JP2006134932A - 可変スリット装置、照明光学装置、露光装置、及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源からの光束に基づいて被照射面上にスリット状の照明領域を形成する可変スリット装置100は、スリット状の照明領域の一方の長辺L2を規定するための複数のブレード30を有する第1遮光部10と;スリット状の照明領域の他方の長辺L1を規定する第2遮光部20と;第1遮光部10を駆動し、照明光の長手方向の形状を変化させる駆動機構50とを備える。そして、第2遮光部20は、被照射面における照度分布ムラのうちの2次以上の成分を補正するために、2次以上の成分を含む曲線状に形成されている。
【選択図】 図1
Description
まず、不図示の光源から射出された照明光は、整形光学系を通過して矩形状の照明光に整形される。
第1遮光部10は、複数のブレード30を有し、これら複数のブレード30は、互いに独立に駆動される。これら複数のブレード30は、照明光ELの光軸と直交する面内に配置され、その面内において、櫛歯状に隙間なく配置されている。
ブレード40は、ブレード30と同一の材料からなり、照明光EL側のエッジ部は、2次以上の成分を含む関数(位置座標の2次関数や4次関数、それ以上の高次関数など)で定義される曲線状に形成されるとともに、約10μm程度の厚みに形成される。
露光装置EXは、露光用照明光(露光光)ELをレチクルRに照射しつつ、レチクル(マスク)Rとウエハ(基板)Pとを一次元方向に相対的に同期移動させて、レチクルRに形成されたパターン(回路パターン等)を投影光学系PLを介してウエハW上に転写するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、いわゆるスキャニング・ステッパである。このような露光装置EXでは、投影光学系PLの露光フィールドよりも広いウエハW上の領域にレチクルRのパターンを露光できる。
具体的には、光源120から照射された露光用照明光ELは、偏向ミラー130にて偏向されて、光アッテネータとしての可変減光器131に入射する。可変減光器131は、ウエハ上のフォトレジストに対する露光量を制御するために、減光率が段階的又は連続的に調整可能である。可変減光器131から射出される露光用照明光ELは、ターレット132上に設けられた回折光学素子132、ズームレンズ134を順に介してマイクロフライアイレンズ136a,136bに達する。
レチクルステージRSは、露光照明系121の直下に設けられ、レチクルRを保持するレチクルホルダ等を備える。レチクルホルダ(不図示)は、レチクルステージRSに支持されるとともに、レチクルR上のパターンに対応した開口を有し、レチクルRのパターンを下にして真空吸着によって保持する。レチクルステージRSは、不図示の駆動部によりY方向に一次元走査移動し、さらにX方向、及び回転方向(Z軸回りのθ方向)に微動可能である。これにより、レチクルRのパターン領域の中心が投影光学系PLの光軸を通るようにレチクルRの位置決めが可能な構成となっている。
投影光学系PLは、レチクルステージRSの直下に設けられ、レチクルRを介して射出される照明光ELを所定の投影倍率β(βは例えば1/4)で縮小して、レチクルRのパターンの像をウエハW上の特定領域に結像させる。
ウエハステージWSの−Y側の端部には、平面鏡からなるY移動鏡152がX方向に延設されている。このY移動鏡152にほぼ垂直に外部に配置されたY軸レーザ干渉計151からの測長ビームが投射され、その反射光がY軸レーザ干渉計151に受光されることによりウエハWのY位置が検出される。また、略同様の構成により不図示のX軸レーザ干渉計によってウエハWのX位置が検出される。
例えば、レチクルステージRS及びウエハステージWSの位置等を制御して、レチクルRに形成されたパターンの像をウエハW上のショット領域に転写する露光動作を繰り返し行う。
続いて、以上のような構成を備えた可変スリット装置100、露光照明系121、及び露光装置EXを用いて、ウエハW上にレチクルRに形成されたパターンを転写する露光処理を行う方法について説明する。
まず、露光用照明光ELの露光量が計測される。露光量分布は、露光用照明光ELの光路中に配置された照度計(計測部)230により計測される。照度計230は、レチクルRのパターンと共役の位置付近に配置される。例えば、図2に示すように、ウェハステージWS上のウェハWと面一に配置され、計測時に露光用照明光ELの光路上に移動するように構成される。そして、露光量は、ショット領域毎、ウエハW毎、或いはロット毎のいずれかの時期に計測され、その計測結果は主制御系220に送られる。
本実施形態においては、2次の関数成分や4次の関数成分、或いは6次の関数成分などを含む関数で定義されるエッジを有する第2遮光部20によって照明光ELの通過領域を制限することで補正しており、この第2遮光部20により補正できない成分の照度むらを第1遮光部10で補正している。すなわち、本実施形態では、第2遮光部で照度むらの祖調整を行い、第1遮光部10で照度むらの微調整を行う構成としている。
