JP2006066681A - 垂直共振器型高出力面発光レーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】 面発光レーザ装置において、半導体多層膜の層数、量子井戸の層数、室温での反射鏡と量子井戸の利得ピークの相対値等の高出力化できる構成条件をシュミュレーションするとともに、これを実証する。
【解決手段】 活性層の上下に一対の分布ブラッグ反射型半導体多層膜反射鏡を配置した積層構造を半導体基板上に形成し、n型多層膜反射鏡104側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、p型多層膜反射鏡108が組成の異なるp型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つn型多層膜反射鏡104が組成の異なるn型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はp型多層膜反射鏡108の積層数よりも少ないものとする。
【選択図】 図1
【解決手段】 活性層の上下に一対の分布ブラッグ反射型半導体多層膜反射鏡を配置した積層構造を半導体基板上に形成し、n型多層膜反射鏡104側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、p型多層膜反射鏡108が組成の異なるp型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つn型多層膜反射鏡104が組成の異なるn型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はp型多層膜反射鏡108の積層数よりも少ないものとする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基板面の垂直方向にレーザ光を出射する垂直共振器型高出力面発光半導体レーザに関する。
面発光レーザは基板面に垂直な方向に光を発射する半導体レーザであり、垂直共振器型、水平共振器型などがある。垂直共振器型面発光レーザの最も一般的な構造としては、半導体基板上において、活性層の上下に一対の分布ブラッグ反射型半導体多層膜反射鏡(Distributed Bragg Reflection Mirror、以下「DBRミラー」と呼ぶ)を配置した積層構造を形成し、このDBRミラーの外側に形成した電極からDBRミラーを介して、電流を注入する構造がよく知られている。
垂直共振器型面発光半導体レーザ(以下では、「面発光レーザ」と呼ぶ)は、端面へき開なしに作製できること、二次元アレイ化が可能なこと、出射ビームを容易に円形化できることなど、端面発光型の半導体レーザにはない特徴があり注目をされている。
一方、光情報処理或いは光通信システム装置において、高密度で高速並列信号処理を実現するため、面接続が可能である面型発光素子と基板に垂直な方向に光学素子を集積化する機能化光素子を構成して達成する。
面接続や集積化した発光源の光操作には、面型発光素子の高出力動作が必要である。面型発光素子では、従来面発光半導体レーザの研究開発が活発になされている。下記特許文献1には、n−GaAs/n−Al0.9Ga0.1Asを35ペア積層したn型DBRミラーと、p−Al0.2Ga0.8As/p−Al0.9Ga0.1Asを25ペア積層したp型DBRミラーを備えた面発光レーザ装置が開示されている。
特許文献1に開示された面発光レーザ装置は、n型DBRミラー及びp型DBRミラーの積層数が不足しているため十分な高出力動作が達成されておらず、変換効率も充分ではなかった。このように、高出力化に関する明確な設計方針は提示されていなかった。
本発明は、面発光レーザ装置において、半導体多層膜の層数、量子井戸の層数、室温での反射鏡と量子井戸の利得ピークの相対値等の高出力化できる構成条件をシュミュレーションするとともに、これを実証することを目的とする。
本発明者らは鋭意研究した結果、垂直共振器型高出力面発光レーザ装置における下記の最適条件を見出し本発明に到達した。即ち、第1に、本発明は活性層の上下に一対の分布ブラッグ反射型半導体多層膜反射鏡を配置した積層構造を半導体基板上に形成した垂直共振器型高出力面発光レーザ装置の発明である。
(1)n型多層膜反射鏡側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、p型多層膜反射鏡が組成の異なるp型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つn型多層膜反射鏡が組成の異なるn型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はp型多層膜反射鏡の積層数よりも少ないものであること。
(2)p型多層膜反射鏡の積層数は48ペア以下である上記(1)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(3)n型多層膜反射鏡の積層数は28〜30ペア積層したものである上記(1)又は(2)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(4)p型多層膜反射鏡側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、n型多層膜反射鏡が組成の異なるn型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つp型多層膜反射鏡が組成の異なるp型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はn型多層膜反射鏡の積層数よりも少ないものであること。
