JP2006035263A - 電子ビーム表面処理方法、および電子ビーム表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子ビームを被処理物Wの表面に照射してその表層を溶融凝固させて表面処理を行う場合に、被処理物Wの表面処理を行う処理対象領域を規定する領域情報を予めメモリ19に登録しておき、この領域情報に基づいて電子ビームを被処理物Wの処理対象領域内を屈曲線状の軌跡を描くように二次元走査する。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明の実施の形態1における電子ビーム表面処理装置の構成図である。
図7はこの実施の形態2における電子ビーム表面処理装置の要部を示す構成図である。
図9はこの実施の形態3における電子ビーム表面処理装置の構成図であり、図1に示した実施の形態1と対応する構成部分には同一の符号を付す。
図10はこの実施の形態4における電子ビーム表面処理装置の要部を示す構成図である。
3 電子ビーム照射手段、4 XYテーブル(被処理物可動機構)、
9 制御装置(ビーム走査制御手段、フォーカス制御手段)、12 電子銃、
13 収束レンズ、14,14a,14b 偏向レンズ、15 ビーム収束手段、
16 ビーム偏向手段、19 被処理物情報メモリ(記憶手段)、21 傾動保持機構、22 回転保持機構、24 スライド手段、29 温度調節手段。
Claims (12)
- 電子ビームを被処理物の表面に照射してその表層を溶融凝固させて表面処理を行う電子ビーム表面処理方法において、
上記被処理物の表面処理を行う処理対象領域を規定する領域情報を予め登録しておき、この領域情報に基づいて電子ビームを上記被処理物の処理対象領域内を屈曲線状の軌跡を描くように二次元走査することを特徴とする電子ビーム表面処理方法。 - 上記の屈曲線状の軌跡を描く二次元走査とは、鋸歯波状の軌跡を描く二次元走査であることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム表面処理方法。
- 上記の屈曲線状の軌跡を描く二次元走査とは、多重反射状の軌跡を描く二次元走査であることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム表面処理方法。
- 上記被処理物の表面形状に関する形状情報を予め登録しておき、この形状情報に基づいて電子ビームが上記被処理物の表面または表面から一定距離だけ離れた箇所に常に焦点を結ぶようにフォーカス制御を行うことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の電子ビーム表面処理方法。
- 上記被処理物の表面形状に関する形状情報を予め登録しておき、この形状情報に基づいて電子ビームの上記被処理物の照射位置に対するエネルギ密度が変化する制御を行うことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の電子ビーム表面処理方法。
- 被処理物の表面に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段を有し、この電子ビーム照射手段は、電子ビームを発生する電子銃と、この電子銃からの電子ビームを収束するビーム収束手段と、電子ビームを偏向するビーム偏向手段とを備えている電子ビーム表面処理装置において、
上記被処理物の表面処理を行う処理対象領域を規定する領域情報が予め登録された記憶手段と、この記憶手段に記憶されている上記領域情報に基づいて電子ビームが上記被処理物の処理対象領域内で屈曲線状の軌跡を描いて二次元走査されるように上記ビーム偏向手段を制御するビーム走査制御手段と、を備えることを特徴とする電子ビーム表面処理装置。 - 上記記憶手段には、上記領域情報に加えて被処理物の表面形状に関する形状情報が予め登録される一方、この形状情報に基づいて電子ビームが上記被処理物の表面または表面から所定距離だけ離れた箇所に常に常に焦点を結ぶように上記ビーム収束手段を制御するフォーカス制御手段を備えることを特徴とする請求項6記載の電子ビーム表面処理装置。
- 上記被処理物を電子ビームの照射方向に対して水平移動、回転、傾動の内の少なくとも一つを行う被処理物可動機構を備えることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の電子ビーム表面処理装置。
- 上記ビーム偏向手段が電子ビームの放射方向に沿って複数段にわたって設けられていることを特徴とする請求項6ないし請求項8のいずれか1項に記載の電子ビーム表面処理装置。
- 上記電子ビーム照射手段の位置を上記被処理物可動機構に対して変位させるスライド手段を備えることを特徴とする請求項6ないし請求項9のいずれか1項に記載の電子ビーム表面処理装置。
- 上記電子ビーム照射手段の位置を上記被処理物可動機構に対して傾動させる傾動手段を備えることを特徴とする請求項6ないし請求項10のいずれか1項に記載の電子ビーム表面処理装置。
- 上記被処理物を所定温度になるように温度調節する温度調節手段を備えることを特徴とする請求項6ないし請求項11のいずれか1項に記載の電子ビーム表面処理装置。
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