JP2006035347A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研磨ヘッド14を三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボット61と、このロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブル17と、研磨ヘッドから噴射された研磨材を回収して研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、研磨ヘッドは、研磨材に回転エネルギを与えるインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部を備え、この噴射部を水平軸に対して首振り及び噴射方向の設定が可能な首振り機構を有する。
【選択図】 図7
Description
Claims (8)
- 弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、
この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする位置決め手段と、
この位置決め手段により位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、
この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射された研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
前記位置決め手段は、フレーム上をY方向に移動する移動台車、この移動台車上をX方向に移動する移動台、この移動台に前記研磨ヘッドをZ方向に移動可能に支持する支持機構から構成され、
前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部と、この噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成され、
前記回転テーブルを回転させ且つ前記噴射部を首振り動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨することを特徴とする研磨装置。 - 請求項1記載の研磨装置において、研磨ヘッドは噴射部を支持する垂直軸を有し、この垂直軸を中心に水平旋回させる水平旋回機構を設けたことを特徴とする研磨装置。
- 請求項2記載の研磨装置において、水平旋回機構は首振り機構と一体的に水平旋回することを特徴とする研磨装置。
- 請求項2又は請求項3記載の研磨装置において、インペラの研磨材吐出部の中心は水平旋回機構の旋回中心又はその近傍にあることを特徴とする研磨装置。
- 弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、
この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボットと、
この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、
この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部と、この噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成され、
前記回転テーブルを回転させ且つ前記噴射部を首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨することを特徴とする研磨装置。 - 弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に向けて噴射する研磨ヘッドと、
この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めすると共に、前記研磨ヘッドの首振り機能及び水平旋回機能を持たせた多関節ロボットと、
この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被研磨部品が保持される回転テーブルと、
この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
前記研磨ヘッドは、水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部とから構成され、
前記回転テーブルを回転させ且つ前記多関節ロボットに持たせた首振り機能及び旋回機能により前記噴射部を首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら研磨材を予め決められた速度で噴射し、該研磨材を前記被研磨部品に衝突させて研磨することを特徴とする研磨装置。 - 水平軸を中心に回転駆動されて研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により弾性体を核としてその周りに研磨粉を付着させた研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部及びこの噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構から構成され、前記噴射部より研磨材を円形又は円弧状の被研磨部品に首振り動作させながら、又は水平旋回動作をさせながら、あるいは首振り動作及び水平旋回動作させながら噴射する研磨ヘッドと、
この研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めする多関節ロボットと、
この多関節ロボットにより位置決めされる研磨ヘッドの作業範囲に対応する基面上に回転可能に設けられ所定の箇所に被被研磨部品が保持される回転テーブルと、
この回転テーブルより前記研磨ヘッドから噴射される研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備え、
上記回転テーブル、研磨ヘッド及び多関節ロボットをコンテナの中に収納し、このコンテナの中で被研磨部品を研磨することを特徴とする研磨装置。 - 水平軸を中心に回転駆動され弾性体を核としてその周りに研磨紛を付着させた研磨材に回転エネルギを与えるインペラ、このインペラの周囲の一部に噴射開口部が存するようにプーリに保持させて掛けられインペラの回転により研磨材が押付けられるベルトからなる噴射部及びこの噴射部を水平軸に対して首振り及び研磨材の噴射方向の設定が可能な首振り機構とから構成された研磨ヘッドと、フレーム上をY方向に移動する移動台車、この移動台車上をX方向に移動する移動台、この移動台に前記研磨ヘッドをZ方向に移動可能に支持する支持機構から構成された位置決め手段と、回転テーブルと、この回転テーブルより研磨材を回収して再び前記研磨ヘッドに供給する研磨材回収及び供給手段とを備えてなる研磨装置を用いて円形又は円弧状の被研磨部品を研磨する方法において、
前記位置決め手段により前記研磨ヘッドを三次元座標のX方向、Y方向及びZ方向に対して位置決めするステップと、
このステップにより位置決めされた基面上に設けられた前記回転テーブルの所定の箇所に円形又は円弧状の被研磨部品を保持させるステップと、
前記回転テーブルを回転させるステップと、
前記研磨ヘッドのインペラを回転駆動すると共に、前記噴射部を首振り動作させながら研磨材を予め設定された噴射速度で噴射させ、該研磨材を被研磨部品に衝突させるステップと、
前記研磨材回収手段により回収された研磨材を前記研磨材供給手段に搬送するステップと、
からなることを特徴とする研磨方法。
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JP2004216391A JP2006035347A (ja) | 2004-07-23 | 2004-07-23 | 研磨装置及び研磨方法 |
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