JP2006140401A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 接合材にクラックの発生を抑制し、高信頼性が得られる半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】 半導体チップと、前記半導体チップが搭載されたセラミックス基板と、前記セラミックス基板の前記半導体チップが搭載されている面と対向する面に形成された接続用金属と、前記セラミックス基板と前記接続用金属及び接合材を介して接合された放熱用金属板とを有し、前記接続用金属は、前記接続用金属の厚さが部分的に薄く形成されている領域を有することを特徴とする半導体集積回路装置。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体チップと、前記半導体チップが搭載されたセラミックス基板と、前記セラミックス基板の前記半導体チップが搭載されている面と対向する面に形成された接続用金属と、前記セラミックス基板と前記接続用金属及び接合材を介して接合された放熱用金属板とを有し、前記接続用金属は、前記接続用金属の厚さが部分的に薄く形成されている領域を有することを特徴とする半導体集積回路装置。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体集積回路装置に関するものである。
IGBTモジュールなど大電力を使用する半導体モジュールは、例えば特許文献1に開示されているように、半導体チップとセラミックス基板とをはんだ等の接合材で接合し、セラミックス基板と放熱用金属板とを同じくはんだ等の接合材で接合している。セラミックス基板のうち、半導体チップと対向する面(上面)と放熱用金属板と対抗する面(下面)との、それぞれの面には、半導体チップ、放熱用金属板と接合するための金属板が設けられ、これらの金属板にはんだが接着されることにより、半導体チップとセラミックス基板、セラミックス基板と放熱用金属板が接合される。
このような半導体モジュールでは、プロセス・品質の安定性及び接合強度の点から放熱用金属板とセラミックス基板の放熱側銅板とを接合するはんだ層の厚さを100μmとなるように120μm厚さのはんだシートを用いて、セラミックス基板の放熱側金属板と放熱用金属板とを接合している。そして、放熱用金属板を介して、半導体チップの動作時の発熱を良好に放熱させることが可能となっている。
しかしながら、セラミックス基板と放熱用金属板との熱膨張係数が大きく相違することから、温度が上下し、セラミックス基板と放熱用金属板とが膨張、収縮を繰り返し、セラミックス基板と放熱用金属板との間のはんだにクラックが発生して信頼性が著しく劣化する場合がある。特に、セラミックス基板の外周部に接合されているはんだは、クラックが発生しやすく、クラックの発生源となっていた。そして、近年、接合材として、従来用いられていたPb−Snはんだに比べて脆くクラックが発生しやすいPbフリーはんだが用いられているので、クラックの発生が顕著となっていた。
そのはんだ層でのクラックの発生の対策として、はんだ層の厚さを厚くするために120μmより厚いはんだシートを適用した場合でも、冷却後のはんだ厚さのばらつきがより大きくなり、やはりはんだ厚さの薄い部分から優先的にTCTによるはんだ脆化が発生する。
また、はんだ層が250μmより厚いと、はんだ自体の熱伝導率が小さいために熱抵抗が大きくなり、やはり製品動作時チップの熱破壊につながる。
特開平9−275170号公報
本発明は、接合材にクラックが発生しにくく、高信頼性が得られる半導体集積回路装置を提供することを目的とする。
本発明の一態様の半導体集積回路装置は、半導体チップと、前記半導体チップが搭載されたセラミックス基板と、前記セラミックス基板の前記半導体チップが搭載されている面と対向する面に形成された接続用金属と、前記セラミックス基板と前記接続用金属及び接合材を介して接合された放熱用金属板とを有し、前記接続用金属は、前記接続用金属の厚さが部分的に薄く形成されている領域を有することを特徴としている。
また、本発明のほかの一態様の半導体集積回路装置は、半導体チップと、前記半導体チップが搭載されたセラミックス基板と、前記セラミックス基板の前記半導体チップが搭載されている面と対向する面に形成された接続用金属と、前記セラミックス基板と前記接続用金属及び接合材を介して接合された放熱用金属板とを有し、前記接続用金属は、前記接続用金属の前記接合材と接する面に溝が形成されていることを特徴としている。
