面に当接するテーパ外周面を有する先細り状の第2環状押え突起とを有し、
前記第1、第2流体通路どうしを連通するための流体経路が形成されている流体用ガスケット。 - 管状の第1流体通路が開口する第1流体給排口部を備えた第1流体デバイスの前記第1流体給排口部と、管状の第2流体通路が開口する第2流体給排口部を備えた第2流体デバイスの前記第2流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第1流体給排口部に当接する第1端部と、前記第2流体給排口部に当接する第2端部とを有して、これら第1流体給排口部と第2流体給排口部との間に介在されるリング状の流体用ガスケットであって、
前記第1端部は、前記第1流体給排口部における前記第1流体通路の外径側部分に形成される第1環状突起に嵌合してシール部を形成自在な第1環状溝と、前記第1流体給排口部における前記第1流体通路と前記第1環状突起との間の部分に形成される先細り状の第1環状押え突起の内向きテーパ外周面に当接するテーパ内周面が形成される第1周壁端部とを有し、
前記第2端部は、前記第2流体給排口部における前記第2流体通路の外径側部分に形成される第2環状突起に嵌合してシール部を形成自在な第2環状溝と、前記第2流体給排口部における前記第2流体通路と前記第2環状突起との間の部分に形成される先細り状の第2環状押え突起の内向きテーパ外周面に当接するテーパ内周面が形成される第2周壁端部とを有し、
前記第1、第2流体通路どうしを連通するための流体経路が形成されている流体用ガスケット。 - 管状の第1流体通路が開口する第1流体給排口部を備えた第1流体デバイスの前記第1流体給排口部と、管状の第2流体通路が開口する第2流体給排口部を備えた第2流体デバイスの前記第2流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第1流体給排口部に当接する第1端部と、前記第2流体給排口部に当接する第2端部とを有して、これら第1流体給排口部と第2流体給排口部との間に介在されるリング状の流体用ガスケットであって、
前記第1端部は、前記第1流体給排口部における前記第1流体通路の外径側部分に形成される環状溝に嵌合してシール部を形成自在な環状突起と、前記第1流体通路の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面に当接するテーパ外周面が形成される先細り状の環状押え突起とを有し、
前記第2端部は、前記第2流体給排口部における前記第2流体通路の外径側部分に形成される環状突起に嵌合してシール部を形成自在な環状溝と、前記第2流体給排口部における前記第2流体通路と前記環状突起との間の部分に形成される先細り状の環状押え突起の内向きテーパ外周面に当接するテーパ内周面が形成される周壁端部とを有し、
前記第1、第2流体通路どうしを連通するための流体経路が形成されている流体用ガスケット。 - 前記環状溝の深さを、これに対応する前記環状突起の突出量よりも大として、前記テーパ内周面と前記テーパ外周面とが圧接されてシール部を形成するように構成されている請求項1〜3の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
- 前記流体経路の第1端部側開口部の径と、前記第1流体通路の開口部とが互いに同一であり、かつ、前記流体経路の第2端部側開口部の径と、前記第2流体通路の開口部とが互いに同一であるとともに、前記流体経路は断面積の急変部が存在しない形状に形成されている請求項1〜4の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
- 前記第1給排口部と前記第1端部とが嵌合され、かつ、前記第2給排口部と前記第2端部とが嵌合される組付け状態では、前記第1給排口部と前記第2給排口部とが互いに離れた状態で接続されるように前記第1及び第2端部が寸法設定されるとともに、前記組付け状態においては、前記第1給排口部と前記第2給排口部との間隔よりも小なる厚みを有する抜出し用の外周突起部が、それら第1給排口部と第2給排口部との間に位置する状態に形成されている請求項1〜5の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
- 前記第1及び第2端部がフッ素系の合成樹脂材によって形成されている請求項1〜6の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004346185A JP4644477B2 (ja) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 流体用ガスケット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004346185A JP4644477B2 (ja) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 流体用ガスケット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006153180A true JP2006153180A (ja) | 2006-06-15 |
JP4644477B2 JP4644477B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=36631723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004346185A Active JP4644477B2 (ja) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | 流体用ガスケット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4644477B2 (ja) |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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