JP2006071501A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定圧力に設定された圧力基準室と圧力測定室とを隔てる第1のダイヤフラムに対向して測定電極が設けられ、第1のダイヤフラム及び測定電極間の第1の静電容量から圧力測定室の圧力を求める静電容量型圧力センサにおいて、環境温度変化に対する温度補償を行うための参照電極及びこれに対向する第2のダイヤフラムを設け、該第2のダイヤフラムを挟む参照電極側の第1の空間及び反対側の第2の空間の圧力を実質的に同一とし、前記第1の静電容量を前記参照電極と前記第2のダイヤフラム間の第2の静電容量により補正して前記圧力測定室の圧力を求める構成としたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
図9は、温度変動に伴う静電容量変化を参照電極12側と測定電極11側とで略同一とすべく、参照電極の大きさを測定電極と同一として配置した圧力センサである。
なお、前記圧力基準室と前記第1の空間、又は前記圧力測定室と前記第2の空間が連通する構成としても良い。
図に示したように、圧力センサは、測定電極11及び温度補償用の参照電極12が形成された第1のガラス基板(例えばパイレックス(登録商標)ガラス)10と、厚さ数μm〜数十μmの第1及び第2のダイヤフラム(電極)21,22が形成されたシリコン基板20と、通気孔31が形成された第2のガラス基板30と、が接合された構造をなしている。ここで、測定電極11と参照電極12、及び第1と第2のダイヤフラム21,22の大きさや厚さ等、形状は同一とし、それぞれ対称の位置に配置されている。
また、第2のガラス基板30は、第1のガラス基板10やシリコン基板20よりも大きく、その周縁部が他の基板よりはみ出た構造になっている。
なお、各基板の接合方法は、例えば特開2002−43585号公報に記載された公知の方法を用いることができる。
また、第1と第2のダイヤフラムや測定電極と参照電極は、計測回路の簡略化のために、いずれも同じ形状(大きさ、厚さ)としたが、計測回路側で補正する構成とすれば、同じにする必要はない。本実施例では、電気回路として、ダイオードブリッジ回路を用いる構成としたが、2つの静電容量の差分をとる回路であれば、どのような回路構成であってもよい。さらには、アナログ回路に限らずデジタル回路であってもよい。
また、本実施例では圧力基準室にゲッタを配置して高真空とする構成としたが、圧力基準室からゲッタを取り除いて、所定の圧力のガスを封入したり、又は所定の圧力のガス容器に連通させる構成としても良い。
本実施例の静電容量型圧力センサは、実施例1と同様に、参照電極12と第2のダイヤフラム22間の第1の空間3、及び第2のダイヤフラム22と第2のガラス基板30間の第2の空間4は、貫通口23及び貫通路24を介して連通しており、第2のダイヤフラム22には圧力が加わらない状態に維持されている。一方、測定電極11と第1ダイヤフラム21間の圧力基準室1と、参照電極12と第2のダイヤフラム問の第1の空間(及び第2の空間)とは分断された構造としたものである。このため、ゲッタ5,5’は第1のダイヤフラム側と第2のダイヤフラム側の両方に配置されている。
本実施例の静電容量型圧力センサにおいても、参照電極と第2のダイヤフラム間の第1の空間3、及び第2のダイヤフラムと第2のガラス基板問の第2の空間4を貫通口23及び貫通路24を介して連通させ、第2のダイヤフラムには圧力が加わらない構造としたこと、及び測定電極と第1ダイヤフラム間の圧力基準室1及び参照電極と第2のダイヤフラム間の第1の空間3(及び第2の空間4)を分断する構造としたことは、実施例2と同様であるが、本実施例では、さらに、圧力測定室と第2の空間との間の壁に貫通路27を設けて、第1及び第2の空間3,4を圧力測定室2に連通させる構成とした点が異なっている。
この場合は、第2のダイヤフラム側は常に測定する圧力に維持されることになる。ここで圧力基準室は、真空としたが、所定の圧力としても良いことは上述したとおりである。
2 圧力測定室、
3 第1の空間、
4 第2の空間、
5 ゲッタ、
6 ゲッタ載置空間、
10 第1のガラス基板、
11 測定電極、
12 参照電極、
13,14,15 端子、
16 電極端子用貫通孔、
20、20’ シリコン基板、
21 第1のダイヤフラム
22 第2のダイヤフラム、
23 貫通口、
24、27 貫通路、
25、25’ 熱酸化膜、
26 p+ボロン拡散層、
30 第2のガラス基板、
31 通気孔、
40 アダプタ、
41 センサ押さえ板、
42 O−リング用溝、
43 固定部材、
44 O−リング、
51 第1のダイヤフラム用の窓、
52 第2のダイヤフラム用の窓
53 ゲッタ載置用空間用の窓、
54 貫通路用の窓。
Claims (7)
- 所定圧力に設定された圧力基準室と圧力測定室とを隔てる第1のダイヤフラムに対向して測定電極が設けられ、第1のダイヤフラムと測定電極間の第1の静電容量から圧力測定室の圧力を求める静電容量型圧力センサにおいて、環境温度変化に対する温度補償を行うための参照電極及びこれに対向する第2のダイヤフラムを設け、該第2のダイヤフラムを挟む参照電極側の第1の空間及び反対側の第2の空間の圧力を実質的に同一とし、前記第1の静電容量を前記参照電極と前記第2のダイヤフラム間の第2の静電容量により補正して前記圧力測定室の圧力を求める構成としたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
