JP2006102583A - 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 - Google Patents
液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006102583A JP2006102583A JP2004289905A JP2004289905A JP2006102583A JP 2006102583 A JP2006102583 A JP 2006102583A JP 2004289905 A JP2004289905 A JP 2004289905A JP 2004289905 A JP2004289905 A JP 2004289905A JP 2006102583 A JP2006102583 A JP 2006102583A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- nozzle
- droplet discharge
- liquid material
- rows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims abstract description 131
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 95
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 14
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 37
- 238000003491 array Methods 0.000 description 23
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 9
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 3
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 3
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003466 anti-cipated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- -1 silver halide Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
- B41J2/2103—Features not dealing with the colouring process per se, e.g. construction of printers or heads, driving circuit adaptations
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/485—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by the process of building-up characters or image elements applicable to two or more kinds of printing or marking processes
- B41J2/505—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by the process of building-up characters or image elements applicable to two or more kinds of printing or marking processes from an assembly of identical printing elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J25/00—Actions or mechanisms not otherwise provided for
- B41J25/001—Mechanisms for bodily moving print heads or carriages parallel to the paper surface
- B41J25/003—Mechanisms for bodily moving print heads or carriages parallel to the paper surface for changing the angle between a print element array axis and the printing line, e.g. for dot density changes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
- B41J3/54—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed with two or more sets of type or printing elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/09—Ink jet technology used for manufacturing optical filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、画素形成用の液状材料を液滴として吐出するノズル列を有する液滴吐出ヘッドが各色の液状材料ごとに複数個ずつ設置されたヘッドユニット103を有している。ヘッドユニット103は、同色の液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドがノズル列に直交する方向から見てそれらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するように配置されてなるヘッド列を各色の液状材料についてそれぞれ有し、各色の液状材料についてのヘッド列により形成される複数の長尺ノズル列は、ノズル列に直交する方向から見て、ノズル列の継ぎ目の位置が各色のヘッド列間で一致しないようにして互いに重なって配置されている。
【選択図】図8
Description
パネルを製造する液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、基板を保持するステージとを相対的に走査しながら、液滴吐出ヘッドのノズルから画素形成用の液状材料を液滴として吐出して、基板上の多数の画素へ付与する。
本発明の液滴吐出装置は、液状材料を液滴として吐出する複数のノズルが直線的に並んだノズル列を有する液滴吐出ヘッドが各色の液状材料ごとに複数個ずつ設置されたヘッドユニットと、
基体を保持するステージと、
前記ステージと前記ヘッドユニットとを相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有し、
前記移動手段の作動により前記基体と前記ヘッドユニットとを前記ノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した前記液状材料を前記基体上へ付与する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドユニットは、同色の液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドがノズル列に直交する方向から見てそれらのノズル列が連続して配置されてなる長尺ノズル列として機能するように配置されてなるヘッド列を各色の液状材料についてそれぞれ有し、
各色の液状材料についてのヘッド列により形成される複数の前記長尺ノズル列は、ノズル列に直交する方向から見て、ノズル列の継ぎ目の位置が各色のヘッド列間で一致しないようにして、互いに重なって配置されていることを特徴とする。
