JP2006135217A - プローブ装置及びプローブ検査方法、半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の温度保証が必要な半導体ウェハを効率良く試験することのできるプローブ装置及びプローブ検査方法、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】プローブ装置10は、プローブカード11、ウェハ搬送機構12、XYステージ13、チャックテーブル14a,14b、アライメント機構15、及び制御部16を有する。チャックテーブル14a,14bは、半導体ウェハの載置領域であり、それぞれ独立して温度制御が可能である。チャックテーブル14a,14bは、そのいずれか一方が検査室24にあるXYステージ13の定位置に導入され、他方は次回代ってXYステージ13に導入されるまで待機する。予備室25aまたは25bでは、待機状態となったチャックテーブル14aまたは14bを収容し、来るべき次の検査の温度環境にする。
【選択図】 図1
【解決手段】プローブ装置10は、プローブカード11、ウェハ搬送機構12、XYステージ13、チャックテーブル14a,14b、アライメント機構15、及び制御部16を有する。チャックテーブル14a,14bは、半導体ウェハの載置領域であり、それぞれ独立して温度制御が可能である。チャックテーブル14a,14bは、そのいずれか一方が検査室24にあるXYステージ13の定位置に導入され、他方は次回代ってXYステージ13に導入されるまで待機する。予備室25aまたは25bでは、待機状態となったチャックテーブル14aまたは14bを収容し、来るべき次の検査の温度環境にする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体ウェハを所定の温度制御下におき、ウェハにおけるチップ領域の電極部に探針を機械的に接触させて電気的特性を測定するプローブ装置及びプローブ検査方法、それを利用した半導体装置の製造方法に関する。
プローブ装置は、周知のように、被測定領域である半導体ウェハのチップ領域の電極部(Alパッド、Auバンプ、はんだバンプ等の上面)にプローブカードの探針を介して試験信号を入力する。また、上記電極部から結果信号を取得し評価する。このようなプローブ検査は、室温(例えば25℃)で検査する場合もあれば、高温環境下、低温環境下での検査を要する場合もある。このようなプローブ検査時の温度環境は、半導体ウェハを載置するチャックテーブルの温度制御によって設定されるのが一般的である。
プローブ装置において、現在の温度条件から新たな温度条件に変更する場合、温度安定までに相当長い待機時間を必要とする。プローブ装置において、複数の温度保証が必要な半導体ウェハを試験するには例えば次のような方法をとる。第1の温度保証に関する試験を実施する第1のプローブ装置とは別に、第2の温度保証に関する試験を実施する第2のプローブ装置を準備する。第1のプローブ装置が稼動している間、第2のプローブ装置では温度環境等、装置を安定させ稼動待機させておく。これにより、第1の温度保証に関する試験から第2の温度保証に関する試験への移行をロスなく行う。
また、従来技術の一つとして、ウェハを載置して試験温度に加熱、または冷却するメイン・ステージの他に、メイン・ステージにおける加熱、冷却を補助するサブ・ステージを設ける構成が開示されている(例えば、特許文献1参照)。これにより、ウェハ温度の昇降効率の改善を図り、高温時、低温時における電気的特性試験に要する時間を短縮し、試験コストを削減する。
特開平11−330171号公報(4、5頁、図1)
プローブ装置において、複数の温度保証が必要な半導体ウェハを試験するには、例えば2台のプローブ装置を利用し、使用されていない方のプローブ装置は装置を安定化させて待機させる必要がある。従って、消費電力、装置の使用効率の面で無駄が多い。また、メイン・ステージにおける加熱、冷却を補助するサブ・ステージを設ける構成を利用したとしても、メイン・ステージの温度変更は必須である。当然、装置が安定するまでには相当の時間がかかり、プローブ装置の実質的な稼働率は低下する。
本発明は、上記のような事情を考慮してなされたもので、複数の温度保証が必要な半導体ウェハを効率良く試験することのできるプローブ装置及びプローブ検査方法、半導体装置の製造方法を提供しようとするものである。
本発明に係るプローブ装置は、半導体ウェハの載置領域、及び前記半導体ウェハにおける電気的特性検査に関わる信号の授受を担う信号伝達機構を備え、前記電気的特性検査に利用されるための信号の生成、解析に関係するテストシステムが構築されたテスターに繋がるプローブ装置であって、前記半導体ウェハの載置領域として、それぞれ独立して温度制御が可能な2つの載置領域を配備し、一方の載置領域を利用して前記半導体ウェハにおける電気的特性検査が実施されているとき、他方の載置領域は所定の温度環境下で待機した状態になることを特徴とする。
上記本発明に係るプローブ装置によれば、半導体ウェハの載置領域を独立して2つ有する。一方の載置領域が検査に利用されているとき、空いている他方の載置領域は所定の温度環境下で待機した状態にし、来るべき次の検査に準備して置くことができる。これにより、複数の温度条件下での電気的特性検査が一つのプローブ装置で効率的に達成でき、試験コスト削減に寄与する。
本発明に係るプローブ装置は、半導体ウェハの載置領域、及び前記載置領域を対向させ前記半導体ウェハにおける電気的特性検査に関わる信号の授受を担うプローブカードを有する信号伝達機構を備え、前記電気的特性検査に利用されるための信号の生成、解析に関係するテストシステムが構築されたテスターに繋がるプローブ装置であって、前記半導体ウェハの載置領域として、それぞれ前記プローブカードに対向させるよう移動制御可能な2つの載置領域を配備し、一方の載置領域が前記プローブカードと対向して前記半導体ウェハにおける電気的特性検査が一室で実施されているとき、他方の載置領域は別室で待機した状態になることを特徴とする。
上記本発明に係るプローブ装置によれば、半導体ウェハの載置領域は、2つ設けられ、それぞれ電気的特性検査時にプローブカードに対向させることができる。一方の載置領域が検査に利用されているとき、空いている他方の載置領域は待機状態となって別室に置かれる。これにより、別室で来るべき次の検査の環境を準備して置くこともできる。これにより、検査環境を整える時間を極力見えなくして、一つのプローブ装置で効率的な電気的特性検査が達成できる。ひいては試験コストの削減に寄与する。
上記それぞれ本発明に係るプローブ装置において、次のいずれかの特徴を有することにより、検査環境が短時間で整い易くなり、一つのプローブ装置の使用効率を高める。
前記他方の載置領域は、前記一方の載置領域とは異なる所定の温度環境を作るべく温度制御されることを特徴とする。
前記2つの載置領域それぞれについて、隔離制御される遮断部材をさらに含むことを特徴とする。
前記他方の載置領域は、前記一方の載置領域とは異なる所定の温度環境を作るべく温度制御されることを特徴とする。
前記2つの載置領域それぞれについて、隔離制御される遮断部材をさらに含むことを特徴とする。
また、本発明に係るプローブ装置は、プローブカードが配備された検査室と、前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、前記半導体ウェハの搬送機構と、を含む。
上記本発明に係るプローブ装置によれば、検査室に隣り合う第1、第2の予備室を設ける。第1のテーブル、第2のテーブルは、それぞれ第1、第2の予備室に収容でき、必要時にどちらかが検査室に移動される。これにより、第1、第2のテーブルのうち、空いているテーブルで温度環境等、検査の準備ができる。
上記本発明に係るプローブ装置において、次のいずれかの特徴を有することにより、検査環境が短時間で整い易くなり、一つのプローブ装置の使用効率を高める。また、検査室と予備室のレイアウト構成によりウェハの搬送機構の利便性を図る。
前記検査室と、前記第1、第2の予備室の少なくともいずれか一方を隔離制御する遮断部材をさらに含むことを特徴とする。
前記第1の予備室と前記第2の予備室の間に前記検査室が設けられていることを特徴とする。
前記第1の予備室と前記第2の予備室は隣り合っていることを特徴とする。
前記第1、第2のテーブルは、それぞれ昇降機構を配備すると共に所定のガイドレールに沿ってX,Y軸方向の移動が制御され、前記ガイドレールの一部の機構が前記第1テーブルにおける前記第1の予備室、前記検査室間の移動に、また前記第2テーブルにおける前記第2の予備室、前記検査室間の移動に利用されることを特徴とする。
前記検査室と、前記第1、第2の予備室の少なくともいずれか一方を隔離制御する遮断部材をさらに含むことを特徴とする。
