JP2006054281A - 電気化学素子の製造方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 陽極と、絶縁体層と、陰極とを含む積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 陽極２と、絶縁体層４と、陰極３とを含む積層体７に、レーザ光源２２から発せられるＹＶＯレーザ２１を照射し、積層体とＹＶＯレーザを相対的に移動させて、積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品５を製造する電気化学素子の製造方法であって、レーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させて、積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造することを特徴とする電気化学素子の製造方法。
【選択図】 図６

Description

本発明は、電気化学素子の製造方法および装置に関するものであり、さらに詳細には、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置に関するものである。

電気化学素子は、小型化、軽量化が容易であるため、携帯機器（小型電子機器）などのバックアップ用電源、電気自動車やハイブリッド自動車向けの補助電源などとしての利用が期待されており、その性能向上のため、種々の試みがなされている。

このような電気化学素子のうち、電気二重層キャパシタは、アルミニウムなどからなる集電体シート、アンダーコート層および陽極層が積層された陽極と、アルミニウムなどからなる集電体シート、アンダーコート層および陰極層が積層された陰極が、セパレータを介して、積層された積層体ユニットを、構成要素として含み、単一の積層体ユニットよりなる積層体部品あるいは複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層された構造を有する積層体を、金型を用いた打抜き加工によって、カットし、フィルムで包んだり、金属缶に収納したりして、製造されている。

しかしながら、電気二重層キャパシタを作製するための積層体は、単一の積層体ユニットよりなる場合でも、５００μｍ以上の厚さを有していることがあり、複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層された構造を有している場合には、積層体の厚さが１ｍｍを超えることもあるため、金型を用いた打抜き加工によって、積層体をカットして、所定のサイズを有する積層体部品を作製するときは、金型から、積層体に大きな剪断力を加えることが必要になるため、切断面にばりや歪みが発生し、電気二重層キャパシタを生成したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があった。

一方、レーザビームを用いて、積層体をカットして、所定のサイズを有する積層体部品を作製することも考えられるが、従来、レーザ切断に用いられているＹＡＧレーザは、そのパワーが大きすぎるため、積層体のレーザビームが照射された部分が過度に熱せられて、溶けてしまい、電気二重層キャパシタを生成したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があった。

陽極と、誘電体層と、陰極が、積層された積層体ユニットを、構成要素として含み、単一の積層体ユニットよりなる積層体部品あるいは複数の積層体ユニットが、陽極および／または陰極を共通にして、積層された構造を有する積層体を備えた固体電解コンデンサを作製するために、積層体を切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造する場合にも、同様の問題があった。

したがって、本発明は、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置を提供することを目的とするものである。

本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、少なくとも、陽極と、絶縁体層と、陰極とを含む電気二重層キャパシタ用の積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、積層体とＹＶＯレーザを相対的に移動させて、積層体を切断する際に、レーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させた場合には、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止しつつ、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造し、信頼性が高い電気二重層キャパシタを、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になることを見出した。

本発明者のさらなる研究によれば、少なくとも、陽極と、誘電体層と、陰極とを含む固体電解コンデンサ用の積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、積層体とＹＶＯレーザを相対的に移動させて、積層体を切断する際に、レーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させた場合にも、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止しつつ、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造し、信頼性が高い固体電解コンデンサを、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になることを見出した。

本発明は、かかる知見に基づくものであり、本発明によれば、本発明の前記目的は、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、前記積層体と前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造する電気化学素子の製造方法であって、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、前記積層体の厚さ方向に変化させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造することを特徴とする電気化学素子の製造方法によって達成される。

本発明によれば、パワーが小さいＹＶＯレーザを用いて、積層体を切断するように構成されているから、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止することができ、アブレーション効果が大きく、加工部分以外への熱的影響を低減することができる。さらに、ＹＶＯレーザを用いて、積層体を切断する際、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させて、積層体を切断するように構成されているから、パワーが小さいＹＶＯレーザを用いる場合でも、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になる。

本発明の好ましい実施態様においては、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させて、前記積層体を切断するように構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし３００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させて、前記積層体を切断するように構成されている。

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層体の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記レーザ光源の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。

本発明の好ましい実施態様においては、前記レーザ光源に対して、前記積層体を二次元的に移動させて、前記積層体を切断するように構成されている。

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが積層されて構成されている。

本明細書において、積層体ユニットとは、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を指し、機能的な最小単位をいう。

