JP2006093411A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006093411A JP2006093411A JP2004277158A JP2004277158A JP2006093411A JP 2006093411 A JP2006093411 A JP 2006093411A JP 2004277158 A JP2004277158 A JP 2004277158A JP 2004277158 A JP2004277158 A JP 2004277158A JP 2006093411 A JP2006093411 A JP 2006093411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- wafer
- chamber
- blowing
- cooling gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】降温速度を向上させ、ウエハ間およびウエハ面内の温度差を抑制する。
【解決手段】ウエハの処理室32を構成するプロセスチューブ31と、処理室32を加熱するヒータユニット50と、ウエハ1群を処理室32に搬出するボート30とを備えたCVD装置10において、冷却ガス供給ユニット70を処理室32の内周面に沿って設置する。冷却ガス供給ユニット70は各吸込室を形成した吸込ノズル71、72、73と、各吹出室を形成した吹出ノズル81、82とから構成し、三本の吸込ノズルには窒素ガス90を吹出室81b、82bに噴出するスリット71b、72b、73bを開設し、二本の吹出ノズル81、82には吹出室81b、82bに噴出した窒素ガスを処理室32に吹き出す吹出スリット81c、82cを開設する。窒素ガス90が処理室32へ吹出スリット81c、82cから均等に吹き出すので、ウエハ群を急速かつ均等に冷却できる。
【選択図】図8
【解決手段】ウエハの処理室32を構成するプロセスチューブ31と、処理室32を加熱するヒータユニット50と、ウエハ1群を処理室32に搬出するボート30とを備えたCVD装置10において、冷却ガス供給ユニット70を処理室32の内周面に沿って設置する。冷却ガス供給ユニット70は各吸込室を形成した吸込ノズル71、72、73と、各吹出室を形成した吹出ノズル81、82とから構成し、三本の吸込ノズルには窒素ガス90を吹出室81b、82bに噴出するスリット71b、72b、73bを開設し、二本の吹出ノズル81、82には吹出室81b、82bに噴出した窒素ガスを処理室32に吹き出す吹出スリット81c、82cを開設する。窒素ガス90が処理室32へ吹出スリット81c、82cから均等に吹き出すので、ウエハ群を急速かつ均等に冷却できる。
【選択図】図8
Description
本発明は、基板処理装置に関し、例えば、半導体集積回路装置(以下、ICという。)の製造方法に使用されるCVD装置や拡散装置、酸化装置およびアニール装置等の熱処理装置(furnace )に利用して有効なものに関する。
ICの製造方法において、半導体素子を含む集積回路が作り込まれる半導体ウエハ(以下、ウエハという。)に窒化シリコン(Si3 N4 )や酸化シリコンおよびポリシリコン等のCVD膜を形成する工程に、バッチ式縦形ホットウオール形減圧CVD装置が広く使用されている。
バッチ式縦形ホットウオール形減圧CVD装置(以下、CVD装置という。)は、ウエハが搬入されるインナチューブおよびインナチューブを取り囲むアウタチューブから構成されて縦形に設置されたプロセスチューブと、プロセスチューブによって形成された処理室に処理ガスとしての成膜ガスを供給するガス供給管と、処理室を真空排気する排気管と、プロセスチューブ外に敷設されて処理室を加熱するヒータユニットと、ボートエレベータによって昇降されて処理室の炉口を開閉するシールキャップと、シールキャップの上に垂直に設置されて複数枚のウエハを保持するボートとを備えており、複数枚のウエハがボートによって垂直方向に整列されて保持された状態で処理室に下端の炉口から搬入(ボートローディング)され、シールキャップによって炉口が閉塞された状態で、処理室に成膜ガスがガス供給管から供給されるとともに、ヒータユニットによって処理室が加熱されることにより、ウエハの上にCVD膜を堆積させるように構成されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−110556号公報
バッチ式縦形ホットウオール形減圧CVD装置(以下、CVD装置という。)は、ウエハが搬入されるインナチューブおよびインナチューブを取り囲むアウタチューブから構成されて縦形に設置されたプロセスチューブと、プロセスチューブによって形成された処理室に処理ガスとしての成膜ガスを供給するガス供給管と、処理室を真空排気する排気管と、プロセスチューブ外に敷設されて処理室を加熱するヒータユニットと、ボートエレベータによって昇降されて処理室の炉口を開閉するシールキャップと、シールキャップの上に垂直に設置されて複数枚のウエハを保持するボートとを備えており、複数枚のウエハがボートによって垂直方向に整列されて保持された状態で処理室に下端の炉口から搬入(ボートローディング)され、シールキャップによって炉口が閉塞された状態で、処理室に成膜ガスがガス供給管から供給されるとともに、ヒータユニットによって処理室が加熱されることにより、ウエハの上にCVD膜を堆積させるように構成されている(例えば、特許文献1参照)。
一般に、CVD装置においては、成膜後に処理室が窒素ガスパージされて所定の温度まで降温された後に、ボートが処理室から搬出(ボートアンローディング)される。これは、処理温度のままでボートアンローディングすると、ウエハ相互間の温度偏差やウエハ面内の温度偏差が大きくなってICの特性に悪影響が及ぶのを防止するためである。そして、窒素ガスはマニホールドに固定されたガス供給管によって処理室へ供給される。
しかしながら、従来のCVD装置においては、窒素ガスがマニホールドに固定されたガス供給管によって処理室に供給されるために、ウエハ群の降温が不均一になるという問題点がある。すなわち、ガス供給管は処理室のボートの下方の一箇所に配置されているために、ウエハ群に対して均一の流れをもって接触することはできない。つまり、窒素ガスの流れが不均一になるために、ウエハ群の領域やウエハ面内において不均一に冷却され、窒素ガスの流速の大きい領域のウエハやウエハ面内だけが冷却されてしまう。
本発明の目的は、降温速度を向上させることができるとともに、基板間および基板面内の温度偏差を防止することができる基板処理装置を提供することにある。
本願において開示される発明のうち代表的なものは、次の通りである。
(1)基板を収容して処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入するボートと、前記処理室に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段と、前記冷却ガスを排気する排気口とを備えており、
前記冷却ガス供給手段は、前記ボートによって前記処理室に搬入された第一位置の前記基板がある方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口と、この第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第一位置にある前記基板の主面に対して水平方向であって前記基板がある方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口とを備えていることを特徴とする基板処理装置。
(2)基板を収容して処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入するボートと、前記処理室に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段と、前記冷却ガスを排気する排気口とを備えており、
前記冷却ガス供給手段は二層以上に構成されており、第一層は前記冷却ガスの上流側と直結し、前記ボートによって前記処理室に搬入された第一位置の前記基板がある方向に向かっては前記冷却ガスを噴出しない第一噴出口を有し、第二層は前記第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第一位置にある前記基板の主面に対して水平方向であって前記基板がある方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口を有することを特徴とする基板処理装置。
(3)前記(1)または(2)において、前記冷却ガス供給手段は一つ以上のノズルを備えていることを特徴とする基板処理装置。
(4)前記(1)、(2)または(3)において、前記冷却ガス供給手段は複数に区分けされていることを特徴とする基板処理装置。
(5)前記(1)、(2)、(3)または(4)において、前記第一噴出口および第二噴出口は、前記第一位置にある前記基板の複数に跨がって少なくとも鉛直方向に開口するスリットであることを特徴とする基板処理装置。
(6)基板を収容して処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入するボートと、前記処理室に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段と、前記冷却ガスを排気する排気口とを備えており、前記冷却ガス供給手段は、前記ボートによって前記処理室に搬入された第一位置の前記基板がある方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口と、この第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第一位置にある前記基板の主面に対して水平方向であって前記基板がある方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口とを備えている基板処理装置を用いて前記基板を処理する半導体装置の製造方法において、
前記処理室に前記ボートを搬入するステップと、
前記冷却ガスが前記第一噴出口から噴出するステップと、
前記第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第二噴出口から噴出するステップと、
前記冷却ガスが前記基板に接触するステップと、
前記冷却ガスが前記排気口から排気するステップと、
を備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
(1)基板を収容して処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入するボートと、前記処理室に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段と、前記冷却ガスを排気する排気口とを備えており、
前記冷却ガス供給手段は、前記ボートによって前記処理室に搬入された第一位置の前記基板がある方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口と、この第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第一位置にある前記基板の主面に対して水平方向であって前記基板がある方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口とを備えていることを特徴とする基板処理装置。
(2)基板を収容して処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入するボートと、前記処理室に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段と、前記冷却ガスを排気する排気口とを備えており、
前記冷却ガス供給手段は二層以上に構成されており、第一層は前記冷却ガスの上流側と直結し、前記ボートによって前記処理室に搬入された第一位置の前記基板がある方向に向かっては前記冷却ガスを噴出しない第一噴出口を有し、第二層は前記第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第一位置にある前記基板の主面に対して水平方向であって前記基板がある方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口を有することを特徴とする基板処理装置。