前記第1の予備室と前記第2の予備室の間に前記検査室が設けられていることを特徴とする。
前記第1の予備室と前記第2の予備室は隣り合っていることを特徴とする。
前記第1、第2のテーブルは、それぞれ昇降機構を配備すると共に所定のガイドレールに沿ってX,Y軸方向の移動が制御され、前記ガイドレールの一部の機構が前記第1テーブルにおける前記第1の予備室、前記検査室間の移動に、また前記第2テーブルにおける前記第2の予備室、前記検査室間の移動に利用されることを特徴とする。
本発明に係るプローブ検査方法は、プローブカードが配備された検査室と、前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、前記半導体ウェハの搬送機構と、を備え、前記検査室において、所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第1のテーブルを利用した第1の温度条件下でプロービングを実施する第1検査工程と、前記検査室において、前記所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第2のテーブルを利用した第2の温度条件下でプロービングを実施する第2検査工程と、前記第1検査工程中、前記第2のテーブルは前記第2の予備室にて前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件の準備を完了させる検査待機工程と、を含む。
上記本発明に係るプローブ検査方法によれば、プロービング条件に応じて第1検査工程または第2検査工程を実施することができる。検査待機工程によって、空いているテーブルを用いて予備室で温度条件等、検査の準備ができ、検査室での温度条件等、環境作りを短縮し、プローブ装置の使用効率を高めることができる。
なお、上記本発明に係るプローブ検査方法において、前記第1の検査工程から前記第2の検査工程に移行する際、前記検査室では、前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件により近付ける環境調整工程をさらに含む。
また、上記環境調整工程において、プローブカードの探針をクリーニングまたは研磨する、プローブカードのメンテナンスが実施されるようにしてもよい。
なお、上記本発明に係るプローブ検査方法において、前記第1の検査工程から前記第2の検査工程に移行する際、前記検査室では、前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件により近付ける環境調整工程をさらに含む。
また、上記環境調整工程において、プローブカードの探針をクリーニングまたは研磨する、プローブカードのメンテナンスが実施されるようにしてもよい。
本発明に係るプローブ検査方法は、プローブカードが配備された検査室と、前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、前記半導体ウェハの搬送機構と、を備え、前記検査室において、所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第1のテーブル、前記第2のテーブルを交互に利用し所定の温度条件下でプロービングを実施する検査工程と、前記検査工程中、前記第1のテーブルを利用してのプロービングが実施されているとき、前記第2のテーブルは前記第2の予備室にて前記検査工程に応じた前記所定の温度条件の準備を完了させる検査待機工程と、を含む。
上記本発明に係るプローブ検査方法によれば、検査工程は、第1のテーブル、第2のテーブルを交互に利用する。検査工程中、空いている予備室及びテーブルにおいて検査待機工程が機能する。すなわち、次に検査されるべき半導体ウェハに対する温度条件等、検査の準備ができる。これにより、検査室での半導体ウェハの温度条件等、環境作りを短縮し、プローブ装置の使用効率を高めることができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、プローブカードが配備された検査室と、
前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、前記半導体ウェハの搬送機構と、を備え、前記検査室において、所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第1のテーブルを利用した第1の温度条件下でプロービングを実施する第1検査工程と、前記検査室において、前記所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第2のテーブルを利用した第2の温度条件下でプロービングを実施する第2検査工程と、前記第1検査工程中、前記第2のテーブルは前記第2の予備室にて前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件の準備を完了させる検査待機工程と、を含み、前記検査待機工程を経て前記第2検査工程が行われ、複数の温度条件でのプロービングを前記検査室で行って良品を取得することを特徴とする。
前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、前記半導体ウェハの搬送機構と、を備え、前記検査室において、所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第1のテーブルを利用した第1の温度条件下でプロービングを実施する第1検査工程と、前記検査室において、前記所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第2のテーブルを利用した第2の温度条件下でプロービングを実施する第2検査工程と、前記第1検査工程中、前記第2のテーブルは前記第2の予備室にて前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件の準備を完了させる検査待機工程と、を含み、前記検査待機工程を経て前記第2検査工程が行われ、複数の温度条件でのプロービングを前記検査室で行って良品を取得することを特徴とする。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、一つの検査室で第1検査工程と第2検査工程が実施される。検査工程中、検査待機工程によって、検査の準備ができ、検査室での温度条件等、環境作りを短縮し、プローブ装置の使用効率を高めた検査を経て良品が取得される。
図1、図2は、それぞれ本発明の第1実施形態に係るプローブ装置の要部構成を示すブロック図であり、図1は上から見た主要部、図2は横から見た主要部を示している。
プローブ装置10は、プローブカード11、ウェハ搬送機構12、XYステージ13、チャックテーブル14a,14b、アライメント機構15、及び制御部16を有する。プローブ装置10とテスター20は、テストヘッド21及び測定信号ケーブル22を介して信号伝達される。なお、図1では、プローブカード11より上にある構成は省略している。
プローブ装置10は、プローブカード11、ウェハ搬送機構12、XYステージ13、チャックテーブル14a,14b、アライメント機構15、及び制御部16を有する。プローブ装置10とテスター20は、テストヘッド21及び測定信号ケーブル22を介して信号伝達される。なお、図1では、プローブカード11より上にある構成は省略している。
プローブカード11は、検査室24内においてXYステージ13上方に配備されている。プローブカード11は、プローバヘッドプレートにより支持される。測定用ボード17は、接続リング18を介してポゴピン等を含むテストヘッド21に接続される。プローブカード11は、基板開口部から伸長する各探針111を有する。プローブカード11は、各探針111が、半導体ウェハWFにおける図示しないICチップ領域の各端子電極(パッド、バンプ等)に接触することにより、プロービングに関する信号の授受を行う。
ウェハ搬送機構12は、ウェハ収容部23−検査室24間における半導体ウェハWFの搬送を制御する。XYステージ13は、ガイドレール13x、13yのX,Y軸方向に沿って自在に移動可能である。チャックテーブル14a,14bは、それぞれ半導体ウェハの載置領域として設けられている。チャックテーブル14a,14bは、そのいずれか一方がXYステージ13の定位置に導入され、他方は次回代ってXYステージ13に導入されるまで待機する。予備室25a,25bは、待機状態となったチャックテーブル14a,14bそれぞれを収容しておく領域である。制御部16は、これらウェハ搬送機構12、XYステージ13、及びチャックテーブル14a,14bの操作を制御する。