本発明の好ましい実施態様によれば、複数の積層体ユニットが積層された構造を有する積層体を、同時に切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造することができるから、効率的に、複数の積層体ユニットが積層された構造を有する電気化学素子を製造することが可能になる。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層されて構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様によれば、複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層された構造を有する積層体を、同時に切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造することができるから、効率的に、複数の積層体ユニットが積層された構造を有する電気二重層キャパシタを製造することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の表面に沿って、相対的に移動させる第一の移動機構と、前記積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の厚さ方向に、相対的に移動させる第二の移動機構と、前記ＹＶＯレーザが、前記積層体に照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置によって達成される。

本発明によれば、電気化学素子の製造装置は、パワーが小さいＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体とレーザ光源とを、積層体の厚さ方向に、相対的に移動させる第二の移動機構を備えているから、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止することができ、さらに、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させて、ＹＶＯレーザを積層体に照射することができ、したがって、ＹＶＯレーザを用いて、積層体を、所望のように切断することが可能になる。

また、本発明によれば、電気化学素子の製造装置は、レーザ光源と積層体とを、積層体の表面に沿って、相対的に移動させる第一の移動機構を備えているから、ＹＶＯレーザを用いて、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になる。

さらに、本発明によれば、電気化学素子の製造装置は、ＹＶＯレーザが、積層体に照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置を備えているから、ＹＶＯレーザによって、積層体を切断したときに生じる微粉やガスを、積層体の切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層体の切断によって発生した微粉が、電気化学素子に短絡を生じさせることを確実に防止して、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することが可能になる。

本発明の好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させるように構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし３００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させるように構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記積層体の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記レーザ光源の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層体が長尺状をなし、前記移動機構が、長尺状の前記積層体を搬送する積層体搬送機構と、前記ＹＶＯレーザの走査機構とによって構成されている。

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記積層体が所定のサイズを有するシート状をなし、電気化学素子の製造装置が、さらに、前記積層体を支持する支持テーブルを備え、前記移動機構が、前記支持テーブルを三次元的に移動させるテーブル移動機構によって構成されている。

本発明によれば、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置を提供することが可能になる。

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって製造される電気二重層キャパシタが構成要素して含む積層体ユニットの略断面図である。

積層体ユニット１は長尺状をなし、図１に示されるように、アノード電極用シート２と、カソード電極用シート３が、セパレータ４を介して、貼り合わされている。

アノード電極用シート２は、アルミニウムによって形成された集電体シート１０と、集電体シート１０の両面に塗布されたアンダーコート層１１ａ、１１ｂと、アンダーコート層１１ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ａと、アンダーコート層１１ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ｂとを含んでいる。

アノード電極用シート２は、たとえば、２００μｍないし３００μｍの厚さを有している。

図１に示されるように、カソード電極用シート３は、アノード電極用シート２と同様に構成され、アルミニウムによって形成された集電体シート１５と、集電体シート１５の両面に塗布されたアンダーコート層１６ａ、１６ｂと、一方のアンダーコート層１６ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ａと、他方のアンダーコート層１６ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ｂとを含んでいる。

カソード電極用シート３は、たとえば、２００μｍないし３００μｍの厚さを有している。

セパレータ４は、たとえば、２０μｍないし３０μｍの厚さを有している。

したがって、積層体ユニット１は、たとえば、４２０μｍないし６３０μｍの厚さを有している。

図２は、図１に示された積層体ユニット１の矢印Ａの方向から見た略平面図であり、図３は、図１に示された積層体ユニット１の矢印Ｂの方向から見た略平面図である。

図２に示されるように、アノード電極用シート２の集電体シート１０の一方の表面には、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１１ａおよび多孔質層１２ａが形成され、図２には図示されていないが、アノード電極用シート２の集電体シート１０の他方の表面にも、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１１ｂおよび多孔質層１２ｂが形成されている。

図３に示されるように、カソード電極用シート３の集電体シート１５の一方の表面には、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１６ａおよび多孔質層１７ａが形成され、図３には図示されていないが、カソード電極用シート３の集電体シート１５の他方の表面にも、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１６ｂおよび多孔質層１７ｂが形成されている。