(3)前記(1)または(2)において、前記冷却ガス供給手段は一つ以上のノズルを備えていることを特徴とする基板処理装置。
(4)前記(1)、(2)または(3)において、前記冷却ガス供給手段は複数に区分けされていることを特徴とする基板処理装置。
(5)前記(1)、(2)、(3)または(4)において、前記第一噴出口および第二噴出口は、前記第一位置にある前記基板の複数に跨がって少なくとも鉛直方向に開口するスリットであることを特徴とする基板処理装置。
(6)基板を収容して処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入するボートと、前記処理室に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段と、前記冷却ガスを排気する排気口とを備えており、前記冷却ガス供給手段は、前記ボートによって前記処理室に搬入された第一位置の前記基板がある方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口と、この第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第一位置にある前記基板の主面に対して水平方向であって前記基板がある方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口とを備えている基板処理装置を用いて前記基板を処理する半導体装置の製造方法において、
前記処理室に前記ボートを搬入するステップと、
前記冷却ガスが前記第一噴出口から噴出するステップと、
前記第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第二噴出口から噴出するステップと、
前記冷却ガスが前記基板に接触するステップと、
前記冷却ガスが前記排気口から排気するステップと、
を備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記(1)によれば、冷却ガス供給手段から冷却ガスを噴き出すことにより、処理済みの基板を急速かつ均一に降温させることができる。
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
本実施の形態において、図1、図2および図3に示されているように、本発明に係る基板処理装置はICの製造方法における成膜工程を実施するCVD装置(バッチ式縦形ホットウオール形減圧CVD装置)10として構成されている。
なお、このCVD装置においては、ウエハ1を搬送するウエハキャリアとしてFOUP(front opening unified pod 。以下、ポッドという。)2が使用されている。
なお、このCVD装置においては、ウエハ1を搬送するウエハキャリアとしてFOUP(front opening unified pod 。以下、ポッドという。)2が使用されている。
図1〜図3に示されているように、CVD装置10は型鋼や鋼板等によって直方体の箱形状に構築された筐体11を備えている。筐体11の正面壁にはポッド搬入搬出口12が筐体11の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口12はフロントシャッタ13によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口12の手前にはポッドステージ14が設置されており、ポッドステージ14はポッド2を載置されて位置合わせを実行するように構成されている。ポッド2はポッドステージ14の上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、かつまた、ポッドステージ14の上から搬出されるようになっている。
筐体11内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚15が設置されており、回転式ポッド棚15は複数個のポッド2を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚15は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱16と、支柱16に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板17とを備えており、複数枚の棚板17はポッド2を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体11内におけるポッドステージ14と回転式ポッド棚15との間には、ポッド搬送装置18が設置されており、ポッド搬送装置18はポッドステージ14と回転式ポッド棚15との間および回転式ポッド棚15とポッドオープナ21との間で、ポッド2を搬送するように構成されている。
筐体11内におけるポッドステージ14と回転式ポッド棚15との間には、ポッド搬送装置18が設置されており、ポッド搬送装置18はポッドステージ14と回転式ポッド棚15との間および回転式ポッド棚15とポッドオープナ21との間で、ポッド2を搬送するように構成されている。
筐体11内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体19が後端にわたって構築されている。サブ筐体19の正面壁にはウエハ1をサブ筐体19内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口20が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口20、20には一対のポッドオープナ21、21がそれぞれ設置されている。
ポッドオープナ21はポッド2を載置する載置台22と、載置台22に載置されたポッド2のキャップを着脱するキャップ着脱機構23とを備えている。ポッドオープナ21は載置台22に載置されたポッド2のキャップをキャップ着脱機構23によって着脱することにより、ポッド2のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。ポッドオープナ21の載置台22に対してはポッド2がポッド搬送装置18によって搬入および搬出されるようになっている。
ポッドオープナ21はポッド2を載置する載置台22と、載置台22に載置されたポッド2のキャップを着脱するキャップ着脱機構23とを備えている。ポッドオープナ21は載置台22に載置されたポッド2のキャップをキャップ着脱機構23によって着脱することにより、ポッド2のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。ポッドオープナ21の載置台22に対してはポッド2がポッド搬送装置18によって搬入および搬出されるようになっている。
サブ筐体19内の前側領域にはウエハ移載装置25が設置された移載室24が形成されている。ウエハ移載装置25はボート30に対してウエハ1を装填(チャージング)および脱装(ディスチャージング)するように構成されている。サブ筐体19内の後端部にはボートを収容して待機させる待機室26が形成されている。待機室26にはボートを昇降させるためのボートエレベータ27が設置されている。ボートエレベータ27はモータ駆動の送りねじ軸装置やベローズ等によって構成されている。
ボートエレベータ27の昇降台に連結されたアーム28にはシールキャップ29が水平に据え付けられており、シールキャップ29はボート30を垂直に支持するように構成されている。ボート30は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、五十枚程度〜百五十枚程度)のウエハ1をその中心を揃えて水平に支持した状態で、保持するように構成されている。
ボートエレベータ27の昇降台に連結されたアーム28にはシールキャップ29が水平に据え付けられており、シールキャップ29はボート30を垂直に支持するように構成されている。ボート30は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、五十枚程度〜百五十枚程度)のウエハ1をその中心を揃えて水平に支持した状態で、保持するように構成されている。
図3に示されているように、CVD装置10は中心線が垂直になるように縦に配されて支持された縦形のプロセスチューブ31を備えており、プロセスチューブ31は後記する加熱ランプの熱線(赤外線や遠赤外線等)を透過する材料の一例である石英(SiO2 )が使用されて、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に一体成形されている。プロセスチューブ31の筒中空部はボート30によって長く整列した状態に保持された複数枚のウエハが搬入される処理室32を実質的に形成している。プロセスチューブ31の内径は取り扱うウエハの最大外径(例えば、直径300mm)よりも大きくなるように設定されている。
プロセスチューブ31の下端は略円筒形状に構築されたマニホールド36に支持されており、マニホールド36の下端開口は炉口35を構成している。マニホールド36はプロセスチューブ31の交換等のために、プロセスチューブ31にそれぞれ着脱自在に取り付けられている。マニホールド36がサブ筐体19に支持されることにより、プロセスチューブ31は垂直に据え付けられた状態になっている。
図3に示されているように、マニホールド36には処理室32を排気する排気管37の一端部が接続されており、排気管37の他端部は圧力コントローラ41によって制御される排気装置39が圧力センサ40を介して接続されている。圧力コントローラ41は圧力センサ40からの測定結果に基づいて排気装置39をフィードバック制御するように構成されている。
プロセスチューブ31の下方にはガス供給管42が処理室32に連通するように配管されており、ガス供給管42にはガス流量コントローラ44によって制御される原料ガス供給装置および不活性ガス供給装置(以下、ガス供給装置という。)43が接続されている。ガス供給管42によって炉口35に導入されたガスは処理室32を流通して排気管37によって排気される。
マニホールド36の下端開口にはマニホールド36の外径と略等しい円盤形状に構築されて炉口35を閉塞するシールキャップ29が、垂直方向下側から当接するようになっている。シールキャップ29の中心線上には回転軸45が挿通されて回転自在に支承されており、回転軸45は駆動コントローラ46によって制御されるモータ47によって回転駆動されるように構成されている。駆動コントローラ46はボートエレベータ27のモータ27aも制御するように構成されている。
回転軸45の上端にはボート30が垂直に立脚されて支持されており、シールキャップ29とボート30との間には断熱キャップ部48が配置されている。ボート30はその下端が炉口35の位置から適当な距離だけ離間するようにシールキャップ29の上面から持ち上げられた状態で回転軸45に支持されており、断熱キャップ部48はそのボート30の下端とシールキャップ29との間を埋めるキャップ部を構成している。
回転軸45の上端にはボート30が垂直に立脚されて支持されており、シールキャップ29とボート30との間には断熱キャップ部48が配置されている。ボート30はその下端が炉口35の位置から適当な距離だけ離間するようにシールキャップ29の上面から持ち上げられた状態で回転軸45に支持されており、断熱キャップ部48はそのボート30の下端とシールキャップ29との間を埋めるキャップ部を構成している。
プロセスチューブ31の外側にはヒータユニット50が設置されている。ヒータユニット50はプロセスチューブ31を全体的に被覆する熱容量の小さい断熱槽51を備えており、断熱槽51はサブ筐体19に垂直に支持されている。断熱槽51の内側には加熱手段としてのL管形ハロゲンランプ(以下、加熱ランプという。)52が複数本、周方向に等間隔に配置されて同心円に設備されている。加熱ランプ52群は長さが異なる複数規格のものが組み合わされて配置されており、熱の逃げ易いプロセスチューブ31の上部および下部の発熱量が増加するように構成されている。