アライメント機構15は、ガイドレール28を利用してXYステージ13上方にスライド移動可能である。アライメント機構15は、図示しない各種レンズ、CCDカメラ等を備えたアライメントブリッジ151を有する。アライメント機構15は、XYステージ13上のチャックテーブル14aまたは14bに支持された半導体ウェハWFに対し光学系アライメントを行い、制御部16へ座標データを送る。また、チャックテーブル14a,14bに設けられた各アライメント光学系26a,26bは、プローブカード11の位置認識に利用される。
チャックテーブル14a,14bそれぞれにおける予備室(25a,25b)−検査室24間の移動は、ガイドレール13xの機構が利用される。すなわち、チャックテーブル14aは、ガイドレール13xaとガイドレール13xの連結により予備室25aとXYステージ13の間を移動できる。チャックテーブル14bは、ガイドレール13xbとガイドレール13xの連結により予備室25bとXYステージ13の間を移動できる。ガイドレール13xaは、ガイドレール13xとの連結時以外は、本体ごと所定距離後退し、完全に予備室25a内に収容される。ガイドレール13xbは、ガイドレール13xとの連結時以外は、本体ごと所定距離後退し、完全に予備室25b内に収容される。
チャックテーブル14a,14bそれぞれは、回転角が微動調整可能な昇降機構ZR、温度制御機構TCが配備されている。温度制御機構TCは、ヒーターが内蔵されているものが一般的であるが、その他、冷媒体となるガスや液体が供給されるものも考えられる。また、チャックテーブル14aまたは14bの冷却の場合、予備室(25a,25b)や検査室24の雰囲気のみで制御することも考えられる。検査室24及び予備室25a,25bでは、排気制御、温度制御用ガスやドライエアーが供給制御されるなど、必要時に空調制御(ACON)が可能である。
チャックテーブル14a,14bは、それぞれ独立して温度制御が可能である。図において、半導体ウェハWFはチャックテーブル14a上に支持され、XYステージ13の移動制御を伴ってプローブカード11と対向する。これにより、半導体ウェハWFはプローブカード11の各探針111を介して電気的特性検査が実施される。このとき、チャックテーブル14bは、予備室25bにて温度制御機構TCを機能させ、来るべき次の検査の温度環境に近付ける準備をしながら待機することもできる。
シャッター27aは、検査室24と予備室25aの間に設けられる遮断部材である。シャッター27aは、予備室25aを検査室24から隔離制御する機能を有する。シャッター27aは、例えば予備室25aを検査室24と異なる温度環境にする場合に閉められ、検査室24を予備室25aと同様な温度環境にするために開放される。また、シャッター27bは、検査室24と予備室25bの間に設けられる遮断部材である。シャッター27bは、予備室25bを検査室24から隔離制御する機能を有する。シャッター27bは、例えば予備室25bを検査室24と異なる温度環境にする場合に閉められ、検査室24を予備室25bと同様な温度環境にするために開放される。シャッター27a,27bは、制御部16により開閉制御される。
図3は、上記シャッター27a(または27b)の一例構成を示す概観図である。シャッター部27は、巻き取り可能な金属ラミネート部材271,272を対向させ端部は互いに結合された構成となっている。レールRsに沿って移動可能な駆動部(図示せず)によって開閉される。金属ラミネート部材271,272は、ステンレス素材またはアルミニウム素材が考えられる。金属ラミネート部材271と272の離間領域は排気される構成が望ましい。これにより、検査室24と予備室25aまたは25bにおける温度環境の隔離に寄与する。
上記実施形態の構成によれば、半導体ウェハWFの載置領域を独立して2つ有する。すなわち、検査室24の両隣に予備室25aと予備室25bが設けられている。例えば、一方のチャックテーブル14aがプロービングに利用されているとき、空いている他方のチャックテーブル14bは、予備室25b内において所定の温度環境下で待機した状態にする。つまり、来るべき次の検査に準備して置くことができる。これにより、検査環境を整える時間を極力見えなくし、一つのプローブ装置10で複数の温度条件下での電気的特性検査を効率的に達成することができる。このような検査により、試験コスト削減にも寄与する。
図4〜図6は、それぞれ本発明の第2実施形態に係るプローブ検査方法の要部を順に示すブロック図である。各図は、前記第1実施形態のプローブ装置を用いたプローブ検査方法を説明するものであり、図1に準ずる。
図4に示すように、検査室24において、所定数、例えば1ロットの半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル14aを利用した第1の温度条件下でプロービングを実施する(第1の検査工程)。すなわち、チャックテーブル14aは、予備室25aから検査室24に導入される。チャックテーブル14aは、予備室25aで第1の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室24でも第1の温度条件に近付けるよう環境を整えている。よって、検査室24では第1の温度条件が短時間で整えられる。ウェハ収容部23の半導体ウェハWFは、ウェハ搬送機構12を介してチャックテーブル14aに載置される。アライメント機構15により位置検出され、アライメント光学系26aを用いてプローブカード11(図2に示す)の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWFは、XYステージ13によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWFのICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード11によってプロービングされる。プロービング中、チャックテーブル14aが収容されていた予備室25aのシャッター27aは開放されたままでもよい。あるいは、シャッター27aは閉じられていてもよい。
上記プロービング(第1の検査工程)実施中、チャックテーブル14bの収容されている予備室25bは、シャッター27bが閉じており、隔離されている。予備室25bでは、このプロービング実施中に、次のプロービングに応じた第2の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
次に、図5に示すように、第1の温度条件下でのプロービングが終了する。ウェハ収容部23には、第1の温度条件下でのプロービングが済んだ所定数の半導体ウェハWFが収容される。チャックテーブル14aは予備室25aに収容され、シャッター27aは閉じられる。検査室24では環境調整が行なわれる。この環境調整工程は、検査室24を第1の温度条件から第2の温度条件により近付けるような環境に調整する。環境調整工程は、上述の排気制御、温度制御用ガスやドライエアーの供給制御等を工夫して行う(空調制御ACON)。
次に、図6に示すように、検査室24において、所定数、例えば1ロットの半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル14bを利用した第2の温度条件下でプロービングを実施する(第2の検査工程)。すなわち、シャッター27bが開放され、チャックテーブル14bは、予備室25bから検査室24に導入される。チャックテーブル14bは、予備室25bで第2の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室24でも第2の温度条件に近付けるよう環境を整えている。よって、検査室24では第2の温度条件が短時間で整えられる。ウェハ収容部23の半導体ウェハWFは、ウェハ搬送機構12を介してチャックテーブル14bに載置される。アライメント機構15により位置検出され、アライメント光学系26bを用いてプローブカード11の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWFは、XYステージ13によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWFのICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード11によってプロービングされる。プロービング中、チャックテーブル14bが収容されていた予備室25bのシャッター27bは開放されたままでもよい。あるいは、シャッター27bは閉じられていてもよい。
図7は、上記プローブ検査方法で用いられるプローブカード11のメンテナンス方法の一例を示すブロック図である。この図7も、前記図1に準ずる。