図２に示されるように、アノード電極用シート２には、規則的に、開口部１３が形成され、図３に示されるように、カソード電極用シート３には、規則的に、開口部１８が形成されている。

図２および図３に示されるように、アノード電極用シート２の開口部１３と、カソード電極用シート３の開口部１８は、それぞれのリードに相当する部分の幅だけ、オフセットされた位置に形成されている。

アノード電極用シート２の開口部１３およびカソード電極用シート３の開口部１８は、打抜き加工によって、形成されてもよいが、後述する電気化学キャパシタの製造装置を用いて、ＹＶＯレーザによって、形成されることが好ましい。

また、図２および図３には示されていないが、セパレータ４の一縁部は、アノード電極用シート２の開口部１３およびカソード電極用シート３の開口部１８内に位置しており、アノード電極用シート２とカソード電極用シート３とが、セパレータ４によって、絶縁されている。

図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき電気二重層キャパシタ用の積層体部品の略断面図であり、図５は、その略平面図である。

図４に示されるように、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき電気二重層キャパシタ用の積層体部品５は、３枚の積層体ユニット１が、セパレータ４を介して、互いに積層された構造を有し、図５に示されるように、各積層体ユニット１を構成するアノード電極用シート２の集電体シート１０の多孔質層１２が形成されていない部分が、リード６として機能する略矩形状の部分を残して、切断され、カソード電極用シート３の集電体シート１５の多孔質層１７が形成されていない部分が、リード６として機能する略矩形状の部分を残して、切断されて、積層体部品５が作製される。

図６は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。

本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断して、所定の形状を有する電気二重層キャパシタ用の積層体部品５を作製可能に構成されており、図６に示されるように、その上面で、積層体ユニット１を支持する支持テーブル２０と、支持テーブル２０の上方に配置され、支持テーブル２０に向けて、ＹＶＯレーザ２１を発するレーザ光源２２と、ｆθレンズ２３と、支持テーブル２０に向けて、エアを放出するエアブロー装置２４とを備えている。本実施態様において、ｆθレンズ２３は、その角度が制御可能に構成されている。

本実施態様においては、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の切断にあたり、積層体７は静止状態に保持され、ＹＶＯレーザ２１が、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、積層体７に照射されるように、レーザ光源２２が走査機構（図示せず）によって走査されるように構成されている。

支持テーブル２０のＹＶＯレーザ２１が照射される部分には、ＹＶＯレーザ２１が透過する空隙部が形成されている。図６においては、空隙部は、参照番号２５ａおよび２５ｂによって示されているが、本実施態様においては、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する積層体７の部分に沿って、ＹＶＯレーザ２１が照射されるから、空隙部２５ａ、２５ｂは、支持テーブル２０に、枠状に形成されている。

また、図６に示されるように、支持テーブル２０に形成された空隙部２５ａ、２５ｂ内には、それぞれ、集塵装置（図示せず）の集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されている。図６においては、２つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂのみが図示されているが、前述のように、支持テーブル２０には、空隙部２５ａ、２５ｂが枠状に形成されているから、作製すべき積層体部品５の縁部に対応して形成された空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されている。

積層体７は、たとえば、カソード電極用シート３上に、、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４およびアノード電極用シート２を、順次、積層して、作製されている。

図７は、図６に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。

図７に示されるように、本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の制御系は、電気二重層キャパシタの製造装置全体の動作を制御するコントローラ４０を備えている。

また、電気二重層キャパシタの製造装置の駆動系は、ＹＶＯレーザ２１が、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７に照射されるように、レーザ光源２２を走査する走査機構４１と、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して、昇降させるテーブル昇降機構４２と、長尺状の積層体７を繰り出す繰り出しローラ２７と、長尺状の積層体７を巻き取る巻き取りローラ３０とを備え、電気二重層キャパシタの製造装置の入力系は、キーボード４３を備えている。

以上のように構成された本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、以下のようにして、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断して、所定のサイズを有する積層体部品５を作製する。

まず、ユーザーによって、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７が、多孔質層１２ａが上を向くように、繰り出しローラ２７から繰り出され、積層体７の切断されるべき部分が、支持テーブル２０の空隙部２５ａ、２５ｂ上に位置するまで、積層体７が、巻き取りローラ３０によって巻き取られる。