(5)n型多層膜反射鏡の積層数は48ペア以下である上記(4)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(6)p型多層膜反射鏡の積層数は28〜30ペア積層したものである上記(4)又は(5)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(7)活性層のバンドオフセットが9〜15nmであること。ここで、バンドオフセットとは、室温における活性利得のピーク波長と共振器のストップバンド波長との差である。
(8)活性層のバンドオフセットが9〜15nmである上記(1)乃至(6)のいずれかの垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(9)活性層が2〜4層の量子井戸層である上記(1)乃至(8)のいずれかの垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(1)〜(9)の構成により、出力と変換効率の増大を図ることができる。
第2に、本発明は、高出力面発光レーザ装置アレイの発明であり、上記(1)乃至(9)のいずれかに記載の垂直共振器型面発光レーザを2次元に配置してアレイを構成し、該アレイの非出射側に冷却装置を当接し、該アレイの出射側に集光用光学系を配置したことを特徴とする。
(1)n型多層膜反射鏡側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、p型多層膜反射鏡が組成の異なるp型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つn型多層膜反射鏡が組成の異なるn型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はp型多層膜反射鏡の積層数よりも少ないものであること。
(2)p型多層膜反射鏡の積層数は48ペア以下である上記(1)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(3)n型多層膜反射鏡の積層数は28〜30ペア積層したものである上記(1)又は(2)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(4)p型多層膜反射鏡側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、n型多層膜反射鏡が組成の異なるn型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つp型多層膜反射鏡が組成の異なるp型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はn型多層膜反射鏡の積層数よりも少ないものであること。
(5)n型多層膜反射鏡の積層数は48ペア以下である上記(4)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(6)p型多層膜反射鏡の積層数は28〜30ペア積層したものである上記(4)又は(5)の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(7)活性層のバンドオフセットが9〜15nmであること。ここで、バンドオフセットとは、室温における活性利得のピーク波長と共振器のストップバンド波長との差である。
(8)活性層のバンドオフセットが9〜15nmである上記(1)乃至(6)のいずれかの垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(9)活性層が2〜4層の量子井戸層である上記(1)乃至(8)のいずれかの垂直共振器型高出力面発光レーザ。
(1)〜(9)の構成により、出力と変換効率の増大を図ることができる。
第2に、本発明は、高出力面発光レーザ装置アレイの発明であり、上記(1)乃至(9)のいずれかに記載の垂直共振器型面発光レーザを2次元に配置してアレイを構成し、該アレイの非出射側に冷却装置を当接し、該アレイの出射側に集光用光学系を配置したことを特徴とする。
ここで、集光用光学系が各発光レーザ用マイクロレンズ及び全発光レーザ用集光レンズからなることが好ましい。
本発明により、面発光レーザ装置において、半導体多層膜の層数、量子井戸の層数、室温での反射鏡と量子井戸の利得ピークの相対値等の高出力化できる構成条件を最適化することができた。本発明の面発光レーザ装置は高出力で高効率であり、光通信用、複写機用光源を始め各種用途に適用できる。
図1に、本発明の面発光レーザ装置の構成を示す。ここで、レーザ光はN型DBRミラー104側からレーザ光を取り出す。反射防止膜101は、チッ化珪素などで構成される。上部電極102は、AuGe/PtAu等で構成される。基板103は、N型GaAs等で構成される。N型DBRミラー104は、組成の異なるN型AlGaAsを交互に積み重ねることででき、N型DBRミラー104の積層数は下記P型DBRミラー108の積層数よりも少ないことが必要であり、28〜30ペアが最適である。共振器105は、AlGaAs/GaAs等で構成される。活性層量子井戸106は、GaAs/InGaAs等で構成され、2〜4層で9〜15nmのバンドオフセットを持つことが最適である。共振器107は、AlGaAs/GaAs等で構成される。P型DBRミラー108は、組成の異なる、P型AlGaAsを交互に積み重ねることででき、39〜48ペアが最適である。絶縁膜109は、SiN等で構成される。下部電極110は、Ti/Pt/Au等で構成される。
図1では、N型DBRミラー側からレーザ光を取り出す構造としたが、本発明では、逆に、P型DBRミラー側からレーザ光を取り出す構造としても良い。その場合、N型DBRミラー及びP型DBRミラーの最適積層数は入れ替わる。