本発明によれば、接合材にクラックが発生しにくく高信頼性が得られる半導体集積回路装置を提供することができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照して説明する。
本発明の実施例1に係る半導体集積回路装置を図1及び図2を用いて説明する。図1(a)は、本発明の実施例に係る半導体集積回路装置の上面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線における断面図である。
図1に示すように、本実施例に係る半導体集積回路装置(半導体モジュール)は、半導体チップ1、セラミックス基板3、放熱金属板7を有している。半導体チップ1は、セラミックス基板3の上面に形成された上面のCu板4上及び接合材(はんだ層)2を介して、セラミックス基板3上に、マウントされている。
セラミックス基板3の半導体チップ1が搭載されている面と対向する面には、下面のCu板5が設けられている。この下面のCu板5は、放熱用金属板7とセラミックス基板3とを接合するために設けられているものであり、セラミックス基板3の下面のCu板5と放熱用金属板7が接合材(はんだ層)6を介して接合され、半導体チップ1がマウントされたセラミックス基板3が、放熱用金属板7に取り付けられている。この放熱用金属板7は、半導体チップ1で生じた熱を外部に放熱するためのものである。はんだ層2及び6としては、Pb−Snはんだのほか、Pbフリーはんだが用いられている。
そして、セラミックス基板3の下部に設けられている下面のCu板5の下面には、溝8が形成されている。溝8は、下面のCu板5のうちセラミックス基板3と接する面と対向する面に形成され、溝8は、はんだ層6の一部が、溝8の内部に充填される位置に形成される。つまり、溝8の下部にもはんだ層6が設けられるようにして、放熱用金属板7に、はんだシートを載せ、その上部に半導体チップ1がマウントされたセラミックス基板を接合した後に、下面のCu板5内の溝8にはんだ層6が埋め込まれるような位置に溝8が形成されている。
そして、この溝8の内部にもはんだ層6が埋め込まれて、セラミックス基板3と放熱用金属板7とを接合している。
この溝8の形状は、図2(a)に示すように、セラミックス基板3の外周に沿って外周の内側に設けられていてもよいし、図2(b)に示すように、セラミックス基板3の角部(コーナー部)の内側に設けられていてもよい。
また、溝8の形状は、一例として、0.3mmの厚さを有する下面のCu板5に対して、直径約1mm×深さ0.150mmの溝が設けられる。この溝の深さが浅いと、溝8の溝内部にはんだ層が埋め込まれても、溝8が設けられた部分のはんだ層6の厚さを大きく保てないため、クラックが発生してしまう。そのため、はんだ層6の厚さが200〜250μmになるように、溝の深さを決定することが望ましい。はんだシートの厚さが100μm程度のものを用いたときには、溝8の深さを150μm程度にして、溝8が設けられている部分のはんだ層6の厚さを200〜250μm程度となるようにした。
本実施例では、図2(a)及び図2(b)に、溝8の形状の一例を示したが、本願発明はこれらの溝の形状に限定されるものではなく、溝のほかに凹部等、はんだ層の脆化を抑制しようとする部分の下面のCu板5の肉厚が部分的に薄く形成されていればよい。
このように、溝8を下面のCu板5に設け、その部分にはんだ層6を充填しておくことで、局所的に、はんだ層6の肉厚が厚い部分が設けられる。このはんだ層6の肉厚が厚い部分は、その他の溝8が形成されていない下面のCu板5の部分に比べて脆性が強くなる。
半導体チップ1が、IGBT等の大電力を使用する半導体チップである場合には、半導体チップ1が発熱するため、実際の使用状況に耐えうるための試験として、TCT(thermal cycling test)、TFT(thermal fatigue test)等の繰り返し試験が行なわれる。これらの繰り返し試験及び実際の使用状況では、セラミックス基板3及び放熱用金属板7が熱の影響により変形する。そして、セラミックス基板3と放熱用金属板7とでは、
セラミックス基板の熱膨張率:7.3×10-6 [1/℃]
放熱用金属板(Cu板)の熱膨張率:16.5×10-6 [1/℃]
というように、熱膨張率が異なる。
セラミックス基板の熱膨張率:7.3×10-6 [1/℃]
放熱用金属板(Cu板)の熱膨張率:16.5×10-6 [1/℃]
というように、熱膨張率が異なる。
