JP2006134143A - 基板位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板が載置されるテーブル33およびこのテーブルを保持するテーブル保持台34と、基板の直交する2辺に当接して基板の位置決めをおこなうX軸方向ストッパ37およびY軸方向ストッパ36と、テーブル保持台34に対するX軸方向ストッパ37のX軸方向位置を、所定の基準位置とオフセット位置とに切換えるX軸方向ストッパ位置切換装置47と、テーブル保持台34に対するY軸方向ストッパ36のY軸方向位置を、所定の基準位置とオフセット位置とに切換えるY軸方向ストッパ位置切換装置41と、テーブル33をX軸およびY軸に斜交する斜行方向に水平移動させて基板をX軸方向ストッパ37およびY軸方向ストッパ36に当接させるテーブル駆動装置50とを具備した。
【選択図】 図4
Description
Claims (3)
- 基板が載置されるテーブルおよびこのテーブルを保持するテーブル保持台と、
前記基板の直交する2辺に当接して前記基板の位置決めをおこなうX軸方向ストッパおよびY軸方向ストッパと、
前記テーブル保持台に対する前記X軸方向ストッパのX軸方向位置を、所定の基準位置と、これに対し所定量オフセットしたオフセット位置とに切換えるX軸方向ストッパ位置切換装置と、
前記テーブル保持台に対する前記Y軸方向ストッパのY軸方向位置を、所定の基準位置と、これに対し所定量オフセットしたオフセット位置とに切換えるY軸方向ストッパ位置切換装置と、
前記テーブルをX軸方向およびY軸方向に対して斜交する斜行方向に水平移動させて前記基板を前記X軸方向ストッパおよびY軸方向ストッパに当接させるテーブル駆動装置とを、
具備したことを特徴とする基板位置決め装置。 - 前記テーブルの上面に、前記テーブル駆動装置によるテーブル移動方向である斜行方向に平行に延びる複数本の溝を、並設したことを特徴とする請求項1記載の基板位置決め装置。
- 基板が載置されるテーブルと、
前記基板の直交する2辺に当接して前記基板の位置決めをおこなうX軸方向ストッパおよびY軸方向ストッパと、
前記テーブルに対する前記X軸方向ストッパのX軸方向位置を、所定の基準位置と、これに対し所定量オフセットしたオフセット位置とに切換えるX軸方向ストッパ位置切換装置と、
前記テーブルに対する前記Y軸方向ストッパのY軸方向位置を、所定の基準位置と、これに対し所定量オフセットしたオフセット位置とに切換えるY軸方向ストッパ位置切換装置と、
前記基板の前記2辺に対向する2辺部を押圧して前記基板を前記X軸方向ストッパおよび前記Y軸方向ストッパに当接させる基板駆動装置とを、
具備したことを特徴とする基板位置決め装置。
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