KR101485980B1 - 코팅 장치 - Google Patents

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KR101485980B1
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이철연
이남식
박찬수
구황섭
김현제
정희석
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주식회사 기가레인
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Abstract

본 발명에 따른 코팅 장치는 기판 상에 코팅제를 분사하는 복수의 노즐이 마련된 분사 유닛을 구비하는 코팅기 및 코팅기를 X축 및 Y축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기를 포함하고, 복수의 노즐은 X 축 및 Y축 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며, 상기 X 축 및 Y 축 중 어느 하나의 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 다른 축 방향의 위치가 서로 상이하다.
따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 분사 유닛을 구성하는 복수의 노즐 배치에 있어서, X 축 및 Y 축 중 어느 하나의 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 다른 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치한다. 이에, 복수의 노즐 각각으로부터 코팅제가 배출되어 기판 상에 도팅(dotting) 될 때, 도팅된 복수의 방울이 종래와 같이 중첩되지 않는다.

Description

코팅 장치{Coating Apparatus}
본 발명은 코팅 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 코팅막 품질을 향상시킬 수 있는 코팅 장치에 관한 것이다.
휴대폰, MP3, 디스플레이 장치 등의 전자 제품의 커버 글레스(cover glass) 또는 표면 윈도우(window)에는 지문방지막과 같은 기능성 코팅막이 코팅된다. 여기서, 지문방지막을 형성하는 코팅제로는 불소 계열의 물질이 주로 사용된다.
상술한 커버 글레스(cover glass) 또는 표면 윈도우(window)와 같은 피처리물 즉, 기판 상에 기능성 코팅막을 형성하는 코팅 장치는 고형분의 불소 코팅제를 분사하여 코팅하는 건식 코팅 방법, 액상 상태의 불소 코팅제를 분사하는 습식 코팅 방법이 있다.
건식 코팅 장치는 고형분의 불소 코팅제를 진공 분위기의 화학기상증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 방법으로 기판 표면에 증착하는 방법이다. 화학기상증착 방법은 진공 챔버 내에서 이루어지기 때문에, 공정이 용이하지 못한 한계가 있어 생산성이 저하되는 문제가 있다.
습식 코팅 방법은 건식 방법에 비해 공정 단가가 싸고, 대면적 기판에 대한 양산이 용이하여, 건식 방법에 비해 가격 경쟁력 및 생산성이 좋은 장점이 있다. 습식 코팅 장치는 한국공개특허 2012-0120031에도 개시된 바와 같이,
기판이 안치된 트레이를 코팅 공정 진행 방향으로 이송시키는 컨베이어, 기판의 이송 진행 경로 상에 설치된 플라즈마 처리기, 코팅제 분사부 및 오븐을 포함한다. 이에, 컨베이어에 의해 기판 공정 진행 방향으로 이송되면서, 플라즈마 처리기 하측을 통과하면서 플라즈마 표면 처리된 후, 코팅제 분사부 하측을 통과하면서 표면에 코팅제가 분사된다. 이후, 컨베이어에 의해 오븐으로 이송되어 건조 과정을 거친다.
한편, 습식 코팅 방법에서는 상술한 바와 같이 기판이 컨베이어에 의해 이송되면서 코팅이 이루어진다. 그런데 컨베이어는 일정 등속으로 기판을 이송시키기 때문에, 공정 조건 변경 또는 공전 구간 별로 속도 제어가 힘든 문제가 있다. 또한, 컨베이어는 그 구동 동작에 의해 자체적으로 진동이 발생되며, 컨베이어의 진동은 기판으로 전달된다. 이는 기판 상에 불균일하게 코팅제를 도포하게 되는 요인이 되며, 이에 따라 코팅막의 품질이 떨어지는 문제가 발생된다.
또한, 코팅 분사부는 복수의 노즐을 구비하는데, 상기 복수의 노즐(512)은 도 15에 도시된 바와 같이 일 방향으로 나열되도록 이격 배치된다. 보다 구체적으로 설명하면, 복수의 노즐(512)은 X 축 방향으로 나열 배치되는데, 이때 복수의 노즐(512)의 Y 축 방향에서의 위치가 동일하다. 그리고, 복수의 노즐(512)로부터 코팅제를 기판 상에 도팅(dotting) 시켰을 때, 기판 상에 도팅된 방울(D)은 대략 반구 형상이다. 이때, 반구 형상의 도팅 방울(D)은 중심부로부터 외각 가장자리로 갈수록 그 높이가 낮아지는 형상으로 도팅된다. 이러한 상태로 기판(S) 상에 코팅을 실시하면, 불균일한 두께로 코팅막이 형성되는 문제가 있다. 이에, 종래에는 기판(S) 상에 균일한 두께로 코팅막을 형성하기 위하여, 도 16에 도시된 바와 같이 인접한 노즐(512) 간의 도팅 범위가 중첩되도록 복수의 노즐(512)을 배치하였다. 보다 구체적으로는 두 개의 노즐(512) 각각으로부터 도팅된 방울(D)에 있어서, 방울(D)의 가장자리가 상호 중첩되도록 노즐(512)을 배치하였다.
하지만, 이러한 경우 각 노즐(512)에서의 분사 압력은 인접한 노즐(512)로부터의 도팅에 영향을 미쳐, 코팅막이 불균일하게 형성되어 코팅막의 품질이 떨어지는 또 다른 요인이 되고 있다.
한국공개특허 2012-0120031
본 발명은 코팅막 품질을 향상시킬 수 있고, 코팅 시간을 단축시킬 수 있는 코팅 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 기판의 이송 속도 조절이 용이하며, 코팅액 도포량을 균일하게 제어할 수 있는 코팅 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 코팅 장치는 기판 상에 코팅제를 분사하는 복수의 노즐이 마련된 분사 유닛을 구비하는 코팅기; 및 상기 코팅기를 X축 및 Y축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기;를 포함하고, 상기 복수의 노즐은 X 축 및 Y축 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며, 상기 X 축 및 Y 축 중 어느 하나의 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 다른 축 방향의 위치가 서로 상이하다.
본 발명에 따른 코팅 장치는 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 공정 진행 방향으로 연장 형성된 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되고, 상기 가이드 레일을 따라 코팅 공정 진행 방향으로 이동하는 기판 이송부를 구비하는 기판 이송기; 상기 코팅 공정 진행 방향 경로 상에 설치되어, 상기 기판 상에 플라즈마 표면 처리를 실시하는 플라즈마 처리기; 및 상기 코팅 공정 진행 경로 상에서 상기 플라즈마 처리기와 이격 설치되어, 기판 상에 코팅제를 분사하는 복수의 노즐이 마련된 분사 유닛을 구비하는 코팅기;를 포함한다.
본 발명에 따른 코팅 장치는 기판 상에 코팅제를 분사하는 복수의 노즐이 마련된 분사 유닛을 구비하는 코팅기를 포함하고, X 축 및 Y 축 방향 각각으로 복수의 노즐이 나열되어 상호 이격되어 설치되며, 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 각각으로부터 형성된 도포 라인이 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향에 배치된 적어도 하나의 노즐로부터 도포된 도포 라인과 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로의 위치가 서로 상이하도록 설치된다.
기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 공정 진행 방향으로 연장 형성된 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되고, 상기 가이드 레일을 따라 코팅 공정 진행 방향으로 이동하는 기판 이송부를 구비하는 기판 이송기; 및 상기 코팅 공정 진행 방향 경로 상에 설치되어, 상기 기판 상에 플라즈마 표면 처리를 실시하는 플라즈마 처리기;를 포함하고, 상기 분사 유닛은 상기 코팅 공정 진행 경로 상에서 상기 플라즈마 처리기와 이격 설치된다.
상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 각각으로부터 형성된 도포 라인이 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향에 배치된 적어도 하나의 노즐로부터 도포된 도포 라인과 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로의 위치가 서로 상이하도록 설치된다.
상기 코팅기를 X축 및 Y축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기를 포함하고, 상기 복수의 노즐은 X 축 및 Y축 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며, 상기 X 축 및 Y 축 중 어느 하나의 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 다른 축 방향의 위치가 서로 상이하다.
상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 각각으로부터 형성된 도포 라인이 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향에 배치된 적어도 하나의 노즐로부터 도포된 도포 라인과 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로의 위치가 서로 상이하도록 설치된다.
상기 코팅기를 X축 및 Y축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기를 포함하고, 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 공정 진행 방향으로 연장 형성된 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되고, 상기 가이드 레일을 따라 코팅 공정 진행 방향으로 이동하는 기판 이송부를 구비하는 기판 이송기; 및 상기 코팅 공정 진행 방향 경로 상에 설치되어, 상기 기판 상에 플라즈마 표면 처리를 실시하는 플라즈마 처리기;를 포함하고, 상기 코팅기는 상기 코팅 공정 진행 경로 상에서 상기 플라즈마 처리기와 이격 설치된다.
상기 복수의 노즐로부터 토출되어 기판 상에 복수의 코팅제가 도팅될 때 형성된 복수의 도팅 방울이 상호 이격되도록, 상기 X 축 방향으로 나열된 상기 복수의 노즐의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치된다.
상기 분사 유닛은 X 축 방향으로 수평 이동하면서 기판 상에 코팅제를 분사하고, 상기 기판 상에는 상기 복수의 노즐 각각으로부터 토출되어 연속적으로 도팅되는 도팅 방울에 의해 형성되며, 각각이 X축 방향으로 연장되도록 도포 라인이 형성되고, 각각의 노즐로부터 도포되어 형성된 도포 라인의 일부 영역이 X 축 방향으로 이격 배치된 다른 노즐들로부터 도포되어 형성된 도포 라인들 중 적어도 어느 하나와 Y 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치된다.
상기 도포 라인의 Y 축 방향으로의 중첩 영역이 35% 내지 45%가 되도록 상기 X 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치된다.
X 축 방향의 서로 다른 위치에 배치되며, Y 축 방향으로 인접하여 배치된 일 노즐의 중심과 다른 일 노즐의 중심 간의 거리는 상기 중첩 면적의 1.3 내지 1.7 배이다.
Y 축 방향으로 나열되어 이격 설치된 상기 복수의 노즐을 각기 구비하는 복수의 노즐 세트를 포함하고, 상기 복수의 노즐 세트는 X 축 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며, 상기 X 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 세트의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하다.
상기 복수의 노즐 세트가 지그재그 형상으로 배치된다.
일 노즐 세트를 사이에 두고, X 축 방향의 양측으로 이격 배치된 두 개의 노즐 세트 각각을 구성하는 일 노즐로부터 도포된 도포 라인의 일부가 Y 축 방향으로 상호 중첩되도록 상기 복수의 노즐 세트가 배치된다.
상기 기판 이송기는 코팅막이 형성될 기판이 인입되는 영역으로부터 상기 분사 유닛이 위치한 방향으로 연장 형성된 제 1 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 제 1 기판 이송부를 구비하는 제 1 기판 이송기; 상기 코팅막이 형성된 기판이 인출되는 영역으로부터 상기 플라즈마 처리기가 위치한 방향으로 연장 형성된 제 2 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 적어도 하나의 기판 이송부를 구비하는 제 2 기판 이송기;를 포함한다.
상기 제 1 기판 이송부는 코팅막 형성을 위해 인입된 기판을 안치하여, 상기 플라즈마 처리기가 위치한 방향으로 이동하고, 상기 제 1 기판 이송기는 상기 제 1 기판 이송부와 연결되도록 설치되어, 상기 제 1 기판 이송부가 상기 제 1 가이드 레일 따라 수평 이동하는 구동력을 제공하는 제 1 수평 구동부; 및 상기 제 1 수평 구동부와 연결되어, 상기 제 1 수평 구동부를 회전 동작시키는 제 1 동력원;을 포함하고, 상기 제 1 수평 구동부는 볼스크류이다.
상기 제 1 기판 이송부는 상기 한 쌍의 제 1 가이드 레일 각각에 장착되도록 설치되어, 상기 한 쌍의 제 1 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 한 쌍의 이동 블록; 상기 이동 블록의 상측에 장착되며, 상부에 기판이 안착되는 기판 안착대; 및 상기 기판 안착대와 연결되어, 상기 기판 안착대를 승하강시키는 승하강 구동부;를 포함한다.
상기 기판 안착대는 코팅막 형성을 위해 기판이 인입되는 기판 인입 영역에서, 상기 승하강 구동부에 의해 승하강하여, 상기 기판 인입 영역으로 인입된 기판을 상기 기판 안착대 상에 안착시킨다.