さらに、各色のヘッド列間でノズル列の継ぎ目の位置が一致しないように配置したことにより、ノズル列の継ぎ目に起因する筋ムラが生じた場合であっても、各色の吐出領域に生じる筋ムラが重ならずにパネルの異なる位置に分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
これにより、吐出量を精度良くコントロールするのが困難な、ノズル列の両端付近のノズルを使用することなく、それ以外の、吐出量の精確な制御が可能なノズルを用いて液状材料を吐出するので、各吐出領域に付与する液状材料の量をより均一化することができ、よって、製造されるパネルに有害な色ムラが発生するのをより確実に防止することができる。
これにより、各色の吐出領域に生じる筋ムラを規則的に分散させることができ、観察者に対し自然に感じられるので、筋ムラをさらに目立たなくさせることができる。
本発明のパネルの製造方法は、液滴吐出ヘッドが各色の液状材料ごとに複数個ずつ設置されたヘッドユニットと、基体とを、前記液滴吐出ヘッドに形成されたノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した液状材料を前記基体上へ付与する工程を有するパネルの製造方法であって、
前記ヘッドユニットは、同色の液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドがノズル列に直交する方向から見てそれらのノズル列が連続して配置されてなる長尺ノズル列として機能するように配置されてなるヘッド列を各色の液状材料についてそれぞれ有し、各色の液状材料についてのヘッド列により形成される複数の前記長尺ノズル列は、ノズル列に直交する方向から見て、ノズル列の継ぎ目の位置が各色のヘッド列間で一致しないようにして、互いに重なって配置されていることを特徴とする。
このようなパネルの製造方法によれば、同色の液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するように配置されてなるヘッド列を各色の液状材料に対してそれぞれ設けたことにより、ヘッドユニット全体として基体に対し液状材料を吐出可能な幅を大きくすることができる。
さらに、各色のヘッド列間でノズル列の継ぎ目の位置が一致しないように配置したことにより、ノズル列の継ぎ目に起因する筋ムラが生じた場合であっても、各色の吐出領域に生じる筋ムラが重ならずにパネルの異なる位置に分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
これにより、有害な筋ムラのない液晶表示装置のカラーフィルタ基板を高い生産効率で製造することができる。
本発明のパネルの製造方法では、前記パネルは、エレクトロルミネッセンス表示装置であり、前記液状材料は、発光材料を含むものであることが好ましい。
これにより、有害な筋ムラのないエレクトロルミネッセンス表示装置を高い生産効率で製造することができる。
これにより、有害な筋ムラのない画像表示装置を高い生産効率で製造することができる。
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えることを特徴とする。
これにより、有害な筋ムラのない画像表示装置を備えた電子機器を安価に提供することができる。
本実施形態では、パネルの一例として、液晶表示装置の構成要素であるカラーフィルタ基板10を製造する場合について代表して説明する。
(液滴吐出装置の全体構成)
図1に示すように、液滴吐出装置1は、複数の液滴吐出ヘッド2をキャリッジ105に搭載してなるヘッドユニット103と、ヘッドユニット103を水平な一方向(以下、「X軸方向」と言う)に移動させるキャリッジ移動機構(移動手段)104と、後述する基体10Aを保持するステージ106と、ステージ106をX軸方向に垂直であって水平な方向(以下、「Y軸方向」と言う)に移動させるステージ移動機構(移動手段)108と、制御手段112とを備えている。
本実施形態における液状材料111は、カラーフィルタ基板10の画素のフィルタ層を形成するための顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。
キャリッジ移動機構104の作動は、制御手段112により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構104は、ヘッドユニット103をZ軸方向(鉛直方向)に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構104は、Z軸に平行な軸の回りでヘッドユニット103を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット103のZ軸回りの角度を微調整することができる。
ステージ移動機構108は、X軸方向およびZ軸方向の双方に直交するY軸方向に沿ってステージ106を移動させ、その作動は、制御手段112により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構108は、Z軸に平行な軸の回りでステージ106を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ106に載置された基体10AのZ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
なお、制御手段112の詳細な構成および機能は、後述する。
図2は、図1に示す液滴吐出装置1におけるヘッドユニット103、および基体10Aを示す平面図である。
図2に示すヘッドユニット103は、複数の液滴吐出ヘッド2がキャリッジ105に搭載された構成となっている。図2中では、キャリッジ105を仮想線(二点鎖線)で表している。また、液滴吐出ヘッド2を示す実線は、液滴吐出ヘッド2のノズル面(ノズルプレート128)の位置を示している。
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド2を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド2」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第1ヘッド21R、第2ヘッド22R、・・・」のように言う。
図3は、液滴吐出ヘッド2のノズル面(ノズルプレート128)の一部と、基体10Aの画素とを拡大して示す平面図である。なお、液滴吐出ヘッド2のノズル面は、基体10Aに対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、図3中では、見易くするために、液滴吐出ヘッド2のノズル面を実線で示す。
液滴吐出ヘッド2のノズル面には、多数のノズル(ノズル孔)25がX軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。本実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド2には、2列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されているが、本発明では、一つの液滴吐出ヘッド2が有するノズル列の数は、1列でも、3列以上でもよい。また、一つの液滴吐出ヘッド2に形成されるノズル25の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。
なお、液滴吐出ヘッド2は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料111の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。
次に、制御手段112の構成を説明する。図5に示すように、制御手段112は、入力バッファメモリ200と、記憶手段202と、処理部204と、走査駆動部206と、ヘッド駆動部208と、キャリッジ位置検出手段302と、ステージ位置検出手段303とを備えている。
ステージ位置検出手段303は、ステージ106、すなわち基体10AのY軸方向の位置(移動距離)を検出し、その検出信号を処理部204へ入力する。
キャリッジ位置検出手段302、ステージ位置検出手段303は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
さらに、処理部204は、ステージ移動機構108の作動を制御することにより、ステージ106すなわち基体10Aの移動速度を制御する。