このように熱膨張率が異なるので、組立工程において、材料のソリ、うねりなどの影響で、リフローによる接合後、はんだ層の厚さが20〜110μm程度ばらつく。また、半導体チップ1として、大電力を使用する半導体チップ1を用いたときには、半導体モジュールが大きくなるため、下面のCu板5の面積が大きくなり、はんだ層6の面積も大きくなる。はんだ層6の面積が大きいと、はんだ層6の厚さのばらつきも大きくなる。このばらつきは、120μmのはんだシートを用いたときに、はんだ層6の厚さは、20〜110μm程度ばらつき、はんだ層6の厚さが薄い部分では、はんだ層6が脆化し、はんだ層6の熱抵抗が低下し、チップが破壊されてしまう。
そのため、はんだ層6のうち、特にクラックが発生しやすい部分を中心として、下面のCu板5に溝8を設け、セラミックス基板3と放熱用金属板7とを接合する。これにより、下面のCu板5に溝8が形成されているところでは、溝8の内部にまではんだ層6が埋め込まれるので、溝8が形成されていないところと比べて、溝8の深さ分だけ、局所的にはんだ層6の厚さが厚くなる。はんだ層6の厚さが厚いもののほうが、薄いものに比べてクラックが発生しにくいので、はんだ層6の外周部は、溝8を設けなかったときに比べて、はんだ層6の厚さが厚くなっているため、クラックが発生しにくくなる。
なお、下面のCu板5の全面の厚さを薄くすると、はんだ層6とセラミックス基板3とが接合されにくくなるので、部分的に溝8を設けて、部分的に下面のCu板5の厚さを薄くしている。下面のCu板5の厚さが薄いと、下面のCu板5とセラミックス基板3との間の接合が不十分となり、セラミックス基板3と下面のCu板5との界面から、クラックが生じてしまうため、一部にのみ設けている。
また、接合材としては、従来より用いられているPb-Snはんだのほか、Sn、Cu,Ag,Sb,Bi、Zn等から選ばれる元素を含み、Pbを有さないPbフリーはんだを用いることは勿論可能である。
以上のように、本実施例では、セラミックス基板の下面のCu板に溝を設け、局所的にセラミックス基板と放熱用金属板との距離が大きい部分を設け、その間にはんだ層を形成している。これにより、局所的にはんだ層の厚さが大きい部分を設けている。そのため、たとえ、はんだ層の厚さがばらつき、はんだ層の厚さの薄い部分が発生したとしても、溝部分においては、溝の深さ部分の厚さのはんだ層により接合することが可能となる。
また、本実施例では、溝はセラミックス基板の下面のCu板内の一部にのみ設けているので、溝を設けていない部分のはんだ層の厚さを増大させることなく、セラミックス基板の下面のCu板内の一部分のみ、はんだ層の厚さを厚くしている。そのため、セラミックス基板の下面のCu板の全面の厚さを薄くしていないので、半導体モジュールの熱抵抗を挙げることなく接合することができる。
そして、本実施例においては、放熱用金属板に溝を形成する位置に特徴を有する。放熱用金属板において、セラミックス基板の外周部の直下部分の放熱用金属板に溝を形成している。これは、はんだ層にクラックが発生しやすい領域である外周部に溝を形成することにより、クラックの発生を抑えている。
本発明の実施例2に係る半導体集積回路装置を図1及び図3を用いて説明する。本実施例2では、実施例1とは、下面のCu板5に形成される溝8の位置に特徴を有する。同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。図3(a)は、本発明の実施例に係る半導体集積回路装置の断面図であり、図3(b)は、図1(a)の本実施例に係る溝の配置例1であり、図3(c)は、本実施例に係る溝の配置例2である。
図3(a)に示すように、放熱用金属板7上に、接合材6を介して、上面下面にそれぞれ上面のCu板4及び下面のCu板5が接合されたセラミックス基板3が搭載され、その上に、接合材2を介して半導体チップ1がマウントされている。そして、セラミックス基板3の外周部の下部の下面のCu板5には、溝8が形成されている。
ここで、下面のCu板5に設けられた溝8は、溝8の上部には、半導体チップ1が配置されていない。つまり、下面のCu板5のうち、半導体チップ1の下部領域には、溝8が形成されていない。
これは、半導体モジュール内で発熱源である半導体チップ1の下部に、下面のCu板5(熱伝導率393[W/mK])に比べて熱伝導率の悪いはんだ層6(熱伝導率50[W/mK])が厚く形成されていると、半導体モジュールの放熱効率が低下するため、半導体チップ1の下部を避けるように、溝8を形成されている。
また、溝8の形状は、図3(b)に示すように、セラミックス基板3の外周に沿って外周の内側に設けられていてもよいし、図3(c)に示すように、セラミックス基板3の角部(コーナー部)の内側に設けられていてもよい。
本実施例では、図3(b)及び図3(c)に、溝8の形状の一例を示したが、本願発明はこれらの溝の形状に限定されるものではなく、溝のほかに凹部等、はんだ層の脆性を抑制しようとする部分の下面のCu板が部分的に薄く形成されていればよい。
