JP2006086488A - 受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】内蔵型受動素子の端子とプリント基板の回路パターンの接続が容易で精密な受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】回路パターンが形成された少なくとも二つの回路層と、前記回路層間にそれぞれ位置する少なくとも一つの絶縁層と、前記絶縁層にそれぞれ垂直に形成され、第1伝導性物質でメッキが施され、互いに所定距離だけ隔たっている一対の端子と、前記一対の端子間に位置し、両側に形成された電極が前記一対の端子からそれぞれ所定距離隔たっており、前記電極が第2伝導性物質を介して前記端子にそれぞれ電気的に接続される内蔵型受動素子とを含んでなる。
【選択図】図5

Description

本発明は受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法に関する。さらに詳しくはビアホールとビアホールを接続する一定の空間に受動素子を入れ、受動素子の電極と接続する端子としてビアホールの側壁を用いる受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法に関するものである。
近年、電子産業の発達による電子製品の小型化および高機能化の要求に応えるため、電子産業の技術は、抵抗、キャパシタ、ICなどを基板に挿入する方向に発展している。
現在まで大部分のプリント基板の表面に一般の個別チップ抵抗(discrete chip resistor)または一般の個別チップキャパシタ(discrete chip capacitor)を実装しているが、最近、抵抗またはキャパシタなどの受動素子を内蔵したプリント基板が開発されている。
すなわち、受動素子内蔵型プリント基板技術とは、新材料と工程を用いてプリント基板の外部または内部に受動素子を挿入して既存のチップ抵抗またはチップキャパシタの役割を代替する技術をいう。
このような受動素子内蔵型プリント基板において、プリント基板の外部または内部に受動素子が埋め込まれている形態であって、プリント基板の大きさにかかわらず、受動素子がプリント基板の一部として組み込まれていると、これを“内蔵型受動素子”といい、このような基板を“受動素子内蔵型プリント基板”という。
このような受動素子内蔵型プリント基板のもっとも重要な特徴は、抵抗またはキャパシタなどの受動素子がプリント基板の一部として既に備えられているため、別個の受動素子をプリント基板の表面に実装する必要がないことである。
図1aないし図1fは従来の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である(例えば、特許文献1参照)。
図1aに示すように、所定の回路パターンが形成されたコア基板110に、挿入用溝111を加工し、溝111の底面に接着剤112を塗布する。
図1bに示すように、チップキャパシタ120を接着剤112上に固定させる。
図1cに示すように、溝111の内部に熱硬化性樹脂を充填した後、加熱硬化させることで樹脂層113を形成する。
図1dに示すように、コア基板110上に熱硬化性エポキシ系樹脂シートを積層した後、50〜150℃の温度で5kg/cm2の圧力で真空圧縮を行って樹脂絶縁層114を形成する。
図1eに示すように、レーザで樹脂絶縁層114を加工し、チップキャパシタ120の第1電極121および第2電極122と導通可能にするビアホール115を形成する。
図1fに示すように、通常のプリント基板のビルドアップ方式により、受動素子(またはキャパシタ)内蔵型プリント基板100を製造する。
前述したような図1aないし図1fに示すような方法で製造された従来の受動素子内蔵型プリント基板100は、受動素子チップ(すなわち、キャパシタチップ120)の電気的接続のため、第1電極121および第2電極122の上部面または下部面と導通可能にするビアホール115を加工しなければならなかった。しかし、第1電極121および第2電極122の上部面または下部面はその表面積が非常に小さいため、ビアホール115の加工が容易でない問題点があった。
このようなビアホール115の加工の難しさのため、従来の受動素子内蔵型プリント基板100は、ビアホール115が電極121、122の表面でない部分に加工されて、電気的短絡を起こし易く、ひいては電極121、122に接続されない場合も発生する問題点があった。
前述したようなプリント基板に溝を形成し受動素子を挿入する方式と、内層基板の両面に受動素子を積層する方式が研究された。
図2aないし図2gは従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である(例えば、特許文献2参照)。
図2aに示すように、コア基材211および銅箔層212を含み、所定の導通孔213が予め形成された銅張積層板210を用意する。
図2bに示すように、銅張積層板210の上下銅箔層212をエッチングして回路パターン214を形成する。
図2cに示すように、チップキャパシタ220を銅張積層板210上に接着剤で固定させる。
図2dに示すように、導電性ペースト215をスクリーン印刷法で塗布することで、チップキャパシタ220の側面電極と回路パターン214を電気的に接続させる。
図2eに示すように、チップキャパシタ220を埋め込むため、基板の両面に絶縁層230を形成する。
図2fに示すように、樹脂241がコートされた銅箔242であるRCC(Resin Coated Copper)240を基板の両面に積層する。
図2gに示すように、通常のプリント基板のビルドアップ方式で受動素子(またはキャパシタ)内蔵型プリント基板200を製造する。
前述したような図2aないし図2gに示す方法により製造された従来の受動素子内蔵型プリント基板200は、導電性ペースト215を公差の大きいスクリーン印刷方式で塗布するため、微細な回路パターン間の短絡が発生しやすい問題点があった。これは、内蔵型受動素子(つまり、チップキャパシタ220)の電極と回路パターン間の不要な電気的接続を生じさせ、最終電子製品の信頼度を低下させる問題点となった。
特開2002−118366号公報 特開2004−146495号公報
前記問題点を解決するための本発明の技術的課題は、受動素子が内蔵されたプリント基板およびその製造方法を提供することにある。
本発明のほかの技術的課題は、内蔵型受動素子の端子とプリント基板の回路パターンの接続が容易で精密な受動素子内蔵プリント基板およびその製造方法を提供することにある。