各加熱ランプ52の端子52aはプロセスチューブ31の上部および下部にそれぞれ配置されており、端子52aの介在による発熱量の低下が回避されている。加熱ランプ52はカーボンやタングステン等のフィラメントをL字形状の石英管によって被覆し、石英管内が不活性ガスまたは真空雰囲気に封止されて構成されている。加熱ランプ52は熱エネルギーのピーク波長が1.0μm〜2.0μm程度の熱線を照射するように構成されており、プロセスチューブ31を殆ど加熱することなく、ウエハ1を輻射によって加熱することができるように設定されている。
各加熱ランプ52の端子52aはプロセスチューブ31の上部および下部にそれぞれ配置されており、端子52aの介在による発熱量の低下が回避されている。加熱ランプ52はカーボンやタングステン等のフィラメントをL字形状の石英管によって被覆し、石英管内が不活性ガスまたは真空雰囲気に封止されて構成されている。加熱ランプ52は熱エネルギーのピーク波長が1.0μm〜2.0μm程度の熱線を照射するように構成されており、プロセスチューブ31を殆ど加熱することなく、ウエハ1を輻射によって加熱することができるように設定されている。
図3および図4に示されているように、断熱槽51の天井面の下側における中央部にはL管形ハロゲンランプ(以下、天井加熱ランプという。)53が複数本、互いに平行で両端を揃えられて敷設されており、天井加熱ランプ53群はボート30に保持されたウエハ1群をプロセスチューブ31の上方から加熱するように構成されている。天井加熱ランプ53はカーボンやタングステン等のフィラメントをL字形状の石英管によって被覆し、石英管内が不活性ガスまたは真空雰囲気に封止されて構成されている。天井加熱ランプ53は熱エネルギーのピーク波長が1.0μm〜2.0μm程度の熱線を照射するように構成されており、プロセスチューブ31を殆ど加熱することなく、ウエハ1を輻射によって加熱することができるように設定されている。
また、ボート30と断熱キャップ部48との間にはキャップ加熱ランプ53A群が、ウエハ1群とプロセスチューブ31の下方から加熱するように構成されている。
また、ボート30と断熱キャップ部48との間にはキャップ加熱ランプ53A群が、ウエハ1群とプロセスチューブ31の下方から加熱するように構成されている。
図3に示されているように、加熱ランプ52群や天井加熱ランプ53群およびキャップ加熱ランプ53A群は、加熱ランプ駆動装置54に接続されており、加熱ランプ駆動装置54は温度コントローラ55によって制御されるように構成されている。
プロセスチューブ31の内側にはカスケード熱電対56が垂直方向に敷設されており、カスケード熱電対56は計測結果を温度コントローラ55に送信するようになっている。温度コントローラ55はカスケード熱電対56からの計測温度に基づいて加熱ランプ駆動装置54をフィードバック制御するように構成されている。すなわち、温度コントローラ55は加熱ランプ駆動装置54の目標温度とカスケード熱電対56の計測温度との誤差を求めて、誤差がある場合には誤差を解消させるフィードバック制御を実行するようになっている。さらに、温度コントローラ55は加熱ランプ52群をゾーン制御するように構成されている。
ここで、ゾーン制御とは、加熱ランプを上下に複数の範囲毎に分割して配置し、それぞれのゾーン(範囲)にカスケード熱電対の計測点を配置し、それぞれのゾーン毎にカスケード熱電対の計測する温度に基づくフィードバック制御を独立ないし相関させて制御する方法、である。
プロセスチューブ31の内側にはカスケード熱電対56が垂直方向に敷設されており、カスケード熱電対56は計測結果を温度コントローラ55に送信するようになっている。温度コントローラ55はカスケード熱電対56からの計測温度に基づいて加熱ランプ駆動装置54をフィードバック制御するように構成されている。すなわち、温度コントローラ55は加熱ランプ駆動装置54の目標温度とカスケード熱電対56の計測温度との誤差を求めて、誤差がある場合には誤差を解消させるフィードバック制御を実行するようになっている。さらに、温度コントローラ55は加熱ランプ52群をゾーン制御するように構成されている。
ここで、ゾーン制御とは、加熱ランプを上下に複数の範囲毎に分割して配置し、それぞれのゾーン(範囲)にカスケード熱電対の計測点を配置し、それぞれのゾーン毎にカスケード熱電対の計測する温度に基づくフィードバック制御を独立ないし相関させて制御する方法、である。
図3および図4に示されているように、加熱ランプ52群の外側には円筒形状に形成されたリフレクタ(反射板)57が、プロセスチューブ31と同心円に設置されており、リフレクタ57は加熱ランプ52群からの熱線をプロセスチューブ31の方向に全て反射させるように構成されている。リフレクタ57はステンレス鋼板に石英をコーティングして形成された材料のように耐酸化性、耐熱性および耐熱衝撃性に優れた材料によって構成されている。
リフレクタ57の外周面には冷却水が流通する冷却水配管58が螺旋状に敷設されている。冷却水配管58はリフレクタ57をリフレクタ表面の石英コーティングの耐熱温度である300℃以下に冷却するように設定されている。リフレクタ57は300℃を超えると、酸化等によって劣化し易くなるが、リフレクタ57を300℃以下に冷却することにより、リフレクタ57の耐久性を向上させることができるとともに、リフレクタ57の劣化に伴うパーティクルの発生を抑制することができる。また、断熱槽51の内部の温度を低下させる際に、リフレクタ57を冷却することにより、冷却効果を向上させることができる。
さらに、冷却水配管58はリフレクタ57の冷却領域を上中下段のゾーンに分けてそれぞれ制御し得るように構成されている。冷却水配管58をゾーン制御することにより、プロセスチューブ31の温度を降下させる際に、プロセスチューブ31のゾーンに対応して冷却することができる。例えば、ウエハ群が置かれたゾーンは熱容量がウエハ群の分だけ大きくなることにより、ウエハ群が置かれないゾーンに比べて冷却し難くなるために、冷却水配管58のウエハ群に対応するゾーンを優先的に冷却するようにゾーン制御することができる。
また、ヒータのゾーンと冷却水配管のゾーンとを同様に配置し、ヒータのゾーンの制御に合わせて冷却水配管のゾーンの制御をするように構成することができる。これにより、より一層昇温降温の制御性やスピード(レート)が向上する。
リフレクタ57の外周面には冷却水が流通する冷却水配管58が螺旋状に敷設されている。冷却水配管58はリフレクタ57をリフレクタ表面の石英コーティングの耐熱温度である300℃以下に冷却するように設定されている。リフレクタ57は300℃を超えると、酸化等によって劣化し易くなるが、リフレクタ57を300℃以下に冷却することにより、リフレクタ57の耐久性を向上させることができるとともに、リフレクタ57の劣化に伴うパーティクルの発生を抑制することができる。また、断熱槽51の内部の温度を低下させる際に、リフレクタ57を冷却することにより、冷却効果を向上させることができる。
さらに、冷却水配管58はリフレクタ57の冷却領域を上中下段のゾーンに分けてそれぞれ制御し得るように構成されている。冷却水配管58をゾーン制御することにより、プロセスチューブ31の温度を降下させる際に、プロセスチューブ31のゾーンに対応して冷却することができる。例えば、ウエハ群が置かれたゾーンは熱容量がウエハ群の分だけ大きくなることにより、ウエハ群が置かれないゾーンに比べて冷却し難くなるために、冷却水配管58のウエハ群に対応するゾーンを優先的に冷却するようにゾーン制御することができる。
また、ヒータのゾーンと冷却水配管のゾーンとを同様に配置し、ヒータのゾーンの制御に合わせて冷却水配管のゾーンの制御をするように構成することができる。これにより、より一層昇温降温の制御性やスピード(レート)が向上する。
図3および図4に示されているように、断熱槽51の天井面には円板形状に形成された天井リフレクタ59がプロセスチューブ31と同心円に設置されており、天井リフレクタ59は天井加熱ランプ53群からの熱線をプロセスチューブ31の方向に全て反射させるように構成されている。天井リフレクタ59も耐酸化性、耐熱性および耐熱衝撃性に優れた材料によって構成されている。
天井リフレクタ59の上面には冷却水配管60が蛇行状に敷設されており、冷却水配管60は天井リフレクタ59を300℃以下に冷却するように設定されている。天井リフレクタ59は300℃を超えると、酸化等によって劣化し易くなるが、天井リフレクタ59を300℃以下に冷却することにより、天井リフレクタ59の耐久性を向上させることができるとともに、天井リフレクタ59の劣化に伴うパーティクルの発生を抑制することができる。また、断熱槽51の内部の温度を低下させる際に、天井リフレクタ59を冷却することにより、冷却効果を向上させることができる。
天井リフレクタ59の上面には冷却水配管60が蛇行状に敷設されており、冷却水配管60は天井リフレクタ59を300℃以下に冷却するように設定されている。天井リフレクタ59は300℃を超えると、酸化等によって劣化し易くなるが、天井リフレクタ59を300℃以下に冷却することにより、天井リフレクタ59の耐久性を向上させることができるとともに、天井リフレクタ59の劣化に伴うパーティクルの発生を抑制することができる。また、断熱槽51の内部の温度を低下させる際に、天井リフレクタ59を冷却することにより、冷却効果を向上させることができる。
図3および図4に示されているように、断熱槽51とプロセスチューブ31との間には冷却ガスとしての冷却エアを流通させる冷却エア通路61が、プロセスチューブ31を全体的に包囲するように形成されている。断熱槽51の下端部には冷却エアを冷却エア通路61に供給する給気管62が接続されており、給気管62に供給された冷却エアは冷却エア通路61の全周に拡散するようになっている。
断熱槽51の天井壁における中央部には、冷却エアを冷却エア通路61から排出する排気口63が開設されており、排気口63には排気装置に接続された排気ダクト(図示せず)が接続されている。断熱槽51の天井壁における排気口63の下側には排気口63と連通するバッファ部64が大きく形成されており、バッファ部64の底面における周辺部にはサブ排気口65が複数、バッファ部64と冷却エア通路61とを連絡するように開設されている。
これらサブ排気口65により、冷却エア通路61を効率よく排気することができるようになっている。また、サブ排気口65を断熱槽51の天井壁の周辺部に配置することにより、天井加熱ランプ53を断熱槽51の天井面の中央部に敷設することができるとともに、天井加熱ランプ53を排気流路から退避させて排気流による応力や化学反応を防止することにより、天井加熱ランプ53の劣化を抑制することができる。
これらサブ排気口65により、冷却エア通路61を効率よく排気することができるようになっている。また、サブ排気口65を断熱槽51の天井壁の周辺部に配置することにより、天井加熱ランプ53を断熱槽51の天井面の中央部に敷設することができるとともに、天井加熱ランプ53を排気流路から退避させて排気流による応力や化学反応を防止することにより、天井加熱ランプ53の劣化を抑制することができる。
図3、図4および図5に示されているように、プロセスチューブ31の内周における排気管37の接続部位から180度離れた部位には、処理室32に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段としての冷却ガス供給ユニット70が処理室32の内周面に沿うように設置されている。
図3〜図7に示されているように、本実施の形態に係る冷却ガス供給ユニット70は、いずれも円筒形状に形成された第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73とを備えており、第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73とは間隔を置いて隣り合わせに配置されて垂直に敷設されている。第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73との下端部には冷却ガス供給管67がそれぞれ接続されており、これら冷却ガス供給管67がマニホールド36の側壁に径方向に挿通されて支持されることにより、冷却ガス供給ユニット70は処理室32の内周面に沿うように設置されている。