以上のように、本実施例では、下面のCu板に溝を設け、局所的にセラミックス基板と放熱用金属板との距離が大きい部分を設け、その間にはんだ層を形成している。そのため、局所的にはんだ層の厚さが大きい部分を設けている。これにより、たとえ、はんだ層の厚さがばらつき、はんだ層の厚さの薄い部分が発生したとしても、溝部分においては、溝の深さ部分の厚さのはんだ層により接合することが可能となる。
また、本実施例では、溝は下面のCu板内の一部にのみ設けているので、溝を設けていない部分のはんだ層の厚さを増大させることなく、下面のCu板内の一部分のみ、はんだ層の厚さを厚くしている。そのため、熱伝導率が下面のCu板に比べて悪いはんだ層の配設量を増大を少なくし、かつ、クラックが発生しやすい部分のはんだ層の厚さを厚く配設しているので、半導体モジュール内での放熱効率の低減を抑制することが可能となる。
そして、本実施例においては、下面のCu板に溝を形成する位置に特徴を有する。下面のCu板の外周部に溝が設けられている。これは、はんだ層にクラックが発生しやすい領域である外周部に溝を形成することにより、クラックの発生を抑えている。
さらに、本実施例においては、半導体チップの直下部分の下面のCu板には、溝を形成しない。この理由は次のとおりである。下面のCu板は、はんだ等の接合材に比べて熱伝導率が良好である。そして、半導体チップの直下部分とその近隣は、半導体チップから発生した熱が通る経路となる。この熱が通る経路の熱伝導率が悪いと、半導体チップの放熱効率を低下させ、半導体モジュールの故障の原因となる。そのため、半導体モジュール内での発熱源である半導体チップの下部の熱抵抗を小さくするため、熱伝導率の悪いはんだ層の配設量を増大させないために、半導体チップの下部の下面のCu板には溝を設けていない。
(実施例2の変形例)
本発明の実施例2の変形例に係る半導体集積回路装置を図1及び図4を用いて説明する。本実施例2の変形例では、実施例2とは、下面のCu板5に形成される溝8の位置が異なる。同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。図4(a)は、本発明の実施例2の変形例に係る半導体集積回路装置の断面図であり、図4(b)は、図4(a)の実施例2の変形例に係る溝の配置例1であり、図4(c)は、実施例2の変形例に係る溝の配置例2である。
本発明の実施例2の変形例に係る半導体集積回路装置を図1及び図4を用いて説明する。本実施例2の変形例では、実施例2とは、下面のCu板5に形成される溝8の位置が異なる。同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。図4(a)は、本発明の実施例2の変形例に係る半導体集積回路装置の断面図であり、図4(b)は、図4(a)の実施例2の変形例に係る溝の配置例1であり、図4(c)は、実施例2の変形例に係る溝の配置例2である。
図4(a)に示すように、下面のCu板5の外周線に溝が設けられている。下面のCu板5は、外周部の厚さが中央部に比べて薄く形成されている。このとき、実施例2と同様に、半導体チップ1の直下部分には溝が設けられていない。
また、図4(b)に示すように、外周部のうち、コーナー部(角部)のみに溝が形成されていてもよい。
本実施例では、図4(b)及び図4(c)に、溝8の形状の一例を示したが、本願発明はこれらの溝の形状に限定されるものではなく、溝のほかに凹部等、はんだ層の脆性を強化しようとする部分の下面のCu板が部分的に薄く形成されていればよい。
このようにしても、実施例2と同様の効果を得ることができる。なお、本実施例2の変形例では、下面のCu板5の外周線に沿って溝が形成されているので、溝を形成しやすい。
また、実施例2と同様に、半導体チップの直下部分の下面のCu板には、溝を形成しないので、半導体モジュール内での発熱源である半導体チップの下部の熱抵抗を小さくするため、熱伝導率の悪いはんだ層の配設量を増大させないために、半導体チップの下部の下面のCu板には溝を設けていない。
本発明の実施例3に係る半導体集積回路装置の製造方法を図1及び図5を用いて説明する。図5は、本発明の実施例5に係る半導体集積回路装置の製造方法を示す工程断面図である。
本実施例では、半導体集積回路装置の製造方法のうち、セラミックス基板3に上面のCu板4及び下面のCu板5を接合する部分の製造方法について説明する。