制御手段112は、CPU、ROM、RAMを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段112の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段112は、専用の回路(ハードウェア)によって実現されてもよい。
図6(a)に示すように、ヘッド駆動部208は、1つの駆動信号生成部203と、複数のアナログスイッチASとを有する。図6(b)に示すように、駆動信号生成部203は、駆動信号DSを生成する。駆動信号DSの電位は、基準電位Lに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号DSは、吐出周期EPで繰り返される複数の吐出波形Pを含む。ここで、吐出波形Pは、ノズル25から1つの液滴を吐出するために、対応する振動子124の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号DSは、アナログスイッチASのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチASのそれぞれは、ノズル25のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチASの数とノズル25の数とは同じである。
これに対し、ヘッドユニット103の全吐出幅Wよりも、基体10AのX軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット103と基体10Aとの主走査と、キャリッジ移動機構104の作動によるヘッドユニット103のX軸方向の移動(これを「副走査」と呼ぶ)とを交互に繰り返し行うことにより、基体10Aの全体に対して液状材料111を付与することができる。
図7は、カラーフィルタ基板10の製造方法を示す断面図である。図7に示すように、基体10Aは、光透過性を有する支持基板12と、支持基板12上に形成されたブラックマトリクス14と、ブラックマトリクス14上に形成されたバンク16とを含む。ブラックマトリクス14は、遮光性を有する材料で形成されている。
なお、バンク16に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜(ブラックマトリクス14)は不要となり、バンク層は、1層のみとなる。
なお、支持基板12の材質、ブラックマトリクス14の材質、およびバンク16の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもあり、そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
次いで、基体10Aを図示しない保護膜形成装置へ搬送し、この保護膜形成装置にて、フィルタ層111FR、111FG、111FB、およびバンク16を覆う保護膜(オーバーコート)20を形成する。
フィルタ層111FR、111FG、111FB、およびバンク16を覆う保護膜20が形成された後に、乾燥装置にて保護膜20を完全に乾燥させる。さらに、図示しない硬化装置にて保護膜20を加熱して完全に硬化することで、基体10Aはカラーフィルタ基板10となる。
前述したように、ヘッドユニット103には、赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2と、緑色の液状材料111Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド2と、青色の液状材料111Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド2との、計12個の液滴吐出ヘッド2が設置されている。図8中の細長い図形は、それらの各液滴吐出ヘッド2のノズル列の位置を表している。
図8中の、各液滴吐出ヘッド2のノズル列を表す細長い図形において、両端の太く表示された不使用部分26は、上記のような使用しないノズル25がある範囲を表している。
第1ヘッド21Rと第2ヘッド22Rとは、ノズル列に直交する方向、すなわちY軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目r1の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。すなわち、Y軸方向から見た継ぎ目r1でのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。このような位置関係で配置された第1ヘッド21Rと第2ヘッド22Rとからなる列をヘッド列31Rと呼ぶ。
なお、ノズル列の継ぎ目r1では、不使用部分26を見込んで、第1ヘッド21Rのノズル列の図8中の右端部と、第2ヘッド22Rのノズル列の図8中の左端部とは、Y軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
さらに同様に、ノズル列の継ぎ目r2では、不使用部分26を見込んで、第3ヘッド23Rのノズル列の図8中の右端部と、第4ヘッド24Rのノズル列の図8中の左端部とは、Y軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置1は、一つの画素18Rについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Rの液滴を吐出することができる。
例えば、第1ヘッド21Rのノズル列と第3ヘッド23Rのノズル列とが重なり合っている図8中のR1で示す範囲によって液滴を吐出される画素18Rの場合には、図3に示すように、第1ヘッド21Rのノズル25から吐出された液滴91と、第3ヘッド23Rのノズル25から吐出された液滴92とが付与される。
なお、図3中では、ヘッド列31R(第1ヘッド21R)のノズル25の位置と、ヘッド列32R(第3ヘッド23R)のノズル25の位置とがY軸方向から見て一致しないようにずらして配置されているが、それらが一致するように配置してもよい。
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル25によって液状材料111Rを付与された画素18Rは、他の位置にある画素18Rに対する色ムラが出易い。その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル25はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。このようなノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板10においては、Y軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。
これに対し、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Rにおけるノズル列の継ぎ目r1の位置と、ヘッド列32Rにおけるノズル列の継ぎ目r2の位置とがY軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板10において筋ムラが継ぎ目r1の位置と継ぎ目r2の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
緑色の液状材料111Gを吐出する第1ヘッド21G〜第4ヘッド24Gの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係は、前述した赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
同様にして、第3ヘッド23Gと第4ヘッド24Gとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目g2の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第3ヘッド23Gと第4ヘッド24Gとからなる列をヘッド列32Gと呼ぶ。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置1は、一つの画素18Gについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Gの液滴を吐出することができる。