以下、N型DBRミラー側からレーザ光を取り出す構造を例にして、上記(1)〜(9)の要件を順次説明する。
以下、N型DBRミラー側からレーザ光を取り出す構造を例にして、上記(1)〜(9)の要件を順次説明する。
[P−DBRミラーの最適設計]
P−DBRミラーの数を増やすと次のような現象が起こると考えられる。
1.反射率が上がり、閾値が低下し、最大出力と効率が向上する。
2.取り出し効率が上がり、最大出力と効率が向上する。
3.熱抵抗が増え、発熱増加し、最大出力と効率が低下する。
4.直列電気抵抗が増え、発熱増加し、最大出力と効率が低下する。
P−DBRミラーの数を増やすと次のような現象が起こると考えられる。
1.反射率が上がり、閾値が低下し、最大出力と効率が向上する。
2.取り出し効率が上がり、最大出力と効率が向上する。
3.熱抵抗が増え、発熱増加し、最大出力と効率が低下する。
4.直列電気抵抗が増え、発熱増加し、最大出力と効率が低下する。
このように、1、2と3、4は相反する結果を生じるため、P−DBRミラーの数は増やしすぎても減らしすぎてもよくない。即ち、最大出力及び最大効率を得るための最適値が存在する。
図2に、P−DBRミラー数を変え、最大出力と最大効率そして最大効率のときの出力をプロットしたグラフを示す。グラフで実線Pmaxとしているものが最大出力の計算値、破線WPとしているものが電力光変換効率、破線P(@Wallplug=max)としているのが電力−光変換効率最大のときの光出力である。N−DBRミラー数は28ペア、バンドオフセットは12nm、量子井戸数は3層と固定している。
これまで試作したレーザはN−DBR28ペア、P−DBR30ペア、量子井戸3層、バンドオフセット12nmであり、電力−光変換効率14%(実測値)であった。図2より、P−DBRミラー数を45ペアに増やすことで効率を42%まで向上させることができると期待される。この計算では考慮に入れていない効果があるため、実際の効率は40%より少なめになると思われる。また、変換効率が最大になるときの光出力はP−DBR数を変えてもほとんど変わらないことが分かる。結局、P−DBRのペア数の最適値は、39〜48ペアであり、39ペアのとき最大出力、45ペアのとき最大効率であることが分かる。
[N−DBRミラーの最適設計]
N−DBRミラーの数を増やすと次のような現象が起こると考えられる。
1.反射率が上がり、閾値が低下し、最大出力と効率が向上する。
2.取り出し効率が下がり、最大出力と効率が低下する。
3.直列電気抵抗が増え、発熱が増加し、最大出力と効率が低下する。
N−DBRミラーの数を増やすと次のような現象が起こると考えられる。
1.反射率が上がり、閾値が低下し、最大出力と効率が向上する。
2.取り出し効率が下がり、最大出力と効率が低下する。
3.直列電気抵抗が増え、発熱が増加し、最大出力と効率が低下する。
このように、1と2,3は相反する結果を生じるため、N−DBRミラーの数は増やしすぎても減らしすぎてもよくない。即ち、最大出力及び最大効率を得るための最適値が存在する。
図3に、N−DBRミラー数を変え最大出力と最大効率そして最大効率のときの出力をプロットしたグラフを示す。グラフで実線Pmaxとしているものが最大出力の計算値、破線WPとしているものが電力−光変換効率、破線P(@Wallplug=max)としているのが電力−光変換効率最大のときの光出力である。P−DBRミラー数は39ペア、バンドオフセットは12nm、量子井戸数は3層と固定している。
図3より、N−DBRのペア数の最適値は、28〜30ペアであることが分かる。
図3より、N−DBRのペア数の最適値は、28〜30ペアであることが分かる。
[バンドオフセットの最適設計]
室温での利得のピーク波長とDBRミラーのストップバンドの波長の差をバンドオフセットと呼ぶ。ここでは慣例に従ってDBRミラーのストップバンドが利得ピーク波長より長波長の場合を正とする。バンドオフセットの増加は次の効果を生じると考えられる。
1.発振閾値の増加
2.最大出力の増加
1と2より、バンドオフセットを大きくしすぎると、閾電流値が大きくなりすぎてかえって最大出力が低下してしまう可能性がある。
室温での利得のピーク波長とDBRミラーのストップバンドの波長の差をバンドオフセットと呼ぶ。ここでは慣例に従ってDBRミラーのストップバンドが利得ピーク波長より長波長の場合を正とする。バンドオフセットの増加は次の効果を生じると考えられる。
1.発振閾値の増加
2.最大出力の増加
1と2より、バンドオフセットを大きくしすぎると、閾電流値が大きくなりすぎてかえって最大出力が低下してしまう可能性がある。
図4に、バンドオフセットを変え最大出力と最大効率そして最大効率のときの出力をプロットしたグラフを示す。グラフで実線Pmaxとしているものが最大出力の計算値、破線WPとしているものが電力−光変換効率、破線P(@Wallplug=max)としているのが電力−光変換効率最大のときの光出力である。P−DBRミラー数は40ペア、N−DBRミラー数は29ペア、量子井戸数は3層と固定している。
バンドオフセットを増やすと最大出力は増加していく。一方でバンドオフセットの増加とともに効率は減少していくが15nm以降で急激に効率が低下する。効率の観点からはバンドオフセットは6〜12nmが最もよいと考えられる。結局、バンドオフセットの最適値は、9〜15nmであることが分かる。
[量子井戸数の最適設計]
量子井戸の数の増加は次のような効果を生じると考えられる。
1.閾電流密度が増加し、閾電流値が増加する。
2.閉じ込め係数が減少し、閾電流値が増加する。
3.利得が増加し、閾電流値が減少する。
量子井戸の数の増加は次のような効果を生じると考えられる。
1.閾電流密度が増加し、閾電流値が増加する。