図5の環境調整工程において、プローブカード11の探針111のクリーニングや研磨を達成することが考えられる。例えばウェハ収容部23に研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具29を準備しておく。研磨シートは、炭素またはセラミック等の繊維状研磨シートが考えられる。ウェハ形状クリーニング用具29は、チャックテーブル14aが予備室25aに収容される前にチャックテーブル14a上に載置される。その後、チャックテーブル14aはXYステージ13によりプローブカード11下に移動する。そして、チャックテーブル14aの昇降制御により、プローブカード11における探針111のクリーニングまたは研磨がなされる。
図5の環境調整工程において、プローブカード11の探針111のクリーニングや研磨を達成することが考えられる。例えばウェハ収容部23に研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具29を準備しておく。研磨シートは、炭素またはセラミック等の繊維状研磨シートが考えられる。ウェハ形状クリーニング用具29は、チャックテーブル14aが予備室25aに収容される前にチャックテーブル14a上に載置される。その後、チャックテーブル14aはXYステージ13によりプローブカード11下に移動する。そして、チャックテーブル14aの昇降制御により、プローブカード11における探針111のクリーニングまたは研磨がなされる。
上記実施形態の方法によれば、プロービング条件に応じて第1検査工程または第2検査工程を実施することができる。なお、第1の温度条件と第2の温度条件としては、常温(25℃)と高温、常温(25℃)と低温が考えられる。高温と低温は、例えば125℃〜−25℃の範囲から選ばれる。温度差の開きに支障がなければ、第1の温度条件と第2の温度条件を高温と低温とすることも考えられる。検査待機工程によって、空いているチャックテーブル14aまたは14bを用い、予備室25aまたは25bで温度条件等、検査の準備ができる。これにより、検査室24での温度条件等、環境作りを短縮し、プローブ装置10の使用効率を高めることができる。
図8は、本発明の第3実施形態に係るプローブ装置の要部構成を示すブロック図であり、前記図1に準ずる、上から見た主要部を示している。第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付している。
この実施形態は、プローブ装置30として説明する。プローブ装置30は、前記第1実施形態と比べてウェハ搬送機構(32)の構成が異なっている。ウェハ搬送機構32は、ウェハ収容部33−予備室25a間における半導体ウェハWFの搬送を制御し、また、ウェハ収容部33−予備室25b間における半導体ウェハWFの搬送を制御する。その他の構成は、前記第1実施形態と同様であるため、説明は省略する。
この実施形態は、プローブ装置30として説明する。プローブ装置30は、前記第1実施形態と比べてウェハ搬送機構(32)の構成が異なっている。ウェハ搬送機構32は、ウェハ収容部33−予備室25a間における半導体ウェハWFの搬送を制御し、また、ウェハ収容部33−予備室25b間における半導体ウェハWFの搬送を制御する。その他の構成は、前記第1実施形態と同様であるため、説明は省略する。
上記実施形態の構成においても、前記第1実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、半導体ウェハWFの載置領域を独立して2つ有する。例えば、一方のチャックテーブル14aがプロービングに利用されているとき、空いている他方のチャックテーブル14bは、予備室25b内において所定の温度環境下で待機した状態にする。つまり、来るべき次の検査に準備して置くことができる。これにより、検査環境を整える時間を極力見えなくすることができる。また、前記第1実施形態と同様に、一つのプローブ装置30で複数の温度条件下での電気的特性検査を効率的に達成することも可能である。このような検査により、試験コスト削減にも寄与する。
図9、図10は、それぞれ本発明の第4実施形態に係るプローブ検査方法の要部を順に示すブロック図である。各図は、前記第3実施形態のプローブ装置を用いたプローブ検査方法を説明するものであり、図8に準ずる。
この実施形態の方法は、検査室24において、所定数の半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル14a,14bを交互に利用し所定の温度条件下でプロービングを実施する方法である。プロービング中、待機しているチャックテーブル14aまたは14bは、予備室25aまたは25bにて次に検査する半導体ウェハを載せ、上記プロービングに応じた所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
この実施形態の方法は、検査室24において、所定数の半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル14a,14bを交互に利用し所定の温度条件下でプロービングを実施する方法である。プロービング中、待機しているチャックテーブル14aまたは14bは、予備室25aまたは25bにて次に検査する半導体ウェハを載せ、上記プロービングに応じた所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
図9に示すように、検査室24において、所定数、例えば1ロットにおける奇数番目の半導体ウェハWF1をチャックテーブル14aに載置し、所定の温度条件下でプロービングを実施する。すなわち、ウェハ収容部33の半導体ウェハWF1は、ウェハ搬送機構32を介して予備室25aにあるチャックテーブル14aに載置される。チャックテーブル14aは、予備室25aから検査室24に導入される。チャックテーブル14aは、予備室25aで所定の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室24でも所定の温度条件に近付けるよう環境を整えている。よって、検査室24では所定の温度条件が短時間で整えられる。アライメント機構15により位置検出され、アライメント光学系26aを用いてプローブカード11の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWF1は、XYステージ13によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWF1のICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード11によってプロービングされる。プロービング中、チャックテーブル14aが収容されていた予備室25aのシャッター27aは開放されたままでもよい。あるいは、シャッター27aは閉じられていてもよい。
上記プロービング実施中、チャックテーブル14bの収容されている予備室25bは、シャッター27bが開放されたままでも、閉じていてもよい。予備室25bでは、このプロービング実施中に、ウェハ収容部33からウェハ搬送機構12を介して偶数番目の半導体ウェハWF2をチャックテーブル14bに載置する。すなわち、次にプロービングされる半導体ウェハWF2に対し、所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
次に、図10に示すように、チャックテーブル14a上の半導体ウェハWF1のプロービングが終了する。チャックテーブル14aはプロービングが済んだ半導体ウェハWF1を伴い予備室25aに収容される。半導体ウェハWF1は、ウェハ搬送機構32を介してウェハ収容部33に納められる。このとき、シャッター27aは閉じられてもよいし、開放されたままでもよい。
一方、次の偶数番目の半導体ウェハWF2を載置したチャックテーブル14bは、予備室25bから検査室24に導入される。チャックテーブル14bは、予備室25bで所定の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室24でも、半導体ウェハWF1のプロービング時の環境がほぼ維持されている。よって、検査室24では所定の温度条件が短時間で整えられる。アライメント機構15により位置検出され、アライメント光学系26aを用いてプローブカード11の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWF2は、XYステージ13によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWF2のICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード11によってプロービングされる。プロービング中、チャックテーブル14bが収容されていた予備室25bのシャッター27bは開放されたままでもよい。あるいは、シャッター27bは閉じられていてもよい。