상기 제 1 기판 이송부의 수평 이동 경로 상에 설치되며, 상기 제 2 기판 이송기의 기판 이송부로 기판을 전달하기 위해, 상기 제 1 기판 이송부로부터 이동된 기판을 지지하는 기판 전달부 및 상기 제 2 기판 이송기의 이동 경로 상에 설치되며 ,상부에 기판이 안치되어 코팅 공정이 실시되는 코팅 지지부;를 포함한다.
상기 제 2 기판 이송기는, 상기 기판 전달부 상에 지지된 기판을 안치하여, 상기 분사 유닛이 위치한 방향으로 이동시키는 제 2 기판 이송부; 상기 제 2 가이드 레일 상에서 상기 제 2 기판 이송부의 전방에 설치되어, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동하여, 성가 코팅 지지부에 지지된 기판을 안치하여 기판 인출 영역으로 이동시키는 제 3 기판 이송부; 상기 제 2 기판 이송부와 상기 제 3 기판 이송부 사이를 연결하도록 설치된 고정바; 상기 제 2 기판 이송부 및 제 3 기판 이송부 중 어느 하나와 연결되도록 설치되어, 상기 제 2 기판 이송부 및 제 3 기판 이송부가 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동하는 구동력을 제공하는 제 2 수평 구동부; 및 상기 제 2 수평 구동부와 연결되어, 상기 제 2 수평 구동부를 회전 동작시키는 제 2 동력원;을 포함한다.
상기 제 2 수평 구동부는 볼스크류이다.
상기 제 2 기판 이송부 및 제 3 기판 이송부는, 상기 한 쌍의 제 2 가이드 레일 각각에 장착되도록 설치되어, 상기 한 쌍의 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 한 쌍의 이동 블록; 상기 이동 블록의 상측에 장착되며, 상부에 기판이 안착되는 기판 안착대; 상기 기판 안착대와 연결되어, 상기 기판 안착대를 승하강시키는 승하강 구동부;를 포함한다.
상기 기판 전달부 상에 지지된 기판 하측에서 상기 제 2 기판 이송부의 승하강 구동부가 상기 제 2 기판 이송부의 기판 안착대를 승하강하여 상기 기판 전달부 상에 지지된 기판을 상기 제 2 기판 이송부의 기판 안착대에 안치하고, 상기 코팅 지지부에 지지된 기판 하측에서 상기 제 3 기판 이송부의 승하강 구동부가 상기 제 3 기판 이송부의 기판 안착대를 승하강하여 상기 코팅 지지부에 지지된 기판을 상기 제 3 기판 이송부의 기판 안착대에 안치한다.
상기 코팅 이송기는 상기 코팅 지지부의 상측에 위치하며, 상기 분사 유닛을 X 축 방향으로 수평 이동시키는 제 1 가이드 부재; 및 상기 제 1 가이드 부재의 양 단과 연결되며, Y 축 방향으로 연장 형성되어, 상기 제 1 가이드 부재와 분사 유닛을 Y 축 방향으로 수평 이동시키는 제 2 가이드 부재;를 포함한다.
상기 복수의 노즐 각각은 코팅제 탱크로부터 코팅제를 공급하는 시린지 펌프와 연결된 코팅제 공급관; 가스 탱크로부터 가스를 공급하는 유량 제어부와 연결된 가스 공급관; 및 상기 복수의 노즐과 상기 코팅제 공급관의 사이에서 상기 코팅제 또는 상기 가스가 역류하는 것을 차단하는 차단부재 및 상기 차단부재에 연결된 스프링을 구비하는 체크 밸브;를 포함한다.
본 발명의 실시형태들에 의하면, 분사 유닛을 구성하는 복수의 노즐 배치에 있어서, X 축 및 Y 축 중 어느 하나의 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 다른 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치한다. 이에, 복수의 노즐 각각으로부터 코팅제가 배출되어 기판 상에 도팅(dotting) 될 때, 도팅된 복수의 방울이 종래와 같이 중첩되지 않는다.
또한, 분사 유닛을 X 축 방향으로 수평 이동시키면서 복수의 노즐 각각으로부터 코팅제를 분사하여, 코팅제를 도포하면, 복수의 노즐 각각으로부터 도팅 방울이 연속적으로 도팅되어, X 축 방향으로 연장된 라인 형상으로 도포된다. 이때, 각 노즐에 의해 도포된 도포 라인은 복수의 도포 라인과 Y 축 방향으로 중첩되도록 형성된다. 이에, 분사 유닛을 X 축 방향으로 1회 이동 시에, 일 영역에 대해 코팅막이 균일하게 형성되어, 코팅막 품질이 향상되는 효과가 있다.
본 발명에서는 노즐에 코팅제를 공급하는 수단으로 시린지 펌프를 사용함에 따라, 코팅제 분사량을 정밀하게 제어할 수 있으며, 유량 제어부(MFC)를 이용하여 노즐로 공급되는 가스의 투입량을 제어할 수 있다. 따라서, 코팅제의 분사 각도 및 입자 크기의 제어가 용이한 장점이 있다.
또한, 노즐로 코팅제를 공급하는 코팅제 공급관에 체크 밸브를 설치함에 따라, 노즐로부터 코팅제가 분사되지 않을 때, 코팅제 공급관으로부터 코팅제가 유입되어 코팅제가 노즐 밖으로 자연 낙하하거나, 노즐에 잔류하고 있는 코팅제가 코팅제 공급관으로 역류하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치의 요부를 블록화하여 도시한 도면
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치를 도시한 입체도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 코팅기의 요부를 블록화하여 도시한 도면
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브를 도시한 단면도이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 분사 유닛을 도시한 입체 도면
설명의 편의를 위해, 복수의 노즐과 각기 연결된 복수의 제 2 공급관 및 복수의 가스 공급관의 도시를 생략한 도면
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐 각각으로부터 기판 상에 도팅(dotting)된 방울을 도시한 상면도
도 7은 제 1 실시예의 변형예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐 각각으로부터 기판 상에 도팅(dotting)된 방울을 도시한 상면도
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐에 의해 도포된 도포 라인의 일부를 도시한 상면도
도 9은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐 각각으로부터 기판 상에 도팅(dotting)된 방울을 도시한 상면도
도 10는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐에 의해 도포된 도포 라인의 일부를 도시한 상면도
도 11 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치의 동작을 설명하기 위한 입체도
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 분사 유닛의 수평 이동을 모식화하여 도시한 도면
도 15는 종래의 복수의 노즐 배치 구조와, 복수의 노즐 배치 구조에 의한 도팅 방울의 중첩을 설명하기 위한 모식도
이하, 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
본 발명은 기판 표면에 코팅제를 분사하여 코팅막을 형성하는 코팅 장치이다. 보다 구체적은 예로서, 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치는 휴대폰, MP3, 디스플레이 장치 등의 전자 제품의 커버 글레스(cover glass) 또는 표면 윈도우(window)에 사용되는 유리(glass) 기판 표면에 기능성 막(또는 기능성 필름)을 코팅하는 장치이다. 그리고 기판 표면에 코팅되는 기능성막은 지문 방지 코팅막일 수 있으며, 상기 지문 방지(ANTI-FINGERPRINT) 코팅막을 형성하기 위한 코팅제는 불소계열의 액상 재료를 사용한다. 즉, 본 발명에 따른 코팅 장치는 지문이 형성될 수 있는 표면에 지문 방지 코팅막을 형성하는 장치일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치의 요부를 블록화하여 도시한 도면이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치를 도시한 입체도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 코팅기의 요부를 블록화하여 도시한 도면이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 체크 밸브를 도시한 단면도이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 분사 유닛을 도시한 입체 도면이며, 설명의 편의를 위해, 복수의 노즐과 각기 연결된 복수의 제 2 공급관 및 복수의 가스 공급관의의 도시를 생략한 도면이다. 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐 각각으로부터 기판 상에 도팅(dotting)된 방울을 도시한 상면도이다. 도 7은 제 1 실시예의 변형예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐 각각으로부터 기판 상에 도팅(dotting)된 방울을 도시한 상면도이다. 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐에 의해 도포된 도포 라인의 일부를 도시한 상면도이다. 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐 각각으로부터 기판 상에 도팅(dotting)된 방울을 도시한 상면도이다. 도 10는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 복수 노즐의 배치 구조와, 복수의 노즐에 의해 도포된 도포 라인의 일부를 도시한 상면도이다. 도 11 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치의 동작을 설명하기 위한 입체도이다. 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 분사 유닛의 수평 이동을 모식화하여 도시한 도면이다.
이하에서, 전방 및 후방의 기재에 있어서, 코팅을 위해 기판이 이송되는 방향 또는 코팅 진행 방향을 전방, 그 반대 방향을 후방이라 한다.
도 1 및 도 2를 참조하면 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치는 상부에서 코팅 작업이 실시되는 테이블(1000), 테이블(1000) 상부에서 코팅 공정 진행 경로 상에 설치되며, 플라즈마(plasma)를 발생시켜 기판(S) 표면을 처리하는 플라즈마 처리기(2000), 코팅 공정 진행 방향에서 플라즈마 처리기(2000)의 전방으로 이격 설치되어, 기판(S) 상에 코팅제를 분사하는 분사 유닛(3100)을 구비하는 코팅기(3000), 코팅기(3000)를 X 축 및 Y 축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기(7000), 테이블(1000) 상부에 설치되어 플라즈마 처리기(2000) 및 코팅기(3000)를 통과하도록 기판(S)을 이송시키는 기판 이송기(6000)를 포함한다. 또한, 도시되지는 않았지만, 테이블(1000)의 외측에 설치되어 코팅이 종료된 기판(S)을 건조하는 오븐(oven)을 포함할 수 있으며, 상기 오븐은 예컨대, 열풍식 또는 적외선 건조식의 드라이 오븐(dry oven)일 수 있다.
플라즈마 처리기(2000)는 코팅 전에 기판(S)의 코팅면 예컨대, 상부면을 사전 처리하는 것으로, 실시예에 따른 플라즈마 처리기(2000)는 상압 플라즈마로 기판(S) 표면을 처리하는 수단이다. 이러한 플라즈마 처리기(2000)는 테이블(1000)의 상부에 설치되는데, 기판(S)을 향해 플라즈마 방출 또는 방사되는 벽체 또는 면이 테이블(1000) 상부면과 소정 거리 이격되도록 설치된다. 즉, 플라즈마 처리기(2000)는 테이블(1000) 상부로부터 소정 거리 이격되도록 설치된다. 이에, 기판(S)이 기판 이송기(6000)에 의해 플라즈마 처리기(2000) 하측으로 이송되면서, 순차적으로 플라즈마 처리된다.
코팅기(3000)는 플라즈마 처리기(2000)로부터 표면 처리된 기판(S) 표면에 코팅제를 분사함으로써, 기능성막 예컨대, 지문방지막을 형성한다. 이러한 코팅기(3000)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(S) 상으로 코팅제를 분사하는 복수의 노즐(3120)을 구비하는 분사 유닛(3100), 복수의 노즐(3120)과 각기 연결된 복수의 시린지 펌프(3200), 코팅제가 저장된 코팅제 탱크(3300), 복수의 노즐(3120) 각각으로 가스를 공급하기 위한 가스가 저장된 가스 탱크(3400), 코팅제 탱크(3300)와 복수의 시린지 펌프(3200)를 각기 연결하는 제 1 코팅제 공급관(3500), 복수의 시린지 펌프(3200)와 복수의 노즐(3120)을 각기 일 대 일로 연결하는 복수의 제 2 코팅제 공급관(3600), 복수의 제 2 코팅제 공급관(3600)에 설치된 체크 밸브(3700), 가스 탱크(3400)와 복수의 노즐(3120)을 각기 연결하는 복수의 가스 공급관(3800), 각 가스 공급관(3800)에 설치되어 노즐(3120)로 공급되는 가스의 유량을 제어하는 유량 제어부(Mass flow control; MFC)(3900)를 포함한다.
시린지 펌프(3200)는 도 3에 도시된 바와 같이 내부 공간을 가지는 시린지 몸체(3210), 시린지 몸체(3210), 내에서 전후진 이동이 가능한 로드(3220)를 포함한다. 이러한 시린지 펌프(3200)에 의에 의하면, 도 3b에 도시된 로드(3220)를 후진 운동시킬 때, 시린지 몸체(3210)와 제 1 코팅제 공급관(3500) 사이가 연통되어, 코팅제 탱크(3300)의 코팅제가 제 1 코팅제 공급관(3500)을 통해 시린지 몸체(3210) 내로 공급된다. 이후, 로드(3220)를 도 3c와 같이 전진 운동시키면, 시린지 몸체(3210)와 제 2 코팅제 공급관(3600) 사이가 연통되어, 상기 시린지 몸체(3210) 내부의 코팅제가 상기 시린지 몸체(3210) 외부로 배출되어 상기 제 2 코팅제 공급관(3600)을 통해 노즐(3120)로 이동한다.