前記のような技術的課題を解決するため、本発明は、回路パターンが形成された少なくとも二つの回路層と、前記回路層間にそれぞれ位置する少なくとも一つの絶縁層と、前記絶縁層にそれぞれ垂直に形成され、第1伝導性物質でメッキが施され、互いに所定距離だけ隔たっている一対の端子と、前記一対の端子間に位置し、両側に形成された電極が前記一対の端子からそれぞれ所定距離隔たっており、前記電極が第2伝導性物質を介して前記端子にそれぞれ電気的に接続される内蔵型受動素子とを含んでなる受動素子内蔵型プリント基板を提供する。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の前記第1伝導性物質が銅メッキ層であることが好ましい。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の前記第2伝導性物質が伝導性ペーストであることが好ましい。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の前記第2伝導性物質が銅メッキ層であることが好ましい。
また、前記技術的課題を解決するため、本発明は、絶縁層の内部に形成された受動素子収容部と、前記受動素子収容部に収容され、両側に一対の電極が形成された内蔵型受動素子と、前記受動素子収容部の内壁にそれぞれ形成され、伝導性物質を介して前記内蔵型受動素子の電極にそれぞれ接続される一対の端子と、前記端子に接続され、電気的信号を伝送する回路パターンとを含んでなる受動素子内蔵型プリント基板を提供する。
また、前記技術的課題を解決するため、本発明は、(A)原板に多数の第1ビアホールを形成し、前記原板の外層および前記第1ビアホールの側壁に銅メッキ層を形成するステップと、(B)前記原板の外層および銅メッキ層に、前記第1ビアホールのランドおよび前記第1ビアホールのランドに接続される回路パタンを含む第1回路パターンを形成するステップと、(C)前記多数の第1ビアホールのなかで、一対の第1ビアホールの対向部がそれぞれ切り取られるように、前記一対の第1ビアホール間の部分を除去して受動素子収容部を形成するステップと、(D)前記受動素子収容部に受動素子を挿入するステップと、(E)前記第1ビアホールの残存部と前記受動素子の電極を電気的に接続するステップとを含んでなる受動素子内蔵型プリント基板の製造方法を提供する。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法は、前記(B)ステップの後、(F)前記原板の片面に絶縁層を積層するステップをさらに含むことが好ましい。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法は、前記(C)ステップの後、(F)前記原板の片面に絶縁層を積層するステップをさらに含むことが好ましい。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法は、前記(B)ステップの後、(F)前記原板の両面にそれぞれ絶縁層および銅箔を含む第1積層体を積層し、前記第1積層体の銅箔に第2回路パターンを形成するステップと、前記(D)ステップの後、(G)前記第1積層体上にそれぞれ絶縁層および銅箔を含む第2積層体を積層し、前記一対の第1ビアホールの残存部および前記受動素子の電極が露出するように、第2ビアホールを形成するステップとをさらに含むことが好ましい。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の前記(E)ステップは、伝導性ペーストを介して前記第1ビアホールの残存部と前記受動素子の電極を電気的に接続することが好ましい。
本発明による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の前記(E)ステップは、銅メッキ層を介して前記第1ビアホールの残存部と前記受動素子の電極を電気的に接続することが好ましい。
以上のような本発明によると、ビアホールとビアホールを接続する一定の空間に受動素子を挿入し、端子としてビアホールの側壁を用いる受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法を提供する。
したがって、本発明による受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法は、伝導性ペーストまたは銅メッキ層で、端子であるビアホールの側壁と受動素子電極を電気的に接続するので、その接続がより容易で精密に行える効果がある。
また、本発明による受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法は、多様なサイズのチップキャパシタまたはチップ抵抗などの受動素子をプリント基板の内部に挿入することができるので、設計自由度が増加する効果もある。
また、本発明による受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法は、プリント基板の内部に受動素子を挿入してプリント基板表面の実装領域を増加させるので、電子部品をさらに実装することができるか、あるいはプリント基板の大きさを減少させることができる効果もある。
また、本発明による受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法は、受動素子の挿入後、さらに回路層を形成することができるので、電子製品の小型化、高集積化、および多機能化に応えて適用することができる効果もある。
また、本発明による受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法は、ビアホールに伝導性ペーストを使用して受動素子と電気的に接続する場合、ビアホールの上部にほかのビアホールを形成することができるので、回路の集積度を向上させることができる効果もある。
以下、添付図面に基づき、本発明による受動素子内蔵型プリント基板およびその製造方法を詳細に説明する。
図3aないし図3jは本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。
図3aに示すように、原板1100として、絶縁樹脂層1110に銅箔層1120、1120′が被覆された銅張積層板を用意する。
ここで、原板1100として使用された銅張積層板の種類には、その用途に応じて、ガラス/エポキシ銅張積層板、耐熱樹脂銅張積層板、紙/フェノール銅張積層板、高周波用銅張積層板、フレキシブル銅張積層板、複合銅張積層板などがある。しかし、プリント基板の製造には、主に使用される絶縁樹脂層1110に銅箔層1120、1120′が被覆されたガラス/エポキシ銅張積層板を使用することが好ましい。