露光装置の用途としては半導体デバイス製造用の露光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く適当できる。
を用いて感光性基板としてのウェハ等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図6のフローチャートを参照して説明する。
レイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
また、上述の実施形態では、図1に示すような特定の構成を有する照明光学装置に対して本発明を適用しているが、照明光学装置の具体的な構成については様々な変形例が可能である。例えば、上述の実施形態における第1インテグレータとしての回折光学素子132から第2インテグレータとしてのマイクロフライアイレンズ136までの光学系を、特開2001−85293号公報や特開2002−231619号公報に開示された対応部分の光学系で置換して得られる照明光学装置に対して本発明を適用することもできる。
20 第2遮光部
30,40 ブレード
50,60 アクチュエータ部(駆動機構)
72 ロッド(第1押引部材)
74(74a,b) ロッド(第2押引部材)
100 可変スリット装置
121 露光照明系(照明装置)
220 主制御系(制御装置)
221 演算部
230 照度計(計測部)
R レチクル(マスク)
W ウエハ(基板)
EL 照明光,露光用照明光
L1,L2 長辺
EX 露光装置
Claims (11)
- 光源からの光束に基づいて被照射面上にスリット状の照明領域を形成する可変スリット装置において、
前記スリット状の照明領域の一方の長辺を規定するための複数のブレードを有する第1遮光部と、
前記スリット状の照明領域の他方の長辺を規定する第2遮光部と、
前記第1遮光部を駆動し、前記照明光の長手方向の形状を変化させる駆動機構とを備え、
前記第2遮光部は、前記被照射面における照度分布ムラのうちの2次以上の成分を補正するために、2次以上の成分を含む曲線状に形成されていることを特徴とする可変スリット装置。 - 前記第2遮光部の前記2次以上の成分を含む曲線は、4次以上の成分を含むことを特徴とする請求項1に記載の可変スリット装置。
- 前記第2遮光部の前記2次以上の成分を含む曲線は、4次成分と6次成分との少なくとも何れか一方の成分を含むことを特徴とする請求項2に記載の可変スリット装置。
- 光源からの光束に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、
請求項1乃至3の何れか一項に記載の可変スリット装置と、
前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置されたオプティカルインテグレータとを備え、
前記可変スリット装置は、前記オプティカルインテグレータに起因する前記被照射面での照度分布ムラの少なくとも一部を補正することを特徴とする照明光学装置。 - 前記オプティカルインテグレータは、入射光束に基づいて複数光束を形成する波面分割型インテグレータを備えていることを特徴とする請求項4に記載の照明光学装置。
- 前記波面分割型インテグレータは、所定の第1方向に沿ったピッチで配列された第1の1次元シリンドリカルレンズアレイと、前記第1方向と交差する第2方向に沿ったピッチで配列された第2の1次元シリンドリカルレンズアレイとを備えていることを特徴とする請求項5に記載の照明光学装置。
- 前記第1及び第2の1次元シリンドリカルレンズアレイは1つの光透過性基板に一体に設けられていることを特徴とする請求項6に記載の照明光学装置。
- マスクを照明するための請求項4乃至7の何れか一項に記載の照明光学装置を備え、前記マスクのパターンを感光性基板上に露光することを特徴とする露光装置。
- 前記マスクと感光性基板との間の光路中に配置されて、前記マスクのパターン像を前記感光性基板上に形成する投影光学系と、
前記投影光学系に対して前記感光性基板を所定の走査方向に沿って移動させつつ露光を行うためのステージ機構とを備え、
前記走査方向を横切る非走査方向の位置に応じて、前記可変スリット装置の前記第1遮光部及び前記第2遮光部で形成される光通過領域の形状が変化することを特徴とする露光装置。 - 請求項4乃至7の何れか一項に記載の照明光学装置を介してマスクを照明し、前記マスクに形成されたパターンを感光性基板上に露光することを特徴とする露光方法。
- 前記マスクと感光性基板との間の光路中に配置された投影光学系を介して、前記マスクのパターン像を前記感光性基板上に投影しつつ、前記投影光学系に対して前記感光性基板を所定の走査方向に沿って移動させて露光を行い、前記走査方向を横切る非走査方向の位置に応じて、前記可変スリット装置の前記第1遮光部及び前記第2遮光部で形成される光通過領域の形状がさせることを特徴とする請求項10に記載の露光方法。
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