JP2006130864A - 液体吐出方式による立体造形物の造形方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の立体造形物の造形方法は、吐出ヘッド20のノズル25からゲル化剤が添加された液状体12を柱状に吐出させ基板W上に着弾させて第1層13を形成する第1層形成工程と、第1層13に対応する位置で繰り返し液状体12を同様にして着弾させて第2層14以降を積層する積層工程とを備えた。
【選択図】 図6
Description
本発明の実施形態は、立体造形物を基板上に造形する造形方法であり、機能性材料としての導電物質を溶媒に分散させゲル化剤が添加された液状体を用い、基板上に導電性を有する立体造形物を造形する造形方法および造形装置としての液体吐出装置を例に説明する。
本実施形態は、基板W上に複数層の金属配線を形成し、複数層の金属配線間を導通させる層間導通部を第1の実施形態に示した造形方法を用いて形成する多層配線基板の製造方法を示すものである。
本実施形態は、Spindt型FED(Field Emission Display)の電子放出部の製造方法を示すものである。
Claims (13)
- 吐出ヘッドのノズルから液状体を基板に向けて柱状に吐出させ前記基板上に立体造形物を形成する造形方法であって、
前記液状体は、前記ノズルから吐出された後に固化するように原料が調合されたものであり、
前記吐出ヘッドの前記ノズルから前記液状体を柱状に吐出させ前記基板上に着弾させて第1層を形成する第1層形成工程と、
前記第1層に対応する位置で前記吐出ヘッドの前記ノズルから繰り返し前記液状体を柱状に吐出させ、前記第1層上に第2層以降の層を積層する積層工程とを備えたことを特徴とする造形方法。 - 前記液状体は、ゲル化剤が添加されたものであることを特徴とする請求項1に記載の造形方法。
- 前記液状体は、前記吐出ヘッドの前記ノズルから吐出され前記基板上に着弾したときにゲル化するように前記ゲル化剤の分子量および前記液状体の総量に対する前記ゲル化剤の添加濃度が調整されていることを特徴とする請求項2に記載の造形方法。
- 前記液状体は、主成分が水からなる溶媒に機能性材料を溶解または分散させたものであり、添加される前記ゲル化剤は、水溶性の高分子材料からなることを特徴とする請求項2または3に記載の造形方法。
- 前記液状体は、Au、Pt、Ag、Cu、Ni、Cr、Rh、Pd、Zn、Co、Mo、Ru、W、Os、Ir、Fe、Mn、Ge、Sn、Sb、GaおよびInから選ばれた1種以上からなる金属、合金、金属酸化物からなる微粒子分散液または溶液であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記第1層形成工程と前記積層工程は、前記基板上に着弾した前記液状体をゲル化させるゲル化工程を含むことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記ゲル化工程では、前記基板上に着弾した前記液状体を乾燥させることによりゲル化させることを特徴とする請求項6に記載の造形方法。
- 前記ゲル化工程では、前記吐出ヘッドと前記基板との間に気体を流すことによって前記基板上に着弾した前記液状体を乾燥させてゲル化させることを特徴とする請求項7に記載の造形方法。
- 前記ゲル化工程では、前記基板を加温することによって前記基板上に着弾した前記液状体を乾燥させてゲル化させることを特徴とする請求項7に記載の造形方法。
- 前記ゲル化工程では、前記吐出ヘッドと前記基板との間に気体を流すと共に前記基板を加温することによって前記基板上に着弾した前記液状体を乾燥させてゲル化させることを特徴とする請求項7に記載の造形方法。
- 前記積層工程では、前記基板上の前記第1層上に前記液状体を着弾させて前記第2層以降の層を積層する際に、前記吐出ヘッドと前記基板との間のギャップを徐々に大きくして前記吐出ヘッドの前記ノズルから前記液状体を柱状に吐出させて着弾させることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記基板には、前記液状体が着弾する面側に前記液状体に対して撥液性を有するように表面処理が施されていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一項に記載の造形方法。
- 前記基板には、前記液状体が着弾する面側に前記液状体に対して親液性を有するように表面処理が施されていることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一項に記載の造形方法。
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