一方、次の偶数番目の半導体ウェハWF2を載置したチャックテーブル14bは、予備室25bから検査室24に導入される。チャックテーブル14bは、予備室25bで所定の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室24でも、半導体ウェハWF1のプロービング時の環境がほぼ維持されている。よって、検査室24では所定の温度条件が短時間で整えられる。アライメント機構15により位置検出され、アライメント光学系26aを用いてプローブカード11の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWF2は、XYステージ13によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWF2のICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード11によってプロービングされる。プロービング中、チャックテーブル14bが収容されていた予備室25bのシャッター27bは開放されたままでもよい。あるいは、シャッター27bは閉じられていてもよい。
上記プロービング実施中、チャックテーブル14aの収容されている予備室25aは、シャッター27aが開放されたままでも、閉じていてもよい。予備室25aでは、このプロービング実施中に、ウェハ収容部33からウェハ搬送機構12を介して次の奇数番目の半導体ウェハWF1をチャックテーブル14aに載置する。すなわち、次にプロービングされる半導体ウェハWF1に対し、所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
このように、チャックテーブル14a,14bを交互に利用し所定の温度条件下で半導体ウェハWFのプロービングを繰り返し、所定数(1ロット)の半導体ウェハWFのプロービングを達成する。プロービング中、待機しているチャックテーブル14aまたは14bは、予備室25aまたは25bにて次に検査する半導体ウェハを載せ、上記プロービングに応じた所定の温度条件の準備を完了させる。
上記実施形態の方法によれば、チャックテーブル14a,14bを交互に利用する。検査工程中、空いている予備室及びチャックテーブルにおいて検査待機工程が機能する。すなわち、次に検査されるべき半導体ウェハWFに対する温度条件等、検査の準備ができる。これにより、検査室24での半導体ウェハWFの温度条件等、環境作りを短縮し、プローブ装置30の使用効率を高めることができる。
なお、プローブ装置30は、上記実施形態の方法を実施する限りでは、シャッター27a,27bを省いた構成も考えられる。また、プローブ装置30は、上記実施形態の方法の他、前記第2実施形態で説明したような、プロービング条件に応じた異なる温度条件を設定する第1検査工程、第2検査工程を実施することができる。
また、プローブ装置30は、前記図7に示すようなプローブカード11のメンテナンスを行ってもよい。すなわち、ウェハ収容部33内に図示しないが研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具を準備しておき、要所で利用することが考えられる。
また、プローブ装置30は、前記図7に示すようなプローブカード11のメンテナンスを行ってもよい。すなわち、ウェハ収容部33内に図示しないが研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具を準備しておき、要所で利用することが考えられる。
図11、図12は、それぞれ本発明の第5実施形態に係るプローブ装置の要部構成を示すブロック図であり、図11は上から見た主要部、図12は横から見た主要部を示している。
プローブ装置40は、プローブカード41、ウェハ搬送機構42、XYステージ43、チャックテーブル44a,44b、アライメント機構45、及び制御部46を有する。プローブ装置40とテスター50は、テストヘッド51及び測定信号ケーブル52を介して信号伝達される。なお、図11では、プローブカード41より上にある構成は省略している。
プローブ装置40は、プローブカード41、ウェハ搬送機構42、XYステージ43、チャックテーブル44a,44b、アライメント機構45、及び制御部46を有する。プローブ装置40とテスター50は、テストヘッド51及び測定信号ケーブル52を介して信号伝達される。なお、図11では、プローブカード41より上にある構成は省略している。
プローブカード41は、検査室54内においてXYステージ43上方に配備されている。プローブカード41は、プローバヘッドにより支持される。測定用ボード47は、接続リング48を介してポゴピン等を含むテストヘッド51に接続される。プローブカード41は、基板開口部から伸長する各探針411を有する。プローブカード41は、各探針411が、半導体ウェハWFにおける図示しないICチップ領域の各端子電極(パッド、バンプ等)に接触することにより、プロービングに関する信号の授受を行う。
ウェハ搬送機構42は、ウェハ収容部53−検査室54間における半導体ウェハWFの搬送を制御する。XYステージ43は、ガイドレール43x、43yのX,Y軸方向に沿って自在に移動可能である。チャックテーブル44a,44bは、それぞれ半導体ウェハの載置領域として設けられている。チャックテーブル44a,44bは、そのいずれか一方がXYステージ43の定位置に導入され、他方は次回代ってXYステージ43に導入されるまで待機する。予備室55a,55bは、待機状態となったチャックテーブル44a,44bそれぞれを収容しておく領域である。制御部46は、これらウェハ搬送機構42、XYステージ43、及びチャックテーブル44a,44bの操作を制御する。
アライメント機構45は、ガイドレール58を利用してXYステージ43上方にスライド移動可能である。アライメント機構45は、図示しない各種レンズ、CCDカメラ等を備えたアライメントブリッジ451を有する。アライメント機構45は、XYステージ43上のチャックテーブル44aまたは44bに支持された半導体ウェハWFに対し光学系アライメントを行い、制御部46へ座標データを送る。また、チャックテーブル44a,44bに設けられた各アライメント光学系56a,56bは、プローブカード41の位置認識に利用される。
チャックテーブル44a,44bそれぞれにおける予備室(55a,55b)−検査室54間の移動は、ガイドレール43xの機構が利用される。すなわち、チャックテーブル44aは、ガイドレール43xaとガイドレール43xの連結により予備室55aとXYステージ43の間を移動できる。チャックテーブル44bは、ガイドレール43xbとガイドレール43xの連結により予備室55bとXYステージ43の間を移動できる。ガイドレール43xaは、ガイドレール43xとの連結時以外は、本体ごと所定距離後退し、完全に予備室55a内に収容される。ガイドレール43xbは、ガイドレール43xとの連結時以外は、本体ごと所定距離後退し、完全に予備室55b内に収容される。
チャックテーブル44a,44bそれぞれは、回転角が微動調整可能な昇降機構ZR、温度制御機構TCが配備されている。温度制御機構TCは、ヒーターが内蔵されているものが一般的であるが、その他、冷媒体となるガスや液体が供給されるものも考えられる。また、チャックテーブル44aまたは44bの冷却の場合、予備室(55a,55b)や検査室54の雰囲気のみで制御することも考えられる。検査室54及び予備室55a,55bでは、排気制御、温度制御用ガスやドライエアーが供給制御されるなど、必要時に空調制御(ACON)が可能である。
チャックテーブル44a,44bは、それぞれ独立して温度制御が可能である。図において、半導体ウェハWFはチャックテーブル44a上に支持され、XYステージ43の移動制御を伴ってプローブカード41と対向する。これにより、半導体ウェハWFはプローブカード41の各探針411を介して電気的特性検査が実施される。このとき、チャックテーブル44bは、予備室55bにて温度制御機構TCを機能させ、来るべき次の検査の温度環境に近付ける準備をしながら待機することもできる。
シャッター57は、検査室54と予備室55aの間、または検査室54と予備室55bの間に設けられる遮断部材である。シャッター57は、予備室55aまたは55bを検査室54から隔離制御する機能を有する。シャッター57は、例えば予備室55aを検査室54と異なる温度環境にする場合に予備室55a側を隔離するように閉じる。その代わり予備室55b側は検査室54と同様な温度環境にするために開放される。また、例えば予備室55bを検査室54と異なる温度環境にする場合に予備室55b側を隔離するように閉じる。その代わり、予備室55a側は検査室54と同様な温度環境にするために開放される。シャッター57は、制御部46によりその操作が制御される。