図3〜図7に示されているように、本実施の形態に係る冷却ガス供給ユニット70は、いずれも円筒形状に形成された第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73とを備えており、第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73とは間隔を置いて隣り合わせに配置されて垂直に敷設されている。第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73との下端部には冷却ガス供給管67がそれぞれ接続されており、これら冷却ガス供給管67がマニホールド36の側壁に径方向に挿通されて支持されることにより、冷却ガス供給ユニット70は処理室32の内周面に沿うように設置されている。
第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72との間には長方形の平板形状に形成された一対の連結壁81a、81aがそれぞれ架設されており、両連結壁81aと81aと第一吸込ノズル71の円弧壁と第二吸込ノズル72の円弧壁とにより、第一吹出ノズル81が第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72との間に形成されている。
第二吸込ノズル72と第三吸込ノズルとの間には長方形の平板形状に形成された一対の連結壁82a、82aがそれぞれ架設されており、両連結壁82aと82aと第二吸込ノズル72の円弧壁と第三吸込ノズル73の円弧壁とにより、第二吹出ノズル82が第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73との間に形成されている。
第一吸込ノズル71と第一吹出ノズル81と第二吸込ノズル72との上端面には上端開口を閉塞する第一上側キャップ75が被せられており、第二吹出ノズル82と第二吸込ノズル72との上端面には上端開口を閉塞する第二上側キャップ76が被せられている。第一吸込ノズル71と第一吹出ノズル81と第二吸込ノズル72と第二吹出ノズル82と第三吹出ノズルとの下端面には下端開口を閉塞する下側キャップ77が被せられている。
第二吸込ノズル72と第三吸込ノズルとの間には長方形の平板形状に形成された一対の連結壁82a、82aがそれぞれ架設されており、両連結壁82aと82aと第二吸込ノズル72の円弧壁と第三吸込ノズル73の円弧壁とにより、第二吹出ノズル82が第二吸込ノズル72と第三吸込ノズル73との間に形成されている。
第一吸込ノズル71と第一吹出ノズル81と第二吸込ノズル72との上端面には上端開口を閉塞する第一上側キャップ75が被せられており、第二吹出ノズル82と第二吸込ノズル72との上端面には上端開口を閉塞する第二上側キャップ76が被せられている。第一吸込ノズル71と第一吹出ノズル81と第二吸込ノズル72と第二吹出ノズル82と第三吹出ノズルとの下端面には下端開口を閉塞する下側キャップ77が被せられている。
第一吸込ノズル71の中空部は第一吸込室71aを形成しており、第二吸込ノズル72の中空部は第二吸込室72aを形成しており、第三吸込ノズル73の中空部は第三吸込室73aを形成している。第一吹出ノズル81の中空部は第一吹出室81bを形成しており、第二吹出ノズル82の中空部は第二吹出室82bを形成している。
第一吸込ノズル71の上端部には、冷却ガス供給管67から第一吸込室71aに供給された冷却ガスを第一吹出室81bに噴出する第一スリット71bが開設されている。第一スリット71bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。すなわち、第一スリット71bの噴出方向は図7(b)に示されているように、第一吸込ノズル71の中心と第二吸込ノズル72の中心とを結ぶ線分に対して傾斜角Θだけウエハ1の方向と反対向きに傾斜されており、その傾斜角Θは約30度に設定されている。
噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第一スリット71bの開口幅は全長にわたって同一寸法に形成されており、その開口幅の寸法は1〜1.5mmに設定されている。第一スリット71bの長さは第一吸込ノズル71の長さの四分の一程度に設定されている。
噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第一スリット71bの開口幅は全長にわたって同一寸法に形成されており、その開口幅の寸法は1〜1.5mmに設定されている。第一スリット71bの長さは第一吸込ノズル71の長さの四分の一程度に設定されている。
第二吸込室72aの第一スリット71bの下端に対応する位置には、第二吸込室72aを上下に仕切る仕切板78が被せられている。第二吸込ノズル72の仕切板78の下側には、冷却ガス供給管67から第二吸込室72aに供給された冷却ガスを第一吹出室81bに噴出する第二スリット72bが開設されている。第二スリット72bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。すなわち、第二スリット72bの噴出方向は図7(c)に示されているように、第一吸込ノズル71の中心と第二吸込ノズル72の中心とを結ぶ線分に対して傾斜角Θだけウエハ1の方向と反対向きに傾斜されており、その傾斜角Θは約30度に設定されている。
噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第二スリット72bの開口幅は全長にわたって同一寸法に形成されており、その開口幅の寸法は1〜1.5mmに設定されている。第二スリット72bの長さは仕切板78から第二吸込ノズル72の高さの半分程度に延在するように設定されている。
噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第二スリット72bの開口幅は全長にわたって同一寸法に形成されており、その開口幅の寸法は1〜1.5mmに設定されている。第二スリット72bの長さは仕切板78から第二吸込ノズル72の高さの半分程度に延在するように設定されている。
第三吸込ノズル73の長さは第二吸込ノズル72の長さの半分に設定されており、第三吸込ノズル73の上端は第二吸込ノズル72の半分の高さに位置している。第三吸込ノズル73の上端部には、冷却ガス供給管67から第三吸込室73aに供給された冷却ガスを第二吹出室82bに噴出する第三スリット73bが開設されている。第三スリット73bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。すなわち、第三スリット73bの噴出方向は図7(d)に示されているように、第二吸込ノズル72の中心と第三吸込ノズル73の中心とを結ぶ線分に対して傾斜角Θだけウエハ1の方向と反対向きに傾斜されており、その傾斜角Θは約30度に設定されている。
噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第三スリット73bの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されており、その幅は1〜1.5mmに設定されている。また、第三スリット73bの長さは第二上側キャップ76から第三吸込ノズル73の高さの半分程度に延在するように設定されている。
噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第三スリット73bの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されており、その幅は1〜1.5mmに設定されている。また、第三スリット73bの長さは第二上側キャップ76から第三吸込ノズル73の高さの半分程度に延在するように設定されている。
第一吹出ノズル81の上端部には、第一吸込室71aおよび第二吸込室72aから第一吹出室81bに供給された冷却ガスを処理室32に噴出する第一吹出スリット81cが開設されている。第一吹出スリット81cはウエハ1の主面に対して水平方向であってウエハ1の方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口として構成されている。すなわち、第一吹出スリット81cの噴出方向は図7(a)および(b)に示されているように、第一吸込ノズル71の中心と第二吸込ノズル72の中心とを結ぶ線分に対して略直交している。
また、噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第一吹出スリット81cの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されている。第一吹出スリット81cからの冷却ガスの吹出速度が大きすぎると、ウエハ1との接触時間が不足して熱を効率よく奪うことができないので、第一吹出スリット81cの開口幅の寸法は第一スリット71bや第二スリット72bの開口幅の寸法よりも大きく設定されている。
第一吹出スリット81cの長さは第一吹出ノズル81の長さの二分の一程度に設定されている。すなわち、第一吹出スリット81cは第一吹出ノズル81の上端から第二スリット72bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
また、噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第一吹出スリット81cの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されている。第一吹出スリット81cからの冷却ガスの吹出速度が大きすぎると、ウエハ1との接触時間が不足して熱を効率よく奪うことができないので、第一吹出スリット81cの開口幅の寸法は第一スリット71bや第二スリット72bの開口幅の寸法よりも大きく設定されている。
第一吹出スリット81cの長さは第一吹出ノズル81の長さの二分の一程度に設定されている。すなわち、第一吹出スリット81cは第一吹出ノズル81の上端から第二スリット72bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
第二吹出ノズル82の上端部には、第二吸込室72aから第二吹出室82bに供給された冷却ガスを処理室32に噴出する第二吹出スリット82cが開設されている。第二吹出スリット82cはウエハ1の主面に対して水平方向であってウエハ1の方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口として構成されている。すなわち、第二吹出スリット82cの噴出方向は図7(d)に示されているように、第二吸込ノズル72の中心と第三吸込ノズル73の中心とを結ぶ線分に対して略直交している。
また、噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第二吹出スリット82cの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されている。第二吹出スリット82cからの冷却ガスの吹出速度が大きすぎると、ウエハ1との接触時間が不足して熱を効率よく奪うことができないので、第二吹出スリット82cの開口幅の寸法は第三スリット73bの開口幅の寸法よりも大きく設定されている。
第二吹出スリット82cの長さは第二吹出ノズル82の長さの二分の一程度に設定されている。すなわち、第二吹出スリット82cは第二吹出ノズル82の上端から第三スリット73bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
また、噴出する冷却ガスの流速が垂直方向において均等になるように、第二吹出スリット82cの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されている。第二吹出スリット82cからの冷却ガスの吹出速度が大きすぎると、ウエハ1との接触時間が不足して熱を効率よく奪うことができないので、第二吹出スリット82cの開口幅の寸法は第三スリット73bの開口幅の寸法よりも大きく設定されている。
第二吹出スリット82cの長さは第二吹出ノズル82の長さの二分の一程度に設定されている。すなわち、第二吹出スリット82cは第二吹出ノズル82の上端から第三スリット73bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
図3に示されているように、冷却ガス供給ユニット70には窒素ガス供給装置68が接続されており、窒素ガス供給装置68は流量調整コントローラ69によって制御されるように構成されている。冷却ガス供給ユニット70による冷却能力は窒素ガスの噴出量を窒素ガス供給装置68によって制御することにより調整することができる。
