JP2006145272A - 周期性パターンムラ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光軸に平行な撮像側平行光学系と、画像を撮像する手段の撮像部と、検査対象基板を載置し、位置の認知と、X軸及びY軸方向に駆動する手段のXYステージと、光軸の上下方向及び前記XYステージの左右平行方向及び光軸で回転する上下左右回転駆動部と、該駆動部の先端に固定した、照明光の光軸に平行な照明側平行光学系の照明をする手段の斜め透過照明部と、前記撮像部及びXYステージ及び透過照明部を管理し、周期性パターンのムラの検査の工程を逐次処理する手段の処理部と、クリーンユニットを備えた検査装置であって、少なくとも前記逐次処理する手段が、前記斜め透過光の照明を行うことで生じる、周期性パターンでの回折光の撮像を含周期性パターンムラ検査装置。
【選択図】図1
Description
、検査データの信頼性も向上する。
テージの能力、計算処理能力の向上で更なる高速化が可能である。)
繰り返すが、ミクロレベルでの一点欠陥(例えば一辺が数nm〜数十nm程度の欠陥)は必ずしも商品として不良になるわけではないことから、本検査装置ではあくまでも人が行う外観検査に変わる装置として設計を行ったことで、このような高速での検査を可能とすることが出来た。更に測定精度についても連続的な欠陥の検出レベルにおいては10nmレベルという極めて微小なパターン寸法欠陥を検出可能な、高精度な検査装置である。
2…ステージ
3…カメラ
4…Z軸駆動部
5…クリーンユニット
6…装置全体カバー
8…開口部
7…透明ガラス
9…駆動部カバー
10…斜め透過照明部
11…照明側平行光学系
12…上下左右回転稼動部
20…XYステージ部
30…撮像部
31…撮像側平行光学系
40…処理部
50…検査対象基板
60…装置本体枠
61…ハンドリングスペース
Claims (1)
- 撮像装置により撮像された周期性パターンのムラの検査をする検査装置において、光軸に平行な撮像側平行光学系を備え、画像を撮像する手段を具備する撮像部と、検査対象基板を載置し、位置の認知と、X軸及びY軸方向に駆動する手段を具備するXYステージと、光軸の上下方向及び前記XYステージの左右平行方向及び光軸で回転する上下左右回転駆動部と、該駆動部の先端に固定した、照明光の光軸に平行な照明側平行光学系の照明をする手段を具備する斜め透過照明部とを備え、前記撮像部及びXYステージ及び透過照明部を管理し、周期性パターンのムラの検査の工程を逐次処理する手段を具備する処理部を備え、測定対象物の汚染、及び擬似欠陥を防ぐ機能を有するカバー、及びクリーンユニットを備えた周期性パターンのムラの検査をする検査装置であって、少なくとも前記逐次処理する手段が、前記斜め透過光の照明を行うことで生じる、周期性パターンでの回折光の撮像を含むことを特徴とする周期性パターンムラ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004332833A JP4899306B2 (ja) | 2004-11-17 | 2004-11-17 | 周期性パターンムラ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004332833A JP4899306B2 (ja) | 2004-11-17 | 2004-11-17 | 周期性パターンムラ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006145272A true JP2006145272A (ja) | 2006-06-08 |
JP4899306B2 JP4899306B2 (ja) | 2012-03-21 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4899306B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2004
- 2004-11-17 JP JP2004332833A patent/JP4899306B2/ja not_active Expired - Fee Related
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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