- 前記測定電極が形成された絶縁性の第1の基板、前記第1のダイヤフラムが形成された第2の基板、及び通気口が形成された絶縁性の第3の基板からなり、前記測定電極及び前記第1のダイヤフラムが対向し、かつ前記圧力測定室と前記通気口が連通するように接合された静電容量型圧力センサであって、 前記第1の基板及び前記第2の基板に、それぞれ前記参照電極及び前記第2のダイヤフラムを設け、前記第1の空間と前記第2の空間とを連通させたことを特徴とする請求項1に記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記第1の基板及び第3の基板はガラスであり、前記第2の基板はシリコンであることを特徴とする請求項2に記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記圧力基準室と前記第1の空間とは連通していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記圧力測定室と前記第2の空間とは連通していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記第1及び第2のダイヤフラムは、同一の形状であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記測定電極と前記第1のダイヤフラム、及び前記参照電極と前記第2のダイヤフラムは、ダイオードブリッジ回路に接続され、該回路は前記第1の静電容量と前記第2の静電容量との差分を取り、これを電圧に変換して出力することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電容量型圧力センサ。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007067045A1 (en) * | 2005-12-09 | 2007-06-14 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Device for determining deformation in a bearing roller |
JP2009109295A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Ckd Corp | 流量検定故障診断装置、流量検定故障診断システム、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム |
JP2015184046A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
US9772245B2 (en) | 2012-03-08 | 2017-09-26 | Ams International Ag | MEMS capacitive pressure sensor |
US9983081B2 (en) | 2014-03-03 | 2018-05-29 | Denso Corporation | Pressure sensor |
WO2018186022A1 (ja) * | 2017-04-03 | 2018-10-11 | ソニー株式会社 | センサ、入力装置および電子機器 |
US10203255B2 (en) * | 2016-08-25 | 2019-02-12 | Measurement Specialties, Inc. | Differential pressure sensor incorporating common mode error compensation |
KR20190087563A (ko) * | 2017-01-17 | 2019-07-24 | 아즈빌주식회사 | 압력 센서 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9069959B2 (en) | 2012-12-21 | 2015-06-30 | Nxp B.V. | Cryptographic circuit protection from differential power analysis |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6088247U (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-17 | 横河電機株式会社 | 圧力センサ |
JPH1183886A (ja) * | 1997-09-11 | 1999-03-26 | Zexel Corp | 静電容量型マイクロフローセンサ及び静電容量型マイクロフローセンサの製造方法並びに静電容量型マイクロフローセンサの外付け用固定具 |
JP2000019044A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Teijin Seiki Co Ltd | 真空圧力センサ |
JP2000214035A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-08-04 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 静電容量型圧力センサおよびその製造方法 |
JP2004212388A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-29 | Anelva Corp | 静電容量型圧力センサ |
-
2004
- 2004-09-02 JP JP2004256151A patent/JP4542397B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6088247U (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-17 | 横河電機株式会社 | 圧力センサ |
JPH1183886A (ja) * | 1997-09-11 | 1999-03-26 | Zexel Corp | 静電容量型マイクロフローセンサ及び静電容量型マイクロフローセンサの製造方法並びに静電容量型マイクロフローセンサの外付け用固定具 |
JP2000019044A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Teijin Seiki Co Ltd | 真空圧力センサ |