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル25によって液状材料111Gを付与された画素18Gは、他の位置にある画素18Gに対する色ムラが出易い。その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル25はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。ノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板10においては、Y軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。
これに対し、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Gにおけるノズル列の継ぎ目g1の位置と、ヘッド列32Gにおけるノズル列の継ぎ目g2の位置とがY軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板10において筋ムラが継ぎ目g1の位置と継ぎ目g2の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
青色の液状材料111Bを吐出する第1ヘッド21B〜第4ヘッド24Bの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係は、前述した赤色の液状材料111Rを吐出する第1ヘッド21R〜第4ヘッド24Rの4個の液滴吐出ヘッド2の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
同様にして、第3ヘッド23Bと第4ヘッド24Bとは、Y軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目b2の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第3ヘッド23Bと第4ヘッド24Bとからなる列をヘッド列32Bと呼ぶ。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置1は、一つの画素18Bについて、複数(本実施形態では2個)の異なる液滴吐出ヘッド2のノズル25から液状材料111Bの液滴を吐出することができる。
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル25によって液状材料111Bを付与された画素18Bは、他の位置にある画素18Bに対する色ムラが出易い。その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル25はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。ノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板10においては、Y軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。
これに対し、液滴吐出装置1では、ヘッド列31Bにおけるノズル列の継ぎ目b1の位置と、ヘッド列32Bにおけるノズル列の継ぎ目b2の位置とがY軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板10において筋ムラが継ぎ目b1の位置と継ぎ目b2の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
特に、本実施形態では、ノズル列の継ぎ目r2、g2、b2、r1、g1、b1の位置がY軸方向から見て等間隔に位置するので、各筋ムラを規則的に分散させることができ、筋ムラを極めて目立たなくさせることができる。
図9に示すヘッドユニット103’には、12個の液滴吐出ヘッド2が集合してなる4つのヘッド群51、52、53、54が設置され、計48個の液滴吐出ヘッド2が搭載されている。各ヘッド群51、52、53、54の12個の液滴吐出ヘッド2は、前述したヘッドユニット103と同様の配置(図8参照)とされている。なお、図9中では、簡略化のため、各ヘッド群51、52、53、54を単なる長方形の図形で表している。
同様に、ヘッド群53とヘッド群54とは、それらのノズル列(全吐出幅W)がY軸方向から見て継ぎ目j2でつながって機能するように配置されたヘッド群列62を構成する。そして、ヘッド群列61とヘッド群列62とは、Y軸方向から見て継ぎ目j1の位置と継ぎ目j2の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
さらに、ヘッド群列61におけるヘッド群同士の継ぎ目j1の位置と、ヘッド群列62におけるヘッド群同士の継ぎ目j2の位置とがY軸方向から見て一致しないように配置したことにより、製造されたカラーフィルタ基板10において、継ぎ目j1に起因して発生する筋ムラと、継ぎ目j2に起因して発生する筋ムラとを別々の位置に分散させることができるので、筋ムラが目立つのをより確実に防止することができる。
図10は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置30の製造方法を示す断面図である。以下、本発明により有機エレクトロルミネッセンス表示装置30を製造する場合について説明するが、前述したカラーフィルタ基板10を製造する場合との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
具体的には、基体30Aは、支持基板32と、支持基板32上に形成された回路素子層34と、回路素子層34上に形成された複数の画素電極36と、複数の画素電極36の間に形成されたバンク40とを有している。支持基板32は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極36のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ITO(Indium-Tin Oxide)電極である。また、複数の画素電極36は、回路素子層34上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素を規定する。そして、バンク40は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極36のそれぞれを囲む。また、バンク40は、回路素子層34上に形成された無機物バンク40Aと、無機物バンク40A上に位置する有機物バンク40Bとからなる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、この基体30Aを親液化する。この処理によって、画素電極36とバンク40とで規定された画素38R、38G、38Bにおける画素電極36の表面、無機物バンク40Aの表面、および有機物バンク40Bの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体30Aに対して、4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク40Bの表面がフッ化処理(撥液性に処理)されて、このことで有機物バンク40Bの表面が撥液性を呈するようになる。なお、4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極36の表面および無機物バンク40Aの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。
また、表面処理が施された複数の画素電極36のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層37R、37G、37Bを形成してもよい。正孔輸送層37R、37G、37Bが、画素電極36と、後述の発光層211FR、211FG、211FBとの間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。