前記構成に係るCVD装置によるICの製造方法における成膜工程を説明する。
図1および図2に示されているように、ポッド2がポッドステージ14に供給されると、ポッド搬入搬出口12がフロントシャッタ13によって開放され、ポッドステージ14の上のポッド2はポッド搬送装置18によって筐体11の内部へポッド搬入搬出口12から搬入される。
搬入されたポッド2は回転式ポッド棚15の指定された棚板17へポッド搬送装置18によって自動的に搬送されて受け渡され、その棚板17に一時的に保管される。
保管されたポッド2はポッド搬送装置18によって一方のポッドオープナ21に搬送されて載置台22に移載される。この際、ポッドオープナ21のウエハ搬入搬出口20はキャップ着脱機構23によって閉じられており、移載室24には窒素ガスが流通されることによって充満されている。例えば、移載室24の酸素濃度は20ppm以下と、筐体11の内部(大気雰囲気)の酸素濃度よりも遙に低く設定されている。
搬入されたポッド2は回転式ポッド棚15の指定された棚板17へポッド搬送装置18によって自動的に搬送されて受け渡され、その棚板17に一時的に保管される。
保管されたポッド2はポッド搬送装置18によって一方のポッドオープナ21に搬送されて載置台22に移載される。この際、ポッドオープナ21のウエハ搬入搬出口20はキャップ着脱機構23によって閉じられており、移載室24には窒素ガスが流通されることによって充満されている。例えば、移載室24の酸素濃度は20ppm以下と、筐体11の内部(大気雰囲気)の酸素濃度よりも遙に低く設定されている。
載置台22に載置されたポッド2はその開口側端面がサブ筐体19の正面におけるウエハ搬入搬出口20の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構23によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド2に収納された複数枚のウエハ1はウエハ移載装置25によって掬い取られ、ウエハ搬入搬出口20から移載室24を通じて待機室26へ搬入され、ボート30に装填(チャージング)される。ボート30にウエハ1を受け渡したウエハ移載装置25はポッド2に戻り、次のウエハ1をボート30に装填する。
ポッド2に収納された複数枚のウエハ1はウエハ移載装置25によって掬い取られ、ウエハ搬入搬出口20から移載室24を通じて待機室26へ搬入され、ボート30に装填(チャージング)される。ボート30にウエハ1を受け渡したウエハ移載装置25はポッド2に戻り、次のウエハ1をボート30に装填する。
以降、以上のウエハ移載装置25の作動が繰り返されることにより、一方のポッドオープナ21の載置台22の上のポッド2の全てのウエハ1がボート30に順次装填されて行く。
この一方(上段または下段)のポッドオープナ21におけるウエハ移載装置25によるウエハのボート30への装填作業中に、他方(下段または上段)のポッドオープナ21には回転式ポッド棚15から別のポッド2がポッド搬送装置18によって搬送されて移載され、ポッドオープナ21によるポッド2の開放作業が同時進行される。
このように他方のポッドオープナ21において開放作業が同時進行されていると、一方のポッドオープナ21におけるウエハ1のボート30への装填作業の終了と同時に、他方のポッドオープナ21にセットされたポッド2についてのウエハ移載装置25によるウエハのボート30への装填作業を開始することができる。すなわち、ウエハ移載装置25はポッド2の入替え作業についての待ち時間を浪費することなくウエハのボート30への装填作業を連続して実施することができるため、CVD装置10のスループットを高めることができる。
このように他方のポッドオープナ21において開放作業が同時進行されていると、一方のポッドオープナ21におけるウエハ1のボート30への装填作業の終了と同時に、他方のポッドオープナ21にセットされたポッド2についてのウエハ移載装置25によるウエハのボート30への装填作業を開始することができる。すなわち、ウエハ移載装置25はポッド2の入替え作業についての待ち時間を浪費することなくウエハのボート30への装填作業を連続して実施することができるため、CVD装置10のスループットを高めることができる。
図3に示されているように、予め指定された枚数のウエハ1がボート30に装填されると、ウエハ1群を保持したボート30はシールキャップ29がボートエレベータ27によって上昇されることにより、プロセスチューブ31の処理室32に搬入(ボートローディング)されて行き、図8に示されているように、シールキャップ29に支持されたままの状態で処理室32に存置される。
図8に示されているように、上限に達したシールキャップ29はマニホールド36に押接することにより、プロセスチューブ31の内部をシールした状態になる。
図8に示されているように、上限に達したシールキャップ29はマニホールド36に押接することにより、プロセスチューブ31の内部をシールした状態になる。
続いて、プロセスチューブ31の内部が排気管37によって排気されるとともに、加熱ランプ52群および天井加熱ランプ53群によって温度コントローラ55のシーケンス制御の目標温度に加熱される。加熱ランプ52群や天井加熱ランプ53群およびキャップ加熱ランプ53A群の加熱によるプロセスチューブ31の内部の実際の上昇温度と、加熱ランプ52群や天井加熱ランプ53群およびキャップ加熱ランプ53A群のシーケンス制御の目標温度との誤差は、カスケード熱電対56の計測結果に基づくフィードバック制御によって補正される。また、ボート30がモータ47によって回転される。
プロセスチューブ31の内圧や温度およびボート30の回転が全体的に一定の安定した状態になると、プロセスチューブ31の処理室32には原料ガスがガス供給装置43によってガス供給管42から導入される。ガス供給管42によって導入された原料ガスは、プロセスチューブ31の処理室32内を流通して排気管37によって排気される。処理室32を流通する際に、原料ガスが所定の処理温度に加熱されたウエハ1に接触することによる熱CVD反応により、ウエハ1にはCVD膜が形成される。
ちなみに、窒化珪素(Si3 N4 )が成膜される場合の処理条件の一例は、次の通りである。処理温度は700〜800℃、原料ガスとしてのSiH2 Cl2 の流量は0.1〜0.5SLM(スタンダード・リットル毎分)、NH3 の流量は0.3〜5SLM、処理圧力は20〜100Paである。
ちなみに、窒化珪素(Si3 N4 )が成膜される場合の処理条件の一例は、次の通りである。処理温度は700〜800℃、原料ガスとしてのSiH2 Cl2 の流量は0.1〜0.5SLM(スタンダード・リットル毎分)、NH3 の流量は0.3〜5SLM、処理圧力は20〜100Paである。
ところで、プロセスチューブ31およびヒータユニット50の温度は処理温度以上に維持する必要がないばかりでなく、処理温度未満に下げることがかえって好ましいために、成膜ステップにおいては、冷却エアが給気管62から供給されてサブ排気口65、バッファ部64および排気口63から排気されることにより、冷却エア通路61に流通される。この際、断熱槽51は熱容量が通例に比べて小さく設定されているので、急速に冷却することができる。このように冷却エア通路61における冷却エアの流通によってプロセスチューブ31およびヒータユニット50を強制的に冷却することにより、例えば、シリコン窒化膜であればNH4 Clの付着を防止することができる150℃程度にプロセスチューブ31の温度を維持することができる。
なお、冷却エア通路61は処理室32から隔離されているので、冷媒ガスとして冷却エアを使用することができる。但し、冷却効果をより一層高めるためや、エア内の不純物による高温下での腐食を防止するためには、窒素ガス等の不活性ガスを冷媒ガスとして使用してもよい。
なお、冷却エア通路61は処理室32から隔離されているので、冷媒ガスとして冷却エアを使用することができる。但し、冷却効果をより一層高めるためや、エア内の不純物による高温下での腐食を防止するためには、窒素ガス等の不活性ガスを冷媒ガスとして使用してもよい。
所定の処理時間が経過すると、処理ガスの導入が停止された後に、図8および図9に示されているように、冷却ガスとしての窒素ガス90が各冷却ガス供給管67から第一吸込室71aと第二吸込室72aと第三吸込室73aとにそれぞれ供給される。この際の窒素ガス90の供給流量は、流量調整コントローラ69によって300〜1000リットル毎分に制御される。
図8および図9に示されているように、冷却ガス供給管67から第一吸込室71aに供給された窒素ガス90は、第一吸込室71aにおいて垂直方向に均一に拡散した後に、第一吸込室71aの上端部に開設された第一スリット71bから第一吹出室81bに噴出する。
このとき、第一スリット71bの噴出方向は第一吹出室81bの上半分に開設された第一吹出スリット81cの方向と反対向きに設定されているので、第一吹出スリット81cの方向には向かわない。また、第一スリット71bの開口幅は全長にわたって同一寸法であって、その開口幅の寸法は比較的に狭小の1〜1.5mmに設定されているので、第一スリット71bから第一吹出室81bに噴出する窒素ガス90の流速は、垂直方向において均等になる。さらに、第一スリット71bは第一吸込ノズル71の長さの四分の一程度の高さに開設されているので、第一吸込室71aに供給された窒素ガス90は、第一吹出室81bの上端部のエリアに供給される状態になる。
このとき、第一スリット71bの噴出方向は第一吹出室81bの上半分に開設された第一吹出スリット81cの方向と反対向きに設定されているので、第一吹出スリット81cの方向には向かわない。また、第一スリット71bの開口幅は全長にわたって同一寸法であって、その開口幅の寸法は比較的に狭小の1〜1.5mmに設定されているので、第一スリット71bから第一吹出室81bに噴出する窒素ガス90の流速は、垂直方向において均等になる。さらに、第一スリット71bは第一吸込ノズル71の長さの四分の一程度の高さに開設されているので、第一吸込室71aに供給された窒素ガス90は、第一吹出室81bの上端部のエリアに供給される状態になる。
図8および図9に示されているように、冷却ガス供給管67から第二吸込室72aに供給された窒素ガス90は、第二吸込室72aにおいて垂直方向に均一に拡散した後に、第二吸込室72aの中央高さよりも上側寄りである仕切板78の下側に開設された第二スリット72bから第一吹出室81bに噴出する。
このとき、第二スリット72bの噴出方向は第一吹出室81bの上半分に開設された第一吹出スリット81cの方向と反対向きに設定されているので、第一吹出スリット81cの方向には向かわない。また、第二スリット72bの開口幅は全長にわたって同一寸法であって、その開口幅の寸法は比較的に狭小の1〜1.5mmに設定されているので、第二スリット72bから第一吹出室81bに噴出する窒素ガス90の流速は、垂直方向において均等になる。さらに、第二スリット72bは第二吸込ノズル72の中央高さよりも上側寄りの部分に開設されているので、第二吸込室72aに供給された窒素ガス90は第一吹出室81bの中央高さよりも上側寄りのエリアに供給される状態になる。
このとき、第二スリット72bの噴出方向は第一吹出室81bの上半分に開設された第一吹出スリット81cの方向と反対向きに設定されているので、第一吹出スリット81cの方向には向かわない。また、第二スリット72bの開口幅は全長にわたって同一寸法であって、その開口幅の寸法は比較的に狭小の1〜1.5mmに設定されているので、第二スリット72bから第一吹出室81bに噴出する窒素ガス90の流速は、垂直方向において均等になる。さらに、第二スリット72bは第二吸込ノズル72の中央高さよりも上側寄りの部分に開設されているので、第二吸込室72aに供給された窒素ガス90は第一吹出室81bの中央高さよりも上側寄りのエリアに供給される状態になる。
図8および図9に示されているように、冷却ガス供給管67から第三吸込室73aに供給された窒素ガス90は、第三吸込室73aにおいて垂直方向に均一に拡散した後に、第三吸込室73aの上端部である第二上側キャップ76の下側に開設された第三スリット73bから第二吹出室82bに噴出する。