この実施例において、原板1100として2層の構造を示しているが、使用目的または用途に応じて、内部回路層に所定の回路パターンが形成された4層、6層および8層などの多層構造の原板1100を使用することができる。
図3bに示すように、原板1100の上下銅箔層1120、1120′の回路接続のため、二つのビアホールA1を形成した後、形成されたビアホールA1の電気的接続のため、上下銅箔層1120、1120′とビアホールA1の側壁に銅メッキ層1130、1130′を形成する。
ここで、原板1100に形成されたビアホールA1が銅箔層1120とほかの銅箔層1120′を接続する導通孔であるので、CNCドリル(Computer Numerical Control drill)などの機械的ドリルを使用して、前もって設定された位置にビアホールA1を形成することが好ましい。
このようなCNCドリルでビアホールA1を形成した後、ドリリング時に発生する銅箔層1120、1120′のバー(burr)、ビアホールA1の内壁の埃、銅箔層1120、1120′の表面の埃などを除去するデバリング(deburring)工程を行うことが好ましい。この場合、銅箔層の表面に粗さが付与されるので、後続の銅メッキ工程において、銅との密着力が向上する利点がある。
また、CNCドリルでビアホールA1を形成した後、形成時に発生する熱により絶縁樹脂層1110が溶けてビアホールA1の側壁で生じるスミア(smear)を除去するデスミア(desmear)工程を行うことが好ましい。
ここで、原板1100のビアホールA1の側壁が絶縁樹脂層1110であるので、ビアホールA1の形成直後に電解銅メッキ処理を行うことができない。
したがって、形成されたビアホールA1の電気的接続および電解銅メッキ処理のため、無電解銅メッキを施す。無電解銅メッキは絶縁体に対するメッキであるので、電気を呈するイオンによる反応は期待することができない。このような無電解銅メッキは析出反応によりなされ、析出反応は触媒により促進される。メッキ液から銅を析出させるためには、メッキを施そうとする材料の表面に触媒を付着しなければならない。これは、無電解銅メッキが多くの前処理を必要とすることを示す。
一例として、無電解銅メッキ工程は、脱脂(cleanet)過程、ソフト腐食(soft etching)過程、予備触媒処理(pre-catalyst)過程、触媒処理過程、活性化過程、無電解銅メッキ過程、および酸化防止処理過程を含む。
脱脂過程において、上下銅箔層1120、1120′の表面に存在する酸化物または異物、特に油脂分などを酸またはアルカリ界面活性剤の含まれた薬品で除去した後、界面活性剤を完全に水洗する。
ソフト腐食過程において、上下銅箔層1120、1120′の表面に微細な粗さ(例えば、およそ1〜2μm)を与えて、メッキステップで銅粒子が均一に密着するようにし、脱脂過程で処理されていない汚染物を除去する。
予備触媒過程において、低濃度の触媒薬品に原板1100を浸漬することにより、触媒処理ステップで使用される薬品が汚染するかまたは濃度が変化することを防止する。さらに、同種成分の薬品槽に原板1100を浸漬するので、触媒処理がより活性化される効果がある。このような予備触媒処理過程には、1〜3%に希釈された触媒薬品を使用することが好ましい。
触媒処理過程において、原板1100の銅箔層1120、1120′および絶縁樹脂層1110の面(すなわち、ビアホールA1の側壁)に触媒粒子を被せる。触媒粒子としてはPd−Sn化合物を使用することが好ましく、このPd−Sn化合物はメッキが施される粒子のCu2+とPd2-が結合してメッキ処理を促進する役割をする。
無電解銅メッキ過程において、メッキ液は、CuSO4、HCHO、NaOHおよびそのほかの安定剤からなることが好ましい。メッキ反応を持続させるためには、化学反応が均衡をとらなければならなく、このため、メッキ液の組成を制御することが重要である。組成を維持するためには、不足した成分の適切な供給、機械的撹拌、メッキ液の純化システムをうまく運営しなければならない。このような反応の結果として発生する副産物のための濾過装置が必要であり、これを活用することによりメッキ液の使用時間を延長することができる。
酸化防止処理過程において、無電解銅メッキ処理後に残存するアルカリ成分によりメッキ膜が酸化することを防止するため、酸化防止膜を全面にコートする。
しかし、前述した無電解銅メッキ工程は、一般に電解銅メッキに比べて物理的特性に劣るので、薄く形成する。
無電解銅メッキ処理が完了した後、原板1100を銅メッキ処理槽に浸漬した後、直流整流器により電解銅メッキ処理を行う。このような電解銅メッキは、メッキを施そうとする面積を計算し、直流整流器に適した電流で銅を析出する方式を用いることが好ましい。
電解銅メッキは、無電解銅メッキ層より銅メッキ層の物理的特性に優れており、厚い銅メッキ層を形成し易い利点がある。
図3cに示すように、感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行うことにより、原板1100の上下銅箔層1120、1120′および銅メッキ層1130、1130′に所定の回路パターンを形成する。ここで、所定の回路パターンは、一般の回路パターン(図示せず)、端子1141、1142の一部であるビアホールのランド、前記端子1141、1142に接続される回路パターン1151、1152などを含む。
この実施例において、感光性物質のエッチングレジストとしてドライフィルムまたは液状の感光材を使用することができる。
ドライフィルムをエッチングレジストとして使用する場合、原板1100の上下銅メッキ層1130、1130′にドライフィルムをそれぞれと付した後、所定のパターンが印刷されたアートワークフィルムをドライフィルム上に密着させ、紫外線を照射する。この際、アートワークフィルムの所定のパターンが印刷された黒い部分は紫外線が透過し得なく、印刷されていない部分は紫外線が透過するので、アートワークフィルム下側のドライフィルムを硬化させる。このようにドライフィルムが硬化した原板1100を現像液に浸漬すると、硬化していないドライフィルム部分が現像液により除去され、硬化したドライフィルム部分のみ残ってエッチングレジストパターンを形成する。ここで、現像液としては、炭酸ナトリウム(Na2CO3)または炭酸カリウム(K2CO3)の水溶液などを使用する。ついで、ドライフィルムをエッチングレジストとして使用し、原板1100にエッチング液を噴霧することにより、ドライフィルムの所定のパターンに対応する部分を除く残り部分の上下銅箔層1120、1120′および銅メッキ層1130、1130′を除去する。その後、原板1100の上下両面に塗布されたドライフィルムを、水酸化ナトリウム(NaOH)または水酸化カリウム(KOH)などが含まれた剥離液を使用して除去する。