次に、発光層211FR、211FG、211FB、およびバンク40を覆うように対向電極46を設ける。対向電極46は陰極として機能する。
有機エレクトロルミネッセンス表示装置30において、発光層211FR、211FG、211FBから発光した光は、画素電極36と、回路素子層34と、支持基板32と、を介して射出する。このように回路素子層34を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
前述したような方法で製造されたカラーフィルタ基板10を備えた液晶表示装置や、前述したような方法で製造されたエレクトロルミネッセンス表示装置等の画像表示装置1000は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図11は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ1100においては、表示ユニット1106が画像表示装置1000を備えている。
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206とともに、画像表示装置1000を表示部に備えている。
図13は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、画像表示装置1000が表示部に設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図示の構成では裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、回路基板1308のメモリに転送・格納される。
以上、本発明の液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
Claims (8)
- 液状材料を液滴として吐出する複数のノズルが直線的に並んだノズル列を有する液滴吐出ヘッドが各色の液状材料ごとに複数個ずつ設置されたヘッドユニットと、
基体を保持するステージと、
前記ステージと前記ヘッドユニットとを相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有し、
前記移動手段の作動により前記基体と前記ヘッドユニットとを前記ノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した前記液状材料を前記基体上へ付与する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドユニットは、同色の液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドがノズル列に直交する方向から見てそれらのノズル列が連続して配置されてなる長尺ノズル列として機能するように配置されてなるヘッド列を各色の液状材料についてそれぞれ有し、
各色の液状材料についてのヘッド列により形成される複数の前記長尺ノズル列は、ノズル列に直交する方向から見て、ノズル列の継ぎ目の位置が各色のヘッド列間で一致しないようにして、互いに重なって配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記液滴吐出ヘッドのノズル列の両端付近のノズルは、使用されないものであり、前記ノズル列の継ぎ目では、該使用されないノズルの分を見込んで、ノズル列に直交する方向から見て両ノズル列の端部付近の一部が互いに重なるように配置されている請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 各色の液状材料についてのヘッド列におけるノズル列の継ぎ目の位置がノズル列に直交する方向から見て等間隔に位置する請求項1または2に記載の液滴吐出装置。
- 液滴吐出ヘッドが各色の液状材料ごとに複数個ずつ設置されたヘッドユニットと、基体とを、前記液滴吐出ヘッドに形成されたノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した液状材料を前記基体上へ付与する工程を有するパネルの製造方法であって、
前記ヘッドユニットは、同色の液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドがノズル列に直交する方向から見てそれらのノズル列が連続して配置されてなる長尺ノズル列として機能するように配置されてなるヘッド列を各色の液状材料についてそれぞれ有し、各色の液状材料についてのヘッド列により形成される複数の前記長尺ノズル列は、ノズル列に直交する方向から見て、ノズル列の継ぎ目の位置が各色のヘッド列間で一致しないようにして、互いに重なって配置されていることを特徴とするパネルの製造方法。 - 前記パネルは、液晶表示装置のカラーフィルタ基板であり、前記液状材料は、フィルタ層を形成するためのインクである請求項4に記載のパネルの製造方法。
- 前記パネルは、エレクトロルミネッセンス表示装置であり、前記液状材料は、発光材料を含むものである請求項4に記載のパネルの製造方法。
- 請求項4ないし6のいずれかに記載のパネルの製造方法により製造されたパネルを備えることを特徴とする画像表示装置。
- 請求項7に記載の画像表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004289905A JP3925528B2 (ja) | 2004-10-01 | 2004-10-01 | 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 |
US11/229,573 US7950344B2 (en) | 2004-10-01 | 2005-09-20 | Head unit, a droplet ejection apparatus, a method of manufacturing a panel from a base, an image display apparatus and an electronic apparatus |
TW094133424A TWI271319B (en) | 2004-10-01 | 2005-09-26 | A head unit, a droplet ejection apparatus, a method of manufacturing a panel from a base, an image display apparatus and an electronic apparatus |
CNB2005101069946A CN100462748C (zh) | 2004-10-01 | 2005-09-29 | 头单元、液滴喷射装置、由基材制造面板的方法、图像显示装置和电子装置 |
CN2009100020216A CN101450550B (zh) | 2004-10-01 | 2005-09-29 | 头单元、液滴喷射装置、由基材制造面板的方法、图像显示装置和电子装置 |
EP05021433A EP1642725B1 (en) | 2004-10-01 | 2005-09-30 | A head unit, a droplet ejection apparatus, a method of using the same |
KR1020050092176A KR100648779B1 (ko) | 2004-10-01 | 2005-09-30 | 헤드 유닛, 액적 토출 장치, 패널 제조 방법, 화상 표시장치 및 전자기기 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004289905A JP3925528B2 (ja) | 2004-10-01 | 2004-10-01 | 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006340588A Division JP4710819B2 (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | 液滴吐出装置およびパネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006102583A true JP2006102583A (ja) | 2006-04-20 |
JP3925528B2 JP3925528B2 (ja) | 2007-06-06 |