2.閉じ込め係数が減少し、閾電流値が増加する。
3.利得が増加し、閾電流値が減少する。
面発光レーザは構造上、活性領域が非常に薄く利得が少ない。発振に必要な活性層数を確保したいが、あまり活性層が多いと閾電流値が増加するため高出力化に不利になる。最低必要な活性層数を確保しておくことが最大出力と最大効率を得られる結果を生み出すと考えられる。
図5に、量子井戸数を変え最大出力と最大効率そして最大効率のときの出力をプロットしたグラフを示す。グラフで実線Pmaxとしているものが最大出力の計算値、破線WPとしているものが電力−光変換効率、破線P(@Wallplug=max)としているのが電力−光変換効率最大のときの光出力である。P−DBRミラー数は40ペア、N−DBRミラー数は29ペア、バンドオフセットは12nmと固定している。
図5の結果より、量子井戸1層では利得不足であり、量子井戸が2層のとき最もよい効率を得られることがわかる。結局、量子井戸数の最適値は、2〜4であることが分かる。
[最適化された面発光レーザの層構造]
結果的に最大出力を実現できる層構造と最大効率を実現できる層構造は異なることになる。また、最大効率のときの出力は最大出力が上がっても大きく変わるわけではない。実際に応用する場面を考えると効率を最適化したほうが冷却装置に余計な大きさやコストがかからないということから効率重視で最適化を行ったほうがよいと考えられる。
結果的に最大出力を実現できる層構造と最大効率を実現できる層構造は異なることになる。また、最大効率のときの出力は最大出力が上がっても大きく変わるわけではない。実際に応用する場面を考えると効率を最適化したほうが冷却装置に余計な大きさやコストがかからないということから効率重視で最適化を行ったほうがよいと考えられる。
上記面発光レーザの効率を最適化する設計を行った結果より、N型DBRミラー側からレーザ光を取り出す構造では、次のことが分かった。
N−DBR:28〜30ペア
P−DBR:39〜48ペア[39ペアのとき最大出力、45ペアのとき最大効率]
バンドオフセット:9〜15nm
量子井戸数:2〜4
N−DBR:28〜30ペア
P−DBR:39〜48ペア[39ペアのとき最大出力、45ペアのとき最大効率]
バンドオフセット:9〜15nm
量子井戸数:2〜4
面発光レーザは基板に垂直にレーザ光が出射されるため、ウエハ上に多数のレーザを一括して作製し、アレイ化することが容易である。これを利用して高出力のレーザアレイを作製することを試みているが、一方で、単体素子の高出力化も必要不可欠である。以下、面発光レーザ単体素子の作製を示す。作製した面発光レーザは下記の設計で行った。
N−DBR:28ペア
P−DBR:40ペア
バンドオフセット:12nm
量子井戸数:3
N−DBR:28ペア
P−DBR:40ペア
バンドオフセット:12nm
量子井戸数:3
裏面出射型面発光レーザは、発光層のある基板表面側をヒートシンクに接合することにより冷却効率を高めたもので、高出力化に適した構造である。しかし、基板裏面からレーザ光を取り出すため構造上、表面出射型とは異なる作製プロセスとなる。また、デバイスをアレイ化していく上で、作製プロセスには均一性や再現性の高さが必要とされる。本実施例では、裏面出射型面発光レーザについてその作製プロセスをまとめた。
[作製手順の概要]
図6に示す断面構造をもつ裏面出射型面発光レーザの作製プロセスについて説明する。作製プロセスは概ね図7に示すとおりである。面発光レーザ用のエピタキシャルウエハは、後述するようにエピタキシャル層中に共振器構造が既に形成されているため、ウエハの加工プロセスは電極形成が主な工程となる。まず、エッチングによりメサを形成する。その後、電流狭窄構造を形成するための横方向酸化を行う。次に、絶縁膜で表面を覆った後、表面のp層にコンタクトする電極を形成する。基板裏面を研磨し、レーザ光出射部に反射防止膜を堆積した後、n側電極を形成する。以下では、エピタキシャルウエハの層構造と各工程の詳細について説明する。
図6に示す断面構造をもつ裏面出射型面発光レーザの作製プロセスについて説明する。作製プロセスは概ね図7に示すとおりである。面発光レーザ用のエピタキシャルウエハは、後述するようにエピタキシャル層中に共振器構造が既に形成されているため、ウエハの加工プロセスは電極形成が主な工程となる。まず、エッチングによりメサを形成する。その後、電流狭窄構造を形成するための横方向酸化を行う。次に、絶縁膜で表面を覆った後、表面のp層にコンタクトする電極を形成する。基板裏面を研磨し、レーザ光出射部に反射防止膜を堆積した後、n側電極を形成する。以下では、エピタキシャルウエハの層構造と各工程の詳細について説明する。
[エピタキシャルウエハの層構造]
現在使用している裏面出射型面発光レーザ用エピタキシャルウエハの断面構造は図8のようになっている。光学的な厚さが発光波長の1波長分に相当する発光層と、その発光層をはさむ平面鏡対がそれぞれ伝導型の異なる半導体によって形成されている。発光層はIn0.2Ga0.8Asを井戸層、GaAs0.92P0.08を障壁層とする。3つの量子井戸とAlGaAsスペーサ層から構成されている。また反射鏡はAl0.9Ga0.1As及びAl0.12Ga0.88Asを積層した分布ブラッグ反射鏡(DistributedBragg Reflector:DBR)からなる。DBRの抵抗を低減するため組成の異なる層の界面には、組成傾斜層が挿入されている。また、横方向の酸化により電流狭窄構造を形成するため、発光層の上部にAl0.98Ga0.02As層が挿入されている。