図13は、上記シャッター57の一例構成を示す概観図である。シャッター57は、例えば、レールRsに沿って予備室55a側または予備室55b側にスライドする二重の金属板が一体となった構造である。シャッター57は、レールRsに沿って移動可能な駆動部(図示せず)によってスライドされる。シャッター57は、ステンレス素材またはアルミニウム素材が考えられ、金属板571と572の離間領域は真空シールドか、排気される構成が望ましい。これにより、検査室54と予備室55aまたは55bにおける温度環境の隔離に寄与する。
上記実施形態の構成によれば、半導体ウェハWFの載置領域を独立して2つ有する。すなわち、予備室55aと予備室55bは、互いに隣り合いかつ検査室54に隣り合うように設けられている。例えば、一方のチャックテーブル44aがプロービングに利用されているとき、空いている他方のチャックテーブル44bは、予備室55b内において所定の温度環境下で待機した状態にする。つまり、来るべき次の検査に準備して置くことができる。これにより、検査環境を整える時間を極力見えなくし、一つのプローブ装置40で複数の温度条件下での電気的特性検査を効率的に達成することができる。このような検査により、試験コスト削減にも寄与する。
なお、上記実施形態の構成において、シャッター57は、図12に示すような、二重の金属板571と572の構造の構成としたが、これに限らない。例えば、前記第1実施形態で示した図3のシャッター27a,27bをそれぞれ予備室55a側、予備室55b側に配備してもよい。
図14〜図16は、それぞれ本発明の第6実施形態に係るプローブ検査方法の要部を順に示すブロック図である。各図は、前記第5実施形態のプローブ装置を用いたプローブ検査方法を説明するものであり、図11に準ずる。
図14に示すように、検査室54において、所定数、例えば1ロットの半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル44aを利用した第1の温度条件下でプロービングを実施する(第1の検査工程)。すなわち、チャックテーブル44aは、予備室55aから検査室54に導入される。チャックテーブル44aは、予備室55aで第1の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室54でも第1の温度条件に近付けるよう環境を整えている。よって、検査室54では第1の温度条件が短時間で整えられる。ウェハ収容部53の半導体ウェハWFは、ウェハ搬送機構42を介してチャックテーブル44aに載置される。アライメント機構45により位置検出され、アライメント光学系56aを用いてプローブカード41(図12に示す)の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWFは、XYステージ43によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWFのICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード41によってプロービングされる。
上記プロービング(第1の検査工程)実施中、チャックテーブル44bの収容されている予備室55bは、シャッター57が閉じており、隔離されている。予備室55bでは、このプロービング実施中に、次のプロービングに応じた第2の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
次に、図15に示すように、第1の温度条件下でのプロービングが終了する。ウェハ収容部53には、第1の温度条件下でのプロービングが済んだ所定数の半導体ウェハWFが収容される。チャックテーブル44aは予備室55aに移動する。この状態で、検査室54では環境調整が行なわれる。この環境調整工程は、検査室54を第1の温度条件から第2の温度条件により近付けるような環境に調整する。環境調整工程は、上述の排気制御、温度制御用ガスやドライエアーの供給制御等を工夫して行う(空調制御ACON)。
次に、図16に示すように、検査室54において、所定数、例えば1ロットの半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル44bを利用した第2の温度条件下でプロービングを実施する(第2の検査工程)。すなわち、シャッター57が予備室55bから予
備室55a側に移動し、予備室55bが開放される。チャックテーブル44bは、予備室55bから検査室54に導入される。チャックテーブル44bは、予備室55bで第2の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室54でも第2の温度条件に近付けるよう環境を整えている。よって、検査室54では第2の温度条件が短時間で整えられる。ウェハ収容部53の半導体ウェハWFは、ウェハ搬送機構42を介してチャックテーブル44bに載置される。アライメント機構45により位置検出され、アライメント光学系56bを用いてプローブカード41の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWFは、XYステージ43によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWFのICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード41によってプロービングされる。
備室55a側に移動し、予備室55bが開放される。チャックテーブル44bは、予備室55bから検査室54に導入される。チャックテーブル44bは、予備室55bで第2の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室54でも第2の温度条件に近付けるよう環境を整えている。よって、検査室54では第2の温度条件が短時間で整えられる。ウェハ収容部53の半導体ウェハWFは、ウェハ搬送機構42を介してチャックテーブル44bに載置される。アライメント機構45により位置検出され、アライメント光学系56bを用いてプローブカード41の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWFは、XYステージ43によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWFのICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード41によってプロービングされる。
図17は、上記プローブ検査方法で用いられるプローブカード11のメンテナンス方法の一例を示すブロック図である。この図17も、前記図11に準ずる。
図15の環境調整工程において、プローブカード41の探針411のクリーニングや研磨を達成することが考えられる。例えばウェハ収容部43に研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具59を準備しておく。研磨シートは、炭素またはセラミック等の繊維状研磨シートが考えられる。ウェハ形状クリーニング用具59は、チャックテーブル44aが予備室55aに収容される前にチャックテーブル44a上に載置される。その後、チャックテーブル44aはXYステージ43によりプローブカード41下に移動する。そして、チャックテーブル44aの昇降制御により、プローブカード41における探針411のクリーニングまたは研磨がなされる。
図15の環境調整工程において、プローブカード41の探針411のクリーニングや研磨を達成することが考えられる。例えばウェハ収容部43に研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具59を準備しておく。研磨シートは、炭素またはセラミック等の繊維状研磨シートが考えられる。ウェハ形状クリーニング用具59は、チャックテーブル44aが予備室55aに収容される前にチャックテーブル44a上に載置される。その後、チャックテーブル44aはXYステージ43によりプローブカード41下に移動する。そして、チャックテーブル44aの昇降制御により、プローブカード41における探針411のクリーニングまたは研磨がなされる。
上記実施形態の方法によれば、前記第2の実施形態と同様に、プロービング条件に応じて異なる温度条件を有する第1検査工程、第2検査工程を実施することができる。検査待機工程によって、空いているチャックテーブル44aまたは44bを用い、予備室55aまたは55bで温度条件等、検査の準備ができる。これにより、検査室54での温度条件等、環境作りを短縮し、プローブ装置40の使用効率を高めることができる。
図18は、本発明の第7実施形態に係るプローブ装置の要部構成を示すブロック図であり、前記図11に準ずる、上から見た主要部を示している。第4実施形態と同様の箇所には同一の符号を付している。