JP2000214035A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-08-04 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 静電容量型圧力センサおよびその製造方法 |
JP2004212388A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-29 | Anelva Corp | 静電容量型圧力センサ |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007067045A1 (en) * | 2005-12-09 | 2007-06-14 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Device for determining deformation in a bearing roller |
US8311751B2 (en) | 2005-12-09 | 2012-11-13 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Device for determining deformation in a bearing roller |
JP2009109295A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Ckd Corp | 流量検定故障診断装置、流量検定故障診断システム、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム |
US7853416B2 (en) | 2007-10-29 | 2010-12-14 | Ckd Corporation | Flow rate verification failure diagnosis apparatus, flow rate verification failure diagnosis system, flow rate verification failure diagnosis method, and control program product for flow rate verification failure diagnosis |
JP4598044B2 (ja) * | 2007-10-29 | 2010-12-15 | シーケーディ株式会社 | 流量検定故障診断装置、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム |
US9772245B2 (en) | 2012-03-08 | 2017-09-26 | Ams International Ag | MEMS capacitive pressure sensor |
EP2637007B1 (en) * | 2012-03-08 | 2020-01-22 | ams international AG | MEMS capacitive pressure sensor |
US9983081B2 (en) | 2014-03-03 | 2018-05-29 | Denso Corporation | Pressure sensor |
JP2015184046A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、圧力センサー、高度計、電子機器および移動体 |
US10203255B2 (en) * | 2016-08-25 | 2019-02-12 | Measurement Specialties, Inc. | Differential pressure sensor incorporating common mode error compensation |
KR20190087563A (ko) * | 2017-01-17 | 2019-07-24 | 아즈빌주식회사 | 압력 센서 |
KR102245526B1 (ko) | 2017-01-17 | 2021-04-29 | 아즈빌주식회사 | 압력 센서 |
CN110462563A (zh) * | 2017-04-03 | 2019-11-15 | 索尼公司 | 传感器、输入装置、和电子设备 |
KR20190132382A (ko) * | 2017-04-03 | 2019-11-27 | 소니 주식회사 | 센서, 입력 장치 및 전자 기기 |
WO2018186022A1 (ja) * | 2017-04-03 | 2018-10-11 | ソニー株式会社 | センサ、入力装置および電子機器 |
JPWO2018186022A1 (ja) * | 2017-04-03 | 2020-02-13 | ソニー株式会社 | センサ、入力装置および電子機器 |
KR102453102B1 (ko) * | 2017-04-03 | 2022-10-07 | 소니그룹주식회사 | 센서, 입력 장치 및 전자 기기 |
US11520446B2 (en) | 2017-04-03 | 2022-12-06 | Sony Corporation | Sensor, input device, and electronic device |
JP7298843B2 (ja) | 2017-04-03 | 2023-06-27 | ソニーグループ株式会社 | センサ、入力装置および電子機器 |
CN110462563B (zh) * | 2017-04-03 | 2023-09-01 | 索尼公司 | 传感器、输入装置、和电子设备 |
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Publication number | Publication date |
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