Family
ID=35229862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004289905A Active JP3925528B2 (ja) | 2004-10-01 | 2004-10-01 | 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7950344B2 (ja) |
EP (1) | EP1642725B1 (ja) |
JP (1) | JP3925528B2 (ja) |
KR (1) | KR100648779B1 (ja) |
CN (2) | CN100462748C (ja) |
TW (1) | TWI271319B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008209701A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成装置及びパターン形成方法、並びにカラーフィルタ及び有機機能性素子の製造方法 |
JP2008259982A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Toppan Printing Co Ltd | 吐出パターン生成装置および吐出パターン生成方法およびカラーフィルタの製造方法および有機機能性素子の製造方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3925525B2 (ja) * | 2004-10-01 | 2007-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 |
TWI356938B (en) | 2007-07-31 | 2012-01-21 | Au Optronics Corp | Liquid crystal display panel, ink-jetting apparatu |
TWI474377B (zh) * | 2010-03-25 | 2015-02-21 | Winsky Technology Ltd | A method of patterning a substrate and a method of manufacturing a capacitive touch panel |
KR101485980B1 (ko) * | 2014-03-03 | 2015-01-27 | 주식회사 기가레인 | 코팅 장치 |
CN103978788B (zh) * | 2014-05-22 | 2015-12-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光栅打印设备及光栅制作方法 |
US9707584B2 (en) | 2014-07-09 | 2017-07-18 | Nordson Corporation | Dual applicator fluid dispensing methods and systems |
CN106142571B (zh) * | 2016-08-22 | 2017-10-24 | 吉林大学 | 无级变速多材料超声微滴喷射增材制造装置及方法 |
CN106113509B (zh) * | 2016-08-22 | 2017-09-29 | 吉林大学 | 多向超声微滴喷射光固化增材制造装置及方法 |
EP3887169A2 (en) * | 2018-11-30 | 2021-10-06 | NIKE Innovate C.V. | Systems and methods of printing on flexible materials |
CN110642219A (zh) * | 2019-09-18 | 2020-01-03 | 西安交通大学 | 一种梁膜式pzt薄膜压电阵列打印头及其制造方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0499688A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-03-31 | Kanebo Ltd | インクジェットプリント装置 |
JPH0825635A (ja) * | 1994-07-21 | 1996-01-30 | Canon Inc | インクジェットプリント装置およびプリントヘッドユニット |
JP2000289233A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-17 | Casio Comput Co Ltd | 印字ヘッド |
JP2002096462A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-04-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 記録ヘッド |
JP2002292859A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ |
JP2003305853A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-28 | Canon Inc | 記録ヘッド、および、それを備える記録装置 |
JP2004174985A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Konica Minolta Holdings Inc | インクジェットプリンタ |
JP2004230660A (ja) * | 2002-01-30 | 2004-08-19 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド、吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置 |
JP2004255335A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイ、並びに電子機器 |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5975205A (ja) | 1982-10-25 | 1984-04-27 | Seiko Epson Corp | カラ−フイルタの製造方法 |
JPH08174808A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-09 | Canon Inc | 記録ヘッド、記録方法、および記録装置 |
JP2887836B2 (ja) | 1995-04-27 | 1999-05-10 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェットプリントヘッドおよび画像記録装置 |
JP3111024B2 (ja) | 1995-07-19 | 2000-11-20 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法 |
JP3173358B2 (ja) | 1996-02-22 | 2001-06-04 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェットプリンタおよびインクジェットプリントヘッド |
IL117278A (en) * | 1996-02-27 | 2000-02-17 | Idanit Tech Ltd | Method for operating an ink jet printer |
JP3320317B2 (ja) | 1996-09-03 | 2002-09-03 | キヤノン株式会社 | インクジェットプリント装置およびプリント方法 |
JPH10166574A (ja) | 1996-12-10 | 1998-06-23 | Brother Ind Ltd | インクジェットラインヘッド |
JPH11268398A (ja) | 1998-03-26 | 1999-10-05 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録方法 |