この実施形態は、プローブ装置60として説明する。プローブ装置60は、前記第4実施形態と比べてウェハ搬送機構(62)の構成が異なっている。ウェハ搬送機構62は、ウェハ収容部63−予備室55a間における半導体ウェハWFの搬送を制御し、また、ウェハ収容部63−予備室55b間における半導体ウェハWFの搬送を制御する。その他の構成は、前記第4実施形態と同様であるため、説明は省略する。
この実施形態は、プローブ装置60として説明する。プローブ装置60は、前記第4実施形態と比べてウェハ搬送機構(62)の構成が異なっている。ウェハ搬送機構62は、ウェハ収容部63−予備室55a間における半導体ウェハWFの搬送を制御し、また、ウェハ収容部63−予備室55b間における半導体ウェハWFの搬送を制御する。その他の構成は、前記第4実施形態と同様であるため、説明は省略する。
上記実施形態の構成においても、前記第4実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、半導体ウェハWFの載置領域を独立して2つ有する。例えば、一方のチャックテーブル44aがプロービングに利用されているとき、空いている他方のチャックテーブル44bは、予備室55b内において所定の温度環境下で待機した状態にする。つまり、来るべき次の検査に準備して置くことができる。これにより、検査環境を整える時間を極力見えなくすることができる。また、前記第4実施形態と同様に、一つのプローブ装置60で複数の温度条件下での電気的特性検査を効率的に達成することも可能である。このような検査により、試験コスト削減にも寄与する。
図19、図20は、それぞれ本発明の第8実施形態に係るプローブ検査方法の要部を順に示すブロック図である。各図は、前記第7実施形態のプローブ装置を用いたプローブ検査方法を説明するものであり、図18に準ずる。
この実施形態の方法は、検査室54において、所定数の半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル44a,44bを交互に利用し所定の温度条件下でプロービングを実施する方法である。プロービング中、待機しているチャックテーブル44aまたは44bは、予備室55aまたは55bにて次に検査する半導体ウェハを載せ、上記プロービングに応じた所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
この実施形態の方法は、検査室54において、所定数の半導体ウェハWFについてそれぞれチャックテーブル44a,44bを交互に利用し所定の温度条件下でプロービングを実施する方法である。プロービング中、待機しているチャックテーブル44aまたは44bは、予備室55aまたは55bにて次に検査する半導体ウェハを載せ、上記プロービングに応じた所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
図19に示すように、検査室54において、所定数、例えば1ロットにおける奇数番目の半導体ウェハWF1をチャックテーブル44aに載置し、所定の温度条件下でプロービングを実施する。すなわち、ウェハ収容部63の半導体ウェハWF1は、ウェハ搬送機構62を介して予備室55aにあるチャックテーブル44aに載置される。チャックテーブル44aは、予備室55aから検査室54に導入される。チャックテーブル44aは、予備室55aで所定の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室44でも所定の温度条件に近付けるよう環境を整えている。よって、検査室44では所定の温度条件が短時間で整えられる。アライメント機構45により位置検出され、アライメント光学系56aを用いてプローブカード41の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWF1は、XYステージ43によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWF1のICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード41によってプロービングされる。
上記プロービング実施中、予備室55a側または予備室55b側がシャッター57により閉じられる。チャックテーブル44bの収容されている予備室55bでは、このプロービング実施中に、ウェハ収容部63からウェハ搬送機構42を介して偶数番目の半導体ウェハWF2をチャックテーブル44bに載置する。すなわち、次にプロービングされる半導体ウェハWF2に対し、所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
次に、図20に示すように、チャックテーブル44a上の半導体ウェハWF1のプロービングが終了する。チャックテーブル44aはプロービングが済んだ半導体ウェハWF1を伴い予備室55aに収容される。半導体ウェハWF1は、ウェハ搬送機構62を介してウェハ収容部63に納められる。
一方、次の偶数番目の半導体ウェハWF2を載置したチャックテーブル44bは、予備室55bから検査室54に導入される。チャックテーブル44bは、予備室55bで所定の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室54でも、半導体ウェハWF1のプロービング時の環境がほぼ維持されている。よって、検査室54では所定の温度条件が短時間で整えられる。アライメント機構45により位置検出され、アライメント光学系56aを用いてプローブカード41の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWF2は、XYステージ43によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWF2のICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード41によってプロービングされる。
一方、次の偶数番目の半導体ウェハWF2を載置したチャックテーブル44bは、予備室55bから検査室54に導入される。チャックテーブル44bは、予備室55bで所定の温度条件に適した設定がなされている。また、検査室54でも、半導体ウェハWF1のプロービング時の環境がほぼ維持されている。よって、検査室54では所定の温度条件が短時間で整えられる。アライメント機構45により位置検出され、アライメント光学系56aを用いてプローブカード41の位置認識に合わせ込まれる。半導体ウェハWF2は、XYステージ43によりその移動が操作される。これにより、半導体ウェハWF2のICチップ領域(図示せず)が順次にプローブカード41によってプロービングされる。
上記プロービング実施中、予備室55a側または予備室55b側がシャッター57により閉じられる。予備室55aでは、このプロービング実施中に、ウェハ収容部63からウェハ搬送機構42を介して次の奇数番目の半導体ウェハWF1をチャックテーブル44aに載置する。すなわち、次にプロービングされる半導体ウェハWF1に対し、所定の温度条件の準備を完了させる(検査待機工程)。
このように、チャックテーブル44a,44bを交互に利用し所定の温度条件下で半導体ウェハWFのプロービングを繰り返し、所定数(1ロット)の半導体ウェハWFのプロービングを達成する。プロービング中、待機しているチャックテーブル44aまたは44bは、予備室55aまたは55bにて次に検査する半導体ウェハを載せ、上記プロービングに応じた所定の温度条件の準備を完了させる。
上記実施形態の方法によれば、チャックテーブル44a,44bを交互に利用する。検査工程中、空いている予備室及びチャックテーブルにおいて検査待機工程が機能する。すなわち、次に検査されるべき半導体ウェハWFに対する温度条件等、検査の準備ができる。これにより、検査室54での半導体ウェハWFの温度条件等、環境作りを短縮し、プローブ装置60の使用効率を高めることができる。
なお、プローブ装置60は、上記実施形態の方法を実施する限りでは、シャッター27を省いた構成も考えられる。また、プローブ装置60は、上記実施形態の方法の他、前記第5実施形態で説明したような、プロービング条件に応じた異なる温度条件を設定する第1検査工程、第2検査工程を実施することができる。
また、プローブ装置60は、前記図17に示すようなプローブカード41のメンテナンスを行ってもよい。すなわち、ウェハ収容部63内に図示しないが研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具を準備しておき、要所で利用することが考えられる。
また、プローブ装置60は、前記図17に示すようなプローブカード41のメンテナンスを行ってもよい。すなわち、ウェハ収容部63内に図示しないが研磨シート付きのウェハ形状クリーニング用具を準備しておき、要所で利用することが考えられる。
