JPS6088247U - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図で、Ａは正面図、Ｂは平面図、第２図は本考案の一
実施例の構成説明図で、Ａは正面図、Ｂは平面図、第３
図は第２図の動作説明図である。 ゛　１・・・・・・本体ボデー、２・・・・・・測定室
、３・曲・導入口、４・・・・・・基準室、５・・・・
・・導入口、６エ・・測定ダイアフラム、７・・・・・
・移動電極、８・・・・・・測定電極、９・・・・・・
比較電極、１０・・・・・・比較室、１１・・曲溝入口
、１２・・・・・・比較ダイアフラム、１３・・曲移動
電極、１４・・・・・・スパン室、１５・・曲溝入口、
１６・・・・・°子パンダイアフラム、１７・・・・・
・移動電極、１８・・・・・・スパン固定電極、１９・
・・・・・固定容量、２ｏ・・・・・・ＩＣ演算部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 本体ボデーに設けられた固定容量電極と、本体ボデーに
   設けられ一面側に測定流体が導入される室と他面側に基
   準流体が導入される室が設けられた測定ダイアフラムと
   、該測定ダイアフラムに対向して前記室に設けられ該測
   定ダイアフラムを移動電極として測定静電容量電極を構
   成する測定固定容量電極と、前記本体ボデーに設けられ
   両面に測定流体が導入される比較室が設けられた比較ダ
   イアフラムと、該比較ダイアフラムに対向して前記比較
   室に設けられ該比較ダイアフラムを移動電極として比較
   静電容量電極を構成する比較固定容量電極と、前記本体
   ボデーに設けられ両面に測定流体が導入される長パン室
   が設けられたスパンダイアフラムと、該スパンダイアフ
   ラムに対向して前記スパン室に設けられ該スパンダイア
   フラムを移動電極としてスパン静電容量電極を構成する
   スパン固定容量電極とを具備し、測定静電容量電極と比
   較静電容量電極の初期ギャップを等しくし、スパン静電
   容量電極の初期ギャップは測定静電容量電極の初期ギャ
   ップに測定ダイアフラムの最大変位量を加えたものとし
   、測定静電容量ＣＭｅＭ比較静電容をＣＲｅ％スパン静
   電容量をＣ３ｐａｎ％浮遊容量をＣｓとすると、測定出
   力電圧Ｖは１ ｍｃｃ−ｃ Ｖ＝−一−−−−−−−−−−−−−−−−一−−−−
   −−−１ Ｃ−ＣＣ−Ｃ ８ｐａ１　　　３　　　　　Ｒｅ　　　　　８なる式に
   より求まるようにしてなる圧力センサ。