まず、図5(a)に示すように、セラミックス基板3上に、ペーストを介してセラミックス基板3とほぼ同サイズのCu板(上面のCu板4)を搭載し、ラミックス基板3の上面のCu板4が設けられている面と対向する面の上に、ペーストを介してセラミックス基板3とほぼ同サイズのCu板(下面のCu板5)を搭載する。この後、800℃程度に加熱し、セラミックス基板3と上面のCu板4、下面のCu板5を接合する。ここでは、0.635mmの厚さのセラミックス基板3及び、0.3mmの厚さの上面のCu板4及び0.3mmの厚さの下面のCu板5を用いた。
次に、図5(b)に示すように、上面のCu板4上にリソグラフィー技術を用いレジストパターン(図示しない)を形成し、エッチングにより、上面のCu板4及び下面のCu板5をパターニングする。
次に、図5(c)に示すように、下面のCu板5上にリソグラフィー技術を用いレジストパターン(図示しない)を形成し、レジストパターンに覆われず、開口部から露出している部分の下面のCu板5をエッチングにより除去し、深さ0.150mm程度の溝を形成する。
この後、上面のCu板4上に接合材2を介して半導体チップ1をマウントした後、放熱用金属板7上に、接合材6、セラミックス基板3の順で搭載し接合する。このようにして、セラミックス基板3の下面のCu板5に溝を有する半導体集積回路装置を製造することが可能である。
(実施例3の変形例)
また、本発明に係る半導体集積回路装置は次のようにしても製造することが可能である。本実施例の変形例では、半導体集積回路装置のうち、セラミックス基板3に上面のCu板4及び下面のCu板5を接合する部分を説明する。
また、本発明に係る半導体集積回路装置は次のようにしても製造することが可能である。本実施例の変形例では、半導体集積回路装置のうち、セラミックス基板3に上面のCu板4及び下面のCu板5を接合する部分を説明する。
本実施例の変形例では、上面のCu板4及び下面のCu板5を所望の形に加工した後に、セラミックス基板3に接着する。上面のCu板4は、上面に半導体チップ1が搭載されるような形状に加工し、下面のCu板5には、エッチング、レーザー、プレス機等を用いて、溝を形成する。その後、セラミックス基板3の上面、下面にそれぞれ、上面のCu板4、下面のCu板5を接着し、1200℃〜1300℃に熱することにより、セラミックス基板3に、上面のCu板4及び下面のCu板5を接合する。
この後、上面のCu板4上に接合材2を介して半導体チップ1をマウントした後、放熱用金属板7上に、接合材6、セラミックス基板3の順で搭載し接合する。このようにしても、セラミックス基板3の下面のCu板5に溝を有する半導体集積回路装置を製造することが可能である。
1 半導体チップ
2、6 接合材(はんだ層)
3 セラミックス基板
4 上面のCu板
5 下面のCu板
7 放熱用金属板
8 溝(凹部)
2、6 接合材(はんだ層)
3 セラミックス基板
4 上面のCu板
5 下面のCu板
7 放熱用金属板
8 溝(凹部)
Claims (6)
- 半導体チップと、
前記半導体チップが搭載されたセラミックス基板と、
前記セラミックス基板の前記半導体チップが搭載されている面と対向する面に形成された接続用金属と、
前記セラミックス基板と前記接続用金属及び接合材を介して接合された放熱用金属板とを有し、
前記接続用金属は、前記接続用金属の厚さが部分的に薄く形成されている領域を有することを特徴とする半導体集積回路装置。 - 前記接続用金属の厚さが部分的に薄く形成されている領域は、前記半導体チップの直下には設けられていないことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- 前記接続用金属の厚さが部分的に薄く形成されている領域は、前記接続用金属の外周部に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回路装置。
- 半導体チップと、
前記半導体チップが搭載されたセラミックス基板と、
前記セラミックス基板の前記半導体チップが搭載されている面と対向する面に形成された接続用金属と、
前記セラミックス基板と前記接続用金属及び接合材を介して接合された放熱用金属板とを有し、
前記接続用金属は、前記接続用金属の前記接合材と接する面に溝が形成されていることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 前記溝は、前記半導体チップの直下には設けられていないことを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路装置。
- 前記溝は、前記接続用金属の外周部に形成されていることを特徴とする請求項4または5に記載の半導体集積回路装置。
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