JP2010528863A - Ｐｐシートのダイシング装置及びその方法 - Google Patents

Abstract

【課題】同時にダイシング及びエッジシーリングを行い、且つ自動化生産を実現できるＰＰシートのダイシング装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ＰＰシート（プリプレグ（prepreg）フィルム）のダイシング装置及びその方法に関し、当該ダイシング装置は、ＰＰシートの伝達機構を有するメインマウントと、メインマウント上に設けられた作業台と、作業台の上流側に設けられた仕込み機構と、マンマシンインターフェース制御システムとを備えている。当該作業台は、レーザと、レーザの出力したレーザビームを受け取り、ダイシングビームを形成するためのダイシングヘッドとを含んでいる。上記の構造によって、一体化されたＰＰシートレーザダイシング装置を提供し、ＰＰシートダイシング過程における粉末飛散や糸飛散の状況を避けることだけでなく、自動化ダイシングを実現し、生産コストも削減している。
【選択図】図３

Description

本発明は、ダイシング装置及びその方法に関し、特に、ＰＰシート（プリプレグ（prepreg）フィルム）のダイシング装置に関する。

配線基板は、複数の層の銅箔線と、銅箔線との間の絶縁キャリアとで共通に構成され、このようなキャリアは、ＰＰシート（プリプレグフィルム）である。配線基板の製造過程において、一般に、ＰＰシートをダイシングする必要がある。

図１を参照すると、ＰＰシートは、ガラス繊維またはその他の繊維９１とゴム材質（例えば、樹脂）９２とを組み合わせてなる。現在、ＰＰシートのダイシング方式として、主に、ロールされたＰＰシートを専門の装置に放置し、さらにブレードを用いてＰＰシートを一定の形状にダイシングする方式が用いられる。ダイシング過程において、ＰＰシートの切り口の位置で粉末飛散（切断粉）や糸飛散（繊維糸）が発生してしまう。

図２を参照すると、これらの粉末飛散や糸飛散は配線基板に挟み込んでしまう場合が多く、配線基板の層同士のオープンジョイントを招くことになる。複数層の配線基板を製造する場合には、各層ごとの配線基板間の接続は、まず配線基板を穴加工しておき、次に穴壁に１層の銅を電気的にメッキして、銅層を介して、上、下層の印刷回路基板の銅箔の電気的な接続を図る方式が用いられる。図２に示すように、正確な場合には、銅箔７２と銅箔７３が互いに電気的に接続されるが、粉末飛散及び／または糸飛散によるオープンジョイントの存在によって、銅箔７１と銅箔７２との間の電気的な接続を実現することができない場合がある。

目前、粉末飛散や糸飛散を解決する方法として、ダイシングされたＰＰシートを積み合わせ、まず風銃（air pressure gun）で清く吹き、さらに１つの専門の赤外線エッジシールで、トリムを加熱しエッジシーリングする。ダイシングの全般過程において、粉末飛散や糸飛散が発生してしまうため、風銃で風を吹いて清潔する場合、ある一部の比較的に隠れているところが吹かれない可能性があり、一方、吹いている間に、粉塵が空気に分散されて、新たにＰＰシート上に付着される可能性があり、ＰＰシートを２回汚染するとの結果を招くことになる。エッジシーリングの前に、粉は、風銃で清く吹いても、随時に剥げ落ちわれる可能性があり、粉及び／または糸が配線基板のサンドイッチに入り込むと、配線基板を廃棄処理させてしまうことになる。さらに、エッジシーリングする時に、配線基板の積み重ねに対する要求が高く、積み重ねた辺を揃える必要がある。さもしないと、外側に差し出した辺は焼け焦げるようになるが、内側に縮まれている辺は焼けなくなって、全てエッジシーリングする要求を達成できない。また、赤外線を用いて積み重ねたＰＰシートをエッジシーリングする場合に、ＰＰシートの層同士を簡単に接着させることができ、強行に分けると、エッジの厚みが均一にならない。

これにて分かるように、現在の粉末飛散や糸飛散を解決する方法では、１つの装置を増加するだけでなく、その操作過程も複雑で、生産コストを増加している。配線基板の精度、密度、層数の向上に伴って、粉末飛散や糸飛散の問題を解決する要求がますます緊迫なっている。

本発明は、従来技術におけるＰＰシートをブレードでダイシングする場合に粉末飛散や糸飛散が発生してしまうため、後続するエッジシーリング工程及びエッジシーリング装置の追加を必要とし、生産コストの増加を招くとの技術問題を解決するために、同時にダイシング及びエッジシーリングを行い、且つ自動化生産を実現できるＰＰシートのダイシング装置を提供している。

本発明は、従来技術におけるＰＰシートをブレードでダイシングする場合に粉末飛散や糸飛散が発生してしまうため、後続するエッジシーリング工程及びエッジシーリング装置の追加を必要とし、生産コストの増加を招くとの技術問題を解決するために採用する技術案として、ＰＰシートの伝達機構を有するメインマウントと、メインマウント上に設けられた作業台と、作業台の上流側に設けられた仕込み機構と、マンマシンインターフェース制御システムとを備え、当該作業台は、レーザ及びレーザの出力したレーザビームを受け取りダイシングビームを形成するためのダイシングヘッドを含むＰＰシートのダイシング装置を提供している。

本発明による好ましい実施例として、仕込み機構は、プリカットＰＰシートの材料ロールを支持するための仕込み軸と、ＰＰシートの伝達方向を変えるように設置された中継ローラと、ＰＰシートの弛緩度を調節するための弛緩調節機構とを含み、弛緩調節機構は、固定軸と、固定軸の周りを回転するコネクチングロッドと、コネクチングロッド上に設けられた活動軸とを含んでいる。

本発明による好ましい実施例として、弛緩調節機構は、コネクチングロッドの回転範囲を制限するリミット機構をさらに含んでいる。

本発明による好ましい実施例として、メインマウント、作業台及び仕込み機構が連結され、一体化構造を形成し、ダイシング装置は、メインマウントに対して移動可能な仕出し機構をさらに備えている。

本発明による好ましい実施例として、ＰＰシート伝達機は、作業台の少なくとも一側に設けられたローラ伝達機構であり、ローラ伝達機構は、主動押し付けローラと、受動押し付けローラと、主動押し付けローラと受動押し付けローラとの間の相対圧力を調節するための圧力調節機構とを含み、作業台は、ＰＰシート伝達機構の伝達方向に垂直してダイシングヘッドを伝達するダイシングヘッド伝達機構をさらに含んでいる。

本発明による好ましい実施例として、作業台は、吹込み気流を生じるための空気圧縮装置をさらに含み、空気圧縮装置はダイシングヘッドと連通され、ダイシングヘッドにより吹込み気流をＰＰシートの表面にガイドする。

本発明による好ましい実施例として、作業台は、負圧型吸塵装置をさらに含んでいる。

本発明による好ましい実施例として、負圧型吸塵装置はダイシングヘッドの直下に設けられ、ダイシングヘッドの伝達方向と一致するスロット状の吸塵口を備えている。

本発明による好ましい実施例として、マンマシンインターフェース制御システムは、マンマシンインターフェースと、マンマシンインターフェースに接続されたコントローラと、コントローラにそれぞれに接続されたサーボ制御システム及びレーザ制御システムとを含んでいる。

本発明による好ましい実施例として、作業台上には、少なくとも２つのダイシングヘッドを含んでおり、少なくとも２つのダイシングヘッドがＰＰシート伝達機構の伝達方向に垂直する同一直線または対応する平行直線に設けられている。

本発明は、従来技術におけるＰＰシートをブレードでダイシングする場合に粉末飛散や糸飛散が発生してしまうため、後続するエッジシーリング工程及びエッジシーリング装置の追加を必要とし、生産コストの増加を招くとの技術問題を解決するために採用する他の技術案として、ａ. プリカットＰＰシートを与え、弛緩度を調節するステップと、ｂ. 第１の方向でプリカットＰＰシートを伝達するステップと、ｃ. レーザビームをガイドしてプリカットＰＰシートに作用させダイシングするステップと、ｄ.
スロット状のダイシングＰＰシートが得られるように、第１の方向に垂直する第２の方向でレーザビームを伝達させるステップとを含むＰＰシートのダイシング方法を提供している。

本発明による好ましい実施例として、ステップｂにおいて、プリカットＰＰシートの複数のダイシングが実現されるように、複数のレーザビームをプリカットＰＰシートに作用させダイシングする。

本発明による好ましい実施例として、複数のレーザビームは、分光装置又は複数の対応するレーザによって得られる。

本発明による好ましい実施例として、ダイシング方法は、さらに、マンマシンインターフェースを介してダイシングパラメータを取得するステップを含んでいる。

上記の構造及び方法によると、一体化されたＰＰシートレーザダイシング装置及びダイシング方法を提供し、ＰＰシートダイシング過程における粉末飛散や糸飛散の状況を避けることだけでなく、自動化ダイシングを実現し、生産コストも削減している。

従来のＰＰシートの構成を示す図。 従来の方式によってダイシングされたＰＰシートを構成する回路基板の構成を示す図。 本発明のＰＰシートのダイシング装置の一実施例の構成を示す図。 本発明の作業台の構成を示す図。 図４におけるＩ部分の部分拡大図。 本発明のＰＰシートのダイシング装置の他の一実施例の構成を示す図。 本発明のマンマシンインターフェース制御システムを示すブロック図。 本発明のＰＰシートのダイシング装置の作業のフローチャート図。

図３に示すように、本発明のＰＰシートのダイシング装置は、メインマウント２と、メインマウント２上に設けられた作業台１と、作業台１の上流側に設けられた仕込み機構３とを備えている。作業台１、メインマウント２、仕込み機構３が連結して一体化構造を形成している。また、当該ダイシング装置は、ユーザによってパラメータを設定し、各部品の動作を制御し協調して、ＰＰシートの自動化ダイシングが実現されるように、マンマシンインターフェース制御システムをさらに含んでいる。

メインマウント２には、ＰＰシート伝達機構が設けられている。本実施例において、ＰＰシート伝達機構は、作業台１の少なくとも一側に設けられたローラ伝達機構であり、該ローラ伝達機構は、主動押し付けローラ２３と、受動押し付けローラ２２と、主動押し付けローラ２３と受動押し付けローラ２２との間の相対圧力を調節するための圧力調節機構２１とを含んでいる。主動押し付けローラ２３は、ベルト又は類似な伝達機構を介してサーボモータに接続される。

作業台１は、適宜な波長及びエネルギー密度のレーザビームを生じるためのレーザ１１と、レーザ１１の出力したレーザビームを受け取ってダイシングビームを形成するためのダイシングヘッド１２と、ＰＰシート伝達機構の伝達方向に垂直してダイシングヘッド１２を伝達するダイシングヘッド伝達機構（図面せず）とを含んでいる。本実施例において、ダイシングヘッド１２は、サーボモータの駆動によって水平（又は垂直）レールに沿って直線運動することができ、これによって、ＰＰシートの横方向のダイシングを実現している。本実施例において、レーザ１１は、ＣＯ_２レーザを用い、波長９.４μmのレーザであることが好ましい。

仕込み機構３は、プリカットＰＰシート材料ロール４を支持するための仕込み軸３０と、ＰＰシート伝達方向を変えるように設けられた適宜数の中継ローラ３１と、ＰＰシートの弛緩度を調節するための弛緩調節機構３２とを含んでいる。弛緩調節機構３２は、位置固定された固定軸３２１と、固定軸３２１の回りを回転するコネクチングロッド３２２と、コネクチングロッド３２２に設けられた活動軸３２３とを含んでいる。仕込み軸３０は、適宜制動機構を介してその制動を制御するようになっている。また、弛緩調節機構３２は、コネクチングロッド３２２の回転範囲を制限するリミット機構３２４をさらに含んでいる。
ＰＰシートの仕込み過程において、まずＰＰシート材料ロール４を仕込み軸３０に取り付け、ＰＰシートは、仕込み機構３上の中継ローラ３１及び弛緩調節機構３２の活動軸３２３を経てメインマウント２上のローラ伝達機構に伝送されることによって、ＰＰシートの適時な供給を確保している。

圧力調節機構２１によって主動押し付けローラ２３と受動押し付けローラ２２との間の圧力を調節して、主動押し付けローラ２３、受動押し付けローラ２２及びＰＰシートの間で十分な摩擦力が発生するようにする。主動押し付けローラ２３と受動押し付けローラ２２との間の圧力は、主動押し付けローラ２３の駆動によるＰＰシートの安定な送りが実現されるように、ＰＰシートの左右振動も制限する。ＰＰシートは、伝送の間に作業台１のダイシング位置に到達すると、ダイシングヘッド１２の出力するダイシングビームによって縦方向のダイシングを行うことになる。切断されたＰＰシート材料は仕出し機構（図面せず）の上面に落ち込む。仕出し機構は、切断されたＰＰシート材料を容易に搬出されるように、メインマウント２に対して移動可能になっている。

図４及び図５にさらに示すように、ダイシングヘッド１２内部にはキャビティ１２１が設けられ、キャビティ１２１内にはフォーカシング素子１２２が設けられ、機構を適宜にガイドして、又は直接に入力したダイシングヘッド１２のレーザ光は、フォーカシング素子１２２を介して作業台１のダイシング位置にフォーカシングされ、通過するＰＰシートをダイシングすることになる。ダイシングヘッド１２のキャビティ１２１側には吹出し管１２３が設けられ、吹出し管１２３は、フォーカシング素子１２２とダイシングヘッド１２のレーザビーム出口との間に位置している。該吹出し管１２３は空気圧縮装置（図面せず）と連通されている。空気圧縮装置の発生した吹込み気流は、吹出し管１２３を介してダイシングヘッド１２のレーザビームの焦点、つまりＰＰシートの切り口へ吹出す。吹出し管１２３には、気流調節バルブ１２４が設けられ、気流の大きさを調節する。吹出し管１２３がフォーカシング素子１２２とダイシングヘッド１２のレーザビーム出口との間に位置しているため、空気圧縮装置で生じた吹込み気流は吹出し管１２３を介してダイシングヘッド１２のキャビティ１２１に吹き込んだ後、ダイシングヘッド１２のレーザビーム出口の位置へ流れることしかできず、該気流の高圧作用によって、ＰＰシートの切り口で生じた埃が高圧気流の流れに逆してダイシングヘッド１２のキャビティ１２１へ入り込むことがなく、フォーカシング素子１２２が汚染されないように確保する。また、空気圧縮装置は、切り口で生じる煙やカーボンブラックが吹付けられるように、他の適宜な方式によって作業台１の他の位置に設けられてもよい。

作業台１には、負圧型吸塵装置１３がさらに設けられている。本実施例において、負圧型吸塵装置１３は、ダイシングヘッド１２の直下に設けられ、且つダイシングヘッドの伝達方向に一致するスロット状の吸塵口１３１を設けている。吸塵口１３１の対向側には吸塵管１３２が設けられている。ダイシング過程において、吸塵口１３１からＰＰシートの切り口で生じる煙やカーボンブラックを吸い出している。また、ダイシングヘッド１２の横方向のダイシング過程において、吸塵口１３１は、ダイシングしようとするＰＰシートを適宜な位置に固定することもでき、横方向のダイシング過程においてＰＰシートの位置が変化しないように確保する。

図６に示すように、作業台１には、少なくとも２つのダイシングヘッド１２が設けられている。本実施例において、当該複数のダイシングヘッド１２は、ＰＰシートの伝達方向に垂直する同一直線に設けられ、分光機構を介して１つのレーザから、又は導光機構を介してそれぞれのレーザから出力するレーザビームを受け取ることによって、ＰＰシートの複数のダイシングを実現する。ただし、当該複数のダイシングヘッド１２は、ＰＰシートの伝達方向に垂直し、別の対応する平行直線にそれぞれ設けられ、それぞれの対応するレーザからレーザビームを受け取ってもよい。このような構造は、より高パワーのレーザ及び複雑な分光機構の使用を避け、各ダイシングヘッドのダイシング強度を確保すると共に、異なるダイシングヘッドの横方向のダイシングを容易にするとの利点がある。

ＰＰシートを矩形にダイシングする場合に、ＰＰシートの母材の幅及び必要するＰＰシートの幅に基づいてダイシングヘッド１２の位置及びピッチを配置することができる。複数のダイシングヘッド１２を同時に動作させることによって、大量にダイシングする時の高効率を確保している。

本発明のダイシング装置を用いてＰＰシートをダイシング加工する場合に、レーザビームの高温作用によってＰＰシートの切り口を自動的にシーリングされ、切り口での粉末飛散や糸飛散を完全に回避するようになる。また、レーザビームは非常に細く、エネルギーが集中されているため、ＰＰシートの切り口の回りに対する破壊が非常に小さいである。

また、空気圧縮装置を用いているため、レーザビームによりダイシングする場合に、該装置の生じた吹込み気流がＰＰシートの切り口へ向かって吹くようになり、その気流は、ＰＰシートの切り口をレーザビームと離れる瞬間に、高温から急速に冷却させることができ、その過程は、外部に露出されたガラス糸を焼入れし、脆化させる。そして、気流にて生じた力は、分離作用が強まるように、脆化されたガラス糸をクラックさせ剥げ落せる。その以外に、気流は、切り口で熱溶融された樹脂を吹き上げ、冷却後に新たに接合されるのを防止し、ＰＰシートがレーザビームの中で焼けて、切り口を大きくなることを防止することができる。

レーザビームにてダイシングする際に、吸塵装置は切り口の煙やカーボンブラックを吸い込むことができ、ＰＰシートの汚染を回避すると共に、環境を汚染することもない。また、吸塵口で生じた負圧は、横方向のダイシング過程においてＰＰシートを吸塵口の位置に固定することができ、ダイシングする場合に、ＰＰシートの位置が変化しないように確保することができ、レーザビームの焦点をＰＰシートのダイシング位置に容易に固定されるようにする。

図７に示すように、図７は、本発明のマンマシンインターフェース制御システムを示すブロック図である。本発明のＰＰシートのダイシング装置におけるマンマシンインターフェース制御システムは、マンマシンインターフェース（ＨＭＩ）と、コントローラと、サーボ制御システムと、レーザ制御システムとを含んでいる。本実施例において、マンマシンインターフェースは、タッチパネルを用い、コントローラは、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）を用いている。サーボ制御システムは、サーボ増幅器及びパルス発生器の制御に関連するサーボモータ（例えば、主動押し付けローラサーボモータ、ダイシングヘッド伝達サーボモータ）のオンオフ、回転方向、回転速度や変位量によって、各種類の部品の伝達を実現することができる。レーザ制御システムは、レーザ通信Ｉ/Ｏ板を介して制御信号を対応するレーザに伝送し、レーザのオンオフやパワー（エネルギー制御）を制御することができる。レーザ制御システムは、さらに、レーザ冷却システムを含んでもよい。マンマシンインターフェース制御システムは、さらに、警報や緊急停止制御システムを含んでもよい。

図８は本発明のＰＰシートのダイシング装置の作業フローチャートである。ダイシング過程において、ユーザは、マンマシンインターフェース制御システムを介して全体ダイシング過程を制御し、まず、どんな警報信号も発生しないように確保した場合に、マンマシンインターフェースを介して各種類のダイシングパラメータ、例えばダイシングヘッド１２のピッチ（横方向のダイシング幅）及び縦方向のダイシング長さ、対応するＰＰ材料番号、実際ダイシング速度、ロール材料の速度、レーザパワー、レーザ動作温度などを設定する。そのうち、レーザに関連するパラメータはレーザ通信Ｉ/Ｏ板を介して対応するレーザに伝送され、又は直接にレーザ冷却システムに伝送される。一方、ピッチ、長さ、速度等に関するサーボパラメータは、サーボ制御システムを介して対応するサーボモータに与えられる。そして、ＰＬＣリセットキーを起動すると、ＰＬＣは、対応するダイシングパラメータに従って各ダイシングヘッドの開始位置に初期位置決められる。続いて、ＰＬＣ自動ダイシングキーを起動した後に、ＰＰシート伝達機構はＰＰシートを推進し、同時に全てのダイシングヘッド１２がプログラムの制御下に一緒に動作し、ＰＰシートの縦方向のダイシングを完了して、その後にＰＰシート伝達機構は伝達停止される。全てのダイシングヘッド１２又はそのうちの所定数のダイシングヘッド１２は、ダイシングヘッド伝達機構の駆動にて横方向に運動し、ＰＰシートの横方向のダイシング完了して、ＰＰシートを所定長さ及び幅のスロット状の材料にダイシングする。ダイシング完了した後にリセットされ、それを繰り返す。また、制御システムは、レーザの積算作業時間を統計や、単に１回切り機能、レーザの手直し、グループごとの作業過程時間の統計、水温、水圧、気圧、サーボ等の異常状態の警報、装置に対する緊急停止の制御を行ってもよい。

上記の実施例では、本発明の好ましい実施形態の例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。当業者であれば、本発明の保護しようとする範囲と精神を離脱しない条件で、異なる実際ニーズに応じて様々な実施方式を工夫することができる。明細書、特許請求の範囲に記載された構成要素の数は、特に断りのない限り、単数又は複数を問わない。

Claims (14)

1. ＰＰシートの伝達機構を有するメインマウントと、
   前記メインマウント上に設けられた作業台と、
   マンマシンインターフェース制御システムとを備え、
   前記作業台は、
   レーザと、
   前記レーザの出力したレーザビームを受け取り、ダイシングビームを形成するためのダイシングヘッドと、
   前記作業台の上流側に設けられた仕込み機構と、を含む
   ことを特徴とするＰＰシートのダイシング装置。
2. 前記仕込み機構は、
   プリカットＰＰシートの材料ロールを支持するための仕込み軸と、
   ＰＰシートの伝達方向を変えるように設置された中継ローラと、
   ＰＰシートの弛緩度を調節するための弛緩調節機構とを含み、前記弛緩調節機構は、固定軸と、前記固定軸の周りを回転するコネクチングロッドと、前記コネクチングロッド上に設けられた活動軸とを含んでいることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
3. 前記弛緩調節機構は、前記コネクチングロッドの回転範囲を制限するリミット機構をさらに含んでいることを特徴とする請求項２に記載のダイシング装置。
4. 前記メインマウント、前記作業台及び前記仕込み機構が連結されて一体化構造を形成し、前記ダイシング装置は、前記メインマウントに対して移動可能な仕出し機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１、２又は３に記載のダイシング装置。
5. 前記ＰＰシート伝達機は、前記作業台の少なくとも一側に設けられたローラ伝達機構であり、前記ローラ伝達機構は、主動押し付けローラと、受動押し付けローラと、前記主動押し付けローラと前記受動押し付けローラとの間の相対圧力を調節するための圧力調節機構とを含み、前記作業台は、前記ＰＰシート伝達機構の伝達方向に垂直して前記ダイシングヘッドを伝達するダイシングヘッド伝達機構をさらに含んでいることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
6. 前記作業台は、吹込み気流を生じるための空気圧縮装置をさらに含み、前記空気圧縮装置は前記ダイシングヘッドと連通され、前記ダイシングヘッドにより前記吹込み気流をＰＰシートの表面にガイドすることを特徴とする請求項５に記載のダイシング装置。
7. 前記作業台は、負圧型吸塵装置をさらに含んでいることを特徴とする請求項５に記載のダイシング装置。
8. 前記負圧型吸塵装置は前記ダイシングヘッドの直下に設けられ、前記ダイシングヘッドの伝達方向と一致するスロット状の吸塵口を備えていることを特徴とする請求項７に記載のダイシング装置。
9. 前記マンマシンインターフェース制御システムは、マンマシンインターフェースと、前記マンマシンインターフェースに接続されたコントローラと、前記コントローラにそれぞれに接続されたサーボ制御システム及びレーザ制御システムとを含んでいることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
10. 前記作業台上には、少なくとも２つのダイシングヘッドを含んでおり、前記少なくとも２つのダイシングヘッドが前記ＰＰシート伝達機構の伝達方向に垂直する同一直線または対応する平行直線に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
11. ＰＰシートをダイシングする方法であって、
    ａ. プリカットＰＰシートを与え、弛緩度を調節するステップと、
    ｂ. 第１の方向で前記プリカットＰＰシートを伝達するステップと、
    ｃ. レーザビームをガイドして前記プリカットＰＰシートに作用させダイシングするステップと、
    ｄ. スロット状のダイシングＰＰシートが得られるように、前記第１の方向に垂直する第２の方向でレーザビームを伝達させるステップとを含む
    ことを特徴とするＰＰシートのダイシング方法。
12. 前記ステップｂにおいて、前記プリカットＰＰシートの複数のダイシングが実現されるように、複数のレーザビームを前記プリカットＰＰシートに作用させダイシングすることを特徴とする請求項１１に記載のダイシング方法。
13. 前記複数のレーザビームは、分光装置又は複数の対応するレーザによって得られることを特徴とする請求項１２に記載のダイシング方法。
14. 前記ダイシング方法は、さらに、マンマシンインターフェースを介してダイシングパラメータを取得するステップを含んでいることを特徴とする請求項１１に記載のダイシング方法。
    

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