JP2006080289A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対象物8を吸着する吸着面1aと、吸着面1a上に形成された気体流路5a、5b、5c、5dと、気体流路5a、5b、5c、5d内に気体を流通させる気体吹き出し口4a、4b、4c、4dと、吸着面1a上に形成された吸引口7a、7b、7c、7d、7eとを備える。
【選択図】 図1
Description
Claims (4)
- 対象物を吸着する吸着面と、
前記吸着面上に形成された気体流路と、
前記気体流路内に気体を流通させる気体吹き出し口と、
前記吸着面上に形成された吸引口と、
を備える搬送装置。 - 前記気体流路が前記吸着面の外周部側に配置され、前記吸引口が前記吸着面の内方側に配置された、請求項1に記載の搬送装置。
- 前記吸引口と連結した吸引経路と、
前記吸引経路を介して前記対象物を吸引する吸引手段と、
前記吸引経路内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記気体吹き出し口に前記気体を供給する気体供給手段と、
前記圧力検出手段により検出された前記吸引経路内の圧力に基づいて、前記気体供給手段の気体供給量を制御する制御部と、
をさらに備えた、請求項1または請求項2に記載された搬送装置。 - 前記制御部は、前記吸引手段および前記気体供給手段の駆動/停止を制御する、請求項3に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004262456A JP4495552B2 (ja) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004262456A JP4495552B2 (ja) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006080289A true JP2006080289A (ja) | 2006-03-23 |
JP4495552B2 JP4495552B2 (ja) | 2010-07-07 |
Family
ID=36159503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004262456A Active JP4495552B2 (ja) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4495552B2 (ja) |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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