以上、本発明の各実施形態及び方法によれば、プローブ装置は、半導体ウェハの載置領域を2つ有する。各載置領域はそれぞれ独立して温度制御可能である。一方の載置領域が検査に利用されているとき、空いている他方の載置領域は所定の温度環境下で待機した状態にし、来るべき次の検査に準備して置くことができる。これにより、複数の温度条件下での電気的特性検査が一つのプローブ装置で効率的に達成でき、プローブ装置の使用効率を高めることができる。このようなプローブ装置は、多品種少量生産に好適であり、使用効率を高めた検査を経て半導体装置の良品が取得される。半導体装置の試験コスト削減にも寄与する。この結果、複数の温度保証が必要な半導体ウェハを効率良く試験することのできるプローブ装置及びプローブ検査方法、半導体装置の製造方法を提供することができる。
10,30,40,60…プローブ装置、11,41…プローブカード、111,411…探針、12,32,42,62…ウェハ搬送機構、13,43…XYステージ、13x,13y,13xa,13xb,28,43x,43y,43xa,43xb,58…ガイドレール、14a,14b,44a,44b…チャックテーブル、15,45…アライメント機構、151,451…アライメントブリッジ、16,46…制御部、17,47…測定用ボード、18,48…接続リング、20,50…テスター、21,51…テストヘッド、22,52…測定信号ケーブル、23,33,53,63…ウェハ収容部、24,54…検査室、25a,25b,55a,55b…予備室、26a,26b,56a,56b…アライメント光学系、27,27a,27b,57…シャッター、271,272…金属ラミネート部材、29,59…ウェハ形状クリーニング用具、571,572…金属板、Rs…レール、TC…温度制御機構、ZR…昇降機構、WF,WF1,WF2…半導体ウェハ。
Claims (13)
- 半導体ウェハの載置領域、及び前記半導体ウェハにおける電気的特性検査に関わる信号の授受を担う信号伝達機構を備え、前記電気的特性検査に利用されるための信号の生成、解析に関係するテストシステムが構築されたテスターに繋がるプローブ装置であって、
前記半導体ウェハの載置領域として、それぞれ独立して温度制御が可能な2つの載置領域を配備し、一方の載置領域を利用して前記半導体ウェハにおける電気的特性検査が実施されているとき、他方の載置領域は所定の温度環境下で待機した状態になるプローブ装置。 - 半導体ウェハの載置領域、及び前記載置領域を対向させ前記半導体ウェハにおける電気的特性検査に関わる信号の授受を担うプローブカードを有する信号伝達機構を備え、前記電気的特性検査に利用されるための信号の生成、解析に関係するテストシステムが構築されたテスターに繋がるプローブ装置であって、
前記半導体ウェハの載置領域として、それぞれ前記プローブカードに対向させるよう移動制御可能な2つの載置領域を配備し、一方の載置領域が前記プローブカードと対向して前記半導体ウェハにおける電気的特性検査が一室で実施されているとき、他方の載置領域は別室で待機した状態になるプローブ装置。 - 前記他方の載置領域は、前記一方の載置領域とは異なる所定の温度環境を作るべく温度制御される請求項1または2記載のプローブ装置。
- 前記2つの載置領域それぞれについて、隔離制御される遮断部材をさらに含む請求項1〜3いずれか一つに記載のプローブ装置。
- プローブカードが配備された検査室と、
前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、
温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、
温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、
前記半導体ウェハの搬送機構と、
を含むプローブ装置。 - 前記検査室と、前記第1、第2の予備室の少なくともいずれか一方を隔離制御する遮断部材をさらに含む請求項5記載のプローブ装置。
- 前記第1の予備室と前記第2の予備室の間に前記検査室が設けられている請求項5または6記載のプローブ装置。
- 前記第1の予備室と前記第2の予備室は隣り合っている請求項5または6記載のプローブ装置。
- 前記第1、第2のテーブルは、それぞれ昇降機構を配備すると共に所定のガイドレールに沿ってX,Y軸方向の移動が制御され、前記ガイドレールの一部の機構が前記第1テーブルにおける前記第1の予備室、前記検査室間の移動に、また前記第2テーブルにおける前記第2の予備室、前記検査室間の移動に利用される請求項5〜8いずれか一つに記載のプローブ装置。
- プローブカードが配備された検査室と、
前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、
温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、
温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、
前記半導体ウェハの搬送機構と、を備え、
前記検査室において、所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第1のテーブルを利用した第1の温度条件下でプロービングを実施する第1検査工程と、
前記検査室において、前記所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第2のテーブルを利用した第2の温度条件下でプロービングを実施する第2検査工程と、
前記第1検査工程中、前記第2のテーブルは前記第2の予備室にて前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件の準備を完了させる検査待機工程と、
を含むプローブ検査方法。 - 前記第1の検査工程から前記第2の検査工程に移行する際、前記検査室では、前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件により近付ける環境調整工程をさらに含む請求項10記載のプローブ検査方法。
- プローブカードが配備された検査室と、
前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、
温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、
温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、
前記半導体ウェハの搬送機構と、を備え、
前記検査室において、所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第1のテーブル、前記第2のテーブルを交互に利用し所定の温度条件下でプロービングを実施する検査工程と、
前記検査工程中、前記第1のテーブルを利用してのプロービングが実施されているとき、前記第2のテーブルは前記第2の予備室にて前記検査工程に応じた前記所定の温度条件の準備を完了させる検査待機工程と、
を含むプローブ検査方法。 - プローブカードが配備された検査室と、
前記検査室に隣り合う第1、第2の予備室と、
温度制御可能でかつ前記第1の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第1のテーブルと、
温度制御可能でかつ前記第2の予備室、前記検査室間の移動及び前記検査室でのプロービングに応じた移動が制御される半導体ウェハを載置する第2のテーブルと、
前記半導体ウェハの搬送機構と、を備え、
前記検査室において、所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第1のテーブルを利用した第1の温度条件下でプロービングを実施する第1検査工程と、
前記検査室において、前記所定数の半導体ウェハについてそれぞれ前記第2のテーブルを利用した第2の温度条件下でプロービングを実施する第2検査工程と、
前記第1検査工程中、前記第2のテーブルは前記第2の予備室にて前記第2検査工程に応じた前記第2の温度条件の準備を完了させる検査待機工程と、
を含み、
前記検査待機工程を経て前記第2検査工程が行われ、複数の温度条件でのプロービングを前記検査室で行って良品を取得する半導体装置の製造方法。
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2004
- 2004-11-09 JP JP2004324757A patent/JP2006135217A/ja not_active Withdrawn
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