一方、液状の感光材をエッチングレジストとして使用する場合、紫外線に感光される液状の感光材を原板1100の銅メッキ層1130、1130′に塗布した後、乾燥させる。ここで、液状の感光材をコートする方式としては、ディップコーティング方式、ロールコーティング方式、電気蒸着方式などがある。ついで、所定のパターンが形成されたアートワークフィルムを介して感光材を露光および現像することにより、感光材に所定のパターンを形成する。その後、所定のパターンが形成された感光材をエッチングレジストとして使用し、原板1100にエッチング液を噴霧することにより、感光材の所定のパターンに対応する部分を除いた残り部分の上下銅箔層1120、1120′および銅メッキ層1130、1130′を除去した後、感光材を除去する。
このような液状の感光材をエッチングレジストして使用する方式は、ドライフィルムより薄く塗布することができるので、より微細な回路パターンを形成することができる利点がある。また、原板1100の表面に凹凸がある場合、これをならして均一な表面を形成することができる利点もある。
図3dに示すように、原板1100の両面にそれぞれ第1絶縁層1210、1210′(例えば、プレプレッグ)と第1銅箔1220、1220′を積層した後、所定の温度および圧力(例えば、およそ150℃〜200℃および30kg/cm2〜40kg/cm2)で加温および加圧して第1積層体1200、1200′を形成する。
ここで、第1絶縁層1210、1210′および第1銅箔1220、1220′の代わりに、原板1100の両面に第1RCCをそれぞれ積層して第1積層体1200、1200′を形成することもできる。
図3eに示すように、第1積層体1200、1200′の上下第1銅箔1220、1220′に感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行うことにより、第1積層体1200、1200′の第1銅箔に所定の回路パターンを形成した後、受動素子を挿入するため、二つのビアホール間の部分を加工して受動素子収容部1400を形成する。この際、二つのビアホールが半分くらい加工されるように受動素子収容部1400を形成することが好ましい。
所定の回路パターン形成工程において、後続の受動素子の電極と受動端子1141、1142間の接続のためのレーザによるビアホール形成工程でビアホールの過食刻を防止するため、下部第1銅箔1220′にビアホール下部ランド1231、1232を形成する。
この実施例において、図3cの過程と同様に、エッチングレジストとしてドライフィルムまたは液状の感光材を使用して所定の回路パターンを形成することが好ましい。
また、受動素子収容部1400の外部にある二つのビアホールの対向弧状領域は加工されなく側壁に銅メッキ層が残っているので、後に受動素子の電極に接続できる端子1141、1142の役割をし得る。
好ましい実施例において、二つのビアホール間の部分を加工する工程は、CNCドリル、およびルータドリルなどを用いて行うことが好ましく、後に収容される受動素子の製品公差に合わせて加工することが好ましい。
図3fに示すように、受動素子収容部1400にチップキャパシタまたはチップ抵抗などの受動素子1500を挿入する。
ここで、受動素子1500が後続の工程で位置離脱しなく堅く固定されるよう、受動素子収容部1400の底面に少量の接着剤を塗布した後、受動素子1500を挿入することが好ましい。
図3gに示すように、基板の両面にそれぞれ第2絶縁層1310、1310′(例えば、プレプレッグ)と第2銅箔1320、1320′を積層した後、所定の温度および圧力(例えば、およそ150℃〜200℃および30kg/cm2〜40kg/cm2)で加温および加圧して第2積層体1300、1300′を形成する。
図3dの第1積層体1200、1200′と同様に、第2絶縁層1310、1310′および第2銅箔1320、1320′の代わりに、基板の両面に第2RCCをそれぞれ積層して第2積層体1300、1300′を形成することもできる。
図3hに示すように、上部第2銅箔1320に感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行って、ビアホールを形成するためのウィンドウA′を形成する。
図3iに示すように、上部第2銅箔1320に形成されたウィンドウA′を用いて、上部第2銅箔1320から第1積層体1200′の下部第1銅箔1220′に形成された下部ビアホールランド1231、1232までビアホールA2を形成する。
ここで、ビアホールA2を形成する工程は、ビアホールA2が一端の閉塞したブラインドビアホールであるので、レーザドリルで絶縁層1210、1210′、1310を加工してビアホールA2を形成することが好ましい。この際、使用するレーザドリルとしては、二酸化炭素レーザドリルを使用することが好ましい。この場合、受動素子電極1510、1520と内部ビアホールA1の側壁である端子1141、1142が二酸化炭素レーザドリルで加工できない銅からなっているので、受動素子電極1510、1520と端子1141、1142がビアホールA2の加工のためのガイドの役割をする。
また、ビアホールA2の下部に銅からなったランド1231、1232が形成されているので、ビアホールA2を下部ビアホールランド1231、1232まで精密に加工することができる。
図3jに示すように、端子1141、1142と受動素子電極1510、1520の電気的接続のため、ビアホールA2の内部に伝導性ペースト1600を充填した後、感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行うことにより、上下第2銅箔1320、1320′に所定の回路パターンを形成する。
ここで、感光性物質のエッチングレジストしてドライフィルムまたは液状の感光材などを使用して所定の回路パターンを形成することが好ましい。
図4aおよび図4bはそれぞれ本発明の第1実施例による6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板の断面図である。
図4aに示すように、本発明は、内蔵型受動素子1500が収容され、一般の回路パターンが形成されている6層構造の受動素子内蔵型プリント基板1000aを形成することができる。
また、図4bに示すように、本発明は、内蔵型受動素子1500が収容され、一般の回路パターンが形成されている8層構造の受動素子内蔵型プリント基板1000bを形成することができる。
この際、伝導性ペースト1600が充填されたビアホールの上部にほかのビアホールA3を形成することができるので、受動素子の電極1510、1520をほかの回路層に接続することもできる。
