JP2006012892A - デスミア液、およびデスミア方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ビアホールを有する、絶縁材料が超耐熱ポリイミドフィルムで構成されるフレキシブルプリント配線板の製造工程において、レーザー照射、ドリル、パンチング等の組み合わせで穿孔したフレキシブルプリント配線板材料のスミアを有効に除去し、かつ孔の変形等の材料への損傷を与えないデスミア液、およびデスミア方法を提案すること。
【解決手段】10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウム、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするプリント配線板のデスミア液、およびそれを用いたデスミア方法。
【選択図】 なし
【解決手段】10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウム、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするプリント配線板のデスミア液、およびそれを用いたデスミア方法。
【選択図】 なし
Description
本発明は、ビアホールを有する、絶縁材料が超耐熱ポリイミドフィルムで構成されるフレキシブルプリント配線板の製造工程において、レーザー照射、またはドリル、またはパンチング、またはそれらの組み合わせで穿孔した後のフレキシブルプリント配線板材料用のデスミア液、およびデスミア方法に関する。
両面プリント配線板・多層プリント配線板において、導電性回路を有する各層の間に電気的接続が必要となり、銅等により金属化されたビアホールにより接続が達成される。本発明において、ビアホールとは、プリント配線板の表面から裏面まで貫通する貫通ビアホール(スルーホール)、全貫通しないで必要な層間にのみに設置したインタースティシャル・ビアホール等の、層間の電気的接続を目的とした孔を指す。電気的接続は金属メッキや金属ペーストの充填等の当業者で知られる方法で達成される。
ビアホールは、レーザー照射、またはドリル、またはパンチング、またはそれらの組み合わせで穿孔される。その穿孔の際に発生するスミアが導電性物質の表面に付着して、上記の電気的接続不良が発生するため、デスミア処理が必要となる。
近年、カメラ、パソコン、液晶ディスプレイなどの電子機器類にフレキシブルプリント配線板が使用されており、絶縁樹脂としてはポリイミド樹脂が多く用いられている。しかも小型化・高機能化のために、プリント配線板の多層化が進むとともに、孔が小径化し、数が激増している。そのためスミアによる電気的接続不良が増加している。特許文献1〜4に絶縁樹脂がポリイミド樹脂であるプリント配線板材料を穿孔後デスミアする技術が開示されているが、いずれも過マンガン酸塩やクロム酸塩等を用いた従来のデスミア処理を前提としている。これらの従来から知られる過マンガン酸塩やクロム酸塩等のデスミア液、デスミア方法ではスミアを完全に除去することができず、新しい技術が求められていた。
特許文献5によれば、5〜40%のモノエタノールアミンと20〜45%の水酸化カリウムを含むエッチング液で、エッチング孔の形崩れが生じにくく、ピロメリット酸系ポリイミド(例えばフィルム単体の商品名としては、米国デュポン社製「カプトン」)だけでなく、他のエッチング液ではエッチングが困難であったビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミド(例えばフィルム単体の商品名としては、宇部興産株式会社製「ユーピレックス」)でも良好にエッチングされ、200ミクロン以下の微細な貫通孔ができると開示されており、該液で、レーザー照射、ドリル、パンチング等で穿孔した後のフレキシブルプリント配線板材料を処理することによって、有効にスミアを除去できることが期待されるが、該液をデスミア液としてプリント配線板材料を処理すると、レーザー照射、および/またはドリルで穿孔した孔では、スミアが除去される前にごく短時間の処理でもポリイミド樹脂の溶解が進行し、孔が変形するため、デスミア液としては好ましくない。したがって新しいデスミア液、デスミア方法が待望されていた。
特開平10−308576号公報
特開平11−87930号公報
特開2002−144476号公報
特開2003−318546号公報
特許3251515号
本発明の課題は、ビアホールを有する、絶縁材料が超耐熱ポリイミドフィルムで構成されるフレキシブルプリント配線板の製造工程において、レーザー照射、またはドリル、またはパンチング、またはそれらの組み合わせで穿孔したフレキシブルプリント配線板材料のスミアを有効に除去し、かつ孔の変形等の材料への損傷を与えないデスミア液、およびデスミア方法を提案することにある。