現在使用している裏面出射型面発光レーザ用エピタキシャルウエハの断面構造は図8のようになっている。光学的な厚さが発光波長の1波長分に相当する発光層と、その発光層をはさむ平面鏡対がそれぞれ伝導型の異なる半導体によって形成されている。発光層はIn0.2Ga0.8Asを井戸層、GaAs0.92P0.08を障壁層とする。3つの量子井戸とAlGaAsスペーサ層から構成されている。また反射鏡はAl0.9Ga0.1As及びAl0.12Ga0.88Asを積層した分布ブラッグ反射鏡(DistributedBragg Reflector:DBR)からなる。DBRの抵抗を低減するため組成の異なる層の界面には、組成傾斜層が挿入されている。また、横方向の酸化により電流狭窄構造を形成するため、発光層の上部にAl0.98Ga0.02As層が挿入されている。
ウエハ断面のREM(反射電子顕微鏡像)写真を図9に示す。撮影したウエハは表面出射型の構造のものであるため、裏面出射型のものとは発光層の材料やDBRの層数は異なるが、裏面出射型の場合においてもほぼ同様なものが観測されると考えてよい。周期的なコントラストを示す部分がDBRであり、その間に発光層が形成されていることが観察できる。
[表面保護膜の堆積]
エピタキシャルウエハの表面にスパッタによりSiO2を堆積する。エピウエハを構成しているAl0.98Ga0.02As及びAl0.9Ga0.1Asは大気中で酸化されやすく不安定であるため、劣化し易い。通常、エピタキシャル表面はGaAsキャップ層で終端されているが、ピット等の表面欠陥が存在する場合、内部へ酸化が進む可能性が高くなる。また、ここで堆積したSiO2は次のメサエッチング工程におけるマスク材となる他、酸化工程における表面保護膜としての役割を果たす。また、横方向の酸化プロセスにおいては、このSiO2の存在によって、赤外顕微鏡による酸化領域の観察が容易になる。すなわち、酸化された領域とされていない領域のコントラストを高くできることが分かっている。
エピタキシャルウエハの表面にスパッタによりSiO2を堆積する。エピウエハを構成しているAl0.98Ga0.02As及びAl0.9Ga0.1Asは大気中で酸化されやすく不安定であるため、劣化し易い。通常、エピタキシャル表面はGaAsキャップ層で終端されているが、ピット等の表面欠陥が存在する場合、内部へ酸化が進む可能性が高くなる。また、ここで堆積したSiO2は次のメサエッチング工程におけるマスク材となる他、酸化工程における表面保護膜としての役割を果たす。また、横方向の酸化プロセスにおいては、このSiO2の存在によって、赤外顕微鏡による酸化領域の観察が容易になる。すなわち、酸化された領域とされていない領域のコントラストを高くできることが分かっている。
[メサエッチング]
図10に、メサエッチングから横方向酸化に至る工程図を示す。まずフォトリソグラフィによりレジストのパターニングを行う。次に、バッファードフッ酸によりSiO2をエッチングする。レジスト及びSiO2をマスクとして、ICP(Inductive Coupled Plazma)を用いたRIEにより異方性エッチングを行い、メサ形状を形成する。この工程では、エッチング表面にレーザ光を照射し、反射光強度をモニタすることにより、エッチング深さに対応した振動波形が観測できる。この振動周期の数とエッチングされたDBRのペア数が対応するため、振動波形からエッチング深さを推定することができる。
図10に、メサエッチングから横方向酸化に至る工程図を示す。まずフォトリソグラフィによりレジストのパターニングを行う。次に、バッファードフッ酸によりSiO2をエッチングする。レジスト及びSiO2をマスクとして、ICP(Inductive Coupled Plazma)を用いたRIEにより異方性エッチングを行い、メサ形状を形成する。この工程では、エッチング表面にレーザ光を照射し、反射光強度をモニタすることにより、エッチング深さに対応した振動波形が観測できる。この振動周期の数とエッチングされたDBRのペア数が対応するため、振動波形からエッチング深さを推定することができる。
エッチング終了後、剥離液を用いてレジストを剥離するが、エッチング時の熱によりレジストが硬化しているため、剥離液だけでは除去しにくい。現状では、綿棒などで表面をこすることによりレジストを除去している。
[横方向酸化]
酸化工程では、発光層上部に設けられたAl0.98Ga0.02As層を、メサ側壁部から横方向に酸化することにより、酸化されずに残ったメサ中央部に電流を集中させる。これにより低い駆動電流で高い電流密度を達成し、レーザ発振に必要とされる反転分布を低電流で得られるようにする。この工程は特に発光部の小さい素子で重要である。このような電流狭窄構造がない場合、小さい素子では電極も小さくなるため接触抵抗が増加する問題が生じるが、内部にこのような電流狭窄構造を作りこむことによって接触抵抗が増加する問題を回避しながら、高い電流密度を得ることが可能となる。
酸化工程では、発光層上部に設けられたAl0.98Ga0.02As層を、メサ側壁部から横方向に酸化することにより、酸化されずに残ったメサ中央部に電流を集中させる。これにより低い駆動電流で高い電流密度を達成し、レーザ発振に必要とされる反転分布を低電流で得られるようにする。この工程は特に発光部の小さい素子で重要である。このような電流狭窄構造がない場合、小さい素子では電極も小さくなるため接触抵抗が増加する問題が生じるが、内部にこのような電流狭窄構造を作りこむことによって接触抵抗が増加する問題を回避しながら、高い電流密度を得ることが可能となる。
酸化は以下のような手順で行った。まずアンモニア水により自然酸化膜の除去を行う。次に、酸化炉に入れ、図11に示す温度プロファイルにて酸化を行った。酸化炉には水蒸気を含んだ窒素が導入されている。目標とする横方向の酸化距離は15μmとした。酸化後、赤外顕微鏡にて観察した結果を図12に示す。酸化された部分は酸化されていない部分と比較して白っぽく見えている。メサ端に近い部分ではDBR中のAl0.90Ga0.10As層の酸化と考えられる領域も観測できる。メサ側壁部からほぼ当方的に酸化されていることが分かるが、エピウエハの構造や酸化条件によっては異方性が現れることがある。またメサの大きさやAl0.90Ga0.10Asの厚さによって酸化速度は異なる。本実施例で使用したパターンはメサの大きさが様々であるため、最も小さいメサにおいて酸化距離が設計値になるよう酸化時間を設定している。