ここで、6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板1000a、1000bを示しているが、8層以上の受動素子内蔵型プリント基板も本発明により製造可能なことが当業者であれば容易に分かる。
図5は本発明の第1実施例による内蔵型受動素子の斜視図である。
同図に示すように、本発明による内蔵型受動素子1500は受動素子内蔵型プリント基板の絶縁層内部に埋め込まれ、両側面に受動素子電極1510、1520が形成されている。前記受動素子電極1510、1520は、所定距離だけ隔たって形成された端子1141、1142と伝導性ペースト1600を介して電気的に接続される。前記端子1141、1142は、断面が弧状であるビアホールの側壁で、このビアホールの側壁に銅メッキ層が形成されているため、接続された回路パターン1151、1152と電気的に導通することができる。
図6aないし図6jは本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。
図6aに示すように、原板2100として、絶縁樹脂層2110に銅箔層2120、2120′が被覆された銅張積層板を用意する。
ここで、原板2100として2層の構造を示しているが、使用目的または用途に応じて、内部回路層に所定の回路パターンが形成された4層、6層および8層などの多層構造の原板2100を使用することができる。
図6bに示すように、原板2100の上下銅箔層2120、2120′の回路接続のため、二つのビアホールB1を形成した後、形成されたビアホールB1の電気的接続のため、上下銅箔層2120、2120′とビアホールB1の側壁に銅メッキ層2330、2330′を形成する。
ここで、原板2100に形成されたビアホールB1はCNCドリルなどの機械的ドリルを使用して、前もって設定された位置に形成することが好ましい。
ビアホールB1を形成した後、ドリリング時に発生する銅箔層2120、2120′のバー(burr)、ビアホールB1の内壁の埃、銅箔層2120、2120′の表面の埃などを除去するデバリング(deburring)工程、およびビアホールB1の形成時に発生する熱により絶縁樹脂層が溶けてビアホールB1の側壁で生じるスミア(smear)を除去するデスミア(desmear)工程をさらに行うことが好ましい。
ここで、原板2100のビアホールB1の側壁が絶縁樹脂層2110であるので、無電界銅メッキ処理を先に行った後、物性に優れた電界銅メッキ処理を行って銅メッキ層2130、2130′を形成することが好ましい。
図6cに示すように、感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行うことにより、原板2100の上下銅箔層2120、2120′および銅メッキ層2330、2330′に所定の回路パターンを形成する。ここで、所定の回路パターンは、一般の回路パターン(図示せず)、端子2141、2142の一部であるビアホールB1のランド、前記端子2141、2142に接続される回路パターン2151、2152などを含む。
ここで、感光性物質のエッチングレジストとしてドライフィルムまたは液状の感光材を使用して所定の回路パターンを形成することができる。
図6dに示すように、原板2100の両面にそれぞれ第1絶縁層2210、2210′(例えば、プレプレッグ)と第1銅箔2220、2220′を積層した後、所定の温度および圧力(例えば、およそ150℃〜200℃および30kg/cm2〜40kg/cm2)で加温および加圧して第1積層体2200、2200′を形成する。
ここで、第1絶縁層2210、2210′および第1銅箔2220、2220′の代わりに、原板2100の両面に第1RCCをそれぞれ積層して第1積層体2200、2200′を形成することもできる。
図6eに示すように、第1積層体2200、2200′の上下第1銅箔2220、2220′に感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行うことにより、第1積層体2200、2200′の第1銅箔2220、2220′に所定の回路パターンを形成した後、受動素子を挿入するため、二つのビアホールB1間の部分を加工して受動素子収容部2400を形成する。この際、二つのビアホールB1が半分くらい加工されるように受動素子収容部2400を形成することが好ましい。
所定の回路パターン形成工程において、後続の受動素子の電極と受動端子2141、2142間の接続のためのレーザによるビアホール形成工程でビアホールの過食刻を防止するため、下部銅箔にビアホール下部ランド2231、2232を形成する。
この実施例において、図3cの過程と同様に、エッチングレジストとしてドライフィルムまたは液状の感光材を使用して所定の回路パターンを形成することが好ましい。
また、受動素子収容部2400の外部にある二つのビアホールの対向弧状領域は加工されなく側壁に銅メッキ層が残っているので、後に受動素子の電極に接続できる端子2141、2142の役割をし得る。
好ましい実施例において、二つのビアホール間の部分を加工する工程は、CNCドリル、およびルータドリルなどを用いて行うことが好ましく、後に収容される受動素子の製品公差に合わせて加工することが好ましい。
図6fに示すように、受動素子収容部2400にチップキャパシタまたはチップ抵抗などの受動素子2500を挿入する。
ここで、受動素子2500が後続の工程で位置離脱しなく堅く固定されるよう、受動素子収容部2400の底面に少量の接着剤を塗布した後、受動素子2500を挿入することが好ましい。
図6gに示すように、基板の両面にそれぞれ第2絶縁層2310、2310′(例えば、プレプレッグ)と第2銅箔2320、2320′を積層した後、所定の温度および圧力(例えば、およそ150℃〜200℃および30kg/cm2〜40kg/cm2)で加温および加圧して第2積層体2300、2300′を形成する。
図6hに示すように、上部第2銅箔2320に感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行って、ビアホールを形成するためのウィンドウB′を形成する。
図6iに示すように、上部第2銅箔2320に形成されたウィンドウB′を用いて、上部第1銅箔2320から第1積層体2200′の下部第1銅箔2220′に形成された下部ビアホールランド2231、2232までビアホールB2を形成する。
