JP7202131B2 - 板状ワークの搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
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Description
した搬送パッドがある(例えば、特許文献2参照)。
よって、板状ワークを非接触で吸引保持して搬送する場合においては、板状ワークの外周縁を擦らせないでチャックテーブルにセンタリングした状態で保持させる、又はチャックテーブルからセンタリングした状態で搬出するという課題がある。
、該吸引保持手段を該保持面から離間させ該保持面から板状ワークを搬出する搬出工程と、を備える搬送方法である。
図1に示す板状ワークWは、例えば、母材をシリコンとする円形板状の半導体ウェーハであり、図1において下方を向いている板状ワークWの下面Waには、分割予定ラインによって区画された格子状の領域に図示しないデバイスが形成されている。板状ワークWの下面Waは、例えば、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。図1において上方を向いている板状ワークWの上面Wbは、搬送装置2によって吸引保持される面となる。図1において、板状ワークWは載置テーブル10に載置された状態になっている。
なお、板状ワークWのデバイス形成面が搬送装置2によって吸引保持される面となってもよい。
図1に示す搬送装置2は、板状ワークWの上方から板状ワークWに向かってエアを噴射し負圧を生成させ板状ワークWを吸引保持する吸引保持手段20と、吸引保持手段20を移動させる移動手段21とを備える。
円環状部材や直線部材等の複数の部材から構成されていてもよい。
される)。
その後、移動手段21が吸引保持手段20を+Z方向へと上昇させることで、搬送装置2によって、板状ワークWが載置テーブル10から搬出される。
次いで、移動手段21により、板状ワークWを非接触で吸引保持した吸引保持手段20が、図2に示すチャックテーブル30の上方まで移動する。なお、例えば、搬送装置2により板状ワークWがチャックテーブル30上に搬送されるまでの間において、吸引保持手段20の移動による振動を板状ワークWが受けることで、センタリングピン202の傾斜面202bを板状ワークWの外周縁Wdが滑るため、より高精度に板状ワークWが吸引保持手段20においてセンタリングされる。
なお、チャックテーブル30は本実施形態に示す例に限定されるものではなく、保持面に吸引溝が形成された保持テーブルや、複数の支持ピンにより保持面が形成されるピンチャックテーブルであってもよい。
また、第一の開閉バルブ391が開かれて保持面300aが吸引源39に連通されてから、吸引源39が作動することで、吸引源39が生み出す吸引力が保持面300aに伝達される。
付勢力を蓄える。
また、センタリングピン202の下面は、基台200の中心側より外周側が下がった傾斜面202bを形成しているため、板状ワークWが垂直落下する際に、板状ワークWの外周縁Wdが傾斜面202bを擦ることがないため、ゴミが発生しない。
その結果、垂直落下した板状ワークWがセンタリングされた状態でチャックテーブル30の保持面300aで吸引保持されるようにしてもよい。
状ワークW2の外周縁W2dを擦らせないでチャックテーブル30にセンタリングした状態で板状ワークW2を保持させてチャックテーブル30の中心と板状ワークW2の中心とを一致させることが可能となる。
なお、厚みが厚い板状ワークW2の場合は、吸引保持手段20を保持面300aに接近させ板状ワークW2の下面W2aを保持面300aに接触させた後、保持面300aで板状ワークW2を吸引保持してもよい。
まず、図7に示すように、移動手段21により、吸引保持手段20が、基台200の中心がチャックテーブル30で吸引保持された板状ワークWの中心と略合致するように水平移動し、基台200が板状ワークWの上方に位置づけられる。さらに、非接触保持部201と板状ワークWの上面Wbとが接触しない程度の高さ位置まで吸引保持手段20が-Z方向へ降下する。この状態において、板状ワークWの外周縁Wdは、センタリングピン202の傾斜面202bによって囲繞された状態になる。
また、センタリングピン202の最下端が枠体301の上面に接触した状態で、板状ワークWの外周縁Wdとセンタリングピン202の傾斜面202bとが接触しないように傾斜面202bが形成されているとよい。