この酸化工程には以下のような問題がある。Al0.98Ga0.02As層の酸化速度は、Al0.98Ga0.02Asの膜厚やひずみなどの影響を受けて変化するため、層構造の異なるウエハごとに酸化レートの確認が必要である。今回のエピ構造における酸化速度はほぼ3μm/minであった。シングルモード発振する面発光レーザを得ようとする場合、発光部(非酸化部)の径は2〜3μm程度にしなければならないが、非酸化径が小さいため精密な時間管理を怠ると全面にわたって酸化されてしまう恐れがある。この問題を解決するため、いくつかの研究機関からその場観察を行いながら酸化を制御する技術が報告されている。
[絶縁膜堆積]
酸化終了後、半導体表面を保護するため絶縁膜を堆積する。ここでは、まず、スパッタによりSiO2を堆積した後、更にその上からポリイミドを塗布することにより表面保護と絶縁を行う。
酸化終了後、半導体表面を保護するため絶縁膜を堆積する。ここでは、まず、スパッタによりSiO2を堆積した後、更にその上からポリイミドを塗布することにより表面保護と絶縁を行う。
ポリイミドはネガ型の感光性ポリイミドを使用した。およそ3μmの厚さにスピンコートするが、メサ部の高さが5〜6μmあるためメサ上部ではポリイミドの塗布膜厚はメサ下部と比較して薄くなる。そのため、コンタクトホールパターンの露光時に後述のような問題が生じる。また、現在使用しているマスクパターンでは、様々な大きさのメサパターンがウエハ上にあるため、メサ上部でのポリイミドの膜厚が、メサの大きさ毎に異なることも問題を引き起こす原因となっている。
[コンタクトホール]
コンタクトホールのパターンを感光性ポリイミドに露光し、メサ上部に電極コンタクトのための穴を開ける。次の電極形成までの工程の詳細を図13に示す。メサとコンタクトホールパターンのアライメント誤差の許容値は2μmとしてマスク設計を行っているが、メサ段差が大きいために1μm以上のアライメント誤差が生じる。場合によっては2μm程度の誤差を生じる場合もあり、今後、パターンルールを変更するか、メサ段差を平坦化する工程が必要である。1つの方法としてメサ周辺部のみエッチングを行うトレンチ構造が考えられる。
コンタクトホールのパターンを感光性ポリイミドに露光し、メサ上部に電極コンタクトのための穴を開ける。次の電極形成までの工程の詳細を図13に示す。メサとコンタクトホールパターンのアライメント誤差の許容値は2μmとしてマスク設計を行っているが、メサ段差が大きいために1μm以上のアライメント誤差が生じる。場合によっては2μm程度の誤差を生じる場合もあり、今後、パターンルールを変更するか、メサ段差を平坦化する工程が必要である。1つの方法としてメサ周辺部のみエッチングを行うトレンチ構造が考えられる。
メサ側壁部に塗布されるポリイミドの膜厚は薄く、現像時の液の撹拌によってポリイミドがメサから剥離することがある。この現象は特にメサの大きな素子に対して顕著である。側壁部からの剥離は、次のバッファードフッ酸によるエッチング工程でSiO2及びAlGaAsがエッチングされてしまうことがあるため問題である。
パターニングの後、ポリイミドを硬化させるための熱処理(キュア)を行う。キュア温度は135℃で15分間、及び350℃で60分間、400℃で1分間行った。ポリイミドはキュアによって体積が減少するため、塗布膜厚が厚い場合にはメサ間のポリイミドの収縮によって引っ張り応力が加わる。この応力により、メサにクラックが発生することがあるため塗布膜厚を注意する必要がある。
次に、ポリイミドをマスクとしてSiOにコンタクトホールを窓開けする。バッファードフッ酸(BHF)によりエッチングを行うためパターンの端部ではポリイミド下部のSiOもサイドエッチングされる。オーバーエッチングの時間が長すぎると、メサ側壁部にBHFが回り込み、AlGaAs層をサイドエッチングしてしまうため、エッチング時間の管理が重要である。
[p電極形成]
コンタクトホールを開けた後、ウエハ全面にp電極となるAu/Zn/Auをこの順に蒸着する。蒸着後、窒素中にて420℃で2分間、アニールを行う。この電極は蒸着のみでは密着性が悪いため、アニールを行わずに後工程を行うと、電極が剥れてくることがある点で注意が必要である。
コンタクトホールを開けた後、ウエハ全面にp電極となるAu/Zn/Auをこの順に蒸着する。蒸着後、窒素中にて420℃で2分間、アニールを行う。この電極は蒸着のみでは密着性が悪いため、アニールを行わずに後工程を行うと、電極が剥れてくることがある点で注意が必要である。
次に、必要な電極部分を残してエッチングを行う。ここではメサ端部よりも10μm外側までの領域をp電極で覆っている。電極パターンをフォトリソグラフィによりパターニングし、余分な金属部分をヨウ素ヨウ化カリウム溶液によってエッチングする。
[電極の密着性向上及び厚膜化]
上記の電極金属だけでは密着性が不十分なため、密着性の高い電極金属を用いて上部から覆う。また、電極部は段差により段切れが起こっている可能性があるため電極の厚膜化が必要である。ここでは電解めっきを用いて金電極の厚膜化を行っている。また、メサ周辺を金で覆っておくことにより放熱特性が向上することを期待している。
上記の電極金属だけでは密着性が不十分なため、密着性の高い電極金属を用いて上部から覆う。また、電極部は段差により段切れが起こっている可能性があるため電極の厚膜化が必要である。ここでは電解めっきを用いて金電極の厚膜化を行っている。また、メサ周辺を金で覆っておくことにより放熱特性が向上することを期待している。