ここで、ビアホールB2を形成する工程は、ビアホールB2が一端の閉塞したブラインドビアホールであるので、レーザドリルで絶縁層2210、2210′、2310を加工してビアホールB2を形成することが好ましい。この際、使用するレーザドリルとしては、二酸化炭素レーザドリルを使用することが好ましい。この場合、受動素子電極2510、2520と内部ビアホールB1の側壁である端子2141、2142が二酸化炭素レーザドリルで加工できない銅からなっているので、受動素子電極2510、2520と端子2141、2142がビアホールB2の加工のためのガイドの役割をする。
図6jに示すように、端子2141、2142と受動素子電極2510、2520の電気的接続のため、ビアホールB2の側壁(すなわち、端子2141、2142および受動素子電極2510、2520)および上下第2銅箔2320、2320′に銅メッキ層2330、2330′を形成した後、感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行うことにより、上下第2銅箔2320、2320′および銅メッキ層2330、2330′に所定の回路パターンを形成する。
ここで、ビアホールB2の側壁が絶縁層であるので、無電解銅メッキ処理を先に行った後、物性に優れた電解銅メッキ処理を行うことが好ましい。
また、感光性物質のエッチングレジストしてドライフィルムまたは液状の感光材などを使用して所定の回路パターンを形成することが好ましい。
図7aおよび図7bはそれぞれ本発明の第2実施例による6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板の断面図である。
図7aに示すように、本発明は、内蔵型受動素子2500が収容され、一般の回路パターンが形成されている6層構造の受動素子内蔵型プリント基板2000aを形成することができる。
また、図7bに示すように、本発明は、内蔵型受動素子2500が収容され、一般の回路パターンが形成されている8層構造の受動素子内蔵型プリント基板2000bを形成することができる。
この際、受動素子電極2510、2520と端子2141、2142間の空間を絶縁層(例えば、プレプレッグ)で充填した後、さらに回路パターンを形成することができる。
図4aおよび図4bの第1実施例と同様に、第2実施例においては、6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板2000a、2000bを示しているが、8層以上の受動素子内蔵型プリント基板も本発明により製造可能なことが当業者であれば容易に分かる。
図8は本発明の第2実施例による内蔵型受動素子の斜視図である。
同図に示すように、本発明による内蔵型受動素子2500は受動素子内蔵型プリント基板の絶縁層内部に埋め込まれ、両側面に受動素子電極2510、2520が形成されている。前記受動素子電極2510、2520は、所定距離だけ隔たって形成された端子2141、2142と銅メッキ層2330を介して電気的に接続される。前記端子2141、2142は、断面が弧状であるビアホールB2の側壁で、このビアホールB2の側壁に銅メッキ層2330が形成されているため、接続された回路パターン2151、2152と電気的に導通することができる。
図9aないし図9hは本発明の第3実施例および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。
図9aに示すように、原板3100として、絶縁樹脂層3110に銅箔層3120、3120′が被覆された銅張積層板を用意する。
第1および第2実施例と同様に、原板3100として2層の構造を示しているが、使用目的または用途に応じて、内部回路層に所定の回路パターンが形成された4層、6層および8層などの多層構造の原板3100を使用することができる。
図9bに示すように、原板3100の上下銅箔層3120、3120′の回路接続のため、二つのビアホールC1を形成した後、形成されたビアホールC1の電気的接続のため、上下銅箔層3120、3120′とビアホールC1の側壁に銅メッキ層3330、3330′を形成する。
第1および第2実施例と同様に、原板3100に形成されたビアホールC1はCNCドリルなどの機械的ドリルを使用して、前もって設定された位置に形成することが好ましい。
ビアホールC1を形成した後、ドリリング時に発生する銅箔層3120、3120′のバー(burr)、ビアホールC1の内壁の埃、銅箔層3120、3120′の表面の埃などを除去するデバリング(deburring)工程、およびビアホールC1の形成時に発生する熱により絶縁樹脂層3110が溶けてビアホールC1の側壁で生じるスミア(smear)を除去するデスミア(desmear)工程をさらに行うことが好ましい。
ここで、原板3100のビアホールC1の側壁が絶縁樹脂層3110であるので、無電界銅メッキ処理を先に行った後、物性に優れた電界銅メッキ処理を行って銅メッキ層3130、3130′を形成することが好ましい。
図9cに示すように、感光性物質のエッチングレジストによる露光、現像およびエッチング工程を行うことにより、原板3100の上下銅箔層3120、3120′および銅メッキ層3330、3330′に所定の回路パターンを形成する。ここで、所定の回路パターンは、一般の回路パターン(図示せず)、端子3141、3142の一部であるビアホールC1のランド、前記端子3141、3142に接続される回路パターン3151、3152などを含む。
図9dに示すように、受動素子を収容するため、二つのビアホールC1間の部分を加工して受動素子収容部3400を形成する。この際、二つのビアホールC1が半分くらい加工されるように受動素子収容部3400を形成することが好ましい。
この実施例において、受動素子収容部3400の外部にある二つのビアホールの対向弧状領域は加工されなく側壁に銅メッキ層が残っているので、後に受動素子の電極に接続できる端子3141、3142の役割をし得る。
好ましい実施例において、二つのビアホール間の部分を加工する工程は、CNCドリル、およびルータドリルなどを用いて行うことが好ましく、後に収容される受動素子の製品公差に合わせて加工することが好ましい。
図9eに示すように、原板3100の一面に第1積層体3200′で絶縁層(例えば、プレプレッグ)を積層した後、所定の温度および圧力(例えば、およそ150℃〜200℃および30kg/cm2〜40kg/cm2)で加温および加圧する。
ここで、第1積層体3200′を原板3100の一面に積層することにより、後に受動素子を挿入するとき、受動素子が下方に通過することを防止する。
図9dおよび図9eのように、受動素子収容部3400を形成してから第1積層体3200′を積層したが、第1積層体3200′を積層してから受動素子収容部3400を形成することができる。