US6481820B1 (en) | 1998-05-25 | 2002-11-19 | Konica Corporation | Ink jet printer which can carry out high speed image formation and which can avoid image failure due to a defective nozzle |
JP2000071482A (ja) | 1998-08-28 | 2000-03-07 | Toshiba Tec Corp | カラーインクジェットプリンタ |
ATE383950T1 (de) | 1999-07-08 | 2008-02-15 | Seiko Epson Corp | Druckvorrichtung, druckverfahren und aufzeichnungsmedium |
US6637865B1 (en) | 1999-07-30 | 2003-10-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head, driving method therefor, and cartridge, and image forming apparatus |
US6394579B1 (en) | 1999-08-24 | 2002-05-28 | Hewlett-Packard Company | Fluid ejecting device with varied nozzle spacing |
JP4345046B2 (ja) * | 1999-12-06 | 2009-10-14 | 富士フイルム株式会社 | インクジェットプリンタ及び画像記録方法 |
US6486937B2 (en) * | 1999-12-30 | 2002-11-26 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for printing large format lenticular images |
US6467870B2 (en) | 2000-07-21 | 2002-10-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Recording head |
JP3832215B2 (ja) | 2000-09-12 | 2006-10-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録装置 |
JP4205849B2 (ja) | 2000-11-01 | 2009-01-07 | 東芝テック株式会社 | カラーインクジェットヘッド |
JP3953776B2 (ja) | 2001-01-15 | 2007-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 材料の吐出装置、及び吐出方法、カラーフィルタの製造装置及び製造方法、液晶装置の製造装置及び製造方法、el装置の製造装置及び製造方法 |
JP4205877B2 (ja) * | 2001-05-16 | 2009-01-07 | 東芝テック株式会社 | インクジェット記録装置 |
JP4462927B2 (ja) | 2001-06-20 | 2010-05-12 | ソニー株式会社 | 液体吐出装置及び液体吐出方法 |
JP3599047B2 (ja) | 2001-06-25 | 2004-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタおよびその製造方法、カラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板、液滴材料着弾精度の測定方法、電気光学装置、ならびに電子機器 |
JP2003084123A (ja) | 2001-06-29 | 2003-03-19 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ基板、カラーフィルタ基板の製造方法、液晶表示装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 |
CN1232839C (zh) | 2001-09-28 | 2005-12-21 | 兄弟工业株式会社 | 液滴图案形成装置 |
US6874860B2 (en) | 2001-10-25 | 2005-04-05 | Vutek, Incorporated | Multi-speed, multi-resolution print heads |
JP3829710B2 (ja) | 2001-12-17 | 2006-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法、液晶装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
JP3988645B2 (ja) | 2002-03-06 | 2007-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 吐出方法、吐出装置、カラーフィルタの製造方法、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびプラズマディスプレイパネルの製造方法 |
US6773086B2 (en) | 2002-08-02 | 2004-08-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Misalignment reduction of staggered fluid ejector assemblies along axis along which assemblies are positioned |
JP2004188756A (ja) | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 記録装置 |
JP3700702B2 (ja) | 2003-01-06 | 2005-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
JP2004243267A (ja) | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
US6966627B2 (en) | 2003-06-27 | 2005-11-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead orientation |
JP3925526B2 (ja) | 2004-10-01 | 2007-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 |
JP3925525B2 (ja) * | 2004-10-01 | 2007-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 |
-
2004
- 2004-10-01 JP JP2004289905A patent/JP3925528B2/ja active Active
-
2005
- 2005-09-20 US US11/229,573 patent/US7950344B2/en active Active
- 2005-09-26 TW TW094133424A patent/TWI271319B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-09-29 CN CNB2005101069946A patent/CN100462748C/zh active Active
- 2005-09-29 CN CN2009100020216A patent/CN101450550B/zh active Active
- 2005-09-30 EP EP05021433A patent/EP1642725B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-30 KR KR1020050092176A patent/KR100648779B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0499688A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-03-31 | Kanebo Ltd | インクジェットプリント装置 |
