JP2006054281A - Method and device for manufacturing electrochemical element - Google Patents

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克夫 直井
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裕二 石川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an electrochemical element, in which a laminate which contains an anode, an insulator layer and a cathode can be cut as desired, to manufacture a laminate part having a specified size, and the electrochemical element with a high reliability can be manufactured efficiently and at a high production yield. <P>SOLUTION: In the method for manufacturing the electrochemical element, a YVO laser 21 emitted from a laser light source 22 is applied on a laminate 7 which contains an anode 2, an insulator layer 4 and a cathode 3, and the laminate and the YVO laser are relatively moved to cut the laminate, and a laminate part 5 having a specified size is manufactured. A relative positional relationship between the laser light source and the laminate is varied in a thickness direction of the laminated body to cut the laminate, and the laminate part 5 having a given size is manufactured. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電気化学素子の製造方法および装置に関するものであり、さらに詳細には、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置に関するものである。   The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an electrochemical element, and more specifically, a laminate including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode is cut as desired. The present invention relates to a method and apparatus for manufacturing an electrochemical element that can produce a laminated part having a predetermined size and can manufacture a highly reliable electrochemical element efficiently and with a high yield. It is.

電気化学素子は、小型化、軽量化が容易であるため、携帯機器（小型電子機器）などのバックアップ用電源、電気自動車やハイブリッド自動車向けの補助電源などとしての利用が期待されており、その性能向上のため、種々の試みがなされている。   Electrochemical elements can be easily reduced in size and weight, and are expected to be used as backup power sources for portable devices (small electronic devices), auxiliary power sources for electric vehicles and hybrid vehicles. Various attempts have been made for improvement.

このような電気化学素子のうち、電気二重層キャパシタは、アルミニウムなどからなる集電体シート、アンダーコート層および陽極層が積層された陽極と、アルミニウムなどからなる集電体シート、アンダーコート層および陰極層が積層された陰極が、セパレータを介して、積層された積層体ユニットを、構成要素として含み、単一の積層体ユニットよりなる積層体部品あるいは複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層された構造を有する積層体を、金型を用いた打抜き加工によって、カットし、フィルムで包んだり、金属缶に収納したりして、製造されている。   Among such electrochemical elements, an electric double layer capacitor includes a current collector sheet made of aluminum or the like, an anode on which an undercoat layer and an anode layer are laminated, a current collector sheet made of aluminum or the like, an undercoat layer, and A cathode in which a cathode layer is laminated includes a laminate unit laminated as a constituent element via a separator, and a laminate part or a plurality of laminate units composed of a single laminate unit is interposed via a separator. The laminated body having a laminated structure is manufactured by being cut by a punching process using a mold, wrapped in a film, or stored in a metal can.

しかしながら、電気二重層キャパシタを作製するための積層体は、単一の積層体ユニットよりなる場合でも、５００μｍ以上の厚さを有していることがあり、複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層された構造を有している場合には、積層体の厚さが１ｍｍを超えることもあるため、金型を用いた打抜き加工によって、積層体をカットして、所定のサイズを有する積層体部品を作製するときは、金型から、積層体に大きな剪断力を加えることが必要になるため、切断面にばりや歪みが発生し、電気二重層キャパシタを生成したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があった。   However, even when the multilayer body for producing the electric double layer capacitor is composed of a single multilayer unit, it may have a thickness of 500 μm or more. In the case of having a laminated structure, the thickness of the laminated body may exceed 1 mm. Therefore, the laminated body is cut by punching using a mold to have a predetermined size. When producing laminated parts, it is necessary to apply a large shearing force to the laminated body from the mold, so that flash or distortion occurs on the cut surface, and when an electric double layer capacitor is generated, As a result, there has been a problem that it is impossible to obtain electrical characteristics as an electric double layer capacitor.

一方、レーザビームを用いて、積層体をカットして、所定のサイズを有する積層体部品を作製することも考えられるが、従来、レーザ切断に用いられているＹＡＧレーザは、そのパワーが大きすぎるため、積層体のレーザビームが照射された部分が過度に熱せられて、溶けてしまい、電気二重層キャパシタを生成したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があった。   On the other hand, it is conceivable to use a laser beam to cut the laminated body to produce a laminated part having a predetermined size, but the YAG laser conventionally used for laser cutting has too much power. Therefore, when the laser beam irradiated portion of the laminate is excessively heated and melts, and when an electric double layer capacitor is generated, it causes a short circuit, and the electric characteristics of the electric double layer capacitor are reduced. There was a problem that it could not be obtained.

陽極と、誘電体層と、陰極が、積層された積層体ユニットを、構成要素として含み、単一の積層体ユニットよりなる積層体部品あるいは複数の積層体ユニットが、陽極および／または陰極を共通にして、積層された構造を有する積層体を備えた固体電解コンデンサを作製するために、積層体を切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造する場合にも、同様の問題があった。   An anode, a dielectric layer, and a cathode include a laminate unit as a constituent element, and a laminate part or a plurality of laminate units composed of a single laminate unit share an anode and / or cathode. Thus, in order to produce a solid electrolytic capacitor having a laminated body having a laminated structure, a similar problem occurs when a laminated part having a predetermined size is manufactured by cutting the laminated body. It was.

したがって、本発明は、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置を提供することを目的とするものである。   Therefore, according to the present invention, a laminate including at least an anode, an insulator layer or dielectric layer, and a cathode can be cut as desired to produce a laminate component having a predetermined size. An object of the present invention is to provide an electrochemical element manufacturing method and apparatus capable of manufacturing a highly reliable electrochemical element efficiently and at a high yield.

本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、少なくとも、陽極と、絶縁体層と、陰極とを含む電気二重層キャパシタ用の積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、積層体とＹＶＯレーザを相対的に移動させて、積層体を切断する際に、レーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させた場合には、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止しつつ、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造し、信頼性が高い電気二重層キャパシタを、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になることを見出した。   As a result of intensive studies to achieve the object of the present invention, the present inventor has emitted a laser light source from a laminate for an electric double layer capacitor including at least an anode, an insulator layer, and a cathode. The relative positional relationship between the laser light source and the laminate changes in the thickness direction of the laminate when the laminate and the YVO laser are moved relative to each other to cut the laminate. In such a case, the laminated body is cut as desired while preventing the portion of the laminated body irradiated with the YVO laser from being heated excessively, and a laminated part having a predetermined size is manufactured. The present inventors have found that a highly reliable electric double layer capacitor can be manufactured efficiently and with a high yield.

本発明者のさらなる研究によれば、少なくとも、陽極と、誘電体層と、陰極とを含む固体電解コンデンサ用の積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、積層体とＹＶＯレーザを相対的に移動させて、積層体を切断する際に、レーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させた場合にも、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止しつつ、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造し、信頼性が高い固体電解コンデンサを、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になることを見出した。   According to further research by the present inventors, a laminate for a solid electrolytic capacitor including at least an anode, a dielectric layer, and a cathode is irradiated with a YVO laser emitted from a laser light source, and the laminate and the YVO laser are irradiated. When the relative position between the laser light source and the laminated body is changed in the thickness direction of the laminated body when the laminated body is cut by relatively moving, the YVO laser of the laminated body is irradiated. The laminated body is cut as desired to produce a laminated part having a predetermined size while preventing the heated portion from being heated excessively, and a highly reliable solid electrolytic capacitor is efficiently produced. And it has been found that it is possible to manufacture with a high yield.

本発明は、かかる知見に基づくものであり、本発明によれば、本発明の前記目的は、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、前記積層体と前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造する電気化学素子の製造方法であって、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、前記積層体の厚さ方向に変化させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造することを特徴とする電気化学素子の製造方法によって達成される。   The present invention is based on such knowledge. According to the present invention, the object of the present invention is to provide a laminate including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode from a laser light source. A method for producing an electrochemical device, wherein a YVO laser emitted is irradiated, the laminate and the YVO laser are moved relatively, the laminate is cut, and a laminate part having a predetermined size is produced. The relative positional relationship between the laser light source and the laminate is changed in the thickness direction of the laminate, and the laminate is cut to produce a laminate component having a predetermined size. This is achieved by the method for producing an electrochemical element.

本発明によれば、パワーが小さいＹＶＯレーザを用いて、積層体を切断するように構成されているから、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止することができ、アブレーション効果が大きく、加工部分以外への熱的影響を低減することができる。さらに、ＹＶＯレーザを用いて、積層体を切断する際、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させて、積層体を切断するように構成されているから、パワーが小さいＹＶＯレーザを用いる場合でも、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になる。   According to the present invention, since the laminated body is cut by using a YVO laser with low power, it is possible to prevent the portion of the laminated body irradiated with the YVO laser from being excessively heated. In addition, the ablation effect is large, and the thermal influence on parts other than the processed part can be reduced. Further, when the laminate is cut using the YVO laser, the relative positional relationship between the laser light source emitting the YVO laser and the laminate is changed in the thickness direction of the laminate so as to cut the laminate. Therefore, even when using a low-power YVO laser, the laminated body can be cut as desired to produce a laminated part having a predetermined size, and highly reliable electrochemical The device can be manufactured efficiently and with a high yield.

本発明の好ましい実施態様においては、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させて、前記積層体を切断するように構成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the relative positional relationship between the laser light source and the laminate is intermittently changed in the thickness direction of the laminate by 100 μm to 500 μm, and the laminate is cut. Is configured to do.

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし３００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させて、前記積層体を切断するように構成されている。   In a further preferred embodiment of the present invention, the relative positional relationship between the laser light source and the laminate is intermittently changed in the thickness direction of the laminate by 100 μm to 300 μm, and the laminate is It is configured to cut.

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層体の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the position of the laminate is changed in the thickness direction of the laminate.

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記レーザ光源の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。   In another preferred embodiment of the present invention, the position of the laser light source is changed in the thickness direction of the laminate.

本発明の好ましい実施態様においては、前記レーザ光源に対して、前記積層体を二次元的に移動させて、前記積層体を切断するように構成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the laminate is moved two-dimensionally with respect to the laser light source to cut the laminate.

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが積層されて構成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, each of the laminates is configured by laminating a plurality of laminate units each including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode.

本明細書において、積層体ユニットとは、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を指し、機能的な最小単位をいう。   In this specification, a laminate unit refers to a laminate including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode, and refers to a functional minimum unit.

本発明の好ましい実施態様によれば、複数の積層体ユニットが積層された構造を有する積層体を、同時に切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造することができるから、効率的に、複数の積層体ユニットが積層された構造を有する電気化学素子を製造することが可能になる。   According to a preferred embodiment of the present invention, a laminated body having a structure in which a plurality of laminated body units are laminated can be cut at the same time to produce a laminated part having a predetermined size. It becomes possible to manufacture an electrochemical element having a structure in which a plurality of laminate units are laminated.

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層されて構成されている。   In a further preferred embodiment of the present invention, the laminate is constituted by laminating a plurality of laminate units each including at least an anode, an insulator layer, and a cathode via a separator. Yes.

本発明のさらに好ましい実施態様によれば、複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層された構造を有する積層体を、同時に切断して、所定のサイズを有する積層体部品を製造することができるから、効率的に、複数の積層体ユニットが積層された構造を有する電気二重層キャパシタを製造することが可能になる。   According to a further preferred embodiment of the present invention, a laminate body having a structure in which a plurality of laminate units are laminated via separators is simultaneously cut to produce a laminate component having a predetermined size. Therefore, it is possible to efficiently manufacture an electric double layer capacitor having a structure in which a plurality of multilayer units are stacked.

本発明の前記目的はまた、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の表面に沿って、相対的に移動させる第一の移動機構と、前記積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の厚さ方向に、相対的に移動させる第二の移動機構と、前記ＹＶＯレーザが、前記積層体に照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置によって達成される。   According to another aspect of the present invention, there is provided a laminate including a laser light source that emits a YVO laser, at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode, and the laser light source along a surface of the laminate. A first moving mechanism for relatively moving, a second moving mechanism for relatively moving the stacked body and the laser light source in the thickness direction of the stacked body, and the YVO laser, This is achieved by an electrochemical element manufacturing apparatus comprising a dust collecting device and / or an air blowing device arranged in the vicinity of a position irradiated on the laminate.

本発明によれば、電気化学素子の製造装置は、パワーが小さいＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体とレーザ光源とを、積層体の厚さ方向に、相対的に移動させる第二の移動機構を備えているから、積層体のＹＶＯレーザが照射された部分が過度に熱せられることを防止することができ、さらに、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と積層体との相対的な位置関係を、積層体の厚さ方向に変化させて、ＹＶＯレーザを積層体に照射することができ、したがって、ＹＶＯレーザを用いて、積層体を、所望のように切断することが可能になる。   According to the present invention, an electrochemical device manufacturing apparatus includes a laser light source that emits a low-power YVO laser, a laminate including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode, and a laser light source. In addition, since the second moving mechanism that moves relatively in the thickness direction of the stacked body is provided, the portion irradiated with the YVO laser of the stacked body can be prevented from being excessively heated. The relative positional relationship between the laser light source that emits the YVO laser and the stacked body can be changed in the thickness direction of the stacked body to irradiate the stacked body with the YVO laser. The body can be cut as desired.

また、本発明によれば、電気化学素子の製造装置は、レーザ光源と積層体とを、積層体の表面に沿って、相対的に移動させる第一の移動機構を備えているから、ＹＶＯレーザを用いて、積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することが可能になる。   In addition, according to the present invention, the electrochemical device manufacturing apparatus includes the first moving mechanism that relatively moves the laser light source and the laminated body along the surface of the laminated body. The laminate can be cut as desired to produce a laminate part having a predetermined size, and a highly reliable electrochemical device can be produced efficiently and with a high yield. It becomes possible to do.

さらに、本発明によれば、電気化学素子の製造装置は、ＹＶＯレーザが、積層体に照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置を備えているから、ＹＶＯレーザによって、積層体を切断したときに生じる微粉やガスを、積層体の切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層体の切断によって発生した微粉が、電気化学素子に短絡を生じさせることを確実に防止して、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することが可能になる。   Furthermore, according to the present invention, the electrochemical device manufacturing apparatus includes the dust collecting device and / or the air blowing device arranged in the vicinity of the position where the YVO laser is irradiated on the laminated body. The fine powder and gas generated when the laminate is cut can be quickly removed from the cut portion of the laminate, and thus the fine powder generated by cutting the laminate causes a short circuit in the electrochemical element. It is possible to reliably produce an electrochemical element with high reliability and high yield.

本発明の好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させるように構成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the second moving mechanism intermittently changes the relative positional relationship between the laser light source and the laminated body in the thickness direction of the laminated body by 100 μm to 500 μm. It is configured to let you.

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし３００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させるように構成されている。   In a further preferred embodiment of the present invention, the second moving mechanism intermittently moves the relative positional relationship between the laser light source and the laminated body in the thickness direction of the laminated body by 100 μm to 300 μm. It is configured to change.

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記積層体の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。   In a further preferred embodiment of the present invention, the second moving mechanism is configured to change the position of the laminate in the thickness direction of the laminate.

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記第二の移動機構が、前記レーザ光源の位置を、前記積層体の厚さ方向に変化させるように構成されている。   In another preferred embodiment of the present invention, the second moving mechanism is configured to change the position of the laser light source in the thickness direction of the stacked body.

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層体が長尺状をなし、前記移動機構が、長尺状の前記積層体を搬送する積層体搬送機構と、前記ＹＶＯレーザの走査機構とによって構成されている。   In a preferred embodiment of the present invention, the stacked body has a long shape, and the moving mechanism is configured by a stacked body transport mechanism that transports the long stacked body and a scanning mechanism of the YVO laser. ing.

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記積層体が所定のサイズを有するシート状をなし、電気化学素子の製造装置が、さらに、前記積層体を支持する支持テーブルを備え、前記移動機構が、前記支持テーブルを三次元的に移動させるテーブル移動機構によって構成されている。   In another preferred embodiment of the present invention, the laminate has a sheet shape having a predetermined size, the electrochemical device manufacturing apparatus further includes a support table for supporting the laminate, and the moving mechanism is , And a table moving mechanism for moving the support table three-dimensionally.

本発明によれば、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体を、所望のように切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、効率的に、かつ、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置を提供することが可能になる。   According to the present invention, a laminate including at least an anode, an insulator layer or dielectric layer, and a cathode can be cut as desired to produce a laminate component having a predetermined size. It is possible to provide a method and an apparatus for manufacturing an electrochemical device capable of manufacturing a highly reliable electrochemical device efficiently and with a high yield.

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって製造される電気二重層キャパシタが構成要素して含む積層体ユニットの略断面図である。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a multilayer unit included as a constituent element of an electric double layer capacitor manufactured by an apparatus for manufacturing an electric double layer capacitor according to a preferred embodiment of the present invention.

積層体ユニット１は長尺状をなし、図１に示されるように、アノード電極用シート２と、カソード電極用シート３が、セパレータ４を介して、貼り合わされている。   The laminate unit 1 has a long shape, and as shown in FIG. 1, an anode electrode sheet 2 and a cathode electrode sheet 3 are bonded together with a separator 4 interposed therebetween.

アノード電極用シート２は、アルミニウムによって形成された集電体シート１０と、集電体シート１０の両面に塗布されたアンダーコート層１１ａ、１１ｂと、アンダーコート層１１ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ａと、アンダーコート層１１ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ｂとを含んでいる。   The anode electrode sheet 2 includes a current collector sheet 10 made of aluminum, undercoat layers 11a and 11b applied to both surfaces of the current collector sheet 10, and a carbon material applied to the surface of the undercoat layer 11a. And a porous layer 12b containing a carbon material applied to the surface of the undercoat layer 11b.

アノード電極用シート２は、たとえば、２００μｍないし３００μｍの厚さを有している。   The anode electrode sheet 2 has a thickness of 200 μm to 300 μm, for example.

図１に示されるように、カソード電極用シート３は、アノード電極用シート２と同様に構成され、アルミニウムによって形成された集電体シート１５と、集電体シート１５の両面に塗布されたアンダーコート層１６ａ、１６ｂと、一方のアンダーコート層１６ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ａと、他方のアンダーコート層１６ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ｂとを含んでいる。   As shown in FIG. 1, the cathode electrode sheet 3 is configured in the same manner as the anode electrode sheet 2, and a current collector sheet 15 formed of aluminum and an undercoat applied to both surfaces of the current collector sheet 15. Coat layers 16a and 16b, a porous layer 17a containing a carbon material applied to the surface of one undercoat layer 16a, and a porous layer 17b containing a carbon material applied to the surface of the other undercoat layer 16b Is included.

カソード電極用シート３は、たとえば、２００μｍないし３００μｍの厚さを有している。   The cathode electrode sheet 3 has a thickness of, for example, 200 μm to 300 μm.

セパレータ４は、たとえば、２０μｍないし３０μｍの厚さを有している。   The separator 4 has a thickness of 20 μm to 30 μm, for example.

したがって、積層体ユニット１は、たとえば、４２０μｍないし６３０μｍの厚さを有している。   Therefore, the multilayer unit 1 has a thickness of 420 μm to 630 μm, for example.

図２は、図１に示された積層体ユニット１の矢印Ａの方向から見た略平面図であり、図３は、図１に示された積層体ユニット１の矢印Ｂの方向から見た略平面図である。   2 is a schematic plan view of the laminate unit 1 shown in FIG. 1 as seen from the direction of arrow A, and FIG. 3 is seen from the direction of arrow B of the laminate unit 1 shown in FIG. It is a schematic plan view.

図２に示されるように、アノード電極用シート２の集電体シート１０の一方の表面には、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１１ａおよび多孔質層１２ａが形成され、図２には図示されていないが、アノード電極用シート２の集電体シート１０の他方の表面にも、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１１ｂおよび多孔質層１２ｂが形成されている。   As shown in FIG. 2, an undercoat layer 11a and a porous layer 12a are formed on one surface of the current collector sheet 10 of the anode electrode sheet 2 except in the vicinity of one edge in the longitudinal direction. Although not shown in the figure, an undercoat layer 11b and a porous layer 12b are also formed on the other surface of the current collector sheet 10 of the anode electrode sheet 2 except in the vicinity of one edge in the longitudinal direction.

図３に示されるように、カソード電極用シート３の集電体シート１５の一方の表面には、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１６ａおよび多孔質層１７ａが形成され、図３には図示されていないが、カソード電極用シート３の集電体シート１５の他方の表面にも、長手方向一縁部近傍を除き、アンダーコート層１６ｂおよび多孔質層１７ｂが形成されている。   As shown in FIG. 3, an undercoat layer 16a and a porous layer 17a are formed on one surface of the current collector sheet 15 of the cathode electrode sheet 3 except in the vicinity of one edge in the longitudinal direction. Although not shown in the figure, an undercoat layer 16b and a porous layer 17b are also formed on the other surface of the current collector sheet 15 of the cathode electrode sheet 3 except in the vicinity of one edge in the longitudinal direction.

図２に示されるように、アノード電極用シート２には、規則的に、開口部１３が形成され、図３に示されるように、カソード電極用シート３には、規則的に、開口部１８が形成されている。   As shown in FIG. 2, openings 13 are regularly formed in the anode electrode sheet 2, and the openings 18 are regularly formed in the cathode electrode sheet 3 as shown in FIG. 3. Is formed.

図２および図３に示されるように、アノード電極用シート２の開口部１３と、カソード電極用シート３の開口部１８は、それぞれのリードに相当する部分の幅だけ、オフセットされた位置に形成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the opening 13 of the anode electrode sheet 2 and the opening 18 of the cathode electrode sheet 3 are formed at offset positions by the width of the portion corresponding to each lead. Has been.

アノード電極用シート２の開口部１３およびカソード電極用シート３の開口部１８は、打抜き加工によって、形成されてもよいが、後述する電気化学キャパシタの製造装置を用いて、ＹＶＯレーザによって、形成されることが好ましい。   The opening 13 of the anode electrode sheet 2 and the opening 18 of the cathode electrode sheet 3 may be formed by punching, but are formed by a YVO laser using an electrochemical capacitor manufacturing apparatus described later. It is preferable.

また、図２および図３には示されていないが、セパレータ４の一縁部は、アノード電極用シート２の開口部１３およびカソード電極用シート３の開口部１８内に位置しており、アノード電極用シート２とカソード電極用シート３とが、セパレータ４によって、絶縁されている。   Although not shown in FIGS. 2 and 3, one edge of the separator 4 is located in the opening 13 of the anode electrode sheet 2 and the opening 18 of the cathode electrode sheet 3. The electrode sheet 2 and the cathode electrode sheet 3 are insulated by the separator 4.

図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき電気二重層キャパシタ用の積層体部品の略断面図であり、図５は、その略平面図である。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a multilayer component for an electric double layer capacitor to be manufactured by the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic plan view thereof. is there.

図４に示されるように、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき電気二重層キャパシタ用の積層体部品５は、３枚の積層体ユニット１が、セパレータ４を介して、互いに積層された構造を有し、図５に示されるように、各積層体ユニット１を構成するアノード電極用シート２の集電体シート１０の多孔質層１２が形成されていない部分が、リード６として機能する略矩形状の部分を残して、切断され、カソード電極用シート３の集電体シート１５の多孔質層１７が形成されていない部分が、リード６として機能する略矩形状の部分を残して、切断されて、積層体部品５が作製される。   As shown in FIG. 4, the multilayer part 5 for an electric double layer capacitor to be manufactured by the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to the preferred embodiment of the present invention includes three multilayer units 1. As shown in FIG. 5, the porous layer 12 of the current collector sheet 10 of the anode electrode sheet 2 constituting each laminate unit 1 is formed through the separator 4. The portion where the porous layer 17 of the current collector sheet 15 of the cathode electrode sheet 3 is not formed functions as the lead 6 while the portion that is not cut is left leaving a substantially rectangular portion that functions as the lead 6. The laminated body component 5 is manufactured by cutting the substantially rectangular portion.

図６は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。   FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of an electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断して、所定の形状を有する電気二重層キャパシタ用の積層体部品５を作製可能に構成されており、図６に示されるように、その上面で、積層体ユニット１を支持する支持テーブル２０と、支持テーブル２０の上方に配置され、支持テーブル２０に向けて、ＹＶＯレーザ２１を発するレーザ光源２２と、ｆθレンズ２３と、支持テーブル２０に向けて、エアを放出するエアブロー装置２４とを備えている。本実施態様において、ｆθレンズ２３は、その角度が制御可能に構成されている。   The apparatus for manufacturing an electric double layer capacitor according to this embodiment cuts a laminated body 7 having a structure in which three long laminated body units 1 are laminated via a separator 4 to obtain a predetermined shape. The multilayer part 5 for the electric double layer capacitor is configured so as to be manufactured. As shown in FIG. 6, the upper surface of the multilayer part 5 supports the multilayer unit 1, and the support table 20 is above the support table 20. A laser light source 22 that is arranged and emits a YVO laser 21 toward the support table 20, an fθ lens 23, and an air blow device 24 that emits air toward the support table 20 are provided. In this embodiment, the fθ lens 23 is configured such that its angle can be controlled.

本実施態様においては、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の切断にあたり、積層体７は静止状態に保持され、ＹＶＯレーザ２１が、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、積層体７に照射されるように、レーザ光源２２が走査機構（図示せず）によって走査されるように構成されている。   In the present embodiment, when the laminate 7 having a structure in which the three long laminate units 1 are laminated via the separator 4, the laminate 7 is held in a stationary state, and the YVO laser 21. However, the laser light source 22 is configured to be scanned by a scanning mechanism (not shown) so that the multilayer body 7 is irradiated along the portion corresponding to the edge of the multilayer body component 5 to be manufactured. Yes.

支持テーブル２０のＹＶＯレーザ２１が照射される部分には、ＹＶＯレーザ２１が透過する空隙部が形成されている。図６においては、空隙部は、参照番号２５ａおよび２５ｂによって示されているが、本実施態様においては、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する積層体７の部分に沿って、ＹＶＯレーザ２１が照射されるから、空隙部２５ａ、２５ｂは、支持テーブル２０に、枠状に形成されている。   In the portion of the support table 20 that is irradiated with the YVO laser 21, a gap that allows the YVO laser 21 to pass therethrough is formed. In FIG. 6, the voids are indicated by reference numerals 25a and 25b, but in the present embodiment, along the portion of the laminate 7 corresponding to the edge of the laminate part 5 to be produced, YVO Since the laser 21 is irradiated, the gaps 25 a and 25 b are formed in a frame shape on the support table 20.

また、図６に示されるように、支持テーブル２０に形成された空隙部２５ａ、２５ｂ内には、それぞれ、集塵装置（図示せず）の集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されている。図６においては、２つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂのみが図示されているが、前述のように、支持テーブル２０には、空隙部２５ａ、２５ｂが枠状に形成されているから、作製すべき積層体部品５の縁部に対応して形成された空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されている。   In addition, as shown in FIG. 6, dust collection nozzles 26 a and 26 b of a dust collector (not shown) are arranged in the gaps 25 a and 25 b formed in the support table 20, respectively. In FIG. 6, only two dust collecting nozzles 26a and 26b are shown, but as described above, the support table 20 is formed with the gaps 25a and 25b in a frame shape, and thus should be manufactured. One dust collection nozzle 26a, 26b is disposed in each gap formed corresponding to the edge of the multilayer component 5.

積層体７は、たとえば、カソード電極用シート３上に、、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４およびアノード電極用シート２を、順次、積層して、作製されている。   For example, the laminate 7 is formed on the cathode electrode sheet 3, the separator 4, the anode electrode sheet 2, the separator 4, the cathode electrode sheet 3, the separator 4, the anode electrode sheet 2, the separator 4, and the cathode electrode sheet. 3, the separator 4 and the anode electrode sheet 2 are sequentially laminated.

図７は、図６に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。   FIG. 7 is a block diagram showing a control system, a drive system, and an input system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus shown in FIG.

図７に示されるように、本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の制御系は、電気二重層キャパシタの製造装置全体の動作を制御するコントローラ４０を備えている。   As shown in FIG. 7, the control system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to this embodiment includes a controller 40 that controls the operation of the entire electric double layer capacitor manufacturing apparatus.

また、電気二重層キャパシタの製造装置の駆動系は、ＹＶＯレーザ２１が、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７に照射されるように、レーザ光源２２を走査する走査機構４１と、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して、昇降させるテーブル昇降機構４２と、長尺状の積層体７を繰り出す繰り出しローラ２７と、長尺状の積層体７を巻き取る巻き取りローラ３０とを備え、電気二重層キャパシタの製造装置の入力系は、キーボード４３を備えている。   In addition, the drive system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus is such that the YVO laser 21 has three elongated shapes through the separator 4 along the portion corresponding to the edge of the multilayer component 5 to be manufactured. A scanning mechanism 41 that scans the laser light source 22 so as to irradiate the multilayer body 7 having a structure in which the multilayer body unit 1 is laminated, and a table lifting mechanism 42 that raises and lowers the support table 20 relative to the laser light source 22. A take-out roller 27 for feeding out the long laminate 7 and a take-up roller 30 for taking up the long laminate 7, and the input system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus comprises a keyboard 43. ing.

以上のように構成された本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、以下のようにして、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断して、所定のサイズを有する積層体部品５を作製する。   The electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to the present embodiment configured as described above has a structure in which three long laminate units 1 are laminated via a separator 4 as follows. The laminated body 7 is cut to produce a laminated part 5 having a predetermined size.

まず、ユーザーによって、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７が、多孔質層１２ａが上を向くように、繰り出しローラ２７から繰り出され、積層体７の切断されるべき部分が、支持テーブル２０の空隙部２５ａ、２５ｂ上に位置するまで、積層体７が、巻き取りローラ３０によって巻き取られる。   First, a laminate 7 having a structure in which three long laminate units 1 are laminated via a separator 4 is fed from a feed roller 27 by a user so that the porous layer 12a faces upward. Then, the laminate 7 is wound up by the take-up roller 30 until the portions to be cut of the laminate 7 are positioned on the gaps 25 a and 25 b of the support table 20.

次いで、ユーザーによって、キーボード４３に、作製すべき積層体部品５のサイズおよび厚さを示す切断データが入力され、スタート信号が入力される。   Next, the user inputs cutting data indicating the size and thickness of the laminate part 5 to be manufactured and inputs a start signal to the keyboard 43.

キーボード４３に入力された切断データとスタート信号は、コントローラ４０に出力され、コントローラ４０は、切断データとスタート信号が入力されると、切断データにしたがって、テーブル昇降機構４２に第一の位置決め信号を出力する。   The cutting data and start signal input to the keyboard 43 are output to the controller 40. When the cutting data and start signal are input, the controller 40 sends a first positioning signal to the table lifting mechanism 42 according to the cutting data. Output.

第一の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構４２は、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の上表面からの距離が第一の距離に等しい位置、たとえば、積層体７の上表面からの距離が１００μｍに等しい第一のフォーカス位置にフォーカスされるように、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して昇降させて、位置決めする。   Upon receiving the first positioning signal, the table elevating mechanism 42 has a structure in which the YVO laser 21 emitted from the laser light source 22 is stacked with the three long laminate units 1 through the separator 4. The support table 20 is placed so that the distance from the upper surface of the stacked body 7 having the same is equal to the first distance, for example, the first focus position where the distance from the upper surface of the stacked body 7 is equal to 100 μm. Then, the laser light source 22 is moved up and down for positioning.

次いで、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動信号を出力して、レーザ光源２２をオンさせるとともに、走査機構４１に、走査信号を出力して、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１を、初期位置から、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を移動させる。   Next, the controller 40 outputs a drive signal to the laser light source 22 to turn on the laser light source 22, and also outputs a scanning signal to the scanning mechanism 41, so that the YVO laser 21 focused at the first focus position is displayed. From the initial position, the laminate 7 is moved along the edge of the laminate component 5 to be manufactured.

ここに、積層体部品５の縁部が、積層体７の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断されるように、積層体７に照射されたＹＶＯレーザ２１のビーム断面と、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する積層体７の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ２３の角度が調整されることが好ましい。   Here, the beam cross section of the YVO laser 21 irradiated to the laminate 7 so that the edge of the laminate component 5 is cut so as to have an angle of approximately 90 ° with respect to the surface of the laminate 7. The angle of the fθ lens 23 is preferably adjusted so that the angle at which the portion of the laminate 7 corresponding to the edge of the laminate part 5 to be manufactured intersects is approximately 90 °.

その結果、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が照射された部分が加熱されて、溶融される。   As a result, the portion irradiated with the YVO laser 21 focused on the first focus position of the laminate 7 having a structure in which the three long laminate units 1 are laminated is heated via the separator 4. And melted.

本実施態様においては、パワーの小さいＹＶＯレーザ２１が用いられているため、第一のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ２１によって、切断される。   In this embodiment, since the low-power YVO laser 21 is used, a structure in which three long laminate units 1 are laminated from the first focus position via the separator 4 is provided. Only the portion located in the range of ± 100 μm to 250 μm in the thickness direction of the laminated body 7 is melted and cut by the YVO laser 21.

この際、積層体７の切断にともなって、微粉やガスが発生するが、本実施態様においては、エアブロアー装置３４が設けられているから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、また、支持テーブル２０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層体７を切断した際に発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。   At this time, fine powder and gas are generated along with the cutting of the laminated body 7, but in the present embodiment, since the air blower device 34 is provided, when the laminated body 7 is cut by the YVO laser 21. The generated fine powder and gas can be quickly removed from the cut portion of the laminate 7, and one dust collection nozzle 26a, 26b is disposed in each gap portion of the support table 20, respectively. The fine powder and gas generated when the laminated body 7 is cut by the YVO laser 21 can be quickly removed from the cut portion of the laminated body 7, and accordingly, the fine powder generated when the laminated body 7 is cut, It is possible to reliably prevent a short circuit from occurring in the electric double layer capacitor.

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７上を、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が移動された結果、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰すると、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源２２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第二の位置決め信号を出力する。   A laminate 7 having a structure in which three long laminate units 1 are laminated via a separator 4 along an edge of a laminate component 5 to be manufactured is set at a first focus position. As a result of the movement of the focused YVO laser 21, when the YVO laser 21 returns to the initial position, the controller 40 outputs a drive stop signal to the laser light source 22 to turn off the laser light source 22 and to turn the table lifting mechanism 42. In addition, a second positioning signal is output.

第二の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構４２は、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に、第一のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が３００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して昇降させて、位置決めする。   Upon receiving the second positioning signal, the table elevating mechanism 42 has a structure in which the YVO laser 21 emitted from the laser light source 22 is stacked with the three long laminate units 1 through the separator 4. So that the distance from the first focus position is focused to a second focus position equal to a unit movement distance, for example, 200 μm, in the thickness direction of the stacked body 7, that is, from the upper surface of the stacked body 7. The support table 20 is moved up and down with respect to the laser light source 22 so as to be focused at the second focus position equal to 300 μm.

次いで、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動信号を出力して、レーザ光源２２をオンさせるとともに、走査機構４１に、走査信号を出力して、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第二のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１を移動させる。   Next, the controller 40 outputs a drive signal to the laser light source 22 to turn on the laser light source 22 and outputs a scanning signal to the scanning mechanism 41 along the edge of the multilayer component 5 to be manufactured. Then, the YVO laser 21 focused on the second focus position is moved on the stacked body 7.

その結果、第二のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ２１によって、切断される。   As a result, it is located in the range of ± 100 μm to 250 μm from the second focus position in the thickness direction of the laminate 7 having a structure in which the three long laminate units 1 are laminated via the separator 4. Only the portion to be melted is melted and cut by the YVO laser 21.

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第二のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が移動された結果、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰すると、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源２２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第三の位置決め信号を出力する。   When the YVO laser 21 focused on the second focus position is moved on the laminate 7 along the edge of the laminate part 5 to be manufactured, the controller 40 returns when the YVO laser 21 returns to the initial position. Outputs a drive stop signal to the laser light source 22, turns off the laser light source 22, and outputs a third positioning signal to the table lifting mechanism 42.

第三の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構４２は、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に、第二のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が５００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル２０を、レーザ光源２２に対して昇降させて、位置決めする。   Upon receiving the third positioning signal, the table elevating mechanism 42 has a structure in which the YVO laser 21 emitted from the laser light source 22 is stacked with the three long laminate units 1 through the separator 4. So that the distance from the second focus position is focused to a third focus position equal to a unit movement distance, for example, 200 μm, in the thickness direction of the stacked body 7, that is, from the upper surface of the stacked body 7. The support table 20 is moved up and down with respect to the laser light source 22 so as to be focused at the third focus position equal to 500 μm.

次いで、コントローラ４０は、レーザ光源２２に駆動信号を出力して、レーザ光源２２をオンさせるとともに、走査機構４１に、走査信号を出力して、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、ＹＶＯレーザ２１を移動させる。   Next, the controller 40 outputs a drive signal to the laser light source 22 to turn on the laser light source 22 and outputs a scanning signal to the scanning mechanism 41 along the edge of the multilayer component 5 to be manufactured. The YVO laser 21 is moved on the stacked body 7.

その結果、第三のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ２１によって、切断される。   As a result, it is located within the range of ± 100 μm to 250 μm from the third focus position in the thickness direction of the laminate 7 having a structure in which the three long laminate units 1 are laminated via the separator 4. Only the portion to be melted is melted and cut by the YVO laser 21.

同様にして、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、ＹＶＯレーザ２１が移動され、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源２２から発せられたＹＶＯレーザ２１が、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さ方向に、単位移動距離、たとえば、２００μｍづつ、レーザ光源２２から離れた位置に、フォーカスされるように、テーブル昇降機構４２によって、支持テーブル２０が位置決めされて、ＹＶＯレーザ２１が、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を走査され、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断される。   Similarly, each time the YVO laser 21 is moved on the laminate 7 along the edge of the laminate part 5 to be manufactured and the YVO laser 21 returns to the initial position, the laser light source 22 emits the laser beam. The YVO laser 21 has a structure in which the three long laminate units 1 are laminated via the separator 4 in the thickness direction of the laminate 7, for example, every 200 μm, for each 200 μm, the laser light source 22. The support table 20 is positioned by the table elevating mechanism 42 so as to be focused at a position away from the center, and the YVO laser 21 moves on the laminate 7 along the edge of the laminate component 5 to be manufactured. The laminated body 7 which is scanned and has a structure in which the three long laminated body units 1 are laminated through the separator 4 is cut little by little in the thickness direction.

こうして、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７が、所定のサイズに切断されて、積層体部品５が作製されると、コントローラ４０は、繰り出しローラ２７および巻き取りローラ３０に、それぞれ、駆動信号を出力して、積層体７を、支持テーブル２０上で、１ピッチに相当する距離だけ、移動させる。   Thus, when the laminate 7 having a structure in which the three long laminate units 1 are laminated via the separator 4 is cut into a predetermined size to produce the laminate component 5, the controller 40 outputs a drive signal to the feeding roller 27 and the take-up roller 30, respectively, and moves the laminated body 7 on the support table 20 by a distance corresponding to one pitch.

その結果、次の積層体部品５が切り出されるべき積層体７の部分が、支持テーブル２０の空隙部２５ａ、２５ｂ上に位置決めされる。   As a result, the portion of the laminate 7 from which the next laminate component 5 is to be cut is positioned on the gaps 25 a and 25 b of the support table 20.

ここに、１ピッチの長さは、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さよりもわずかに大きくなるように設定される。   Here, the length of one pitch is set to be slightly larger than the length of the multilayer body component 5 in the transport direction of the multilayer body 7.

セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さがある厚さを越えると、打抜き加工によって、切断するためには、金型から、積層体７に大きな剪断力を加えることが必要になるため、切断面にばりや歪みが発生し、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があり、その一方で、従来、レーザ切断に広く用いられているＹＡＧレーザは、そのパワーが大きすぎるため、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７のレーザビームが照射された部分が過度に熱せられて、溶けてしまい、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があったが、本実施態様によれば、重ね合わされた３枚の積層体ユニット１は、パワーの低いＹＶＯレーザ２１によって、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断されるように構成されているから、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７の厚さが、たとえば、３ｍｍ程度になっても、所望のように、セパレータ４を介して、長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断して、積層体部品５を作製することができ、したがって、信頼性が高い電気二重層キャパシタを、高い歩留まりで製造することが可能になる。   When the thickness of the laminate 7 having a structure in which the long laminate units 1 are laminated via the separator 4 exceeds a certain thickness, the die is cut from the mold to be cut by punching. Since it is necessary to apply a large shearing force to the body 7, flash or distortion occurs on the cut surface, which causes a short circuit when an electric double layer capacitor is manufactured. On the other hand, there is a problem that the characteristics cannot be obtained. On the other hand, the YAG laser, which has been widely used for laser cutting in the past, has too much power. The portion irradiated with the laser beam of the laminated body 7 having a structure in which 1 is laminated is excessively heated and melted, which causes a short circuit when an electric double layer capacitor is manufactured. Although there is a problem that it is impossible to obtain the electrical characteristics as a double layer capacitor, according to the present embodiment, the three stacked unit 1 are superposed on the separator 4 by the low power YVO laser 21. The laminated body 7 having a structure in which the long laminated body units 1 are laminated is configured to be cut little by little in the thickness direction. Even if the thickness of the laminate 7 having a structure in which the laminar laminate unit 1 is laminated is about 3 mm, for example, the elongated laminate unit 1 is interposed via the separator 4 as desired. It is possible to cut the multilayer body 7 having a structure in which the multilayer structure 5 is laminated to manufacture the multilayer body component 5, and thus it is possible to manufacture a highly reliable electric double layer capacitor with a high yield.

また、本実施態様によれば、支持テーブル２０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル２６ａ、２６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、集塵ノズル２６ａ、２６ｂによって回収することができ、したがって、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することが可能になるから、ＹＶＯレーザ２１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。   Further, according to the present embodiment, since one dust collection nozzle 26a, 26b is disposed in each gap of the support table 20, it is generated when the laminate 7 is cut by the YVO laser 21. Fine powder and gas can be collected by the dust collection nozzles 26a and 26b. Therefore, the fine powder and gas generated when the laminated body 7 is cut by the YVO laser 21 are quickly removed from the cut portion of the laminated body 7. Therefore, it is possible to reliably prevent the electric double layer capacitor from being short-circuited by the fine powder generated when the multilayer body 7 is cut by the YVO laser 21.

さらに、本実施態様によれば、次の積層体部品５を作製するために、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を移動させる距離を、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さよりもわずかに大きくなるように設定すればよく、材料の歩留まりを向上させることが可能になる。   Furthermore, according to this embodiment, in order to produce the next laminated body component 5, the laminated body 7 having a structure in which the three long laminated body units 1 are laminated is moved via the separator 4. What is necessary is just to set the distance to make it slightly larger than the length of the laminated body component 5 in the conveyance direction of the laminated body 7, and it becomes possible to improve the yield of material.

図８は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。   FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of an electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to another preferred embodiment of the present invention.

本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を、所定の長さを有するように裁断して作製したセパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を切断して、所定の形状の積層体部品５を作製可能に構成されており、図８に示されるように、その上面で、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を支持する支持テーブル５０と、支持テーブル５０の上方に配置され、支持テーブル５０に向けて、ＹＶＯレーザ５１を発するレーザ光源５２と、ｆθレンズ５３と、支持テーブル５０に向けて、エアを放出するエアブロー装置５４とを備えている。本実施態様において、ｆθレンズ５３は、その角度が制御可能に構成されている。   In the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to the present embodiment, a laminate 7 having a structure in which three long laminate units 1 are laminated via a separator 4 has a predetermined length. A sheet-like laminate 7 having a structure in which three laminate units 1 are laminated is cut through a separator 4 produced by cutting the laminate into a predetermined shape so that a laminate component 5 having a predetermined shape can be produced. As shown in FIG. 8, a support table 50 that supports a sheet-like laminate 7 having a structure in which three laminate units 1 are laminated via a separator 4 on the upper surface thereof, as shown in FIG. A laser light source 52 that emits a YVO laser 51 toward the support table 50, an fθ lens 53, and an air blow device 54 that discharges air toward the support table 50 is provided above the support table 50. There. In this embodiment, the fθ lens 53 is configured such that its angle can be controlled.

本実施態様においては、支持テーブル５０は、数値制御されたテーブル移動機構（図示せず）により、略水平面内において、移動可能に構成されており、一方、レーザ光源５２は静止状態に保持されている。   In this embodiment, the support table 50 is configured to be movable in a substantially horizontal plane by a numerically controlled table moving mechanism (not shown), while the laser light source 52 is held stationary. Yes.

上述のように、本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を、所定のサイズに切断して、図４および図５に示される積層体部品５を作製可能に構成されており、したがって、支持テーブル５０は、ＹＶＯレーザ５１が、図４および図５に示される作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７に照射される。   As described above, the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to the present embodiment has a sheet-like laminate 7 having a structure in which three laminate units 1 are laminated via a separator 4 with a predetermined size. 4 and 5 so that the laminate part 5 shown in FIGS. 4 and 5 can be manufactured. Therefore, the support table 50 is formed by the YVO laser 51 using the laminate to be manufactured shown in FIGS. A sheet-like laminate 7 having a structure in which three laminate units 1 are laminated along a portion corresponding to the edge of the body part 5 is irradiated.

支持テーブル５０のＹＶＯレーザ５１が照射される部分には、ＹＶＯレーザ５１が透過する空隙部が形成されている。図８においては、空隙部は、参照番号５５ａおよび５５ｂによって示されているが、本実施態様においては、図４および図５に示される作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、ＹＶＯレーザ５１が照射されるから、空隙部５５ａ、５５ｂは、支持テーブル５０に、枠状に形成されている。   In the portion of the support table 50 that is irradiated with the YVO laser 51, a gap through which the YVO laser 51 passes is formed. In FIG. 8, the voids are indicated by reference numerals 55a and 55b. In this embodiment, the gaps are formed at portions corresponding to the edges of the laminate part 5 to be produced shown in FIGS. Along with this, the YVO laser 51 is irradiated, so that the gaps 55a and 55b are formed in a frame shape on the support table 50.

また、図８に示されるように、支持テーブル５０に形成された空隙部５５ａ、５５ｂ内には、それぞれ、集塵装置（図示せず）の集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されている。図８においては、２つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂのみが図示されているが、前述のように、支持テーブル５０には、空隙部５５ａ、５５ｂが枠状に形成されているから、作製すべき積層体部品５の各縁部に対応して形成された空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されている。   Further, as shown in FIG. 8, dust collection nozzles 56 a and 56 b of a dust collector (not shown) are arranged in the gap portions 55 a and 55 b formed in the support table 50, respectively. In FIG. 8, only two dust collection nozzles 56a and 56b are shown. However, as described above, the support table 50 is formed with the gap portions 55a and 55b in a frame shape, and thus should be manufactured. One dust collection nozzle 56a, 56b is arranged in each gap formed corresponding to each edge of the multilayer component 5.

図９は、図８に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。   FIG. 9 is a block diagram showing a control system, a drive system, and an input system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus shown in FIG.

図９に示されるように、本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の制御系は、電気二重層キャパシタの製造装置全体の動作を制御するコントローラ６０を備えている。   As shown in FIG. 9, the control system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to this embodiment includes a controller 60 that controls the operation of the entire electric double layer capacitor manufacturing apparatus.

また、電気二重層キャパシタの製造装置の駆動系は、支持テーブル５０を、略水平面内において、二次元的に移動させるテーブル移動機構６１と、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して、昇降させるテーブル昇降機構６２を備え、電気二重層キャパシタの製造装置の入力系は、キーボード６３を備えている。   The drive system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus moves the support table 50 up and down with respect to the laser light source 52 and the table moving mechanism 61 that moves the support table 50 in a two-dimensional manner in a substantially horizontal plane. The input system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus including the table elevating mechanism 62 includes a keyboard 63.

以上のように構成された本実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置は、以下のようにして、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７を切断して、所定のサイズを有する積層体部品５を作製する。   The electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to the present embodiment configured as described above is a sheet-like structure having a structure in which three laminated units 1 are laminated via a separator 4 as follows. The laminate 7 is cut to produce a laminate component 5 having a predetermined size.

まず、ユーザーによって、多孔質層１２ａが上を向くように、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７が、支持テーブル５０上にセットされる。   First, a sheet-like laminate 7 having a structure in which three laminate units 1 are laminated via a separator 4 so that the porous layer 12a faces upward is set on the support table 50 by a user. Is done.

次いで、ユーザーによって、キーボード６３に、作製すべき積層体部品５のサイズおよび厚さを示す切断データが入力され、スタート信号が入力される。   Next, the user inputs cutting data indicating the size and thickness of the laminate part 5 to be manufactured and inputs a start signal to the keyboard 63.

キーボード６３に入力された切断データとスタート信号は、コントローラ６０に出力され、コントローラ６０は、切断データとスタート信号が入力されると、切断データにしたがって、テーブル昇降機構６２に第一の位置決め信号を出力する
第一の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構６２は、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の上表面からの距離が第一の距離に等しい位置、たとえば、積層体７の上表面からの距離が１００μｍに等しい第一のフォーカス位置にフォーカスされるように、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して昇降させて、位置決めする。 The cutting data and the start signal input to the keyboard 63 are output to the controller 60. When the cutting data and the start signal are input, the controller 60 outputs a first positioning signal to the table lifting mechanism 62 according to the cutting data. When receiving the first positioning signal to be output, the table elevating mechanism 62 is a sheet having a structure in which the YVO laser 51 emitted from the laser light source 52 is laminated through the separator 4. The support table 50 is focused so that the distance from the upper surface of the laminated body 7 is equal to the first distance, for example, the first focus position where the distance from the upper surface of the laminated body 7 is equal to 100 μm. Is moved up and down with respect to the laser light source 52 and positioned.

次いで、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動信号を出力して、レーザ光源５２をオンさせるとともに、テーブル移動機構６１に、駆動信号を出力して、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が、積層体７の作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル５０を、初期位置から、移動させる。   Next, the controller 60 outputs a drive signal to the laser light source 52 to turn on the laser light source 52 and also outputs a drive signal to the table moving mechanism 61 to focus the YVO laser 51 on the first focus position. However, the support table 50 is moved from the initial position so as to move relatively along the portion corresponding to the edge of the laminate part 5 to be produced of the laminate 7.

ここに、積層体部品５の縁部が、積層体７の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断されるように、積層体７に照射されたＹＶＯレーザ５１のビーム断面と、作製すべき積層体部品５の縁部に対応する積層体７の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ５３の角度が調整されることが好ましい。   Here, the beam cross section of the YVO laser 51 irradiated to the laminate 7 so that the edge of the laminate component 5 is cut so as to have an angle of approximately 90 ° with respect to the surface of the laminate 7. The angle of the fθ lens 53 is preferably adjusted so that the angle at which the portion of the laminate 7 corresponding to the edge of the laminate part 5 to be manufactured intersects is approximately 90 °.

その結果、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ２１が照射された部分が加熱されて、溶融される。   As a result, the portion irradiated with the YVO laser 21 focused on the first focus position of the sheet-like laminate 7 having a structure in which the three laminate units 1 are laminated is heated via the separator 4. And melted.

本実施態様においては、パワーの小さいＹＶＯレーザ２１が用いられているため、第一のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ５１によって、切断される。   In this embodiment, since the YVO laser 21 with low power is used, a sheet-like laminate having a structure in which three laminate units 1 are laminated via the separator 4 from the first focus position. Only the part located in the range of ± 100 μm to 250 μm in the thickness direction of the body 7 is melted and cut by the YVO laser 51.

この際、積層体７の切断にともなって、微粉やガスが発生するが、本実施態様においては、エアブロアー装置５４が設けられているから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、また、支持テーブル５０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層体７を切断した際に発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。   At this time, fine powder and gas are generated along with the cutting of the laminated body 7, but in the present embodiment, since the air blower device 54 is provided, when the laminated body 7 is cut by the YVO laser 51. The generated fine powder and gas can be quickly removed from the cut portion of the laminate 7, and one dust collection nozzle 56a, 56b is disposed in each gap portion of the support table 50, respectively. The fine powder and gas generated when the laminated body 7 is cut by the YVO laser 51 can be quickly removed from the cut portion of the laminated body 7, and accordingly, the fine powder generated when the laminated body 7 is cut, It is possible to reliably prevent a short circuit from occurring in the electric double layer capacitor.

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が移動するように、支持テーブル５０を移動させた結果、支持テーブル５０が初期位置に復帰すると、コントローラ６０は、テーブル移動機構６１およびレーザ光源５２に駆動停止信号を出力して、支持テーブル５０を停止させ、レーザ光源５２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第二の位置決め信号を出力する。   As a result of moving the support table 50 so that the YVO laser 51 focused on the first focus position moves on the laminate 7 along the edge of the laminate component 5 to be manufactured, the support table 50 is obtained. When the controller 60 returns to the initial position, the controller 60 outputs a drive stop signal to the table moving mechanism 61 and the laser light source 52 to stop the support table 50, turn off the laser light source 52, and Two positioning signals are output.

第二の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構６２は、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に、第一のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が３００μｍに等しい第二のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して昇降させて、位置決めする。   Upon receiving the second positioning signal, the table elevating mechanism 62 is a sheet-like structure having a structure in which the YVO laser 51 emitted from the laser light source 52 is laminated through the separator 4. In the thickness direction of the stacked body 7, the distance from the first focus position is focused to the second focus position equal to a unit movement distance, for example, 200 μm, that is, from the upper surface of the stacked body 7. The support table 50 is moved up and down with respect to the laser light source 52 so as to be focused at the second focus position where the distance is equal to 300 μm.

次いで、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動信号を出力して、レーザ光源５２をオンさせるとともに、テーブル移動機構６１に、駆動信号を出力して、第二のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が、積層体７の作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル５０を、初期位置から、移動させる。   Next, the controller 60 outputs a drive signal to the laser light source 52 to turn on the laser light source 52 and also outputs a drive signal to the table moving mechanism 61 to focus the YVO laser 51 on the second focus position. However, the support table 50 is moved from the initial position so as to move relatively along the portion corresponding to the edge of the laminate part 5 to be produced of the laminate 7.

その結果、第二のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ５１によって、切断される。   As a result, the sheet-like laminate 7 having a structure in which the three laminate units 1 are laminated via the separator 4 from the second focus position is located in a range of ± 100 μm to 250 μm. Only the part is melted and cut by the YVO laser 51.

作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、第一のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が移動するように、支持テーブル５０を移動させた結果、支持テーブル５０が初期位置に復帰すると、コントローラ６０は、テーブル移動機構６１およびレーザ光源５２に駆動停止信号を出力して、支持テーブル５０を停止させ、レーザ光源５２をオフさせるとともに、テーブル昇降機構４２に、第三の位置決め信号を出力する。   As a result of moving the support table 50 so that the YVO laser 51 focused on the first focus position moves on the laminate 7 along the edge of the laminate component 5 to be manufactured, the support table 50 is obtained. When the controller 60 returns to the initial position, the controller 60 outputs a drive stop signal to the table moving mechanism 61 and the laser light source 52 to stop the support table 50, turn off the laser light source 52, and Three positioning signals are output.

第三の位置決め信号を受けると、テーブル昇降機構６２は、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に、第二のフォーカス位置からの距離が単位移動距離、たとえば、２００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、すなわち、積層体７の上表面からの距離が５００μｍに等しい第三のフォーカス位置に、フォーカスされるように、支持テーブル５０を、レーザ光源５２に対して昇降させて、位置決めする。   Upon receiving the third positioning signal, the table elevating mechanism 62 is a sheet-like structure having a structure in which the YVO laser 51 emitted from the laser light source 52 is laminated through the separator 4. In the thickness direction of the stacked body 7, the distance from the second focus position is focused to a third focus position equal to a unit movement distance, for example, 200 μm, that is, from the upper surface of the stacked body 7. The support table 50 is moved up and down with respect to the laser light source 52 so as to be focused at the third focus position where the distance is equal to 500 μm.

次いで、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動信号を出力して、レーザ光源５２をオンさせるとともに、テーブル移動機構６１に、駆動信号を出力して、第三のフォーカス位置にフォーカスされたＹＶＯレーザ５１が、積層体７の作製すべき積層体部品５の縁部に対応する部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル５０を、初期位置から、移動させる。   Next, the controller 60 outputs a drive signal to the laser light source 52 to turn on the laser light source 52 and outputs a drive signal to the table moving mechanism 61 to focus the YVO laser 51 on the third focus position. However, the support table 50 is moved from the initial position so as to move relatively along the portion corresponding to the edge of the laminate part 5 to be produced of the laminate 7.

その結果、第三のフォーカス位置から、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に±１００μｍないし２５０μｍの範囲に位置する部分のみが溶融され、ＹＶＯレーザ５１によって、切断される。   As a result, the sheet-like laminate 7 having a structure in which the three laminate units 1 are laminated via the separator 4 from the third focus position is located in a range of ± 100 μm to 250 μm. Only the part is melted and cut by the YVO laser 51.

同様にして、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を、ＹＶＯレーザ５１が移動され、支持テーブル５０が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源５２から発せられたＹＶＯレーザ５１が、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さ方向に、単位移動距離、たとえば、２００μｍづつ、レーザ光源２２から離れた位置に、フォーカスされるように、テーブル昇降機構６２によって、支持テーブル５０が位置決めされて、ＹＶＯレーザ５１が、作製すべき積層体部品５の縁部に沿って、積層体７上を走査され、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断される。   Similarly, each time the YVO laser 51 is moved on the laminate 7 along the edge of the laminate component 5 to be manufactured, and the support table 50 returns to the initial position, the laser light source 52 emits the laser beam. The YVO laser 51 is separated from the laser light source 22 by a unit moving distance, for example, 200 μm in the thickness direction of the sheet-like laminate 7 having a structure in which the three laminate units 1 are laminated via the separator 4. The support table 50 is positioned by the table elevating mechanism 62 so as to be focused at a distant position, and the YVO laser 51 scans on the laminate 7 along the edge of the laminate component 5 to be manufactured. Then, a sheet-like laminate 7 having a structure in which three laminate units 1 are laminated is cut through the separator 4 little by little in the thickness direction.

その結果、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７が、所定のサイズに切断されて、積層体部品５が作製されると、コントローラ６０は、レーザ光源５２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源５２をオフするとともに、テーブル移動機構６１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル５０の作動を停止させ、積層体７の切断操作を完了させる。   As a result, when the sheet-like laminate 7 having a structure in which the three laminate units 1 are laminated via the separator 4 is cut into a predetermined size to produce the laminate component 5, the controller 60 outputs a drive stop signal to the laser light source 52 to turn off the laser light source 52 and also outputs a drive stop signal to the table moving mechanism 61 to stop the operation of the support table 50 and cut the laminated body 7. Complete the operation.

セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さがある厚さを越えると、打抜き加工によって、切断するためには、金型から、積層体７に大きな剪断力を加えることが必要になるため、切断面にばりや歪みが発生し、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があり、その一方で、従来、レーザ切断に広く用いられているＹＡＧレーザは、そのパワーが大きすぎるため、セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７のレーザビームが照射された部分が過度に熱せられて、溶けてしまい、電気二重層キャパシタを作製したときに、短絡の原因になって、電気二重層キャパシタとしての電気的特性を得ることができなくなるという問題があったが、本実施態様によれば、積層体７は、パワーの低いＹＶＯレーザ５１によって、セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７がその厚さ方向に、少しづつ、切断されるように構成されているから、セパレータ４を介して、積層体ユニット１が積層された構造を有するシート状の積層体７の厚さが、たとえば、３ｍｍ程度になっても、所望のように、積層体７を切断して、積層体部品５を作製することができ、したがって、信頼性が高い電気二重層キャパシタを、高い歩留まりで製造することが可能になる。   When the thickness of the sheet-like laminate 7 having a structure in which the laminate unit 1 is laminated via the separator 4 exceeds a certain thickness, the laminate is separated from the die to be cut by punching. 7 is required to apply a large shearing force, and thus, a flash or distortion occurs on the cut surface, which causes a short circuit when an electric double layer capacitor is produced. On the other hand, the YAG laser, which has been widely used for laser cutting in the past, has a power that is too high, so that the multilayer unit 1 is laminated via the separator 4. The portion of the sheet-like laminate 7 having the structure that is irradiated with the laser beam is excessively heated and melts, causing a short circuit when an electric double layer capacitor is manufactured. There is a problem that it is impossible to obtain electrical characteristics as an electric double layer capacitor. However, according to the present embodiment, the multilayer body 7 is separated from the multilayer body through the separator 4 by the YVO laser 51 having low power. Since the sheet-like laminate 7 having a structure in which the units 1 are laminated is configured to be cut little by little in the thickness direction, the laminate unit 1 is laminated via the separator 4. Even when the thickness of the sheet-like laminate 7 having a structure is about 3 mm, for example, the laminate 7 can be cut to produce the laminate component 5 as desired. It is possible to manufacture an electric double layer capacitor with high performance at a high yield.

また、本実施態様によれば、支持テーブル５０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル５６ａ、５６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、集塵ノズル５６ａ、５６ｂによって回収することができ、したがって、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉やガスを、積層体７の切断部から速やかに除去することが可能になるから、ＹＶＯレーザ５１によって、積層体７を切断したときに発生した微粉によって、電気二重層キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。   Further, according to the present embodiment, one dust collection nozzle 56a, 56b is disposed in each gap portion of the support table 50, so that this occurs when the laminate 7 is cut by the YVO laser 51. Fine powder and gas can be collected by the dust collection nozzles 56a and 56b. Therefore, the fine powder and gas generated when the laminated body 7 is cut by the YVO laser 51 are quickly removed from the cut portion of the laminated body 7. Therefore, it is possible to reliably prevent the electric double layer capacitor from being short-circuited by the fine powder generated when the multilayer body 7 is cut by the YVO laser 51.

本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims, and these are also included in the scope of the present invention. Needless to say.

たとえば、前記実施態様においては、電気二重層キャパシタの製造装置は、エアブロー装置２４、５４および集塵ノズル２６ａ、２６ｂ、５６ａ、５６ｂを備えているが、エアブロー装置２４、５４および集塵ノズル２６ａ、２６ｂ、５６ａ、５６ｂの双方を備えていることは必ずしも必要でなく、エアブロー装置２４、５４あるいは集塵ノズル２６ａ、２６ｂ、５６ａ、５６ｂを備えていればよい。   For example, in the above-described embodiment, the electric double layer capacitor manufacturing apparatus includes the air blowing devices 24 and 54 and the dust collection nozzles 26a, 26b, 56a and 56b, but the air blowing devices 24 and 54 and the dust collection nozzle 26a, It is not always necessary to have both 26b, 56a and 56b, and it is only necessary to have the air blowing devices 24 and 54 or the dust collecting nozzles 26a, 26b, 56a and 56b.

さらに、図６および図７に示された実施態様においては、ＹＶＯレーザ２１が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源２２をオフさせ、図８および図９に示された実施態様においては、支持テーブル５０が初期位置に復帰するたびに、レーザ光源５２をオフさせているが、レーザ光源２２、５２をオフさせることは必ずしも必要でない。   Further, in the embodiment shown in FIGS. 6 and 7, the laser light source 22 is turned off each time the YVO laser 21 returns to the initial position, and in the embodiment shown in FIGS. Although the laser light source 52 is turned off every time the table 50 returns to the initial position, it is not always necessary to turn off the laser light sources 22 and 52.

また、図６および図７に示された実施態様においては、１ピッチの長さが、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さよりもわずかに大きくなるように設定されているが、１ピッチの長さは、積層体７の搬送方向における積層体部品５の長さ以上に設定されていればよい。   In the embodiment shown in FIG. 6 and FIG. 7, the length of one pitch is set to be slightly larger than the length of the laminate part 5 in the transport direction of the laminate 7. The length of 1 pitch should just be set more than the length of the laminated body component 5 in the conveyance direction of the laminated body 7. FIG.

さらに、前記実施態様においては、レーザ光源２２、５２に対して、支持テーブル２０、５０を昇降させて、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を調整しているが、支持テーブル２０、５０に対して、レーザ光源２２、５２を昇降させて、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を調整するようにしてもよい。   Furthermore, in the said embodiment, although the support tables 20 and 50 are raised / lowered with respect to the laser light sources 22 and 52, the focus position of the YVO lasers 21 and 51 is adjusted, The focus positions of the YVO lasers 21 and 51 may be adjusted by moving the laser light sources 22 and 52 up and down.

また、前記実施態様においては、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置の単位移動距離が、２００μｍに設定されているが、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を、２００μｍづつ、移動させることは必ずしも必要でなく、１００μｍないし５００μｍ、好ましくは、１００μｍないし３００μｍを単位移動距離として、ＹＶＯレーザ２１、５１のフォーカス位置を移動させればよい。   In the above embodiment, the unit moving distance of the focus position of the YVO lasers 21 and 51 is set to 200 μm. However, it is not always necessary to move the focus position of the YVO lasers 21 and 51 by 200 μm. However, the focus position of the YVO lasers 21 and 51 may be moved with the unit moving distance of 100 μm to 500 μm, preferably 100 μm to 300 μm.

さらに、前記実施態様においては、アノード電極用シート２は、アルミニウムによって形成された集電体シート１０と、集電体シート１０の両面に塗布されたアンダーコート層１１ａ、１１ｂと、アンダーコート層１１ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ａと、アンダーコート層１１ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１２ｂとを含み、カソード電極用シート３は、アルミニウムによって形成された集電体シート１５と、集電体シート１５の両面に塗布されたアンダーコート層１６ａ、１６ｂと、アンダーコート層１６ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ａと、アンダーコート層１６ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層１７ｂとを含んでいるが、アノード電極用シート２およびカソード電極用シート３が、それぞれ、集電体シート１０、１５の両面に、多孔質層１２ａ、１２ｂ、１７ａ、１７ｂを備えていることは必ずしも必要でなく、少なくとも集電体シート１０、１５の一方の面に、多孔質層を備えていればよい。   Furthermore, in the said embodiment, the sheet | seat 2 for anode electrodes is the collector sheet 10 formed with aluminum, the undercoat layers 11a and 11b apply | coated to both surfaces of the collector sheet 10, and the undercoat layer 11a. The cathode electrode sheet 3 includes a porous layer 12a containing a carbon material applied to the surface of the undercoat layer 11b and a porous layer 12b containing a carbon material applied to the surface of the undercoat layer 11b. Current collector sheet 15, undercoat layers 16a and 16b applied to both surfaces of current collector sheet 15, porous layer 17a containing a carbon material applied to the surface of undercoat layer 16a, and undercoat layer 16b A porous layer 17b containing a carbon material applied to the surface of the anode electrode sheet 2 And the cathode electrode sheet 3 are not necessarily provided with the porous layers 12a, 12b, 17a, and 17b on both surfaces of the current collector sheets 10 and 15, respectively, and at least the current collector sheets 10 and 15 are not necessarily provided. It suffices if a porous layer is provided on one of the surfaces.

また、図４および図５に示された積層体部品５は一例であり、積層体部品の形状はとくに限定されるものではない。   Moreover, the laminated body component 5 shown by FIG. 4 and FIG. 5 is an example, and the shape of a laminated body component is not specifically limited.

さらに、前記実施態様においては、セパレータ４を介して、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を切断するように構成されているが、積層体７が、３枚の積層体ユニット１が積層された構造を有していることは必ずしも必要でなく、積層体７は単一の積層体ユニット１によって構成されていても、積層体７は２枚あるいは４枚以上の積層体ユニット１が積層された構造を有していてもよい。   Furthermore, in the said embodiment, it is comprised so that the laminated body 7 which has the structure where the three laminated body units 1 were laminated | stacked through the separator 4, but the laminated body 7 is three sheets. It is not always necessary to have a structure in which the laminated body unit 1 is laminated. Even if the laminated body 7 is constituted by a single laminated body unit 1, the laminated body 7 has two or four or more sheets. You may have the structure where the laminated body unit 1 was laminated | stacked.

また、図６および図７に示された実施態様においては、たとえば、カソード電極用シート３上に、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４およびアノード電極用シート２を、順次、積層して、作製された積層体７が、繰り出しローラ２７から、支持テーブル２０上に、繰り出されるように構成されているが、あらかじめ、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１を積層して、積層体７を作製しておき、積層体７を、繰り出しローラ２７から、支持テーブル２０上に、繰り出すことは必ずしも必要でなく、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４、アノード電極用シート２、セパレータ４、カソード電極用シート３、セパレータ４およびアノード電極用シート２を、それぞれ、別の繰り出しローラから、順次、繰り出し、これらを積層して、セパレータ４を介して、３枚の長尺状の積層体ユニット１が積層された構造を有する積層体７を作製し、支持テーブル２０上に供給して、切断するように、構成することもできる。   6 and 7, for example, on the cathode electrode sheet 3, the separator 4, the anode electrode sheet 2, the separator 4, the cathode electrode sheet 3, the separator 4, and the anode electrode The sheet 2, the separator 4, the cathode electrode sheet 3, the separator 4, and the anode electrode sheet 2 are sequentially laminated so that the produced laminate 7 is fed from the feeding roller 27 onto the support table 20. However, in advance, three long laminate units 1 are laminated via the separator 4 to produce a laminate 7, and the laminate 7 is removed from the feeding roller 27. It is not always necessary to feed out onto the support table 20, and the cathode electrode sheet 3, the separator 4, the anode electrode sheet 2, the separator. 4, the cathode electrode sheet 3, the separator 4, the anode electrode sheet 2, the separator 4, the cathode electrode sheet 3, the separator 4 and the anode electrode sheet 2 are sequentially fed out from separate feeding rollers, respectively. The laminated body 7 having a structure in which the three long laminated body units 1 are laminated via the separator 4 is manufactured, supplied onto the support table 20, and cut. You can also

さらに、前記実施態様においては、アノード電極用シート２と、カソード電極用シート３が、セパレータ４を介して、貼り合わされた積層体ユニット１を構成要素として含む電気二重層キャパシタ用の積層体７が切断されているが、電気二重層キャパシタ用の積層体７に代えて、少なくとも、陽極、誘電体層および陰極を含む積層体ユニットを構成要素として含む固体電解コンデンサ用の積層体を切断することもでき、本発明は、電気二重層キャパシタを製造する場合だけでなく、固体電解コンデンサ、電解コンデンサ、二次電池などの電気化学素子を製造する場合に、広く適用することができる。   Furthermore, in the said embodiment, the laminated body 7 for electric double layer capacitors which contains the laminated body unit 1 to which the sheet | seat 2 for anode electrodes and the sheet | seat 3 for cathode electrodes bonded together via the separator 4 are comprised. Although cut, the laminated body for a solid electrolytic capacitor including at least a laminated body unit including an anode, a dielectric layer and a cathode may be cut instead of the laminated body 7 for an electric double layer capacitor. The present invention can be widely applied not only when manufacturing an electric double layer capacitor but also when manufacturing an electrochemical element such as a solid electrolytic capacitor, an electrolytic capacitor, and a secondary battery.

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって製造される電気二重層キャパシタが構成要素して含む積層体ユニットの略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a multilayer unit included as a constituent element of an electric double layer capacitor manufactured by an apparatus for manufacturing an electric double layer capacitor according to a preferred embodiment of the present invention. 図２は、図１に示された積層体ユニットの矢印Ａの方向から見た略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of the laminate unit shown in FIG. 1 viewed from the direction of arrow A. 図３は、図１に示された積層ユニットの矢印Ｂの方向から見た略平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view of the stacked unit shown in FIG. 1 as viewed from the direction of arrow B. 図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき積層体部品の略平面図である。FIG. 4 is a schematic plan view of a multilayer component to be manufactured by the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. 図５は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置によって、作製されるべき積層体部品の略平面図である。FIG. 5 is a schematic plan view of a multilayer component to be manufactured by the electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. 図６は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of an electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. 図７は、図６に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。FIG. 7 is a block diagram showing a control system, a drive system, and an input system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus shown in FIG. 図８は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる電気二重層キャパシタの製造装置の略断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of an electric double layer capacitor manufacturing apparatus according to another preferred embodiment of the present invention. 図９は、図８に示された電気二重層キャパシタの製造装置の制御系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。FIG. 9 is a block diagram showing a control system, a drive system, and an input system of the electric double layer capacitor manufacturing apparatus shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ 積層体ユニット
２ アノード電極用シート
３ カソード電極用シート
４ セパレータ
５ 積層体部品
６ リード
７ 積層体
１０ 集電体シート
１１ａ、１１ｂ アンダーコート層
１２ａ、１２ｂ 多孔質層
１３ 開口部
１５ 集電体シート
１６ａ、１６ｂ アンダーコート層
１７ａ、１７ｂ 多孔質層
１８ 開口部
２０ 支持テーブル
２１ ＹＶＯレーザ
２２ レーザ光源
２３ ｆθレンズ
２４ エアブロー装置
２５ａ、２５ｂ 空隙部
２６ａ、２６ｂ 集塵ノズル
２７ 繰り出しローラ
３０ 巻き取りローラ
４０ コントローラ
４１ 走査機構
４２ テーブル昇降機構
４３ キーボード
５０ 支持テーブル
５１ ＹＶＯレーザ
５２ レーザ光源
５３ ｆθレンズ
５４ エアブロー装置５４
５５ａ、５５ｂ 空隙部
５６ａ、５６ｂ 集塵ノズル
６０ コントローラ
６１ テーブル移動機構
６２ テーブル昇降機構
６３ キーボード DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laminate unit 2 Anode electrode sheet 3 Cathode electrode sheet 4 Separator 5 Laminate component 6 Lead 7 Laminate 10 Current collector sheet 11a, 11b Undercoat layer 12a, 12b Porous layer 13 Opening 15 Current collector sheet 16a, 16b Undercoat layer 17a, 17b Porous layer 18 Opening 20 Support table 21 YVO laser 22 Laser light source 23 fθ lens 24 Air blow device 25a, 25b Gap 26a, 26b Dust collecting nozzle 27 Feeding roller 30 Winding roller 40 Controller 41 Scanning Mechanism 42 Table Lifting Mechanism 43 Keyboard 50 Support Table 51 YVO Laser 52 Laser Light Source 53 fθ Lens 54 Air Blow Device 54
55a, 55b Gap part 56a, 56b Dust collection nozzle 60 Controller 61 Table moving mechanism 62 Table lifting mechanism 63 Keyboard

Claims (6)

少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体に、レーザ光源から発せられるＹＶＯレーザを照射し、前記積層体と前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造する電気化学素子の製造方法であって、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、前記積層体の厚さ方向に変化させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造することを特徴とする電気化学素子の製造方法。 The laminated body including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode is irradiated with a YVO laser emitted from a laser light source, and the laminated body and the YVO laser are moved relative to each other to form the laminated A method of manufacturing an electrochemical device that cuts a body and manufactures a laminate part having a predetermined size, wherein the relative positional relationship between the laser light source and the laminate is determined in the thickness direction of the laminate. A method for producing an electrochemical element, characterized in that the laminate is cut to produce a laminate part having a predetermined size. 前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させて、前記積層体を切断し、所定のサイズを有する積層体部品を製造することを特徴とする請求項１に記載の電気化学素子の製造方法。 A laminated body having a predetermined size by cutting the laminated body by intermittently changing the relative positional relationship between the laser light source and the laminated body by 100 μm to 500 μm in the thickness direction of the laminated body. The method of manufacturing an electrochemical element according to claim 1, wherein the component is manufactured. 前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが積層されて構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載の電気化学素子の製造方法。 3. The stack according to claim 1, wherein each of the stacks is configured by stacking a plurality of stack units each including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode. The manufacturing method of the electrochemical element of. 前記積層体が、それぞれが、少なくとも、陽極と、絶縁体層と、陰極とを含む複数の積層体ユニットが、セパレータを介して、積層されて構成されたことを特徴とする請求項３に記載の電気化学素子の製造方法。 4. The laminate according to claim 3, wherein each of the laminates is configured by laminating a plurality of laminate units each including at least an anode, an insulator layer, and a cathode via a separator. The manufacturing method of the electrochemical element of. ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、少なくとも、陽極と、絶縁体層または誘電体層と、陰極とを含む積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の表面に沿って、相対的に移動させる第一の移動機構と、前記積層体と前記レーザ光源とを、前記積層体の厚さ方向に、相対的に移動させる第二の移動機構と、前記ＹＶＯレーザが、前記積層体に照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置。 A laser light source that emits a YVO laser, a laminate including at least an anode, an insulator layer or a dielectric layer, and a cathode, and the laser light source are relatively moved along the surface of the laminate. One moving mechanism, a second moving mechanism that relatively moves the laminate and the laser light source in the thickness direction of the laminate, and a position at which the YVO laser is irradiated to the laminate. An apparatus for producing an electrochemical element, comprising: a dust collecting device and / or an air blowing device arranged in the vicinity of the device. 前記第二の移動機構が、前記レーザ光源と前記積層体との相対的な位置関係を、１００μｍないし５００μｍづつ、前記積層体の厚さ方向に間欠的に変化させるように構成されたことを特徴とする請求項５に記載の電気化学素子の製造装置。 The second moving mechanism is configured to intermittently change the relative positional relationship between the laser light source and the laminate in the thickness direction of the laminate by 100 μm to 500 μm. The electrochemical device manufacturing apparatus according to claim 5.
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