はじめに、密着性の高い下地金属としてCr/Auをこの順番に全面に蒸着する。金メッキ用のパターニングを行った後、メッキ用電解液にウエハを浸して電流を流すことにより金を析出させる。これにより3μm程度の厚さの電極パッドを形成する。その後、レジストを除去し、メッキされていない部分の下地金属を取り除くため、ヨウ素ヨウ化カリウム溶液に浸し金のエッチングを行う。
[基板研磨]
レーザ光はGaAs基板を通して基板裏面から出射される。基板によるレーザ光の吸収をできるだけ少なくするため、基板は100μm程度まで研磨する。ただし、研磨面は光の出射面となるため、光が散乱されないよう鏡面である必要がある。
レーザ光はGaAs基板を通して基板裏面から出射される。基板によるレーザ光の吸収をできるだけ少なくするため、基板は100μm程度まで研磨する。ただし、研磨面は光の出射面となるため、光が散乱されないよう鏡面である必要がある。
試料をガラス基板にワックスで貼り付けて研磨を行った。研磨は3段階で行っている。まず銅板と2μmのダイアモンドスラリーで120μm程度まで荒削りを行う。その後、研磨盤をクロスに交換し、同様に2μmのダイアモンドスラリーを用いて研磨する。この時点で100μmまで研磨することによりほぼ鏡面が得られる。最後にスラリーをコロイダルシリカに交換し、表面粗さをより低減する。研磨面の写真を図14に示す。表面側とほぼ同等の鏡面が研磨により得られていることがわかる。
[反射防止膜の堆積]
出射面では空気とGaAsとの屈折率差により、出力のおよそ30%がフレネル反射により内部へ戻される。これがレーザの損失となる他、戻り光としてレーザの動作に影響を及ぼすため、反射防止膜を堆積して反射を低減することが必要である。ここではPCVDで堆積したSiN(屈折率1.92)を用いた。GaAsウエハ上にこのSiNを堆積した場合の反射スペクトルから、ほぼ設計通り980nmにおいて最も低い反射率が得られていることが分かる。
出射面では空気とGaAsとの屈折率差により、出力のおよそ30%がフレネル反射により内部へ戻される。これがレーザの損失となる他、戻り光としてレーザの動作に影響を及ぼすため、反射防止膜を堆積して反射を低減することが必要である。ここではPCVDで堆積したSiN(屈折率1.92)を用いた。GaAsウエハ上にこのSiNを堆積した場合の反射スペクトルから、ほぼ設計通り980nmにおいて最も低い反射率が得られていることが分かる。
今後、更に反射率を低減する必要がある場合は、SiONを使用することにより屈折率を調整する余地が残されている。また、多層膜により反射防止膜を形成することも可能である。
[n電極形成]
n電極及び出射窓の形成には、当初、蒸着金属のエッチングによる工程を考えていた。しかし、SiN上のアニールされたAuGeをエッチングした場合、SiN表面に残渣が観測されることが予備実験より明らかとなった。そのため、ここではリフトオフにより電極を形成する方法をとっている。
n電極及び出射窓の形成には、当初、蒸着金属のエッチングによる工程を考えていた。しかし、SiN上のアニールされたAuGeをエッチングした場合、SiN表面に残渣が観測されることが予備実験より明らかとなった。そのため、ここではリフトオフにより電極を形成する方法をとっている。
試料は既に基板研磨工程によって100μmまで薄くなっている。応力による試料の破壊を防ぐため、ワックスなどを用いてガラス板などに貼り付けると効果的であるが、蒸着装置の汚染を防ぐ目的で蒸着前にワックスを除去する必要がある。この工程でレジストも剥離されてしまうため、ここではガラスへ貼り付けずに処理を行った。ここでは基板裏面にSiNが堆積してあるため、基板強度を補強できている。
基板裏面はレーザ光の出射面となるため、レーザ光が通過する部分では反射防止膜であるSiNを残し、その他の部分にはn−GaAs基板にオーミック電極を蒸着することが必要である。レーザ光は、すでに加工された表面側のメサ中央部から基板裏面に向けて出射されるため、メサの位置に合わせて、裏面の電極パターンをアライメントする必要がある。
表面のメサパターンにアライメントしてn電極のレジストパターンを形成する。次に、n電極を蒸着する部分のSiNをBHFによりエッチングする。AuGe/Auをこの順に蒸着し、アセトン中でリフトオフする。
リフトオフの後、窒素中にて420℃に加熱し、2分間の熱処理を行うことによりオーミック電極として機能することができる。
[金メッキ]
n電極パターンを基準にメッキ用のパターニンクを行う。端部はSiN上に5μm程度オーバーラップするようマスク設計されている。当初、設計したプロセスでは全面に蒸着したのち、このパターンでメッキを行い、下部電極のエッチングにより出射部の窓開けを行う予定だった。そのためエッチング液にGaAsが曝されないよう、SiN上でオーバーラップさせてあった。メッキ液とGaAsとの反応を避けるためには、下地となる電極パターンよりもメッキのパターンが小さいほうが望ましいが、プロセス変更にマスクパターンが対応していないため、現状ではメッキ液にGaAs基板が曝される状況にある。実際に試作したデバイス特性では、これに起因した問題は生じていない。
n電極パターンを基準にメッキ用のパターニンクを行う。端部はSiN上に5μm程度オーバーラップするようマスク設計されている。当初、設計したプロセスでは全面に蒸着したのち、このパターンでメッキを行い、下部電極のエッチングにより出射部の窓開けを行う予定だった。そのためエッチング液にGaAsが曝されないよう、SiN上でオーバーラップさせてあった。メッキ液とGaAsとの反応を避けるためには、下地となる電極パターンよりもメッキのパターンが小さいほうが望ましいが、プロセス変更にマスクパターンが対応していないため、現状ではメッキ液にGaAs基板が曝される状況にある。実際に試作したデバイス特性では、これに起因した問題は生じていない。