次いで、ユーザーによって、キーボード４３に、作製すべき積層体部品５のサイズおよび厚さを示す切断データが入力され、スタート信号が入力される。

キーボード４３に入力された切断データとスタート信号は、コントローラ４０に出力され、コントローラ４０は、切断データとスタート信号が入力されると、切断データにしたがって、テーブル昇降機構４２に第一の位置決め信号を出力する。

第一の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構４２は、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の上表面からの距離が第一の距離に等しい位置、たとえば、積層体７の上表面からの距離が１００μｍに等しい第一のフォーカス位置にフォーカスされるように、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して昇降させて、位置決めする。

次いで、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動信号を出力して、レーザ光源２２をオンさせるとともに、走査機構４１に、走査信号を出力して、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１を、初期位置から、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を移動させる。

ここに、積層体部品５の縁部が、積層体７の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断されるように、積層体７に照射されたＹＶＯレーザ２１のビーム断面と、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する積層体７の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ２３の角度が調整されることが好ましい。

その結果、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が照射された部分が加熱されて、溶融される。

本実施態様においては、パワーの小さいＹＶＯレーザ２１が用いられているため、第一のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ２１によって、切断される。

この際、積層体７の切断にともなって、微粉やガスが発生するが、本実施態様においては、エアブロアー装置３４が設けられているから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、また、支持テーブル２０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層体７を切断した際に発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７上を、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が移動された結果、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰すると、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源２２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第二の位置決め信号を出力する。

第二の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構４２は、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に、第一のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が３００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して昇降させて、位置決めする。

次いで、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動信号を出力して、レーザ光源２２をオンさせるとともに、走査機構４１に、走査信号を出力して、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第二のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１を移動させる。

その結果、第二のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ２１によって、切断される。

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第二のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が移動された結果、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰すると、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源２２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第三の位置決め信号を出力する。

第三の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構４２は、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に、第二のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が５００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して昇降させて、位置決めする。

次いで、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動信号を出力して、レーザ光源２２をオンさせるとともに、走査機構４１に、走査信号を出力して、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、ＹＶＯレーザ２１を移動させる。

その結果、第三のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ２１によって、切断される。

同様にして、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、ＹＶＯレーザ２１が移動され、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に、単位移動距離、たとえば、２００μｍづつ、レーザ光源２２から離れた位置に、フォーカスされるように、テーブル昇降機構４２によって、支持テーブル２０が位置決めされて、ＹＶＯレーザ２１が、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を走査され、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断される。

こうして、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７が、所定のサイズに切断されて、積層体部品５が作製されると、コントローラ４０は、繰り出しローラ２７および巻き取りローラ３０に、それぞれ、駆動信号を出力して、積層体７を、支持テーブル２０上で、１ピッチに相当する距離だけ、移動させる。

その結果、次の積層体部品５が切り出されるべき積層体７の部分が、支持テーブル２０の空隙部２５ａ、２５ｂ上に位置決めされる。

ここに、１ピッチの長さは、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さよりもわずかに大きくなるように設定される。

セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さがある厚さを越えると、打抜き加工によって、切断するためには、金型から、積層体７に大きな剪断力を加えることが必要になるため、切断面にばりや歪みが発生し、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があり、その一方で、従来、レーザ切断に広く用いられているＹＡＧレーザは、そのパワーが大きすぎるため、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７のレーザビームが照射された部分が過度に熱せられて、溶けてしまい、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があったが、本実施態様によれば、重ね合わされた３枚の積層体ユニット１は、パワーの低いＹＶＯレーザ２１によって、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断されるように構成されているから、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さが、たとえば、３ｍｍ程度になっても、所望のように、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断して、積層体部品５を作製することができ、したがって、信頼性が高い電気二重層キャパシタを、高い歩留まりで製造することが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持テーブル２０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、集塵ノズル２６ａ、２６ｂによって回収することができ、したがって、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することが可能になるから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、次の積層体部品５を作製するために、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を移動させる距離を、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さよりもわずかに大きくなるように設定すればよく、材料の歩留まりを向上させることが可能になる。