체크 밸브(3700)는 제 2 코팅제 공급관(3600)과 노즐(3120) 간의 연통을 제어하여, 시린지 펌프(3200)로부터 제공된 코팅제를 노즐(3120)로 공급하고, 코팅 종료 시에 코팅제의 잔여물 또는 가스가 역류하는 것을 방지한다. 이러한 체크 밸브(3700)는 도 4에 도시된 바와 같이, 내부 공간을 가지며, 코팅제가 유입되는 유입구(3711h)와 상기 코팅제를 노즐(3120) 방향으로 배출하는 배출구(3712h)가 마련된 본체(3710), 본체(3710) 내부에 설치되어 유입구(3711h) 및 배출구(3712h) 방향으로 이동 가능한 차단 부재(3720), 본체(3710) 내부에 설치되어 일단이 차단 부재(3720)에 연결되고 타단이 배출구(3712h) 주변의 내벽과 연결된 스프링(3730)을 포함한다. 여기서 차단 부재(3720)는 유입구(3711h) 및 배출구(3712h)에 비해 큰 직경을 가지며 그 형상은 예컨대 구 또는 볼(ball) 형상일 수 있다.
이러한 체크 밸브(3700)의 동작을 간략히 설명하면, 먼저 시린지 펌프(3200)와 제 2 코팅제 공급관(3600)을 연통시켜 상기 시린지 펌프(3200)의 코팅제를 노즐(3120) 방향으로 이송시킨다. 이때 코팅제가 노즐(3120) 방향으로 이송되는 힘에 의해 유입구(3711h)를 차단하고 있던 차단 부재(3720)가 도 4a에 도시된 바와 같이 하측으로 이동하여 상기 유입구(3711h)가 개방되며, 차단 부재(3720)에 가해지는 힘에 의해 스프링(3730)이 배출구(3712h) 방향으로 수축한다. 따라서, 코팅제는 체크 밸브(3700)의 본체(3710) 내부를 통과하여 배출구(3712h)를 통해 배출된 후 노즐(3120)로 공급되며, 이때 가스 공급관(3800)을 통해 노즐(3120) 내부로 가스를 공급하면, 노즐(3120)로부터 코팅제가 배출되어 기판(S) 상에 분사된다. 반대로, 코팅 공정이 종료되면, 시린지 펌프(3200)의 동작 및 가스 공급을 중지한다. 이때, 스프링(3730) 방향으로 가해지는 힘이 없기 때문에, 도 4b와 같이, 스프링(3730)이 원래 상태로 복귀하려는 탄성력에 의해 상기 스프링(3730)이 차단 부재(3720)가 위치한 방향으로 이완된다. 이에, 스프링(3730)에 지지된 차단 부재(3720)가 유입구(3711h)를 향해 이동하여, 상기 유입구(3711h)를 막는다. 이로 인해, 코팅 공정을 중지하기 위해, 시린지 펌프(3200) 및 가스 공급을 중지한 상태에서, 노즐(3120)에 남아있는 코팅제 및 가스가 시린지 펌프(3200) 방향으로 역류하는 것을 차단할 수 있다.
분사 유닛(3100)은 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(S) 표면으로 코팅제를 분사하는 복수의 노즐(3120)과, 복수의 노즐(3120) 고정 지지하며, 코팅 이송기(7000)를 따라 수평 이동하는 노즐 지지부(3110)를 포함한다. 노즐 지지부(3110)는 상하 방향으로 연장 형성되어 코팅 이송기(7000)와 연결된 고정 부재(3111), 고정 부재(3111)의 하부에 연결되며, 복수의 노즐(3120)이 상호 이격되도록 고정 설치되는 노즐 지지 부재(3112)를 포함한다. 물론 노즐 지지부(3110)는 상술한 형상 및 구성이 한정되지 않고, 복수의 노즐(3120)의 설치가 가능하고, 코팅 이송기(7000)와 연결될 수 있도록 다양하게 변경 가능하다.
또한, 분사 유닛(3100)은 Z 축 방향으로 이동 즉, 승하강할 수 있다. 이를 위해, 고정 부재(3111)에는 Z 축 방향으로 승하강 또는 슬라이딩시키는 승하강 구동 수단이 마련될 수 있다.
복수의 분사 노즐(3120) 각각은 도 5에 도시된 바와 같이, 노즐 지지 부재(3112)를 상하 방향으로 관통하도록 고정 설치되며, 상호 이격 설치된다. 그리고 도 3에서 설명한 바와 같이, 복수의 노즐(3120) 각각에는 제 2 코팅제 공급관(3600)과 가스 공급관(3800)이 연결되어 있다. 이에, 시린지 펌프(3200)의 동작에 의해 코팅제가 제 2 코팅제 공급관(3600)을 통해 노즐(3120)로 공급되며, 가스 공급관(3800)으로부터 노즐(3120)로 공급되는 가스에 의해 노즐(3120) 내의 코팅제가 기판(S)을 향해 분사된다.
코팅 이송기(7000)는 코팅기(3000)를 X 축 및 Y 축 방향으로 수평 이동시키는 수단으로서, 도 2를 참조하면, 코팅 공정 진행 방향에서 플라즈마 처리기(2000)의 전방으로 이격 설치되며, 기판(S)의 이송 방향과 교차하는 방향으로 연장 설치된 제 1 코팅 가이드 레일(7100), 제 1 코팅 가이드 레일(7100)의 양단에 각기 설치되며, 기판(S) 이송 방향 또는 기판 이송기(6000) 연장 방향을 따라 연장 형상된 한 쌍의 제 2 코팅 가이드 레일(7200), 테이블(1000) 상부와 제 2 코팅 가이드 레일(7200) 사이를 연결하도록 설치되어 제 2 코팅 가이드 레일(7200)를 지지하는 지지부(7300), 노즐 지지부(3110)와 제 1 코팅 가이드 레일(7100) 사이를 연결하도록 설치되며, 상기 제 1 코팅 가이드 레일(7100)를 따라 수평 이동하는 제 1 코팅 이동 블록(7400), 제 1 코팅 가이드 레일(7100)의 양 단에 장착되어, 제 2 코팅 가이드 레일(7200)를 따라 수평 이동하는 제 2 코팅 이동 블록(7500)을 포함한다.
여기서, 제 1 코팅 가이드 레일(7100)가 연장된 방향은 X축 방향, 제 2 코팅 가이드 레일(7200)가 연장된 방향은 Y 축 방향일 수 있다. 그리고 제 1 및 제 2 코팅 가이드 레일(7100, 7200)는 예컨대, LM 가이드일 수 있다. 이에, 분사 유닛(3100)은 제 1 코팅 가이드 레일(7100)를 따라 X축 방향으로 수평 이동하고, 제 2 코팅 가이드 레일(7200)를 따라 Y축 방향으로 수평 이동한다.
이하, 본 발명에 따른 제 1 실시예에 따른 복수의 노즐 배치에 대해 설명한다. 이때, 도 6 및 도 8에 도시된 복수의 노즐(3120)의 배치 구조를 설명하기 위하여, 복수의 노즐의 도면 부호를 3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c로 지칭하여 설명한다.
도 6 및 도 8을 참조하면, 복수의 노즐(3120)은 X 축 및 Y 축 방향으로 나열되며, 상호 이격 배치된다. 보다 구체적으로 예를 들어 설명하면, X 축 방향의 동일 위치에서 Y 축 방향으로 3개의 노즐이 상호 이격되도록 나열 배치되며, 이와 같이 배치된 상기 3개의 노즐을 '노즐 세트'라 명명한다. 상술한 노즐 세트는 X 축 방향으로 나열 배치되는데, 예컨대, 3개의 노즐로 구성된 4개의 노즐 세트(이하 제 1 내지 제 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)가 구비되며, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 노즐 세트(3121)의 3개의 노즐(3121a, 3121b, 3121c)을 제 1 내지 제 3 노즐(3121a, 3121b, 3121c), 제 2 노즐 세트(3122)의 3개의 노즐(3122a, 3122b, 3122c)을 제 4 내지 제 6 노즐(3122a, 3122b, 3122c), 제 3 노즐 세트(3123)의 3개의 노즐(3123a, 3123b, 3123c)을 제 7 내지 제 9 노즐(3123a, 3123b, 3123c), 제 4 노즐 세트(3124)의 3개의 노즐(3124a, 3124b, 3124c)을 제 10 내지 제 12 노즐(3124a, 3124b, 3124c)이라 각각 명명한다.
제 1 내지 제 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)는 X 축 방향으로 이격되도록 나열 배치되는데, 이때, 제 1 내지 제 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)는 지그재그(zigzag) 형태로 나열 배치된다. 다른 말로 설명하면, X 축 방향으로 나열된 제 1 내지 제 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)를 각기 구성하는 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)의 Y 축 방향의 위치가 다르다. 보다 구체적으로 설명하면, 제 1 노즐 세트(3121)의 제 1 내지 제 3 노즐(3121a, 3121b, 312)과 제 2 노즐 세트(3122)의 제 4 내지 제 6 노즐(3122a, 3122b, 3122c), 제 3 노즐 세트(3123)의 제 7 내지 제 9 노즐(3123a, 3123b, 3123c), 제 4 노즐 세트(3124)의 제 10 내지 제 12 노즐(3124a, 3124b, 3124c) 각각의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하다. 각 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)의 중심(C) 위치로 설명하면, 제 1 노즐 세트(3121)의 제 1 내지 제 3 노즐(3121a, 3121b, 3121c), 제 2 노즐 세트(3122)의 제 4 내지 제 6 노즐(3122a, 3122b, 3122c), 제 3 노즐 세트(3123)의 제 7 내지 제 9 노즐(3123a, 3123b, 3123c), 제 4 노즐 세트(3124)의 제 10 내지 제 12 노즐(3124a, 3124b, 3124c) 의 Y 축 방향의 중심(C) 위치가 서로 상이하다.
따라서, 제 1 노즐 세트(3121)를 구성하는 제 1 내지 제 3 노즐(3121a, 3121b, 3121c) 사이의 공간에 대응하는 위치에 제 2 노즐 세트(3122)를 구성하는 제 4 내지 제 6 노즐(3122a, 3122b, 3122c)이 배치되고, 제 2 노즐 세트(3122)를 구성하는 제 4 내지 제 6 노즐(3122a, 3122b, 3122c)) 사이의 공간에 대응하는 위치에 제 3 노즐 세트(3123)를 구성하는 제 7 내지 제 9 노즐(3123a, 3123b, 3123c)이 배치된다. 마찬가지로, 제 3 노즐 세트(3123)를 구성하는 제 7 내지 제 9 노즐(3123a, 3123b, 3123c) 사이의 공간에 대응하는 위치에 제 4 노즐 세트(3124)를 구성하는 제 10 내지 제 12 노즐(3124a, 3124b, 3124c)이 배치된다. 이를 보다 구체적인 예로서 설명하면, 제 1 노즐 세트(3121)를 구성하는 제 1 노즐(3121a)과 제 2 노즐(3121b) 사이의 공간에 대응하는 X 축 방향의 위치에 제 2 노즐 세트(3122)를 구성하는 제 5 노즐(3122b)이 위치하고, 제 2 노즐(3121b)과 제 3 노즐(3121c) 사이의 공간에 대응하는 X 축 방향의 위치에 제 6 노즐(3122c)이 위치하며, 제 4 노즐(3122a)은 제 10 노즐(3124a)과 제 11 노즐(3124b) 사이에 위치한다.
또한, 제 2 노즐 세트(3122)를 구성하는 제 4 노즐(3122a)과 제 5 노즐(3122b) 사이의 공간에 대응하는 X 축 방향의 위치에 제 3 노즐 세트(3123)를 구성하는 제 7 노즐(3123a)가 위치하고, 제 5 노즐(3122b)과 제 6 노즐(3122c) 사이의 공간에 대응하는 X 축 방향의 위치에 제 8 노즐(3123b)이 위치하며, 제 9 노즐(3123c)은 제 2 노즐(3121b)과 제 3 노즐(3121c) 사이에 위치한다.
이하 다른 노즐의 구체적 배치 설명은 생략하나, 상술한 바와 같이 X 축 방향의 다른 노즐 세트를 구성하는 복수의 노즐 세트 사이의 공간에 노즐이 위치하도록 설치된다.
복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c) 각각으로부터 코팅제가 배출되어 기판(S) 상에 도팅(dotting) 되면 또는 분사될 시에, 도 6에 도시된 바와 같이, 소정 형상 예컨대 물방울 형태로 기판(S) 상에 도팅되는데, 도팅된 복수의 방울(D) 각각은 기판 상면에서 해당 노즐의 위치에 위치하고 있다. 즉, 기판(S) 상에 도팅된 복수의 방울(D)은 X 축 및 Y 축 방향으로 상호 이격되어 나열되어 있다. 이때, X 축 및 Y 축 방향으로 나열된 복수의 도팅 방울(D)이 중첩되지 않는다. 이는, 제 1 내지 제 4 노즐세트(3121, 3122, 3123, 3124) 각각을 구성하는 복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)이 Y 축 방향으로 그 위치 또는 그 중심(C)의 위치가 동일하지 않고, 서로 상이하도록 지그재그로 배치되었기 때문이다.
이러한 배치 구조의 복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)을 가지는 분사 유닛(3100)을 코팅 이송기(7000)를 통해 X 축 방향으로 수평 이동시키면, 기판(S) 상에 복수의 도팅 방울(D)이 연속적으로 도팅되어, 라인 형상으로 도포된다. 그리고, 각 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)로부터 기판(S) 상에 도팅되는 방울(D)의 직경은 각 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)의 직경에 비해 크다. 따라서, 분사 유닛(3100)을 X 축 방향으로 수평 이동시키면, 복수의 방울(D)이 X 축 방향으로 연속 형성되어 도포 라인을 형성하는데, 이때 도포 라인이 도 8에 도시된 바와 같이, Y 축 방향으로 일부 중첩된다. 예를 들어 설명하면, 제 1 노즐 세트(3121)의 제 1 노즐(3122a)에 의해 도포된 제 1 도포 라인(L1)의 일부 영역과 제 3 노즐 세트(3123)의 제 7 노즐(3123a)에 의해 도포된 제 7 도포 라인(L7)의 일부 영역이 Y 축 방향으로 중첩되고, 제 1 도포 라인(L1)의 다른 일부 영역과 제 4 노즐 세트(3124)의 제 11 노즐(3124b)에 의해 도포된 제 11 도포 라인(L11)의 일부 영역이 Y 축 방향으로 중첩된다. 다른 예를 들면, 도시되지는 않았지만, 제 1 노즐 세트(3121)의 제 2 노즐(3121b)에 의해 도포된 제 2 도포 라인의 일부 영역과 제 3 노즐 세트(3123)의 제 8 노즐(3123b)에 의해 도포된 제 8 도포 라인의 일부 영역이 Y 축 방향으로 중첩되고, 제 1 도포 라인(L1)의 다른 일부 영역과 제 4 노즐 세트(3124)의 제 12 노즐(124c)에 의해 도포된 제 11 도포 라인(L11)의 일부 영역이 Y 축 방향으로 중첩된다. 또 다른 예로서, 제 2 노즐 세트(3122)의 제 4 노즐(3122a)에 의해 도포된 제 4 도포 라인의 일부 영역이 제 3 노즐 세트(3123)의 제 7 노즐(3123a)에 의해 도포된 제 7 도포 라인의 일부 영역과 Y 축 방향으로 중첩되고, 제 4 도포 라인의 다른 일부 영역이 제 4 노즐 세트(3124)의 제 10 노즐(3124a)로부터 도포된 제 10 도포 라인의 일부 영역과 Y 축 방향으로 중첩된다.
이하, 제 3 노즐(3121c), 제 5 내지 제 12 노즐(3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c) 각각으로부터 도포된 제 3 도포 라인, 제 5 내지 제 12 도포 라인 각각과 중첩되는 도포 라인은 설명하지 않았지만, 상기 제 3 도포 라인, 제 5 내지 제 12 도포 라인 중 축의 양끝에 존재하는 제 3 도포 라인과 제 10 도포 라인을 제외한 각각은 2개의 도포 라인과 Y 축 방향으로 중첩된다.
따라서, 분사 유닛(3100)을 X 축 방향으로 1회 이동 시에, 일 영역에 대해 코팅막이 균일하게 형성되어, 코팅막 품질이 향상되는 효과가 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에서는 각각의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)로부터 도포되어 형성된 도포 라인의 일부 영역이 X 축 방향으로 이격 배치된 다른 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)들로부터 도포되어 형성된 도포 라인들 중 적어도 어느 하나와 Y 축 방향으로 중첩 형성되는데, 일 도포 라인과 다른 일 도포 라인 간의 중첩 면적은 일 도포 라인의 폭의 35% 내지 45%, 보다 바람직하게는 40%가 되도록 한다.
이러한 도포 라인 간의 중첩 면적은 Y 축 방향으로 인접하여 서로 다른 X 축 방향에 배치된 일 노즐과 다른 일 노즐 사이의 이격 거리에 따라 달라진다. 보다 구체적으로는 Y 축 방향으로 인접하여 서로 다른 X 축 방향에 배치된 일 노즐의 중심과 다른 일 노즐의 중심 사이의 이격 거리에 따라 달라진다. 또한, 일 노즐로부터 도포된 도포 라인의 폭은 노즐의 내경, 기판과 노즐 사이의 이격 거리, 코팅제의 점도 및 가스 분사압에 따라 달라진다.
따라서, 도포 라인의 폭은 노즐의 내경, 기판과 노즐 사이의 이격 거리, 코팅제의 점도 및 가스 분사압을 소정의 값으로 고정한 상태로 가정하여 설명한다. 예컨대, 실시예에서는 기판(S) 상에 형성되는 도포 라인의 폭(또는 도팅 방울의 지름)이 노즐 내경의 12배 내지 13배의 크기로 형성되도록 한다.
또한, Y 축 방향으로 인접하여 서로 다른 X 축 방향의 위치에 배치된 일 노즐의 중심과 다른 일 노즐의 중심 간의 거리가 중첩 영역(A)의 폭(또는 중첩 면적)의 1.3 내지 1.7 배, 보다 바람직하게는 1.5 배가 되도록 배치시킨다.
도 8b를 참조하여, 보다 구체적으로 설명하면, 제 1 노즐 세트(3121)의 제 1 노즐(3121a)의 중심과 제 4 노즐 세트(3124)의 제 11 노즐(3124b)의 중심 사이의 이격 거리(B)는 중첩 영역(A)의 폭(또는 중첩 면적)의 1.3 내지 1.7 배, 보다 바람직하게는 1.5 배가 되도록 한다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 Y 축 방향으로 인접하여 서로 다른 X 축 방향의 위치에 배치된 일 노즐의 중심과 다른 일 노즐의 중심 사이의 이격 거리(B)를 조절함으로써, 일 도포 라인과 다른 일 도포 라인 간의 중첩 면적이 일 도포 라인의 폭의 35% 내지 45%, 보다 바람직하게는 40%가 되도록 할 수 있다. 이러한 중첩 면적의 조절은 상술한 바와 같이, 노즐의 내경, 기판과 노즐 사이의 이격 거리, 코팅제의 점도 및 가스 분사압에 따라 달라질 수 있다. 이에, 노즐의 내경, 기판과 노즐 사이의 이격 거리, 코팅제의 점도 및 가스 분사압 중 어느 하나라도 변경 시에, 기판과 노즐 간의 이격 거리와, Y 축 방향으로 인접하여 서로 다른 X 축 방향의 위치에 배치된 일 노즐의 중심과 다른 일 노즐의 중심 사이의 이격 거리가 달라질 수 있다.
따라서, 코팅제의 도팅시에 도팅 방울(D)은 중첩하지 않고 도포 라인을 중첩하는 방법을 이용하면 인접한 노즐로부터 영향을 받지 않으면서 반구 형상의 도팅 방울(D)이 중심부로부터 외각 가장자리로 갈수록 그 높이가 낮아지는 문제가 해결되므로 일 영역에 대해 코팅막이 균일하게 형성되어, 코팅막 품질이 향상되는 효과가 있다.
상기 도 6에 도시된 제 1 실시예에서는 제 1 노즐 세트(3121), 제 2 노즐 세트(3122), 제 3 노즐 세트(3123), 제 4 노즐 세트(3124) 순으로 배치되는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 제 1 내지 도 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)의 순서를 바꿀 수 있다. 예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이 제 1 노즐 세트(3121), 제 3 노즐 세트(3123), 제 2 노즐 세트(3122), 제 4 노즐 세트(3124) 순으로 배치될 수 있다. 이때, 이때, 변형예에 따른 제 1 노즐 세트(3121)와 제 3 노즐 세트(3123) 간의 거리는 도 6에 도시된 제 1 실시예에 따른 제 1 노즐 세트(3121)와 제 3 노즐 세트(3123) 간의 거리와 동일하며, 제 1 노즐 세트(3121)와 제 3 노즐 세트(3123) 사이에 다른 노즐 세트가 설치되지 않는다. 그리고, 제 3 노즐 세트(3123)와 제 2 노즐 세트(3122) 간의 이격 거리는 제 1 노즐 세트(3121)와 제 3 노즐 세트(3123) 간의 거리와 동일할 수 있으며, 제 3 노즐 세트(3123)와 제 4 노즐 세트(3124) 사이에 제 2 노즐 세트(3122)가 배치된다. 이에 따라 변형예에 따른 분사 유닛(3100)의 X 축 방향의 크기는 제 1 실시예에 비해 크며, 대략 2배이다.
상기에서는 분사 유닛(3100)이 제 1 내지 제 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)를 가지는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 4개의 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124) 이하, 또는 그 이상의 세트를 가질 수 있다.
또한, 도 9에 도시된 제 2 실시예와 같이, 제 1 내지 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)가 2개로 구성될 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124)와 동일한 배치 구조를 가지는 제 5 내지 제 8 노즐 세트(3123, 3126, 3127, 3128)를 가지며, X 축 방향으로 제 1 내지 제 8 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124, 3123, 3126, 3127, 3128)가 나열되어 이격 배치된다.
이때, 제 8 내지 제 12 노즐 세트(3123, 3126, 3127, 3128)는 X 축 방향으로 이격되도록 나열 배치되는데, 이때, 제 8 내지 제 12 노즐 세트(3123, 3126, 3127, 3128)는 지그재그(zigzag) 형태로 나열 배치된다. 다른 말로 설명하면, X 축 방향으로 나열된 제 5 내지 제 8 노즐 세트(3125, 3126, 3127, 3128)를 각기 구성하는 노즐(3125a, 3125b, 3125c, 3126a, 3126b, 3126c, 3127a, 3127b, 3127c, 3128a, 3128b, 3128c)의 Y 축 방향의 위치가 다르다. 보다 구체적으로 설명하면, 제 5 노즐 세트(3125)의 제 13 내지 제 15 노즐(3125a, 3125b, 3125c)과 제 6 노즐 세트(3126)의 제 16 내지 제 18 노즐(3126a, 3126b, 3126c), 제 7 노즐 세트(3127)의 제 19 내지 제 21 노즐(3127a, 3127b, 3127c), 제 8 노즐 세트(3128)의 제 22 내지 제 24 노즐(3128, 3128b, 3128c) 각각의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하다. 각 노즐(3125a, 3125b, 3125c, 3126a, 3126b, 3126c, 3127a, 3127b, 3127c, 3128a, 3128b, 3128c)의 중심(C) 위치로 설명하면, 제 5 노즐 세트(3125)의 제 13 내지 제 15 노즐((3125a, 3125b, 3125c), 제 6 노즐 세트(3126)의 제 16 내지 제 18 노즐(3126a, 3126b, 3126c), 제 7 노즐 세트(3127)의 제 19 내지 제 21 노즐(3127a, 3127b, 3127c), 제 8 노즐 세트(3128)의 제 22 내지 제 24 노즐(3128, 3128b, 3128c) 의 Y 축 방향의 중심(C) 위치가 서로 상이하다.
따라서, 제 13 내지 제 24 노즐(3125a, 3125b, 3125c, 3126a, 3126b, 3126c, 3127a, 3127b, 3127c, 3128a, 3128b, 3128c) 각각으로부터 코팅제가 배출되어 기판(S) 상에 도팅(dotting) 되면 또는 분사될 시에, 도 9에 도시된 바와 같이, 소정 형상 예컨대 물방울 형태로 기판(S) 상에 도팅되는데, 도팅된 복수의 방울(D) 각각은 기판 상면에서 해당 노즐의 위치에 위치하고 있다. 즉, 기판(S) 상에 도팅된 복수의 방울(D)은 X 축 및 Y 축 방향으로 상호 이격되어 나열되어 있다. 이때, X 축 및 Y 축 방향으로 나열된 복수의 도팅 방울(D)이 중첩되지 않는다. 이는, 제 5 내지 제 8 노즐 세트(3125, 3126, 3127, 3128) 각각을 구성하는 복수의 노즐(3125a, 3125b, 3125c, 3126a, 3126b, 3126c, 3127a, 3127b, 3127c, 3128a, 3128b, 3128c)이 Y 축 방향으로 그 위치 또는 그 중심(C)의 위치가 동일하지 않고, 서로 상이하도록 지그재그로 배치되었기 때문이다.
또한, 제 2 실시예에 의하면, 제 1 노즐 세트(3121)를 구성하는 제 1 내지 제 3 노즐(3121, 3121b, 3121c)과 제 5 노즐 세트(3125)를 구성하는 제 13 내지 제 15 노즐(3125a, 3125b, 3125c)의 Y 축 방향의 위치가 같고, 제 2 노즐 세트(3122)를 구성하는 제 4 내지 제 6 노즐(3122a, 3122b, 3122c)과 제 6 노즐 세트(3126)를 구성하는 제 16 내지 제 18 노즐(3126a, 3126b, 3126c)의 Y 축 방향의 위치가 같다. 또한, 제 3 노즐 세트(3123)를 구성하는 제 7 내지 제 9 노즐(3123a, 3123b, 3123c)과 제 7 노즐 세트(3127)를 구성하는 제 19 내지 제 21 노즐(3127a, 3127b, 3127c)의 Y 축 방향의 위치가 같고, 제 4 노즐 세트(3124)를 구성하는 제 10 내지 제 12 노즐(3124a, 3124b, 3124c)과 제 8 노즐 세트(3128)를 구성하는 제 22 내지 제 24 노즐(3128a, 3128b, 3128c)의 Y 축 방향의 위치가 같다.
이에, 제 1 노즐 세트(3121)의 제 1 노즐(3121a)로부터 도포된 제 1 도포 라인(L1)의 일부 영역은 제 7 도포 라인(L7) 및 제 19 도포 라인(L19)과 중첩되고, 제 1 도포 라인(L1)의 다른 영역은 제 11 도포 라인(L11) 및 제 23 도포 라인(L23)과 중첩된다. 그리고, 동시에 제 1 도포 라인(L1)과 제 13 노즐(3125a)로부터 도포된 제 13 도포 라인(L13)은 일부 영역이 아닌 전체가 중첩된다. 이와 같이 제 2 실시예에서는 하나의 노즐로부터 도포된 도포 라인 중 Y축의 양끝에 존재하는 제 3 도포 라인, 제 10 도포 라인, 제 15 도포 라인 및 제 22 도포 라인을 제외한 각각은 5개의 도포 라인과 중첩된다. 따라서 X 축으로 1회 이동 시에, 제 2 실시예에 따른 분사 유닛(3100)은 제 1 실시예에 따른 분사 유닛(3100)에 비해 코팅막을 두껍게 형성할 수 있으며, 또한 동일 두께로 형성하기 위해 X 축으로의 이동 횟수를 줄일 수 있는 효과가 있다.
기판 이송기(6000)는 기판(S)을 공정 진행 방향으로 이송시키는 수단이며, 트레이(T) 상에 기판(S)이 안치되고, 기판 이송기(6000)는 트레이(T)를 이송시킨다. 기판 이송기(6000)가 실질적으로 지지하여 이송시키는 대상은 트레이(T) 이나, 설명의 편의를 위하여 '기판'으로 설명한다.
기판 이송기(6000)는 테이블(1000) 상부에 설치되며, 기판(S)을 플라즈마 처리기(2000)와 분사 유닛(3100)을 향해 이송시키도록 연장 형성된다. 즉, 기판 이송기(6000)는 테이블(1000) 상부에 연장 형성되는데, 기판(S)이 인입되는 영역으로부터, 플라즈마 표면 처리 및 코팅 공정을 종료한 기판(S)을 테이블(1000) 외측으로 인출시키는 영역까지 연장 형성된다.
기판 이송기(6000)는 기판(S)이 인입되는 영역으로부터 분사 유닛(3100) 전단까지 연장 형성되어, 기판(S)을 플라즈마 처리기(2000) 하측을 통과하도록 이송시키는 제 1 기판 이송기(4000), 제 1 기판 이송기(4000)로부터 기판(S)이 인출되는 영역까지 연장 형성되어 기판(S)을 분사 유닛(3100) 하측을 통과하도록 이송시키는 제 2 기판 이송기(5000)를 포함한다.
제 1 기판 이송기(4000)는 코팅 공정 진행 방향에서 플라즈마 처리기 후방에 설치되며, 인입되는 기판(S)을 일시적으로 지지하는 기판 인입부(4100), 기판(S)이 인입되는 영역으로부터 분사 유닛(3100) 사이의 영역에 연장 형성된 제 1 수평 구동부(4200), 제 1 수평 구동부(4200)와 연결되어 상기 제 1 수평 구동부(4200)를 동작시키는 제 1 동력원(4300), 제 1 수평 구동부(4200)의 양측으로 평행하게 설치된 한 쌍의 제 1 가이드 레일(4400), 제 1 수평 구동부(4200) 및 제 1 가이드 레일(4400)와 연결되도록 설치되어, 제 1 수평 구동부(4200)의 구동에 의해 제 1 가이드 레일(4400)를 따라 수평 이동하는 제 1 기판 이송부(4500), 제 1 기판 이송부(4500)로부터 플라즈마 처리가 종료된 기판(S)을 전달받아 지지하는 기판 전달부(4600)를 포함한다.
기판 인입부(4100)는 제 1 수평 구동부(4200)의 양 측 방향에서 상호 나란하게 설치되는 한 쌍의 지지 부재(4110)와, 한 쌍의 지지 부재(4110) 각각에 설치되며 상부에 코팅을 위해 인입되는 기판(S)이 지지된 트레이(T)가 복수의 롤러(4120)를 포함한다. 이에, 기판(S)이 안치된 트레이(T)가 복수의 롤러(4120) 상에 안착된다.
제 1 수평 구동부(4200)는 한 쌍의 지지 부재(4110) 사이에 설치되며, 일 단에는 제 1 동력원(4300)이 연결된다. 실시예에 따른 제 1 수평 구동부(4200)는 볼스크류이며, 제 1 동력원(4300)은 볼스크류를 회전시키는 모터일 수 있다.
한 쌍의 제 1 가이드 레일(4400) 각각은 제 1 수평 구동부(4200)의 양 측으로 이격 설치되며, 제 1 수평 구동부(4200)의 연장 방향을 따라 연장 형성된다. 그리고 한 쌍의 제 1 가이드 레일(4400)는 기판 인입부(4100)를 구성하는 한 쌍의 지지 부재(4110) 사이에 위치한다. 즉, 한 쌍의 제 1 가이드 레일(4400) 사이의 이격 거리는 한 쌍의 지지 부재(4400) 사이의 이격 거리에 비해 작다. 실시예에 따른 제 1 가이드 레일(4400)는 예컨대 LM 가이드 레일일 수 있다.
제 1 기판 이송부(4500)는 상부에 기판(S)을 안치시켜 제 1 가이드 레일(4400)를 따라 수평 이동하여, 기판(S)을 플라즈마가 방출 또는 방사되는 플라즈마 처리기(2000) 하측으로 수평 이동시킨다. 실시예에 따른 제 1 기판 이송부(4500)는 한 쌍의 제 1 가이드 레일(4400) 상부에 각기 장착되어 슬라이딩 이동하는 한 쌍의 이동 블록(4520), 한 쌍의 이동 블록(4520)의 상측에 위치하며, 기판(S)이 지지된 트레이(T)가 안착되는 기판 안착대(4510), 이동 블록(4520)과 기판 안착대(4510) 사이를 연결하도록 설치된 고정 부재(4530), 이동 블록(4520)과 기판 안착대(4510)에 설치되어 기판 안착대(4510)를 승하강시키는 승하강 구동부(4540)를 포함한다.
제 1 기판 이송부(4500)의 한 쌍의 이동 블록(4520)은 제 1 가이드 레일(4400) 상측에서 상기 제 1 가이드 레일(4400)와 대응하는 방향으로 연장되도록 설치되며, 그 연장 길이는 제 1 가이드 레일(4400)에 비해 짧으며, 한 쌍의 이동 블록(4520) 사이를 연결하도록 설치된 연결 부재(4550), 연결 부재(4550)와 제 1 수평 구동부(4200) 사이를 연결하도록 설치되며, 제 1 수평 구동부(4200)를 따라 수평 이동하는 수평 이동 부재(미도시)를 포함한다.
물론 연결 부재(4550) 및 제 1 수평 구동부(4200)는 이에 한정되지 않고 이동 블록(4520)이 수평 이동할 수 있도록 다양한 수단이 사용될 수 있다.
제 1 기판 이송부(4500)의 기판 안착대(4510)는 기판(S) 표면을 플라즈마로 처리하기 위해 기판(S)을 플라즈마 처리기(2000)를 통과하도록 이송시키는 수단으로서, 승하강 구동부(4540) 및 고정 부재(4530)에 의해 이동 블록(4520)과 연결되도록 설치된다. 실시예에 따른 기판 안착대(4510)는 한 쌍의 이동 블록(4520) 상측에 각기 위치한다.
물론 기판 안착대(4510)는 상술한 구성 및 형상에 한정되지 않고, 이동 블록(4520)에 의해 제 1 가이드 레일(4400)를 따라 수평 이동 가능하며, 상부에 기판(S)이 안착될 수 있도록 다양하게 변경 가능하다.
제 1 기판 이송부(4500)의 승하강 구동부(4540)는 기판 안착대(4510)에 기판을 안치하고, 안치된 기판(S)을 기판 전달부(4600)로 전달하기 위해 상기 기판 안착대(4510)를 승하강시킨다. 실시예에 따른 승하강 구동부(4540)는 실린더와 피스톤이 조합된 구성일 수 있다.
제 1 기판 이송부(4500)의 고정 부재(4530)는 승하강 구동부(4540)가 동작 시 기판 안착대(4510)가 좌우 유동하지 않도록 가이드 역할을 한다.
물론 승하강 구동부(4540) 및 고정 부재(4530)는 이에 한정되지 않고 기판 안착대(4510)를 승하강시킬 수 있는 다양한 수단이 사용될 수 있다.
기판 전달부(4600)는 제 1 기판 이송부(4500)의 수평 이동 경로 상에 설치되어, 플라즈마 처리가 완료된 기판(S)을 전달받아 일시 지지한다. 이러한 기판 전달부(4600)는 상부에 기판(S)이 지지되는 한 쌍의 지지 부재(4610), 한 쌍의 지지 부재(4610) 각각을 테이블(1000) 상부에 고정시키는 고정 부재(4620)를 포함한다. 한 쌍의 지지 부재(4610) 각각은 한 쌍의 제 1 가이드 레일(4400) 각각의 외측에 위치하며, 제 1 가이드 레일(4400)가 연장된 방향으로 연장 형성되고, 그 길이는 제 1 가이드 레일(4400)에 비해 짧다. 이때, 한 쌍의 지지 부재(4610) 사이의 이격 간격은 제 1 기판 이송부(4500)를 구성하는 한 쌍의 기판 안착대(4510) 사이의 이격 간격에 비해 넓다. 즉, 기판 전달부(4600)의 지지 부재(4610)는 제 1 기판 이송부(4500)의 기판 안착대(4510)에 비해 외측에 위치한다.
제 2 기판 이송기(5000)는 코팅 공정이 종료된 기판(S)이 인출되는 영역으로부터 플라즈마 처리기(2000) 사이의 영역으로 연장 형성된 제 2 수평 구동부(5200), 제 2 수평 구동부(5200)와 연결되어 상기 제 2 수평 구동부(5200)를 동작시키는 제 2 동력원(5300), 제 2 수평 구동부(5200)의 양측으로 평행하게 설치된 한 쌍의 제 2 가이드 레일(5400), 제 2 가이드 레일(5400)를 따라 이송 가능한 제 2 기판 이송부(5500), 제 2 기판 이송부(5500)의 전방에 설치되며, 제 2 수평 구동부(5200) 및 제 2 가이드 레일(5400)와 연결되도록 설치되어, 제 2 가이드 레일(5400)를 따라 이송 가능한 제 3 기판 이송부(5800), 제 2 기판 이송부(5500)와 제 3 기판 이송부(5800)를 연결하도록 설치된 고정 바(5700), 제 2 기판 이송부(5500)로부터 코팅 공정이 종료된 기판(S)을 전달받아 지지하고, 그 상부에서 기판(S) 코팅 공정이 실시되는 코팅 지지부(5600), 코팅 이송기(7000)의 전방에 설치되어 코팅이 종료된 기판(S)을 지지하여 인출시키는 기판 인출부(5900)를 포함한다.
제 2 수평 구동부(5200)는 플라즈마 처리기(2000)의 전방에 위치하며, 코팅 이송기(7000)로부터 기판(S) 인출 영역까지 연장 형성된다. 또한, 제 2 수평 구동부(5200)는 한 쌍의 제 2 가이드 레일(5400) 사이에 위치하여 코팅 공정 진행 방향으로 연장 형성된다. 실시예에 따른 제 2 수평 구동부(5200)는 볼스크류이며, 제 2 동력원(5300)은 볼스크류를 회전시키는 모터일 수 있다.
한 쌍의 제 2 가이드 레일(5400) 각각은 제 2 수평 구동부(5200)의 양 측으로 이격 설치되며, 제 2 수평 구동부(5200)의 연장 방향을 따라 연장 형성된다. 실시예에 따른 제 2 가이드 레일(5400)는 예컨대 LM 가이드 레일이다.
제 2 기판 이송부(5500) 상부에 기판(S)을 안치시켜 제 2 가이드 레일(5400)를 따라 수평 이동하여, 기판(S)을 분사 유닛(3100)의 하측으로 수평 이동시킨다. 실시예에 따른 제 2 기판 이송부(5500)는 앞에서 설명한 제 1 기판 이송부(4500)와 유사한 구조이다. 즉, 제 2 기판 이송부(5500)는 한 쌍의 제 2 가이드 레일(5400) 상부에 각기 장착되어 슬라이딩 이동하는 한 쌍의 이동 블록(5520), 한 쌍의 이동 블록(5520)의 상측에 위치하며, 기판(S)이 지지된 트레이(T)가 안착되는 기판 안착대(5510), 이동 블록(5520)과 기판 안착대(5510) 사이를 연결하도록 설치된 고정 부재(5530), 이동 블록(5520)과 기판 안착대(5510)에 설치되어 기판 안착대(5510)를 승하강시키는 승하강 구동부(5540)를 포함한다.
이러한 제 2 기판 이송부(5500)는 고정바(5700)에 의해 제 3 기판 이송부(5800)와 연결되어 있으며, 제 3 기판 이송부(5800)의 수평 이동에 의해 이동한다.
제 2 기판 이송부(5500)의 한 쌍의 이동 블록(5520)은 제 2 가이드 레일(5400) 상측에서 상기 제 2 가이드 레일(5400)와 대응하는 방향으로 연장되도록 설치되며, 그 연장 길이는 제 2 가이드 레일(5400)에 비해 짧으며 한 쌍의 이동 블록(5520) 사이를 연결하도록 설치된 연결 부재(5550)를 포함한다.
연결 부재(5550)는 제 3 기판 이송부(5800)와 연결된 고정바(5700)를 포함한다.
연결 부재(5550) 및 고정바(5700)는 이에 한정되지 않고 이동 블록(5520)이 수평 이동할 수 있도록 다양한 수단이 사용될 수 있다.
제 2 기판 이송부(5500)의 기판 안착대(5510)는 플라즈마로 표면 처리된 기판을 코팅기(3000)로 수평 이동시키는 수단으로서, 승하강 구동부(5540) 및 고정 부재(5530)에 의해 이동 블록(5520)과 연결되도록 설치된다. 실시예에 따른 기판 안착대(5510)는 한 쌍의 이동 블록(5520) 상측에 각기 위치한다.
물론 기판 안착대(5510)는 상술한 구성 및 형상에 한정되지 않고, 이동 블록(5520)에 의해 제 2 가이드 레일(5540)를 따라 수평 이동가능하며, 상부에 기판(S)이 안착될 수 있도록 다양하게 변경 가능하다.
제 2 기판 이송부(5500)의 승하강 구동부(5540)는 기판 안착대(5510)에 기판을 안치하고, 안치된 기판(S)을 코팅 지지부(5600)로 전달하기 위해 상기 기판 안착대(5510)를 승하강시킨다. 실시예에 따른 승하강 구동부(5540)는 실린더와 피스톤이 조합된 구성일 수 있다.
제 2 기판 이송부(5500)의 고정 부재(5530)는 승하강 구동부(5540)가 동작 시 기판 안착대(5510)가 좌우 유동하지 않도록 가이드 역할을 한다.
물론 승하강 구동부(5540) 및 고정 부재(5530)는 이에 한정되지 않고 기판 안착대(5510)를 승하강시킬 수 있는 다양한 수단이 사용될 수 있다.
코팅 지지부(5600) 제 2 기판 이송부(5500)와 제 3 기판 이송부(5800)의 수평 이동 경로 상에 설치되며, 플라즈마 처리가 완료된 기판(S)을 전달받아 지지한다. 이러한 코팅 지지부(5600)는 상부에 기판(S)이 지지되는 한 쌍의 지지 부재(5610), 한 쌍의 지지 부재(5610) 각각을 테이블(1000) 상부에 고정시키는 고정 부재(5620)를 포함한다. 한 쌍의 지지 부재(5610) 각각은 한 쌍의 제 2 가이드 레일(5400) 각각의 외측에 위치하며, 제 2 가이드 레일(5400)가 연장된 방향으로 연장 형성되며, 그 길이는 제 2 가이드 레일(5400)에 비해 짧다. 이때, 한 쌍의 지지 부재(5400) 사이의 이격 간격은 제 2 기판 이송부(5500)를 구성하는 한 쌍의 기판 안착대(5510) 사이의 이격 간격에 비해 넓다. 즉, 코팅 지지부(5600)의 지지 부재(5610)는 제 2 기판 이송부(5000)의 한 쌍의 기판 안착대(5510)에 비해 외측에 위치한다.
제 3 기판 이송부(5800)는 제 2 가이드 레일(5400)를 따라 코팅 지지부(5600)의 지지 부재(5610) 하측으로 이동하여, 코팅 지지부(5610) 상에 지지된 기판(S)을 상부에 안치시킨 후, 기판 인출부(5900) 방향으로 수평 이동시킨다. 이러한 제 3 기판 이송부(5800)는 상술한 제 1 기판 이송부(4500)와 동일한 구성을 가진다. 즉, 제 3 기판 이송부(5800)는 한 쌍의 제 2 가이드 레일(5400) 상부에 각기 장착되어 슬라이딩 이동하는 한 쌍의 이동 블록(5820), 한 쌍의 이동 블록(5820)의 상측에 위치하며, 기판(S)이 지지된 트레이(T)가 안착되는 기판 안착대(5810), 이동 블록(5820)과 기판 안착대(5810) 사이를 연결하도록 설치된 고정 부재(5830), 이동 블록(5820)과 기판 안착대(5810)에 설치되어 기판 안착대(5810)를 승하강시키는 승하강 구동부(5840)를 포함한다.
제 3 기판 이송부(5800)의 한쌍의 이동 블록(5820)은 제 2 가이드 레일(5400) 상측에서 상기 제 2 가이드 레일(5400)와 대응하는 방향으로 연장되도록 설치되며, 그 연장 길이는 제 2 가이드 레일(5400)에 비해 짧으며, 한 쌍의 이동 블록(5820) 사이를 연결하도록 설치된 연결 부재(5850), 연결 부재(5850)와 제 2 수평 구동부(5200) 사이를 연결하도록 설치되며, 제 2 수평 구동부(5200)를 따라 수평 이동하는 수평 이동 부재(미도시)를 포함한다.
연결 부재(5850)은 제 2 기판 이송부(5800)와 연결된 고정바(5700)를 포함한다.
물론 연결 부재(5850) 및 제 2 수평 구동부(5200)는 이에 한정되지 않고 이동 블록(5820)이 수평 이동할 수 있도록 다양한 수단이 사용될 수 있다.
제 3 기판 이송부(5800)의 기판 안착대(5810)는 코팅 처리가 완료된 기판(S)을 이송시키는 수단으로서, 승하강 구동부(5840) 및 고정 부재(5830)에 의해 이동 블록(5820)과 연결되도록 설치된다. 실시예에 따른 기판 안착대(5810)는 한 쌍의 이동 블록(5820) 상측에 각기 위치한다.
물론 기판 안착대(5810)는 상술한 구성 및 형상에 한정되지 않고, 이동 블록(5820)에 의해 제 2 가이드 레일(5400)를 따라 수평 이동 가능하며, 상부에 기판(S)이 안착될 수 있도록 다양하게 변경 가능하다.
제 3 기판 이송부(5800)의 승하강 구동부(5840)는 기판 안착대(5810)에 기판(S)을 안치하고 안치된 기판(S)을 기판 인출 영역으로 전달하기 위해 상기 기판 안착대(5810)를 승하강시킨다. 실시예에 따른 승하강 구동부(5840)는 실린더와 피스톤이 조합된 구성일 수 있다.
제 3 기판 이송부(5800)의 고정 부재(5830)는 승하강 구동부(5840)가 동작 시 기판 안착대(5810)가 좌우 유동하지 않도록 가이드 역할을 한다.
물론 승하강 구동부(5840) 및 고정 부재(5830)는 이에 한정되지 않고 기판 안착대(5810)를 승하강시킬 수 있는 다양한 수단이 사용될 수 있다.
기판 인출부는 제 3 기판 이송부에 의해 기판 인출 영역으로 이송된 기판을 일시 지지하고, 이를 테이블의 외측으로 인출시킨다. 여기서 기판 인출부의 외측에는 오븐이 설치될 수 있으며, 이에 기판 인출부로부터 인출된 기판은 오븐으로 장입되어 건조될 수 있다. 기판 인출부는 제 2 가이드 레일(5400)의 양 측 방향에서 상호 나란하게 설치되는 한 쌍의 지지 부재(5910), 각각이 한 쌍의 지지 부재(5910) 사이를 연결하도록 설치되며, 상기 한 쌍의 지지 부재(5910)의 연장 방향으로 나열되도록 상호 이격 설치된 복수의 연결바(5920), 복수의 연결바(5920) 각각에 장착되며, 상부에 트레이가 안치되는 복수의 롤러(5930)를 포함한다.
이하, 도 1 내지 도 13을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치의 동작을 설명한다.
먼저, 상부에 코팅막을 코팅할 기판(S)을 트레이(T) 상에 안치시키고, 상기 트레이(T)를 기판 인입부(4100)의 복수의 롤러(4120) 상에 안착시킨다. 그리고 제 1 기판 이송부(4500)의 승하강 구동부(4540)를 동작시켜 기판 안착대(4510)를 기판 인입부(4100)의 복수의 롤러(4120)에 비해 상측에 위치하도록 상승시킨다. 이에, 기판 인입부(4100)의 복수의 롤러(4120) 상에 안착되어 있던 트레이(T)가 제 1 기판 이송부(4500)의 기판 안착대(4510) 상에 안착된다.
그리고, 제 1 동력원(4300)를 이용하여 제 1 수평 구동부(4400)를 동작시켜, 제 1 기판 이송부(4500)를 코팅 공정 진행 방향으로 수평 이동시킨다. 이때, 제 1 기판 이송부(4500)가 플라즈마 처리기(2000)의 하측을 통과하여 도 11에 도시된 바와 같이, 플라즈마 처리기(2000)의 전방 또는 기판 전달부(4600)의 위치까지 이동하도록 수평이동시킨다. 보다 상세하게 설명하면, 제 1 동력원(4300)를 이용하여 제 1 수평 구동부(4200)를 동작시키면, 제 1 기판 이송부(4500)의 연결 부재(4550)에 연결된 수평 이동 부재가 제 1 수평 구동부(4200)를 따라 이동하며, 이에 제 1 기판 이송부(4500)의 이동 블록(4520)이 제 1 가이드 레일(4400)를 따라 이동한다. 이때 제 1 기판 이송부(4500)는 플라즈마 처리기(2000) 하측을 통과하도록 수평 이동하며, 상기 플라즈마 처리기(2000)로부터 방출 또는 방사된 플라즈마에 의해 표면 처리된다.
상술한 바와 같이 일 기판(S) 표면에 플라즈마 처리가 실시되는 동안, 먼저 플라즈마 처리된 기판(S)은 코팅 지지부(5600)에 안착된 상태로 코팅기(3000)에 의해 코팅 공정이 실시될 수 있다. 코팅 공정에 대한 상세한 설명은 이하에서 하기로 한다.
제 1 기판 이송부(4500)에 의해 수평 이동하면서, 플라즈마 처리가 종료된 기판(S)은 도 11에 도시된 바와 같이, 플라즈마 처리기(2000)의 전방에 위치한 기판 전달부(4600)의 위치까지 수평 이동된 상태이다.
일 기판(S) 표면에 플라즈마 처리가 종료되면, 제 1 기판 이송부(4500) 상에 안착된 상기 기판(S)을 도 12에 도시된 바와 같이 기판 전달부(4600) 상에 안착시킨다. 이를 위해, 제 1 기판 이송부(4500)의 승하강 구동부(4540)를 이용하여 기판 안착대(4510)를 하강시켜, 기판 전달부(4600)의 지지 부재(4610)에 비해 낮게 위치하도록 하면, 기판(S)이 기판 전달부(4600)의 지지 부재(4610) 상에 지지된다.
다음으로, 제 2 기판 이송부(5500)와 제 3 기판 이송부(5800)를 이동시켜, 기판 전달부(4600) 상에 안착된 기판(S)을 이동시켜, 도 13에 도시된 바와 같이, 코팅 지지부(5600) 상에 안착시키고, 코팅이 종료되어 코팅 지지부(5600) 상에 안착되어 있던 기판(S)을 기판 인출부(5900) 상에 안착시킨다. 이를 위해, 도 12에 도시된 바와 같이, 제 2 기판 이송부(5500) 및 제 3 기판 이송부(5800)를 후진 이동시켜, 상기 제 2 기판 이송부(5500)를 기판 전달부(4600)의 위치에 위치시키고, 상기 제 3 기판 이송부(5800)를 코팅 지지부(5600)의 위치에 위치시킨다. 상술한 제 2 및 제 3 기판 이송부(5500, 5600)의 동작을 위해서, 제 2 동력원(5300) 및 제 2 수평 구동부(5200)를 구동시킨다. 이에, 제 3 기판 이송부(5800)의 연결 부재(5850)에 연결된 수평 이동 부재(미도시)가 제 2 수평 구동부(5200)를 따라 코팅 지지부(5600)가 위치한 방향으로 수평 이동하고, 이때 제 3 기판 이송부(5800)의 이동 블록(5820)이 제 2 가이드 레일(5400)를 따라 코팅 지지부(5600)가 위치한 방향으로 수평 이동한다. 또한 본 발명에서는 고정바(5700)에 의해 제 3 기판 이송부(5800)와 제 2 기판 이송부(5500)가 연결되어 있으므로, 제 3 기판 이송부(5800)가 코팅 지지부(5600)로 이송하는 힘이 고정바(5700)를 통해 제 2 기판 이송부(5500)로 전달된다. 따라서, 제 2 기판 이송부(5500)가 제 2 가이드 레일(5400)를 따라 기판 전달부(4600)로 수평 이동된다.
제 2 기판 이송부(5500)가 기판 전달부(4600)로 이송되고, 제 3 기판 이송부(5800)가 코팅 지지부(5600)로 이송되면, 제 2 기판 이송부(5500) 및 제 3 기판 이송부(5800) 각각에 기판(S)을 안착시킨다. 이를 위해, 제 2 기판 이송부(5500)의 승하강 구동부(5540)를 동작시켜 기판 안착대(5510)를 기판 전달부(4600)의 지지 부재(4610)에 비해 높게 위치하도록 상승시키면, 제 2 기판 이송부(5500)의 기판 안착대(5510) 상에 기판(S)이 안착된다. 또한, 제 3 기판 이송부(5800)의 승하강 구동부(5840)를 동작시켜 기판 안착대(5810)를 코팅 지지부(5600)의 지지 부재(5610)에 비해 높게 위치하도록 상승시키면, 제 3 기판 이송부(5800)의 기판 안착대(5810) 상에 기판(S)이 안착된다.
그리고 다시 제 2 동력원(5300) 및 제 2 수평 구동부(5200)를 반대로 동작시켜, 제 2 기판 이송부(5500)를 코팅 지지부(5600) 위치로, 제 3 기판 이송부(5800)를 기판 인출부(5900) 위치로 수평 이동시킨다. 이후, 제 2 기판 안착대(5510) 및 3 기판 안착대(5810)를 하강시키면, 도 13에 도시된 바와 같이, 제 2 기판 안착대(55110)의 기판(S)이 코팅 지지부(5600) 상에 안착되고, 제 3 기판 안착대(5810)의 기판(S)이 기판 인출부(5900) 상에 안착된다. 기판 인출부(5900) 상에 안착된 기판(S)은 복수의 롤러(5930)에 의해 테이블 외측 방향으로 이동하여 인출된다. 그리고 인출된 기판(S)은 테이블(1000) 외측에 위치한 오븐으로 이동하여 건조되거나, 자연 건조된다. 물론 이에 한정되지 않고, 별도의 오븐을 구비하여, 코팅이 종료된 기판(S)을 인력 또는 별도의 기구로 오븐으로 이송한 후, 상기 오븐에서 건조시킬 수도 있다.
코팅 지지부(5600) 상에 기판(S)이 안치되면, 코팅기(3000)를 이용하여 기판(S) 표면에 코팅제 예컨대, 지문방지막 형상을 위한 불소 계열의 코팅제를 분사하면서, 코팅막을 형성한다. 도 14를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면, 먼저 분사 유닛(3100)은 코팅 이송기(7000)의 제 1 가이드 레일(7100)를 따라 X축 방향으로 수평 이동하면서 기판(S) 표면에 코팅제를 분사하여 코팅막을 형성한다. 이후, 분사 유닛(3100)을 다음 코팅 영역으로 이송시키기 위해, 분사 유닛(3100)을 제 2 가이드 레일(7200)를 따라 Y축 방향으로 소정 거리 이동시킨다. 그리고 다시 제 1 가이드 레일(7100)를 따라 X축 방향으로 수평 이동하면서 코팅제를 기판(S)으로 분사하여 코팅막을 형성한다. 즉, 분사 유닛(3100)은 제 1 가이드 레일(7100)와 제 2 가이드 레일(7200) 각각을 따라 수평 이동하면서 코팅막을 형성하는데, 분사 유닛(3100)의 이동 형상은 도 14에 도시된 바와 같이 'ㄹ' 형상의 반복일 수 있다.
분사 유닛은 복수의 노즐(3120; 3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)을 구비하며, 제 1 실시예에 따른 복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)이 도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, Y 축 방향으로 그 위치 또는 그 중심(C)의 위치가 동일하지 않도록 설치되어 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 노즐 세트(3121, 3122, 3123, 3124) 각각을 구성하는 복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)이 Y 축 방향으로 그 위치 또는 그 중심(C)의 위치가 동일하지 않고, 서로 상이하도록 지그재그로 배치된다. 따라서, 복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c) 각각으로부터 코팅제가 배출되어 기판(S) 상에 도팅(dotting) 될 때, 도팅된 복수의 방울(D)이 도 6에 도시된 바와 같이 중첩되지 않는다.
또한, 분사 유닛(3100)을 X 축 방향으로 수평 이동시키면서 복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c) 각각으로부터 코팅제를 분사하면, 복수의 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c) 각각으로부터 도팅 방울(D)이 연속적으로 도팅되어, X 축 방향으로 연장된 라인 형상으로 도포된다. 이때, 각 노즐(3121a, 3121b, 3121c, 3122a, 3122b, 3122c, 3123a, 3123b, 3123c, 3124a, 3124b, 3124c)에 의해 도포된 도포 라인 중 제 3 노즐(3121c) 및 제 10 노즐(3124a)에 의해 도포된 도포 라인을 제외한 각각은 2개의 도포 라인과 Y 축 방향으로 중첩되도록 형성된다. 그리고 분사 유닛(3100)을 Y축 방향으로 소정 거리 이동하여 X축 방향으로 수평 이동시키면서 새로 형성되는 제 10 노즐(3124a)에 의해 도포된 도포 라인을 X 축 방향으로 1회 이동 시에 형성된 제 3 노즐(3124a)에 의해 도포된 도포 라인을 중첩되도록 형성하여 제 3 노즐(3121c) 및 제 10 노즐(3124a)에 의해 도포된 도포 라인도 2개의 도포 라인과 Y축 방향으로 중첩되도록 형성하는 것이 바람직하다. 이에, 분사 유닛(3100)을 X 축 방향으로 1회 이동 시에, 일 영역에 대해 코팅막이 균일하게 형성되어, 코팅막 품질이 향상되는 효과가 있다.
1000: 테이블 2000: 플라즈마 처리기
3000: 코팅기 3100: 분사 유닛
4000: 제 1 기판 이송기 4100: 기판 인입부
4200: 제 1 수평 구동부 4300: 제 1 동력원
4400: 제 1 가이드 레일 4500: 제 1 기판 이송부
4600: 기판 전달부 5000: 제 2 기판 이송기
5200: 제 2 수평 구동부 5300: 제 2 동력원
5400: 제 2 가이드 레일 5500: 제 2 기판 이송부
5600: 코팅 지지부 5700: 고정바
5800: 제 3 기판 이송부 5900: 기판 인출부

Claims (25)

  1. 기판 상에 코팅제를 분사하는 복수의 노즐이 마련된 분사 유닛을 구비하는 코팅기; 및
    상기 코팅기를 X축 및 Y축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기;
    상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 공정 진행 방향으로 연장 형성된 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되고, 상기 가이드 레일을 따라 코팅 공정 진행 방향으로 이동하는 기판 이송부를 구비하는 기판 이송기; 및
    상기 코팅 공정 진행 방향 경로 상에 설치되어, 상기 기판 상에 플라즈마 표면 처리를 실시하는 플라즈마 처리기;
    를 포함하고,
    상기 복수의 노즐은 X 축 및 Y축 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며,
    상기 X 축 및 Y 축 중 어느 하나의 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 다른 축 방향의 위치가 서로 상이하며,
    상기 기판 이송기는
    코팅막이 형성될 기판이 인입되는 영역으로부터 상기 분사 유닛이 위치한 방향으로 연장 형성된 제 1 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 제 1 기판 이송부를 구비하는 제 1 기판 이송기;
    상기 코팅막이 형성된 기판이 인출되는 영역으로부터 상기 플라즈마 처리기가 위치한 방향으로 연장 형성된 제 2 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 적어도 하나의 제 2 기판 이송부를 구비하는 제 2 기판 이송기;
    를 포함하는 코팅 장치.
  2. 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 공정 진행 방향으로 연장 형성된 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되고, 상기 가이드 레일을 따라 코팅 공정 진행 방향으로 이동하는 기판 이송부를 구비하는 기판 이송기;
    상기 코팅 공정 진행 방향 경로 상에 설치되어, 상기 기판 상에 플라즈마 표면 처리를 실시하는 플라즈마 처리기; 및
    상기 코팅 공정 진행 경로 상에서 상기 플라즈마 처리기와 이격 설치되어, 기판 상에 코팅제를 분사하는 복수의 노즐이 마련된 분사 유닛을 구비하는 코팅기;
    를 포함하고,
    상기 기판 이송기는
    코팅막이 형성될 기판이 인입되는 영역으로부터 상기 분사 유닛이 위치한 방향으로 연장 형성된 제 1 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 제 1 기판 이송부를 구비하는 제 1 기판 이송기;
    상기 코팅막이 형성된 기판이 인출되는 영역으로부터 상기 플라즈마 처리기가 위치한 방향으로 연장 형성된 제 2 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 적어도 하나의 제 2 기판 이송부를 구비하는 제 2 기판 이송기;
    를 포함하는 코팅 장치.
  3. 기판 상에 코팅제를 분사하는 복수의 노즐이 마련된 분사 유닛을 구비하는 코팅기;
    상기 기판 상에 코팅막을 형성하는 코팅 공정 진행 방향으로 연장 형성된 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되고, 상기 가이드 레일을 따라 코팅 공정 진행 방향으로 이동하는 기판 이송부를 구비하는 기판 이송기; 및
    상기 코팅 공정 진행 방향 경로 상에 설치되어, 상기 기판 상에 플라즈마 표면 처리를 실시하는 플라즈마 처리기;
    를 포함하고,
    X 축 및 Y 축 방향 각각으로 상기 복수의 노즐이 나열되어 상호 이격되어 설치되며,
    상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 각각으로부터 형성된 도포 라인이 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향에 배치된 적어도 하나의 노즐로부터 도포된 도포 라인과 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로의 위치가 서로 상이하도록 설치되며,
    상기 기판 이송기는
    코팅막이 형성될 기판이 인입되는 영역으로부터 상기 분사 유닛이 위치한 방향으로 연장 형성된 제 1 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 제 1 기판 이송부를 구비하는 제 1 기판 이송기;
    상기 코팅막이 형성된 기판이 인출되는 영역으로부터 상기 플라즈마 처리기가 위치한 방향으로 연장 형성된 제 2 가이드 레일과, 상부에 기판이 안치되며, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 적어도 하나의 제 2 기판 이송부를 구비하는 제 2 기판 이송기;
    를 포함하는 코팅 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 분사 유닛은 상기 코팅 공정 진행 경로 상에서 상기 플라즈마 처리기와 이격 설치되는 코팅 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 각각으로부터 형성된 도포 라인이 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향에 배치된 적어도 하나의 노즐로부터 도포된 도포 라인과 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로의 위치가 서로 상이하도록 설치된 코팅 장치.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 코팅기를 X축 및 Y축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기를 포함하고,
    상기 복수의 노즐은 X 축 및 Y축 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며,
    상기 X 축 및 Y 축 중 어느 하나의 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 다른 축 방향의 위치가 서로 상이한 코팅 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 각각으로부터 형성된 도포 라인이 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향에 배치된 적어도 하나의 노즐로부터 도포된 도포 라인과 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 다른 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 상기 X 축 및 Y 축 방향 중 일 축 방향으로의 위치가 서로 상이하도록 설치된 코팅 장치.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 코팅기를 X축 및 Y축 방향으로 수평 이동시키는 코팅 이송기를 포함하고,
    상기 코팅기는 상기 코팅 공정 진행 경로 상에서 상기 플라즈마 처리기와 이격 설치되는 코팅 장치.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 복수의 노즐로부터 토출되어 기판 상에 복수의 코팅제가 도팅될 때 형성된 복수의 도팅 방울이 상호 이격되도록, X 축 방향으로 나열된 상기 복수의 노즐의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치된 코팅 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 분사 유닛은 X 축 방향으로 수평 이동하면서 기판 상에 코팅제를 분사하고,
    상기 기판 상에는 상기 복수의 노즐 각각으로부터 토출되어 연속적으로 도팅되는 도팅 방울에 의해 형성되며, 각각이 X축 방향으로 연장되도록 도포 라인이 형성되고,
    각각의 노즐로부터 도포되어 형성된 도포 라인의 일부 영역이 X 축 방향으로 이격 배치된 다른 노즐들로부터 도포되어 형성된 도포 라인들 중 적어도 어느 하나와 Y 축 방향으로 중첩 형성되도록, 상기 X 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치된 코팅 장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 도포 라인의 Y 축 방향으로의 중첩 영역이 35% 내지 45%가 되도록 상기 X 축 방향으로 나열된 복수의 노즐의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이하도록 배치된 코팅 장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    X 축 방향의 서로 다른 위치에 배치되며, Y 축 방향으로 인접하여 배치된 일 노즐의 중심과 다른 일 노즐의 중심 간의 거리는 상기 중첩 면적의 1.3 내지 1.7 배인 코팅 장치.
  13. 청구항 9에 있어서,
    Y 축 방향으로 나열되어 이격 설치된 상기 복수의 노즐을 각기 구비하는 복수의 노즐 세트를 포함하고,
    상기 복수의 노즐 세트는 X 축 방향으로 나열되어 상호 이격 배치되며,
    상기 X 축 방향으로 나열된 복수의 노즐 세트의 Y 축 방향의 위치가 서로 상이한 코팅 장치.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 복수의 노즐 세트가 지그재그 형상으로 배치되는 코팅 장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    일 노즐 세트를 사이에 두고, X 축 방향의 양측으로 이격 배치된 두 개의 노즐 세트 각각을 구성하는 일 노즐로부터 도포된 도포 라인의 일부가 Y 축 방향으로 상호 중첩되도록 상기 복수의 노즐 세트가 배치되는 코팅 장치.
  16. 삭제
  17. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 하나에 있어서,
    상기 제 1 기판 이송부는 코팅막 형성을 위해 인입된 기판을 안치하여, 상기 플라즈마 처리기가 위치한 방향으로 이동하고,
    상기 제 1 기판 이송기는
    상기 제 1 기판 이송부와 연결되도록 설치되어, 상기 제 1 기판 이송부가 상기 제 1 가이드 레일 따라 수평 이동하는 구동력을 제공하는 제 1 수평 구동부; 및
    상기 제 1 수평 구동부와 연결되어, 상기 제 1 수평 구동부를 회전 동작시키는 제 1 동력원;
    을 포함하고,
    상기 제 1 수평 구동부는 볼스크류인 코팅 장치.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 제 1 기판 이송부는
    상기 제 1 가이드 레일 각각에 장착되도록 설치되어, 상기 제 1 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 이동 블록;
    상기 이동 블록의 상측에 장착되며, 상부에 기판이 안착되는 기판 안착대; 및
    상기 기판 안착대와 연결되어, 상기 기판 안착대를 승하강시키는 승하강 구동부;
    를 포함하는 코팅 장치.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 기판 안착대는 코팅막 형성을 위해 기판이 인입되는 기판 인입 영역에서, 상기 승하강 구동부에 의해 승하강하여, 상기 기판 인입 영역으로 인입된 기판을 상기 기판 안착대 상에 안착시키는 코팅 장치.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 제 1 기판 이송부의 수평 이동 경로 상에 설치되며, 상기 제 2 기판 이송기의 기판 이송부로 기판을 전달하기 위해, 상기 제 1 기판 이송부로부터 이동된 기판을 지지하는 기판 전달부 및
    상기 제 2 기판 이송기의 이동 경로 상에 설치되며 ,상부에 기판이 안치되어 코팅 공정이 실시되는 코팅 지지부;
    를 포함하는 코팅 장치.
  21. 청구항 20에 있어서,
    상기 제 2 기판 이송부는 상기 기판 전달부 상에 지지된 기판을 안치하여, 상기 분사 유닛이 위치한 방향으로 이동시키고,
    상기 제 2 기판 이송기는,
    상기 제 2 가이드 레일 상에서 상기 제 2 기판 이송부의 전방에 설치되어, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동하여, 상기 코팅 지지부에 지지된 기판을 안치하여 기판 인출 영역으로 이동시키는 제 3 기판 이송부;
    상기 제 2 기판 이송부와 상기 제 3 기판 이송부 사이를 연결하도록 설치된 고정바;
    상기 제 2 기판 이송부 및 제 3 기판 이송부 중 어느 하나와 연결되도록 설치되어, 상기 제 2 기판 이송부 및 제 3 기판 이송부가 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동하는 구동력을 제공하는 제 2 수평 구동부; 및
    상기 제 2 수평 구동부와 연결되어, 상기 제 2 수평 구동부를 회전 동작시키는 제 2 동력원;
    을 포함하고,
    상기 제 2 수평 구동부는 볼스크류인 코팅 장치.
  22. 청구항 21에 있어서,
    상기 제 2 기판 이송부 및 제 3 기판 이송부는,
    상기 제 2 가이드 레일 각각에 장착되도록 설치되어, 상기 제 2 가이드 레일을 따라 수평 이동 가능한 이동 블록;
    상기 이동 블록의 상측에 장착되며, 상부에 기판이 안착되는 기판 안착대;
    상기 기판 안착대와 연결되어, 상기 기판 안착대를 승하강시키는 승하강 구동부;
    를 포함하는 코팅 장치.
  23. 청구항 22에 있어서,
    상기 기판 전달부 상에 지지된 기판 하측에서 상기 제 2 기판 이송부의 승하강 구동부가 상기 제 2 기판 이송부의 기판 안착대를 승하강하여 상기 기판 전달부 상에 지지된 기판을 상기 제 2 기판 이송부의 기판 안착대에 안치하고,
    상기 코팅 지지부에 지지된 기판 하측에서 상기 제 3 기판 이송부의 승하강 구동부가 상기 제 3 기판 이송부의 기판 안착대를 승하강하여 상기 코팅 지지부에 지지된 기판을 상기 제 3 기판 이송부의 기판 안착대에 안치하는 코팅 장치.
  24. 청구항 20에 있어서,
    상기 코팅 이송기는
    상기 코팅 지지부의 상측에 위치하며, 상기 분사 유닛을 X 축 방향으로 수평 이동시키는 제 1 가이드 부재; 및
    상기 제 1 가이드 부재의 양 단과 연결되며, Y 축 방향으로 연장 형성되어, 상기 제 1 가이드 부재와 분사 유닛을 Y 축 방향으로 수평 이동시키는 제 2 가이드 부재;
    를 포함하는 코팅 장치.
  25. 청구항 9에 있어서,
    상기 복수의 노즐 각각은
    코팅제 탱크로부터 코팅제를 공급하는 시린지 펌프와 연결된 코팅제 공급관;
    가스 탱크로부터 가스를 공급하는 유량 제어부와 연결된 가스 공급관; 및
    상기 복수의 노즐과 상기 코팅제 공급관의 사이에서 상기 코팅제 또는 상기 가스가 역류하는 것을 차단하는 차단부재 및 상기 차단부재에 연결된 스프링을 구비하는 체크 밸브;
    를 포함하는 코팅 장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170130766A (ko) * 2016-05-19 2017-11-29 명지대학교 산학협력단 다층박막 스프레이 코팅 장치
KR102035822B1 (ko) * 2019-05-31 2019-11-26 씨아이에스(주) 다열 동시 코팅용 절연코팅액 공급장치
CN111389642A (zh) * 2020-03-24 2020-07-10 杭州驰飞超声波设备有限公司 一种超声波喷涂机
CN115301444A (zh) * 2022-08-12 2022-11-08 广州思而特科技有限公司 一种双面发光玻璃导光板纳米喷涂设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004510571A (ja) * 2000-10-04 2004-04-08 ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド コーティングを形成するための方法および装置
KR101110020B1 (ko) * 2009-10-20 2012-02-29 주식회사 탑 엔지니어링 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서
JP2013208520A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Toray Ind Inc 塗布ノズルおよびそれを用いた塗布方法、ディスプレイ用部材の製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002522347A (ja) * 1998-08-13 2002-07-23 ピーピージー・インダストリーズ・オハイオ・インコーポレイテッド 基体上に選択された色の被覆を形成するための組成物、装置、方法、及びそれによって製造された物品
JP4311050B2 (ja) * 2003-03-18 2009-08-12 セイコーエプソン株式会社 機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法および機能液滴吐出装置
JP2005095835A (ja) * 2003-09-26 2005-04-14 Seiko Epson Corp 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、および吐出方法
JP3925528B2 (ja) * 2004-10-01 2007-06-06 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器
US20070178237A1 (en) * 2005-08-02 2007-08-02 Shin Dong M Method for patterning coatings
KR20110028778A (ko) * 2009-09-14 2011-03-22 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포방법
TWI415961B (zh) * 2011-04-21 2013-11-21 Creating Nano Technologies Inc 抗汙薄膜之常壓蒸鍍方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004510571A (ja) * 2000-10-04 2004-04-08 ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド コーティングを形成するための方法および装置
KR101110020B1 (ko) * 2009-10-20 2012-02-29 주식회사 탑 엔지니어링 노즐세정장치 및 노즐세정장치가 구비되는 페이스트 디스펜서
JP2013208520A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Toray Ind Inc 塗布ノズルおよびそれを用いた塗布方法、ディスプレイ用部材の製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170130766A (ko) * 2016-05-19 2017-11-29 명지대학교 산학협력단 다층박막 스프레이 코팅 장치
KR101897079B1 (ko) * 2016-05-19 2018-09-11 명지대학교 산학협력단 다층박막 스프레이 코팅 장치
KR102035822B1 (ko) * 2019-05-31 2019-11-26 씨아이에스(주) 다열 동시 코팅용 절연코팅액 공급장치
CN111389642A (zh) * 2020-03-24 2020-07-10 杭州驰飞超声波设备有限公司 一种超声波喷涂机
CN115301444A (zh) * 2022-08-12 2022-11-08 广州思而特科技有限公司 一种双面发光玻璃导光板纳米喷涂设备

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