電解メッキ液を使用し、厚さ3μmの金メッキを行った。これによりワイヤーボンディングの歩留まりが良くなる。
[面発光レーザの評価]
図15に、作製した面発光レーザの電流−光強度特性を実線で、電流−電圧特性を破線で示す。図15より、本発明の面発光レーザ装置は、半導体多層膜の層数、量子井戸の層数、室温での反射鏡と量子井戸の利得ピークの相対値等が最適化されており、充分な高出力動作が行われていることが実証された。
図15に、作製した面発光レーザの電流−光強度特性を実線で、電流−電圧特性を破線で示す。図15より、本発明の面発光レーザ装置は、半導体多層膜の層数、量子井戸の層数、室温での反射鏡と量子井戸の利得ピークの相対値等が最適化されており、充分な高出力動作が行われていることが実証された。
[面発光レーザのアレイ化]
本発明では、上記の垂直共振器型面発光レーザを2次元に配置してアレイを構成し、更に大出力とすることができる。具体的には、図16に示すように、アレイの非出射側に冷却装置を当接し、アレイの出射側に集光用光学系を配置する。ここで、集光用光学系は各発光レーザ用マイクロレンズ及び全発光レーザ用集光レンズからなる。
本発明では、上記の垂直共振器型面発光レーザを2次元に配置してアレイを構成し、更に大出力とすることができる。具体的には、図16に示すように、アレイの非出射側に冷却装置を当接し、アレイの出射側に集光用光学系を配置する。ここで、集光用光学系は各発光レーザ用マイクロレンズ及び全発光レーザ用集光レンズからなる。
本発明により、面発光レーザ装置の高出力化と高効率化を達成した。これにより、光通信、複写機用光源を始め、広い分野での適用が可能となる。
101:反射防止膜、102:上部電極、103:基板、104:N型DBRミラー、105:共振器、106:活性層量子井戸、107:共振器、108:P型DBRミラー、109:絶縁膜、110:下部電極。
Claims (11)
- 活性層の上下に一対の分布ブラッグ反射型半導体多層膜反射鏡を配置した積層構造を半導体基板上に形成し、n型多層膜反射鏡側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、p型多層膜反射鏡が組成の異なるp型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つn型多層膜反射鏡が組成の異なるn型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はp型多層膜反射鏡の積層数よりも少ないものであることを特徴とする垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- p型多層膜反射鏡の積層数は48ペア以下であることを特徴とする請求項1に記載の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- n型多層膜反射鏡の積層数は28〜30ペア積層したものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- 活性層の上下に一対の分布ブラッグ反射型半導体多層膜反射鏡を配置した積層構造を半導体基板上に形成し、p型多層膜反射鏡側からレーザ光を取り出す垂直共振器型面発光レーザにおいて、n型多層膜反射鏡が組成の異なるn型AlGaAsを交互に39ペア以上積層され、且つp型多層膜反射鏡が組成の異なるp型AlGaAsを交互に積層し、その積層数はn型多層膜反射鏡の積層数よりも少ないものであることを特徴とする垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- n型多層膜反射鏡の積層数は48ペア以下であることを特徴とする請求項4に記載の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- p型多層膜反射鏡の積層数は28〜30ペア積層したものであることを特徴とする請求項4又は5に記載の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- 活性層の上下に一対の分布ブラッグ反射型半導体多層膜反射鏡を配置した積層構造を半導体基板上に形成した垂直共振器型面発光レーザにおいて、活性層のバンドオフセットが9〜15nmであることを特徴とする垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- 前記活性層のバンドオフセットが9〜15nmであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- 前記活性層が2〜4層の量子井戸層であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の垂直共振器型高出力面発光レーザ。
- 請求項1乃至9のいずれかに記載の垂直共振器型面発光レーザを2次元に配置してアレイを構成し、該アレイの非出射側に冷却装置を当接し、該アレイの出射側に集光用光学系を配置したことを特徴とする高出力面発光レーザ装置。
- 前記集光用光学系が各発光レーザ用マイクロレンズ及び全発光レーザ用集光レンズからなることを特徴とする請求項10に記載の高出力面発光レーザ装置。
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-
2004
- 2004-08-27 JP JP2004248010A patent/JP2006066681A/ja active Pending
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