図８は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。

本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を、所定の長さを有するように裁断して作製したセパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を切断して、所定の形状の積層体部品５を作製可能に構成されており、図８に示されるように、その上面で、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を支持する支持テーブル５０と、支持テーブル５０の上方に配置され、支持テーブル５０に向けて、ＹＶＯレーザ５１を発するレーザ光源５２と、ｆθレンズ５３と、支持テーブル５０に向けて、エアを放出するエアブロー装置５４とを備えている。本実施態様において、ｆθレンズ５３は、その角度が制御可能に構成されている。

本実施態様においては、支持テーブル５０は、数値制御されたテーブル移動機構（図示せず）により、略水平面内において、移動可能に構成されており、一方、レーザ光源５２は静止状態に保持されている。

上述のように、本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を、所定のサイズに切断して、図４および図５に示される積層体部品５を作製可能に構成されており、したがって、支持テーブル５０は、ＹＶＯレーザ５１が、図４および図５に示される作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７に照射される。

支持テーブル５０のＹＶＯレーザ５１が照射される部分には、ＹＶＯレーザ５１が透過する空隙部が形成されている。図８においては、空隙部は、参照番号５５ａおよび５５ｂによって示されているが、本実施態様においては、図４および図５に示される作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、ＹＶＯレーザ５１が照射されるから、空隙部５５ａ、５５ｂは、支持テーブル５０に、枠状に形成されている。

また、図８に示されるように、支持テーブル５０に形成された空隙部５５ａ、５５ｂ内には、それぞれ、集塵装置（図示せず）の集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されている。図８においては、２つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂのみが図示されているが、前述のように、支持テーブル５０には、空隙部５５ａ、５５ｂが枠状に形成されているから、作製すべき積層体部品５の各縁部に対応して形成された空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されている。

図９は、図８に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。

図９に示されるように、本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の制御系は、電気二重層キャパシタの製造装置全体の動作を制御するコントローラ６０を備えている。

また、電気二重層キャパシタの製造装置の駆動系は、支持テーブル５０を、略水平面内において、二次元的に移動させるテーブル移動機構６１と、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して、昇降させるテーブル昇降機構６２を備え、電気二重層キャパシタの製造装置の入力系は、キーボード６３を備えている。

以上のように構成された本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、以下のようにして、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を切断して、所定のサイズを有する積層体部品５を作製する。

まず、ユーザーによって、多孔質層１２ａが上を向くように、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７が、支持テーブル５０上にセットされる。

次いで、ユーザーによって、キーボード６３に、作製すべき積層体部品５のサイズおよび厚さを示す切断データが入力され、スタート信号が入力される。

キーボード６３に入力された切断データとスタート信号は、コントローラ６０に出力され、コントローラ６０は、切断データとスタート信号が入力されると、切断データにしたがって、テーブル昇降機構６２に第一の位置決め信号を出力する
第一の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構６２は、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の上表面からの距離が第一の距離に等しい位置、たとえば、積層体７の上表面からの距離が１００μｍに等しい第一のフォーカス位置にフォーカスされるように、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して昇降させて、位置決めする。

次いで、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動信号を出力して、レーザ光源５２をオンさせるとともに、テーブル移動機構６１に、駆動信号を出力して、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が、積層体７の作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル５０を、初期位置から、移動させる。

ここに、積層体部品５の縁部が、積層体７の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断されるように、積層体７に照射されたＹＶＯレーザ５１のビーム断面と、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する積層体７の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ５３の角度が調整されることが好ましい。

その結果、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が照射された部分が加熱されて、溶融される。

本実施態様においては、パワーの小さいＹＶＯレーザ２１が用いられているため、第一のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ５１によって、切断される。

この際、積層体７の切断にともなって、微粉やガスが発生するが、本実施態様においては、エアブロアー装置５４が設けられているから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、また、支持テーブル５０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層体７を切断した際に発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が移動するように、支持テーブル５０を移動させた結果、支持テーブル５０が初期位置に復帰すると、コントローラ６０は、テーブル移動機構６１およびレーザ光源５２に駆動停止信号を出力して、支持テーブル５０を停止させ、レーザ光源５２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第二の位置決め信号を出力する。

第二の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構６２は、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に、第一のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が３００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して昇降させて、位置決めする。

次いで、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動信号を出力して、レーザ光源５２をオンさせるとともに、テーブル移動機構６１に、駆動信号を出力して、第二のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が、積層体７の作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル５０を、初期位置から、移動させる。