このとき、第三スリット73bの噴出方向は第二吹出室82bの上半分に開設された第二吹出スリット82cの方向と反対向きに設定されているので、第二吹出スリット82cの方向には向かわない。また、第三スリット73bの開口幅は全長にわたって同一寸法であって、その開口幅の寸法は比較的に狭小の1〜1.5mmに設定されているので、第三スリット73bから第二吹出室82bに噴出する窒素ガス90の流速は、垂直方向において均等になる。さらに、第三スリット73bは第三吸込ノズル73の上半分に開設されているので、第三吸込室73aに供給された窒素ガス90は第二吹出室82bの上半分のエリアに供給される状態になる。
このとき、第三スリット73bの噴出方向は第二吹出室82bの上半分に開設された第二吹出スリット82cの方向と反対向きに設定されているので、第二吹出スリット82cの方向には向かわない。また、第三スリット73bの開口幅は全長にわたって同一寸法であって、その開口幅の寸法は比較的に狭小の1〜1.5mmに設定されているので、第三スリット73bから第二吹出室82bに噴出する窒素ガス90の流速は、垂直方向において均等になる。さらに、第三スリット73bは第三吸込ノズル73の上半分に開設されているので、第三吸込室73aに供給された窒素ガス90は第二吹出室82bの上半分のエリアに供給される状態になる。
前述したように、第一吸込室71aおよび第二吸込室72aから第一吹出室81bにそれぞれ供給された窒素ガス90は、第一吹出スリット81cから処理室32に吹き出す。このとき、第一吹出スリット81cは第一吸込ノズル71の中心と第二吸込ノズル72の中心とを結ぶ線分に対して略直交しているので、窒素ガス90はウエハ1の方向に向かってウエハ1の主面に対して水平方向に吹き出す。また、第一吹出スリット81cの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されているので、窒素ガス90の流速は垂直方向において全高にわたって均等になる。さらに、第一吹出スリット81cの開口幅の寸法は第一スリット71bや第二スリット72bの開口幅の寸法よりも大きく設定されているので、第一吹出スリット81cからの窒素ガス90の吹出速度は減衰されることになる。
そして、第一吹出スリット81cは第一吹出ノズル81の上半分に開設されているので、窒素ガス90は処理室32の上半分に吹き出される状態になる。このとき、第一スリット71bと第二スリット72bとが第一吹出スリット81cの上下半分宛にそれぞれ対応しているので、第一吹出スリット81cから吹き出す窒素ガス90の流速は垂直方向において全高にわたって均等になる。
そして、第一吹出スリット81cは第一吹出ノズル81の上半分に開設されているので、窒素ガス90は処理室32の上半分に吹き出される状態になる。このとき、第一スリット71bと第二スリット72bとが第一吹出スリット81cの上下半分宛にそれぞれ対応しているので、第一吹出スリット81cから吹き出す窒素ガス90の流速は垂直方向において全高にわたって均等になる。
前述したように、第三吸込室73aから第二吹出室82bに供給された窒素ガス90は、第二吹出スリット82cから処理室32に吹き出す。この際、第二吹出スリット82cは第二吸込ノズル72の中心と第三吸込ノズル73の中心とを結ぶ線分に対して略直交しているので、窒素ガス90はウエハ1の方向に向かってウエハ1の主面に対して水平方向に吹き出す。また、第二吹出スリット82cの開口幅の寸法は全長にわたって同一寸法に形成されているので、窒素ガス90の流速は垂直方向において全高にわたって均等になる。さらに、第二吹出スリット82cの開口幅の寸法は第三スリット73bの開口幅の寸法よりも大きく設定されているので、第二吹出スリット82cからの窒素ガス90の吹出速度は減衰されることになる。
そして、第二吹出スリット82cは第二吹出ノズル82の上半分に開設されているので、窒素ガス90は処理室32の下半分における上半分すなわち処理室32の高さの四分の三のエリアに吹き出される状態になる。したがって、処理室32の下から四分の一のエリアには窒素ガス90は吹き出さないことになる。しかし、このエリアには窒素ガス90によって冷却すべきウエハ1が存置されていないので、支障はない。
そして、第二吹出スリット82cは第二吹出ノズル82の上半分に開設されているので、窒素ガス90は処理室32の下半分における上半分すなわち処理室32の高さの四分の三のエリアに吹き出される状態になる。したがって、処理室32の下から四分の一のエリアには窒素ガス90は吹き出さないことになる。しかし、このエリアには窒素ガス90によって冷却すべきウエハ1が存置されていないので、支障はない。
以上のようにして、第一吹出スリット81cおよび第二吹出スリット82cから処理室32にそれぞれ吹き出された窒素ガス90は、処理室32にボート30によって存置されたウエハ1群に接触し、処理室32の下端部における冷却ガス供給ユニット70の向かい側に接続された排気管37の排気口によって吸引されて排気される。
このとき、第一吹出スリット81cおよび第二吹出スリット82cから処理室32に吹き出される窒素ガス90の吹出速度は遅くなっているので、窒素ガス90はウエハ1群にゆっくりと接触することにより、ウエハ1の熱を効率良く奪うことができる。
また、第一吹出スリット81cから吹き出される窒素ガス90の流速と、第二吹出スリット82cから吹き出される窒素ガス90の流速とは均等になっているので、窒素ガス90はウエハ1群を全長にわたって均等に冷却することができる。
このようにして窒素ガス90はウエハ1に直接的に接触して熱を奪い、かつ、ウエハ1群の全長にわたって均等に接触するので、ウエハ1群の温度は大きいレート(速度)をもって急速に下降するとともに、ウエハ1群の全長およびウエハ1の面内において均一に下降する。
なお、吹出スリットをヒータおよび/ないし冷却水配管58のゾーンと同様に配置し、ヒータおよび/ないし冷却水配管58のゾーンの制御に合わせて窒素ガスによる冷却を制御するように構成してもよい。これにより、より一層昇温降温の制御性やスピード(レート)が向上する。
このとき、第一吹出スリット81cおよび第二吹出スリット82cから処理室32に吹き出される窒素ガス90の吹出速度は遅くなっているので、窒素ガス90はウエハ1群にゆっくりと接触することにより、ウエハ1の熱を効率良く奪うことができる。
また、第一吹出スリット81cから吹き出される窒素ガス90の流速と、第二吹出スリット82cから吹き出される窒素ガス90の流速とは均等になっているので、窒素ガス90はウエハ1群を全長にわたって均等に冷却することができる。
このようにして窒素ガス90はウエハ1に直接的に接触して熱を奪い、かつ、ウエハ1群の全長にわたって均等に接触するので、ウエハ1群の温度は大きいレート(速度)をもって急速に下降するとともに、ウエハ1群の全長およびウエハ1の面内において均一に下降する。
なお、吹出スリットをヒータおよび/ないし冷却水配管58のゾーンと同様に配置し、ヒータおよび/ないし冷却水配管58のゾーンの制御に合わせて窒素ガスによる冷却を制御するように構成してもよい。これにより、より一層昇温降温の制御性やスピード(レート)が向上する。
さらに、窒素ガス90のウエハ1群への吹き付けに際して、ボート30をモータ47によって回転させると、ウエハ1の面内の温度差をより一層低減させることができる。すなわち、窒素ガス90をウエハ1に浴びせながらウエハ1をボート30ごと回転させることにより、窒素ガス90をウエハ1の全周にわたって均等に接触させることができるために、ウエハ1の面内の温度差を低減させることができる。
以上のようにしてウエハ1群が窒素ガス90によって強制的に冷却された後に、シールキャップ29に支持されたボート30はボートエレベータ27によって下降されることにより、処理室32から搬出(ボートアンローディング)される。このボートアンローディングに際しても、窒素ガス90が冷却ガス供給ユニット70によってウエハ1群に吹き付けられることにより、ウエハ1群の温度が大きいレート(速度)をもって急速に下降されるとともに、ウエハ1群の全長およびウエハ1の面内において均一に下降される。
待機室26に搬出されたボート30の処理済みウエハ1は、ボート30からウエハ移載装置25によって脱装(ディスチャージング)され、ポッドオープナ21において開放されているポッド2に挿入されて収納される。
処理済みウエハ1のボート30からの脱装作業の際も、ボート30がバッチ処理したウエハ1の枚数は一台の空のポッド2に収納するウエハ1の枚数よりも何倍も多いため、複数台のポッド2が上下のポッドオープナ21、21に交互にポッド搬送装置18によって繰り返し供給されることになる。この場合にも、一方(上段または下段)のポッドオープナ21へのウエハ移載作業中に、他方(下段または上段)のポッドオープナ21への空のポッド2への搬送や準備作業が同時進行されることにより、ウエハ移載装置25はポッド2の入替え作業についての待ち時間を浪費することなく脱装作業を連続して実施することができるため、CVD装置10のスループットを高めることができる。
処理済みウエハ1のボート30からの脱装作業の際も、ボート30がバッチ処理したウエハ1の枚数は一台の空のポッド2に収納するウエハ1の枚数よりも何倍も多いため、複数台のポッド2が上下のポッドオープナ21、21に交互にポッド搬送装置18によって繰り返し供給されることになる。この場合にも、一方(上段または下段)のポッドオープナ21へのウエハ移載作業中に、他方(下段または上段)のポッドオープナ21への空のポッド2への搬送や準備作業が同時進行されることにより、ウエハ移載装置25はポッド2の入替え作業についての待ち時間を浪費することなく脱装作業を連続して実施することができるため、CVD装置10のスループットを高めることができる。
所定枚数の処理済みのウエハ1が収納されると、ポッド2はポッドオープナ21によってキャップを装着されて閉じられる。
続いて、処理済みのウエハ1が収納されたポッド2はポッドオープナ21の載置台22から回転式ポッド棚15の指定された棚板17にポッド搬送装置18によって搬送されて一時的に保管される。
その後、処理済みのウエハ1を収納したポッド2は回転式ポッド棚15からポッド搬入搬出口12へポッド搬送装置18により搬送され、ポッド搬入搬出口12から筐体11の外部に搬出されてポッドステージ14の上に載置される。ポッドステージ14の上に載置されたポッド2は次工程へ工程内搬送装置によって搬送される。
なお、新旧のポッド2についてのポッドステージ14への搬入搬出作業およびポッドステージ14と回転式ポッド棚15との間の入替え作業は、処理室32におけるボート30の搬入搬出作業や成膜処理の間に同時に進行されるため、CVD装置10の全体としての作業時間が延長されるのを防止することができる。
続いて、処理済みのウエハ1が収納されたポッド2はポッドオープナ21の載置台22から回転式ポッド棚15の指定された棚板17にポッド搬送装置18によって搬送されて一時的に保管される。
その後、処理済みのウエハ1を収納したポッド2は回転式ポッド棚15からポッド搬入搬出口12へポッド搬送装置18により搬送され、ポッド搬入搬出口12から筐体11の外部に搬出されてポッドステージ14の上に載置される。ポッドステージ14の上に載置されたポッド2は次工程へ工程内搬送装置によって搬送される。
なお、新旧のポッド2についてのポッドステージ14への搬入搬出作業およびポッドステージ14と回転式ポッド棚15との間の入替え作業は、処理室32におけるボート30の搬入搬出作業や成膜処理の間に同時に進行されるため、CVD装置10の全体としての作業時間が延長されるのを防止することができる。
以降、前記作用が繰り返されることにより、CVD装置10によってウエハ1に対する成膜処理が実施されて行く。
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
1) 熱処理後に、冷却ガスとしての窒素ガスを冷却ガス供給ユニットの吹出スリットから吹き出してウエハ群に吹き付けることにより、ウエハ群を直接かつ全長にわたって均等に冷却することができるので、ウエハ群の降温速度を高めることができるとともに、ウエハ相互間およびウエハの面内温度の均一性を高めることができる。
2) ウエハ群におけるウエハ相互間の温度差およびウエハ面内の温度差の発生を防止することにより、ICの特性に及ぼす悪影響を回避することができ、また、ウエハ群の温度を充分に降温させることができるので、熱を帯びたウエハが酸素を多く含んだ雰囲気に晒されることによる自然酸化膜の生成を防止することができる。