JPH0825635A (ja) * | 1994-07-21 | 1996-01-30 | Canon Inc | インクジェットプリント装置およびプリントヘッドユニット |
JP2000289233A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-17 | Casio Comput Co Ltd | 印字ヘッド |
JP2002096462A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-04-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 記録ヘッド |
JP2002292859A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ |
JP2004230660A (ja) * | 2002-01-30 | 2004-08-19 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド、吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置 |
JP2003305853A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-28 | Canon Inc | 記録ヘッド、および、それを備える記録装置 |
JP2004174985A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Konica Minolta Holdings Inc | インクジェットプリンタ |
JP2004255335A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイ、並びに電子機器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008209701A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成装置及びパターン形成方法、並びにカラーフィルタ及び有機機能性素子の製造方法 |
JP2008259982A (ja) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Toppan Printing Co Ltd | 吐出パターン生成装置および吐出パターン生成方法およびカラーフィルタの製造方法および有機機能性素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100648779B1 (ko) | 2007-05-10 |
EP1642725A2 (en) | 2006-04-05 |
EP1642725A3 (en) | 2007-12-05 |
US7950344B2 (en) | 2011-05-31 |
EP1642725B1 (en) | 2011-06-08 |
TWI271319B (en) | 2007-01-21 |
KR20060051954A (ko) | 2006-05-19 |
CN101450550B (zh) | 2011-12-14 |
CN1755403A (zh) | 2006-04-05 |
CN101450550A (zh) | 2009-06-10 |
JP3925528B2 (ja) | 2007-06-06 |
TW200624270A (en) | 2006-07-16 |
CN100462748C (zh) | 2009-02-18 |
US20060073269A1 (en) | 2006-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100654506B1 (ko) | 헤드 유닛, 액적 토출 장치, 패널 제조 방법, 화상 표시장치 및 전자기기 | |
KR100648779B1 (ko) | 헤드 유닛, 액적 토출 장치, 패널 제조 방법, 화상 표시장치 및 전자기기 | |
KR100764807B1 (ko) | 색요소 부착 기판, 성막 방법, 전기 광학 장치 및 전자기기 | |
KR100648777B1 (ko) | 액적 토출 장치, 패널 제조 방법, 화상 표시 장치 및전자기기 | |
KR100644014B1 (ko) | 헤드 유닛, 액적 토출 장치, 패널 제조 방법, 화상 표시장치 및 전자기기 | |
JP4617897B2 (ja) | 描画装置および色要素付き基板の製造方法 | |
KR100737051B1 (ko) | 색요소막 부착 기판의 제조 방법, 색요소막 부착 기판,전기 광학 장치, 및 전자 기기 | |
JP4710819B2 (ja) | 液滴吐出装置およびパネルの製造方法 | |
JP4710818B2 (ja) | 液滴吐出装置およびパネルの製造方法 | |
JP4710816B2 (ja) | 液滴吐出装置およびパネルの製造方法 | |
JP4973706B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP4710817B2 (ja) | 液滴吐出装置およびパネルの製造方法 | |
JP4973705B2 (ja) | ヘッドユニット及び液滴吐出装置 | |
JP2006175307A (ja) | 成膜方法、色要素膜付き基板、電気光学装置、および電子機器 | |
JP2006058710A (ja) | カラーフィルタ基板、カラーフィルタ基板の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2006035075A (ja) | 液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
JP2015092265A (ja) | 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 | |
JP2009288797A (ja) | ヘッドユニット及び液滴吐出装置 | |
JP2013238869A (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2009279587A (ja) | ヘッドユニット及び液滴吐出装置 | |
JP2006051438A (ja) | 画素形成方法、液滴吐出装置、画像表示装置および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060512 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20060512 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20060608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060612 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3925528 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100309 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120309 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120309 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130309 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140309 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |