JP2006119601A - 光変調素子及びそれを利用した光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 入射光の位相分布を変調する光変調素子であって、前記入射光に3種類以上の位相差を与える要素を有し、前記要素は、変位可能な光反射帯を3つ以上含んでおり、前記要素を含む画素を複数有することを特徴とする光変調素子を提供する。
【選択図】 図1
Description
オプティックス・レターズ、17号、1992年、688−690頁(Optics Letters, vol. 17, pp.688−690(1992))
即ち、隣り合うリボン123は位相が(360/n)度だけ異なっており、0度と360度は等価なものとしている。本実施例ではaを0としたが、以下に詳細に述べるようにaは0である必要はない。
このとき、隣り合うピクセルにおいて、m周期目のl番目のリボンが反射光に与える位相PD3は次式のようになる。(a―b)は隣り合うピクセル間で与えたい位相差である。
100A 表示装置(光学装置)
110 照明装置
120 光変調素子(GLV)
121 光反射帯(リボン)
122 要素
123 画素(ピクセル)
Claims (14)
- 入射光の位相分布を変調する光変調素子であって、
前記入射光に3種類以上の位相差を与える要素を有し、
前記要素は、変位可能な光反射帯を3つ以上含んでおり、
前記要素を含む画素を複数有することを特徴とする光変調素子。 - 前記位相差は、前記複数の光反射帯が整列する方向に形成される、0度、90度、180度、270度であることを特徴とする請求項1記載の光変調素子。
- 前記位相差は、前記複数の光反射帯が整列する方向に形成される、0度、120度、240度であることを特徴とする請求項1記載の光変調素子。
- 前記位相差の種類の数を3以上の自然数nとすると、各画素は、(360/n)度ではない前記位相差を形成する隣接する2つの前記光反射帯を含むことを特徴とする請求項1記載の光変調素子。
- (360/n)度ではない前記位相差は、0又は(360/n)度の自然数倍であることを特徴とする請求項4記載の光変調素子。
- 前記位相差は、前記複数の光反射帯が整列する方向に形成される、0度、180度、180度、270度であることを特徴とする請求項4記載の光変調素子。
- 前記複数の光反射帯が所定の周期を形成するように複数の前記要素が整列されていることを特徴とする請求項1記載の光変調素子。
- 前記複数の光反射帯が所定の周期を形成するように3つ以上の前記要素が整列されていることを特徴とする請求項1記載の光変調素子。
- 隣接する2つの画素における前記複数の光反射帯の配列は前記複数の光反射帯が整列している方向に互いにずれていることを特徴とする請求項1記載の光変調素子。
- 請求項1乃至9のいずれか一項記載の光変調素子と、
被露光体上に前記光変調素子のパターンを投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。 - 前記光変調素子の前記複数の反射帯が整列している方向に対して斜め方向に、前記光変調素子を照明する照明光学系を更に有することを特徴とする請求項10記載の露光装置。
- 前記投影光学系には前記光変調素子が発生する一の次数の回折光が入射することを特徴とした請求項10記載の光学装置。
- 請求項1乃至9のいずれか一項記載の光変調素子と、
被投射面上に前記光変調素子のパターンを投射する投射手段とを有することを特徴とする投射表示装置。 - 請求項10記載の露光装置を利用して前記被露光体を露光するステップと、
前記露光された前記被露光体を現像するステップとを有するデバイス製造方法。
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