3) 熱処理後およびボートアンローディング時にウエハ群を充分に降温させることにより、ボートアンローディング後の降温待機時間を省略ないしは短縮することができるので、CVD装置のスループットを向上させることができる。
4) 降温速度は被冷却物と周囲の雰囲気との温度差に依存するので、熱処理の温度が高い高温度域(1200℃以上)ないし中温度域(600℃〜1200℃)においては、処理済みウエハ群の温度は強制的に冷却しなくとも急速に降下する。これに対して、熱処理の温度が低い低温度域(600℃以下)においては、降温速度が小さいので、処理済みウエハ群を強制的に冷却しないと、処理済みウエハ群の降温時間は長くなってしまう。つまり、冷却ガスとしての窒素ガスを冷却ガス供給ユニットの吹出スリットから吹き出してウエハ群に吹き付することにより処理済みウエハ群を強制的に冷却することは、熱処理の温度が低温度域に適用する場合の方が、熱処理温度が高温度域ないし中温度域に適用する場合よりも優れた効果を得ることができる。
5) 吸込室を形成した吸込パイプと吹出室を形成した吹出パイプとから冷却ガス供給ユニットを構成するとともに、吸込パイプに窒素ガスを吹出室に噴出するスリットを開設し、吹出パイプに吹出室に噴出された窒素ガスを処理室に吹き出す吹出スリットを開設することにより、窒素ガスを減速するとともに、全長にわたって均等に吹き出すことができるので、処理室のウエハ群を直接かつ全長にわたって均等に冷却することができる。
6) 吸込パイプおよび吹出パイプを複数本宛設けることにより、窒素ガスの吹き出しエリアを垂直方向に複数設定することができるので、処理室のウエハ群を全長にわたってより一層均等に冷却することができる。
7) 吸込パイプおよび吹出パイプを長さ方向に区分けすることにより、窒素ガスの吹き出しエリアを垂直方向に複数設定することができるので、処理室のウエハ群を全長にわたってより一層均等に冷却することができる。
図10は冷却ガス供給ユニットの他の実施の形態を示す斜視図である。
本実施の形態が前記実施の形態と異なる点は、前記実施の形態においては窒素ガスの吹き出しエリアが奇数の一例である三つに設定されているのに対して、偶数の一例である四つに設定されている点、である。
すなわち、本実施の形態においては、四つの吹き出しエリアを設定するために、第一冷却ガス供給ユニット70Aと第二冷却ガス供給ユニット70Bとが設備されている。第一冷却ガス供給ユニット70Aおよび第二冷却ガス供給ユニット70Bの構成は、前記実施の形態に係る冷却ガス供給ユニット70に準ずるので、その特徴点を説明する。
本実施の形態が前記実施の形態と異なる点は、前記実施の形態においては窒素ガスの吹き出しエリアが奇数の一例である三つに設定されているのに対して、偶数の一例である四つに設定されている点、である。
すなわち、本実施の形態においては、四つの吹き出しエリアを設定するために、第一冷却ガス供給ユニット70Aと第二冷却ガス供給ユニット70Bとが設備されている。第一冷却ガス供給ユニット70Aおよび第二冷却ガス供給ユニット70Bの構成は、前記実施の形態に係る冷却ガス供給ユニット70に準ずるので、その特徴点を説明する。
第一冷却ガス供給ユニット70Aは第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72とを備えており、第一吸込ノズル71と第二吸込ノズル72との間には第一吹出ノズル81が形成されている。第一吸込ノズル71と第一吹出ノズル81と第二吸込ノズル72との上端面には上端開口を閉塞する上側キャップ75が被せられており、第一吸込ノズル71と第一吹出ノズル81と第二吸込ノズル72との下端面には、下端開口を閉塞する下側キャップ77が被せられている。
第一吸込ノズル71の中空部は第一吸込室71aを形成しており、第二吸込ノズル72の中空部は第二吸込室72aを形成している。第一吹出ノズル81の中空部は第一吹出室81bを形成している。
第一吸込ノズル71の上端部には、冷却ガス供給管67から第一吸込室71aに供給された冷却ガスを第一吹出室81bに噴出する第一スリット71bが開設されている。第一スリット71bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第一スリット71bの長さは第一吸込ノズル71の長さの四分の一程度に設定されている。
第二吸込室72aの第一スリット71bの下端に対応する位置には、第二吸込室72aを上下に仕切る仕切板78が被せられている。第二吸込ノズル72の仕切板78の下側には、冷却ガス供給管67から第二吸込室72aに供給された冷却ガスを第一吹出室81bに噴出する第二スリット72bが開設されている。第二スリット72bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第二スリット72bの長さは仕切板78から第二吸込ノズル72の高さの半分程度に延在するように設定されている。
第一吹出ノズル81の上半分には、第一吸込室71aおよび第二吸込室72aから第一吹出室81bに供給された冷却ガスを処理室32に噴出する第一吹出スリット81cが開設されている。第一吹出スリット81cはウエハ1の主面に対して水平方向であってウエハ1の方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口として構成されている。第一吹出スリット81cの長さは第一吹出ノズル81の長さの二分の一程度に設定されている。すなわち、第一吹出スリット81cは第一吹出ノズル81の上端から第二スリット72bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
第一吸込ノズル71の中空部は第一吸込室71aを形成しており、第二吸込ノズル72の中空部は第二吸込室72aを形成している。第一吹出ノズル81の中空部は第一吹出室81bを形成している。
第一吸込ノズル71の上端部には、冷却ガス供給管67から第一吸込室71aに供給された冷却ガスを第一吹出室81bに噴出する第一スリット71bが開設されている。第一スリット71bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第一スリット71bの長さは第一吸込ノズル71の長さの四分の一程度に設定されている。
第二吸込室72aの第一スリット71bの下端に対応する位置には、第二吸込室72aを上下に仕切る仕切板78が被せられている。第二吸込ノズル72の仕切板78の下側には、冷却ガス供給管67から第二吸込室72aに供給された冷却ガスを第一吹出室81bに噴出する第二スリット72bが開設されている。第二スリット72bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第二スリット72bの長さは仕切板78から第二吸込ノズル72の高さの半分程度に延在するように設定されている。
第一吹出ノズル81の上半分には、第一吸込室71aおよび第二吸込室72aから第一吹出室81bに供給された冷却ガスを処理室32に噴出する第一吹出スリット81cが開設されている。第一吹出スリット81cはウエハ1の主面に対して水平方向であってウエハ1の方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口として構成されている。第一吹出スリット81cの長さは第一吹出ノズル81の長さの二分の一程度に設定されている。すなわち、第一吹出スリット81cは第一吹出ノズル81の上端から第二スリット72bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
第二冷却ガス供給ユニット70Bの高さは第一冷却ガス供給ユニット70Aの高さの略半分に設定されており、第一冷却ガス供給ユニット70Aの下半分に隣り合わせに設置されている。第二冷却ガス供給ユニット70Bは第三吸込ノズル73と第四吸込ノズル74とを備えており、第三吸込ノズル73と第四吸込ノズル74との間には第二吹出ノズル82が形成されている。第三吸込ノズル73と第二吹出ノズル82と第四吸込ノズル74との上端面には上端開口を閉塞する上側キャップ75が被せられており、第三吸込ノズル73と第二吹出ノズル82と第四吸込ノズル74との下端面には、下端開口を閉塞する下側キャップ77が被せられている。
第三吸込ノズル73の中空部は第三吸込室73aを形成しており、第四吸込ノズル74の中空部は第四吸込室74aを形成している。第二吹出ノズル82の中空部は第二吹出室82bを形成している。
第三吸込ノズル73の上端部には、冷却ガス供給管67から第三吸込室73aに供給された冷却ガスを第二吹出室82bに噴出する第三スリット73bが開設されている。第三スリット73bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第三スリット73bの長さは第三吸込ノズル73の長さの二分の一程度に設定されている。
第四吸込室74aの第三スリット73bの下端に対応する位置には、第四吸込室74aを上下に仕切る仕切板78が被せられている。第四吸込ノズル74の仕切板78の下側には、冷却ガス供給管67から第四吸込室74aに供給された冷却ガスを第二吹出室82bに噴出する第四スリット74bが開設されている。第四スリット74bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第四スリット74bの長さは仕切板78から第四吸込ノズル74の下端付近まで延在するように設定されている。
第二吹出ノズル82には第三吸込室73aおよび第四吸込室74aから第二吹出室82aに噴出した冷却ガスを処理室32に吹き出す第二吹出スリット82cが開設されている。第二吹出スリット82cはウエハ1の主面に対して水平方向であってウエハ1の方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口として構成されている。第二吹出スリット82cは第二吹出ノズル82の上端から第四スリット74bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
第三吸込ノズル73の中空部は第三吸込室73aを形成しており、第四吸込ノズル74の中空部は第四吸込室74aを形成している。第二吹出ノズル82の中空部は第二吹出室82bを形成している。
第三吸込ノズル73の上端部には、冷却ガス供給管67から第三吸込室73aに供給された冷却ガスを第二吹出室82bに噴出する第三スリット73bが開設されている。第三スリット73bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第三スリット73bの長さは第三吸込ノズル73の長さの二分の一程度に設定されている。
第四吸込室74aの第三スリット73bの下端に対応する位置には、第四吸込室74aを上下に仕切る仕切板78が被せられている。第四吸込ノズル74の仕切板78の下側には、冷却ガス供給管67から第四吸込室74aに供給された冷却ガスを第二吹出室82bに噴出する第四スリット74bが開設されている。第四スリット74bはウエハの方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口として構成されている。第四スリット74bの長さは仕切板78から第四吸込ノズル74の下端付近まで延在するように設定されている。
第二吹出ノズル82には第三吸込室73aおよび第四吸込室74aから第二吹出室82aに噴出した冷却ガスを処理室32に吹き出す第二吹出スリット82cが開設されている。第二吹出スリット82cはウエハ1の主面に対して水平方向であってウエハ1の方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口として構成されている。第二吹出スリット82cは第二吹出ノズル82の上端から第四スリット74bの下端に対向する位置にわたって開設されている。
以上の構成に係る第一冷却ガス供給ユニット70Aと第二冷却ガス供給ユニット70Bとによれば、第一吹出スリット81cには第一スリット71bと第二スリット72bとが対向されており、第二吹出スリット82cには第三スリット73bと第四スリット74bとが対向されているので、窒素ガスの吹出エリアは四つに設定されることになる。
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
冷却ガスとしての窒素ガスの吹出エリアは、三つまたは四つに設定するに限らず、一つまたは二つまたは五つ以上に設定してもよい。