本実施形態のように、吸引保持手段20のセンタリングピン202は、板バネ24によって基台200の下面に対して上方向に移動可能であるため、非接触保持部201が板状ワークWを適切に非接触で吸引保持できる所定の高さ位置まで、吸引保持手段20をチャックテーブル30の枠体301によって妨げられることなく板状ワークWに対して近づけることができる。
図8に示すように、第一の開閉バルブ391が閉じられて、保持面300aの吸引力が無くなる。さらに、第二の開閉バルブ392が開かれてから、エア源38がエアをチャックテーブル30に対して供給して、該供給されたエアが保持面300aから上方に向かって噴出する。そして、保持面300aと板状ワークWとの間に残存する真空吸着力が該噴出するエアにより排除され、吸引保持手段20が板状ワークWをチャックテーブル30から確実に離脱させて吸引保持可能な状態になる。
移動手段21が吸引保持手段20を+Z方向へと上昇させてチャックテーブル30の保持面300aから離間させることで、搬送装置2によって、板状ワークWがチャックテーブル30から搬出される。また、センタリングピン202が、板バネ24が蓄えていた付勢力により元の状態に戻ろうとし、各センタリングピン202の傾斜面202b間の水平方向における距離が、傾斜面202bが板状ワークWの外周縁Wdに接触した状態を維持しつつ元の距離まで縮まろうとするため、吸引保持手段20において板状ワークWがセンタリングされた状態が保たれる。
2:搬送装置 20:吸引保持手段 200:基台 200c:連通路
201:非接触保持部 201a:エア供給路 201b:エア噴出口
202:センタリングピン 202b:センタリングピンの傾斜面
21:移動手段 220:連結部材 221:アーム部
24:板バネ 28:エア供給源
30:チャックテーブル 300:保持部 300a:保持面 301:枠体
39:吸引源 390:エア流路 391:第一の開閉バルブ
38:エア源 392:第二の開閉バルブ
Claims (3)
- 板状ワークの上方から板状ワークに向かってエアを噴射し負圧を生成させ板状ワークを吸引保持する吸引保持手段と、該吸引保持手段を移動させる移動手段とを備える板状ワークの搬送装置であって、
該吸引保持手段は、該移動手段に連結される基台と、該基台に配設し板状ワークの上方から下方向にエアを噴射して板状ワークの上面に負圧を生成させ板状ワークを非接触で吸引保持する非接触保持部と、該基台の中心を中心として該基台に等角度で少なくとも3つ配設し該非接触保持部が吸引保持した板状ワークの外周縁に接触させ板状ワークをセンタリングするセンタリングピンと、センタリングピンを該基台の下面に対して上方向に移動可能に支持し該センタリングピンを下方向に付勢する板ばねと、を備え、
該センタリングピンの下面は、該基台の中心側より外周側が下がった傾斜面を形成し、該非接触保持部が板状ワークを吸引保持したとき、板状ワークの外周縁が該傾斜面に接触して板状ワークのセンタリングが施される搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置を用いてチャックテーブルの保持面に板状ワークを搬入する搬送方法であって、
前記非接触保持部が板状ワークを非接触で吸引保持すると共に前記センタリングピンの前記傾斜面が板状ワークの外周縁に接触し板状ワークをセンタリングする保持工程と、
該チャックテーブルの保持面の中心と該非接触保持部が吸引保持した板状ワークの中心とを同軸上に位置づけ該吸引保持手段を該保持面に近づけ、該保持面を吸引源に連通させ、該保持面の吸引力で板状ワークを吸引保持する搬入工程と、を備える搬送方法。 - 請求項1記載の搬送装置を用いてチャックテーブルの保持面が保持している板状ワークを該チャックテーブルから搬出する搬送方法であって、
該保持面が保持している板状ワークの上面に前記吸引保持手段を接近させ前記非接触保持部からエアを噴射して負圧を生成させる吸引保持準備工程と、
該保持面からエアを噴出させ、該非接触保持部が非接触で板状ワークを吸引保持すると共に前記センタリングピンの前記傾斜面を板状ワークの外周縁に接触させ板状ワークをセンタリングさせる保持工程と、
該吸引保持手段を該保持面から離間させ該保持面から板状ワークを搬出する搬出工程と、を備える搬送方法。
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JP2014194991A (ja) | 2013-03-28 | 2014-10-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の搬送装置 |
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