図9fに示すように、受動素子収容部3400にチップキャパシタまたはチップ抵抗などの受動素子3500を挿入する。
ここで、受動素子3500が後続の工程で位置離脱しなく堅く固定されるよう、受動素子収容部3400の底面に少量の接着剤を塗布した後、受動素子3500を挿入することが好ましい。
図9gに示すように、端子3141、3142と受動素子電極3510、3520の電気液接続のため、端子3141、3142と受動素子電極3510、3520間の空間を伝導性ペースト3600で充填する。
その後、通常のプリント基板のビルドアップ工程を行うと、本発明の第3実施例による受動素子内蔵型プリント基板が製造される。
一方、図9fの過程の後続工程として、図9hに示すように、端子3141、3142と受動素子電極3510、3520の電気的接続のため、端子3141、3142と受動素子電極3510、3520間に銅メッキ層3300を形成することもできる。
その後、通常のプリント基板のビルドアップ工程を行うと、本発明の第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板が製造される。
図10aおよび図10bはそれぞれ本発明の第5実施例および第6実施例による内蔵型受動素子の斜視図である。
図10aに示すように、本発明の第5実施例による内蔵型受動素子4500は受動素子内蔵型プリント基板の絶縁層内部に埋め込まれ、両側面に受動素子電極4510、4520が形成されている。前記受動素子電極4510、4520は、所定距離だけ隔たって形成された端子4141、4142と伝導性ペースト4600を介して電気的に接続される。前記端子4141、4142は、断面が弧状であるビアホールの側壁で、このビアホールの側壁に銅メッキ層が形成されているため、接続された回路パターン4151、4152と電気的に導通することができる。
図5に示す本発明の第1実施例による内蔵型受動素子1500と図10aに示す本発明の第5実施例による内蔵型受動素子4500を比較してみると、第1実施例は、内蔵型受動素子1500から離れている受動素子電極1510、1520の表面にそれぞれ伝導性ペースト1600を介して端子1141、1142が接続(すなわち、±y軸方向に接続)され、第5実施例は、内蔵型受動素子4500に接している受動素子電極4510、4520の表面にそれぞれ伝導性ペースト4600を介して端子4141、4142が接続(すなわち、±x軸方向に接続)されている。
図10bに示すように、本発明の第6実施例による内蔵型受動素子5500は受動素子内蔵型プリント基板の絶縁層内部に埋め込まれ、両側面に受動素子電極5510、5520が形成されている。前記受動素子電極5510、5520は、所定距離だけ隔たって形成された端子5141、5142と銅メッキ層5300を介して電気的に接続される。前記端子5141、5142は、断面が弧状であるビアホールの側壁で、このビアホールの側壁に銅メッキ層が形成されているため、接続された回路パターン5151、5152と電気的に導通することができる。
図8に示す本発明の第2実施例による内蔵型受動素子2500と図10bに示す本発明の第6実施例による内蔵型受動素子5500を比較してみると、第2実施例は、内蔵型受動素子2500から離れている受動素子電極2510、2520の表面にそれぞれ銅メッキ層2330を介して端子2141、2142が接続(すなわち、±y軸方向に接続)され、第6実施例は、内蔵型受動素子5500に接している受動素子電極5510、5520の表面にそれぞれ銅メッキ層5300を介して端子5141、5142が接続(すなわち、±x軸方向に接続)されている。
以上、本発明の実施例を説明したが、当業者であれば、本発明の技術的思想および範囲を逸脱しない範囲内で多様な変形および修正が可能であろう。このような変形および修正実施例も本発明の範囲内に属するものである。
従来の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である。 従来の受動素子内蔵型プリント基板のほかの製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第1実施例による6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板の断面図である。 本発明の第1実施例による6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板の断面図である。 本発明の第1実施例による内蔵型受動素子の斜視図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図および平面図である。 本発明の第2実施例による6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板の断面図である。 本発明の第2実施例による6層および8層構造の受動素子内蔵型プリント基板の断面図である。 本発明の第2実施例による内蔵型受動素子の斜視図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第3および第4実施例による受動素子内蔵型プリント基板の製造方法の流れを示す断面図である。 本発明の第5および第6実施例による内蔵型受動素子の斜視図である。 本発明の第5および第6実施例による内蔵型受動素子の斜視図である。
符号の説明
1000a、1000b、2000a、2000b 受動素子内蔵型プリント基板
1110、2100、3100 原板
1110、2110、3110 絶縁樹脂層
1120、1120′、2120、2120′、3120、3120′ 銅箔層
1130、1130′、2330、2330′、3300、5300 銅メッキ層
1141、1142、2141、2142、3141、3142、4141、4142、5141、5142 端子
1151、1152、2151、2152、3151、3152、4151、4152、5141、5142 端子に接続された回路パターン
1200、1200′、2200、2200′、3200′ 第1積層体
1210、1210′、2210、2210′ 第1銅箔
1220、1220′、2220、2220′ 第1絶縁層
1231、1232、2231、2232 ビアホール下部ランド
1300、1300′、2300、2300′ 第2積層体
1310、1310′、2310、2310′ 第2銅箔
1320、1320′、2320、2320′ 第2絶縁層
1400、2400、3400 受動素子収容部
1500、2500、3500、4500、5500 受動素子
1510、1520、2510、2520、3510、3520、4510、4520、5510、5520 受動素子電極