ちなみに、複数の吹出エリアは前記した第一の実施の形態に係る冷却ガス供給ユニットと第二の実施の形態に係る冷却ガス供給ユニットとを組み合わせることにより、自由に設定することができる。
ちなみに、複数の吹出エリアは前記した第一の実施の形態に係る冷却ガス供給ユニットと第二の実施の形態に係る冷却ガス供給ユニットとを組み合わせることにより、自由に設定することができる。
吸込ノズルのスリットや吹出ノズルのスリットは、同一幅に設定するに限らず、上下方向で幅が増減するように設定してもよい。
第一噴出口および第二噴出口は、スリットによって構成するに限らず、円形や角形の貫通孔等によって構成してもよい。
冷却ガス供給ユニットは処理室側に配設するに限らず、シールキャップ側に配設してもよい。
加熱手段としては、熱エネルギーのピーク波長が1.0μmのハロゲンランプを使用するに限らず、熱線(赤外線や遠赤外線等)の波長(例えば、0.5〜3.5μm)を照射する他の加熱ランプ(例えば、カーボンランプ)を使用してもよいし、誘導加熱ヒータ、珪化モリブデンやFe−Cr−Al合金等の金属発熱体を使用してもよい。
前記実施の形態においては、CVD装置について説明したが、酸化・拡散装置やアニール装置等の基板処理装置全般に適用することができる。
被処理基板はウエハに限らず、ホトマスクやプリント配線基板、液晶パネル、コンパクトディスクおよび磁気ディスク等であってもよい。
1…ウエハ(基板)、2…ポッド、10…CVD装置(基板処理装置)、11…筐体、12…ポッド搬入搬出口、13…フロントシャッタ、14…ポッドステージ、15…回転式ポッド棚、16…支柱、17…棚板、18…ポッド搬送装置、19…サブ筐体、20…ウエハ搬入搬出口、21…ポッドオープナ、22…載置台、23…キャップ着脱機構、24…移載室、25…ウエハ移載装置、26…待機室、27…ボートエレベータ、28…アーム、29…シールキャップ、30…ボート(基板保持体)、31…プロセスチューブ、32…処理室、35…炉口、36…マニホールド、37…排気管、38…排気口、39…排気装置、40…圧力センサ、41…圧力コントローラ、42…ガス供給管、43…ガス供給装置、44…ガス流量コントローラ、45…回転軸、46…駆動コントローラ、47…モータ、48…断熱キャップ部、50…ヒータユニット、51…断熱槽、52…加熱ランプ(加熱手段)、53…天井加熱ランプ、53A…キャップ加熱ランプ、54…加熱ランプ駆動装置、55…温度コントローラ、56…カスケード熱電対、57…リフレクタ、58…冷却水配管、59…天井リフレクタ、60…冷却水配管、61…冷却エア通路、62…給気管、63…排気口、64…バッファ部、65…サブ排気口、67…冷却ガス供給管、68…窒素ガス供給装置、69…流量調整コントローラ、70、70A、70B…冷却ガス供給ユニット(冷却ガス供給手段)、71…第一吸込ノズル、71a…第一吸込室、71b…第一スリット(第一噴出口)、72…第二吸込ノズル、72a…第二吸込室、72b…第二スリット(第一噴出口)、73…第三吸込ノズル、73a…第三吸込室、73b…第三スリット(第一噴出口)、74…第四吸込ノズル、74a…第四吸込室、74b…第四スリット(第一噴出口)、75…第一上側キャップ、76…第二上側キャップ、77…下側キャップ、78…仕切板、81…第一吹出ノズル、81a…連結壁、81b…第一吹出室、81c…第一吹出スリット(第二噴出口)、82…第二吹出ノズル、82a…連結壁、82b…第二吹出室、82c…第二吹出スリット(第二噴出口)、90…窒素ガス(冷却ガス)。
Claims (1)
- 基板を収容して処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入するボートと、前記処理室に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段と、前記冷却ガスを排気する排気口とを備えており、
前記冷却ガス供給手段は、前記ボートによって前記処理室に搬入された第一位置の前記基板がある方向に向かっては冷却ガスを噴出しない第一噴出口と、この第一噴出口を介した前記冷却ガスが前記第一位置にある前記基板の主面に対して水平方向であって前記基板がある方向に向かって冷却ガスを噴出する第二噴出口とを備えていることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004277158A JP2006093411A (ja) | 2004-09-24 | 2004-09-24 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004277158A JP2006093411A (ja) | 2004-09-24 | 2004-09-24 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006093411A true JP2006093411A (ja) | 2006-04-06 |
Family
ID=36234085
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004277158A Pending JP2006093411A (ja) | 2004-09-24 | 2004-09-24 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006093411A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009032998A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Ushio Inc | 半導体ウエハ加熱処理装置 |
KR101120029B1 (ko) * | 2009-05-29 | 2012-03-23 | 주식회사 테라세미콘 | 배치식 기판 처리 장치 |
US20120122318A1 (en) * | 2008-01-31 | 2012-05-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and method for manufacturing semiconductor device |
TWI648806B (zh) * | 2016-07-05 | 2019-01-21 | 日商國際電氣股份有限公司 | 基板處理裝置,氣體噴嘴及半導體裝置的製造方法 |
CN113451183A (zh) * | 2020-06-03 | 2021-09-28 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种晶圆盒 |
-
2004
- 2004-09-24 JP JP2004277158A patent/JP2006093411A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009032998A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Ushio Inc | 半導体ウエハ加熱処理装置 |
US20120122318A1 (en) * | 2008-01-31 | 2012-05-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and method for manufacturing semiconductor device |
US8461062B2 (en) * | 2008-01-31 | 2013-06-11 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and method for manufacturing semiconductor device |
US8828141B2 (en) * | 2008-01-31 | 2014-09-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and method for manufacturing semiconductor device |
KR101120029B1 (ko) * | 2009-05-29 | 2012-03-23 | 주식회사 테라세미콘 | 배치식 기판 처리 장치 |
TWI648806B (zh) * | 2016-07-05 | 2019-01-21 | 日商國際電氣股份有限公司 | 基板處理裝置,氣體噴嘴及半導體裝置的製造方法 |
CN113451183A (zh) * | 2020-06-03 | 2021-09-28 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种晶圆盒 |
CN113451183B (zh) * | 2020-06-03 | 2023-03-31 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 一种晶圆盒 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5117856B2 (ja) | 基板処理装置、冷却ガス供給ノズルおよび半導体装置の製造方法 | |
JP5089401B2 (ja) | 断熱構造体、加熱装置、加熱システム、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4498362B2 (ja) | 基板処理装置および半導体デバイスの製造方法 | |
US8277161B2 (en) | Substrate processing apparatus and manufacturing method of a semiconductor device | |
US20110309562A1 (en) | Support structure and processing apparatus | |
JP5036172B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 | |
JP4498210B2 (ja) | 基板処理装置およびicの製造方法 | |
TW202008467A (zh) | 熱處理裝置及熱處理方法 | |
JP4516318B2 (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4282539B2 (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4971954B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、および加熱装置 | |
JP2006093411A (ja) | 基板処理装置 | |
JP4516838B2 (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2004055880A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007066934A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5137462B2 (ja) | 基板処理装置、ガス供給部および薄膜形成方法 | |
JP2010086985A (ja) | 基板処理装置 | |
JPH0799164A (ja) | 熱処理装置及び熱処理方法 | |
JP4495717B2 (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2009224457A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009044058A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009099728A (ja) | 半導体製造装置 | |
WO2004057656A1 (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5274696B2 (ja) | 断熱構造体、加熱装置、加熱システム、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2005093911A (ja) | 基板処理装置 |