その結果、第二のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ５１によって、切断される。

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が移動するように、支持テーブル５０を移動させた結果、支持テーブル５０が初期位置に復帰すると、コントローラ６０は、テーブル移動機構６１およびレーザ光源５２に駆動停止信号を出力して、支持テーブル５０を停止させ、レーザ光源５２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第三の位置決め信号を出力する。

第三の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構６２は、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に、第二のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が５００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して昇降させて、位置決めする。

次いで、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動信号を出力して、レーザ光源５２をオンさせるとともに、テーブル移動機構６１に、駆動信号を出力して、第三のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が、積層体７の作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル５０を、初期位置から、移動させる。

その結果、第三のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ５１によって、切断される。

同様にして、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、ＹＶＯレーザ５１が移動され、支持テーブル５０が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に、単位移動距離、たとえば、２００μｍづつ、レーザ光源２２から離れた位置に、フォーカスされるように、テーブル昇降機構６２によって、支持テーブル５０が位置決めされて、ＹＶＯレーザ５１が、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を走査され、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断される。

その結果、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７が、所定のサイズに切断されて、積層体部品５が作製されると、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源５２をオフするとともに、テーブル移動機構６１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル５０の作動を停止させ、積層体７の切断操作を完了させる。

セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さがある厚さを越えると、打抜き加工によって、切断するためには、金型から、積層体７に大きな剪断力を加えることが必要になるため、切断面にばりや歪みが発生し、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があり、その一方で、従来、レーザ切断に広く用いられているＹＡＧレーザは、そのパワーが大きすぎるため、セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７のレーザビームが照射された部分が過度に熱せられて、溶けてしまい、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があったが、本実施態様によれば、積層体７は、パワーの低いＹＶＯレーザ５１によって、セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断されるように構成されているから、セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さが、たとえば、３ｍｍ程度になっても、所望のように、積層体７を切断して、積層体部品５を作製することができ、したがって、信頼性が高い電気二重層キャパシタを、高い歩留まりで製造することが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持テーブル５０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、集塵ノズル５６ａ、５６ｂによって回収することができ、したがって、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することが可能になるから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。

本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

たとえば、前記実施態様においては、電気二重層キャパシタの製造装置は、エアブロー装置２４、５４および集塵ノズル２６ａ、２６ｂ、５６ａ、５６ｂを備えているが、エアブロー装置２４、５４および集塵ノズル２６ａ、２６ｂ、５６ａ、５６ｂの双方を備えていることは必ずしも必要でなく、エアブロー装置２４、５４あるいは集塵ノズル２６ａ、２６ｂ、５６ａ、５６ｂを備えていればよい。

さらに、図６および図７に示された実施態様においては、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源２２をオフさせ、図８および図９に示された実施態様においては、支持テーブル５０が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源５２をオフさせているが、レーザ光源２２、５２をオフさせることは必ずしも必要でない。

また、図６および図７に示された実施態様においては、１ピッチの長さが、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さよりもわずかに大きくなるように設定されているが、１ピッチの長さは、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さ以上に設定されていればよい。

さらに、前記実施態様においては、レーザ光源２２、５２に対して、支持テーブル２０、５０を昇降させて、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を調整しているが、支持テーブル２０、５０に対して、レーザ光源２２、５２を昇降させて、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を調整するようにしてもよい。

また、前記実施態様においては、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置の単位移動距離が、２００μｍに設定されているが、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を、２００μｍづつ、移動させることは必ずしも必要でなく、１００μｍないし５００μｍ、好ましくは、１００μｍないし３００μｍを単位移動距離として、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を移動させればよい。

さらに、前記実施態様においては、アノード電極用シート２は、アルミニウムによって形成された集電体シート１０と、集電体シート１０の両面に塗布されたアンダーコート層１１ａ、１１ｂと、アンダーコート層１１ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ａと、アンダーコート層１１ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ｂとを含み、カソード電極用シート３は、アルミニウムによって形成された集電体シート１５と、集電体シート１５の両面に塗布されたアンダーコート層１６ａ、１６ｂと、アンダーコート層１６ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ａと、アンダーコート層１６ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ｂとを含んでいるが、アノード電極用シート２およびカソード電極用シート３が、それぞれ、集電体シート１０、１５の両面に、多孔質層１２ａ、１２ｂ、１７ａ、１７ｂを備えていることは必ずしも必要でなく、少なくとも集電体シート１０、１５の一方の面に、多孔質層を備えていればよい。

また、図４および図５に示された積層体部品５は一例であり、積層体部品の形状はとくに限定されるものではない。

さらに、前記実施態様においては、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断するように構成されているが、積層体７が、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有していることは必ずしも必要でなく、積層体７は単一の積層体ユニット１によって構成されていても、積層体７は２枚あるいは４枚以上の積層体ユニット１が積層された構造を有していてもよい。

また、図６および図７に示された実施態様においては、たとえば、カソード電極用シート３上に、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４およびアノード電極用シート２を、順次、積層して、作製された積層体７が、繰り出しローラ２７から、支持テーブル２０上に、繰り出されるように構成されているが、あらかじめ、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１を積層して、積層体７を作製しておき、積層体７を、繰り出しローラ２７から、支持テーブル２０上に、繰り出すことは必ずしも必要でなく、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４およびアノード電極用シート２を、それぞれ、別の繰り出しローラから、順次、繰り出し、これらを積層して、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を作製し、支持テーブル２０上に供給して、切断するように、構成することもできる。

さらに、前記実施態様においては、アノード電極用シート２と、カソード電極用シート３が、セパレータ４を介して、貼り合わされた積層体ユニット１を構成要素として含む電気二重層キャパシタ用の積層体７が切断されているが、電気二重層キャパシタ用の積層体７に代えて、少なくとも、陽極、誘電体層および陰極を含む積層体ユニットを構成要素として含む固体電解コンデンサ用の積層体を切断することもでき、本発明は、電気二重層キャパシタを製造する場合だけでなく、固体電解コンデンサ、電解コンデンサ、二次電池などの電気化学素子を製造する場合に、広く適用することができる。

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって製造される電気二重層キャパシタが構成要素して含む積層体ユニットの略断面図である。 図２は、図１に示された積層体ユニットの矢印Ａの方向から見た略平面図である。 図３は、図１に示された積層ユニットの矢印Ｂの方向から見た略平面図である。 図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき積層体部品の略平面図である。 図５は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき積層体部品の略平面図である。 図６は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。 図７は、図６に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。 図８は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。 図９は、図８に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。

符号の説明

１ 積層体ユニット
２ アノード電極用シート
３ カソード電極用シート
４ セパレータ
５ 積層体部品
６ リード
７ 積層体
１０ 集電体シート
１１ａ、１１ｂ アンダーコート層
１２ａ、１２ｂ 多孔質層
１３ 開口部
１５ 集電体シート
１６ａ、１６ｂ アンダーコート層
１７ａ、１７ｂ 多孔質層
１８ 開口部
２０ 支持テーブル
２１ ＹＶＯレーザ
２２ レーザ光源
２３ ｆθレンズ
２４ エアブロー装置
２５ａ、２５ｂ 空隙部
２６ａ、２６ｂ 集塵ノズル
２７ 繰り出しローラ
３０ 巻き取りローラ
４０ コントローラ
４１ 走査機構
４２ テーブル昇降機構
４３ キーボード
５０ 支持テーブル
５１ ＹＶＯレーザ
５２ レーザ光源
５３ ｆθレンズ
５４ エアブロー装置５４
５５ａ、５５ｂ 空隙部
５６ａ、５６ｂ 集塵ノズル
６０ コントローラ
６１ テーブル移動機構
６２ テーブル昇降機構
６３ キーボード

Claims (6)

1. 少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、前記積層体と前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造する電気化学素子の製造方法であって、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、前記積層体の厚さ方向に変化させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造することを特徴とする電気化学素子の製造方法。
2. 前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造することを特徴とする請求項１に記載の電気化学素子の製造方法。
3. 前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが積層されて構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載の電気化学素子の製造方法。
4. 前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層されて構成されたことを特徴とする請求項３に記載の電気化学素子の製造方法。
5. ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の表面に沿って、相対的に移動させる第一の移動機構と、前記積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の厚さ方向に、相対的に移動させる第二の移動機構と、前記ＹＶＯレーザが、前記積層体に照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置。
6. 前記第二の移動機構が、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させるように構成されたことを特徴とする請求項５に記載の電気化学素子の製造装置。

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