1600、3600、4600 伝導性ペースト
A1、A2、A3、B1、B2、C1 ビアホール
A′、B′ ビアホールのウィンドウ

Claims (20)

  1. 回路パターンが形成された少なくとも一つの回路層と、
    前記回路層間にそれぞれ位置する少なくとも一つの絶縁層と、
    前記絶縁層にそれぞれ垂直に形成され、第1伝導性物質でメッキが施され、互いに所定距離だけ隔たっている一対の端子と、
    前記一対の端子間に位置し、両側に形成された電極が前記一対の端子からそれぞれ所定距離隔たっており、前記電極が第2伝導性物質を介して前記端子にそれぞれ電気的に接続される内蔵型受動素子とを含んでなることを特徴とする受動素子内蔵型プリント基板。
  2. 前記第1伝導性物質が銅メッキ層であることを特徴とする請求項1記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  3. 前記第2伝導性物質が伝導性ペーストであることを特徴とする請求項1記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  4. 前記伝導性ペーストの一側に形成されたビアホールをさらに含むことを特徴とする請求項3記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  5. 前記第2伝導性物質が銅メッキ層であることを特徴とする請求項1記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  6. 前記端子が弧状の断面を有することを特徴とする請求項1記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  7. 絶縁層の内部に形成された受動素子収容部と、
    前記受動素子収容部に収容され、両側に一対の電極が形成された内蔵型受動素子と、
    前記受動素子収容部の内壁にそれぞれ形成され、伝導性物質を介して前記内蔵型受動素子の電極にそれぞれ接続される一対の端子と、
    前記端子に接続され、電気的信号を伝送する回路パターンとを含んでなることを特徴とする受動素子内蔵型プリント基板。
  8. 前記伝導性物質が伝導性ペーストであることを特徴とする請求項7記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  9. 前記伝導性ペーストの一側に形成されたビアホールをさらに含むことを特徴とする請求項8記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  10. 前記伝導性物質が銅メッキ層であることを特徴とする請求項7記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  11. 前記端子が弧状の断面を有することを特徴とする請求項7記載の受動素子内蔵型プリント基板。
  12. (A)原板に多数の第1ビアホールを形成し、前記原板の外層および前記第1ビアホールの側壁に銅メッキ層を形成するステップと、
    (B)前記原板の外層および銅メッキ層に、前記第1ビアホールのランドおよび前記第1ビアホールのランドに接続される回路パターンを含む第1回路パターンを形成するステップと、
    (C)前記多数の第1ビアホールのなかで、一対の第1ビアホールの対向部がそれぞれ切り取られるように、前記一対の第1ビアホール間の部分を除去して受動素子収容部を形成するステップと、
    (D)前記受動素子収容部に受動素子を挿入するステップと、
    (E)前記第1ビアホールの残存部と前記受動素子の電極を電気的に接続するステップとを含んでなることを特徴とする受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  13. 前記(B)ステップの後、(F)前記原板の片面に絶縁層を積層するステップをさらに含むことを特徴とする請求項12記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  14. 前記(C)ステップの後、(F)前記原板の片面に絶縁層を積層するステップをさらに含むことを特徴とする請求項12記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  15. 前記(B)ステップの後、(F)前記原板の両面にそれぞれ絶縁層および銅箔を含む第1積層体を積層し、前記第1積層体の銅箔に第2回路パターンを形成するステップと、
    前記(D)ステップの後、(G)前記第1積層体上にそれぞれ絶縁層および銅箔を含む第2積層体を積層し、前記一対の第1ビアホールの残存部および前記受動素子の電極が露出するように、第2ビアホールを形成するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項12記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  16. 前記(F)ステップの第2回路パターンは、前記(G)ステップの第2ビアホール形成過程で過食刻を防止するため、前記第1積層体の下部銅箔に形成された第2ビアホール下部ランドを含むことを特徴とする請求項15記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  17. 前記(C)ステップの受動素子収容部を形成する過程が、CNCドリル(Computer Numerical Control drill)により行われることを特徴とする請求項12記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  18. 前記(C)ステップの受動素子収容部を形成する過程が、ルータドリル(router drill)により行われることを特徴とする請求項12記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  19. 前記(E)ステップは、伝導性ペーストを介して前記第1ビアホールの残存部と前記受動素子の電極を電気的に接続することを特徴とする請求項12記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
  20. 前記(E)ステップは、銅メッキ層を介して前記第1ビアホールの残存部と前記受動素子の電極を電気的に接続することを特徴とする請求項12記載の受動素子内蔵型プリント基板の製造方法。
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