本発明者らは検討した結果、10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウム、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするプリント配線板のデスミア液で上記課題を解決することを見出した。
好ましい態様としては、10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウム、および0.1〜4重量%のモノエタノールアミン、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするプリント配線板のデスミア液により上記課題を解決することを見出した。
また絶縁樹脂がポリイミド樹脂を主成分とするプリント配線板材料を、レーザー照射、またはドリル、またはパンチング、またはそれらの組み合わせで穿孔したあと、上記デスミア液でデスミア処理することを特徴とするデスミア方法により上記課題を解決することを見出した。
本発明によれば、ビアホールを有する、絶縁材料が超耐熱ポリイミドフィルムで構成されるフレキシブルプリント配線板の製造工程において、レーザー照射、またはドリル、またはパンチング、またはそれらの組み合わせで穿孔したフレキシブルプリント配線板材料のスミアを有効に除去し、かつ孔の変形等の材料への損傷を与えないデスミア液、およびデスミア方法を提案することができる。
以下に本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。本発明のデスミア液は、N−(β−アミノエチル)エタノールアミンを10〜40重量%、および水酸化カリウムを20〜40重量%、および残部の水を含む水溶液である。好ましい態様としては、N−(β−アミノエチル)エタノールアミンを10〜40重量%、および水酸化カリウムを20〜40重量%、およびモノエタノールアミンを0.1〜4重量%、および残部の水を含む水溶液である。より好ましくは、N−(β−アミノエチル)エタノールアミンを25〜40重量%、および水酸化カリウムを20〜40重量%、およびモノエタノールアミンを0.1〜2重量%、および残部の水を含む水溶液である。さらに好ましくは、N−(β−アミノエチル)エタノールアミンを25〜35重量%、および水酸化カリウムを20〜30重量%、およびモノエタノールアミンを0.5〜2重量%、および残部の水を含む水溶液である。本発明のデスミア液には当業者で知られる添加剤を含有せしめることもできる。なお本発明のデスミア液に含まれる水は、純水が好ましい。
本発明のデスミア液は、ピロメリット酸系ポリイミド(例えばフィルム単体の商品名としては、米国デュポン社製「カプトン」)やビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミド(例えばフィルム単体の商品名としては、宇部興産株式会社製「ユーピレックス」)等の当業者で知られるポリイミド樹脂を絶縁樹脂として有するプリント配線板材料に使用することができる。本発明において絶縁材料が超耐熱ポリイミドフィルムで構成されるフレキシブルプリント配線板材料としては、当業者で知られるあらゆる方法で製造されたものを使用することができる。製造方法としては、キャスティング方式・ラミネート方式・メタライジング方式等がある。またフレキシブルプリント配線板材料としては、エポキシ等の接着剤層を有する3層タイプと接着剤層のない2層タイプが知られているが、本発明においてはいずれのタイプをも使用することができる。
本発明のデスミア液は20℃〜90℃の範囲で使用することができる。プリント配線板材料の構成や絶縁樹脂の種類や厚み、孔の形状や孔の種類(貫通孔・非貫通孔等)、工程時間等により最適温度が異なるが、30℃〜85℃が好ましい。デスミア装置としては当業者で知られる機能・構造を有する装置を用いることができる。
本発明においてプリント配線板材料は、レーザー照射、またはドリル、またはパンチング、またはそれらの組み合わせで穿孔したあと、デスミア処理される。穿孔方法としては、微細加工、生産性の観点から、レーザー照射による穿孔方法が最も一般的に用いられる。レーザーとしては、炭酸ガスレーザー、YAGレーザーなどの赤外領域に発信波長をもつレーザーをそのまま、あるいは非線形型光学結晶に照射して260nm〜400nmの紫外光を取り出して使用することができる。
金属層を有しないポリイミド表面にレーザーを照射してレーザー穿孔する場合、ポリイミド上に所望の断面形状を与えるマスクを被覆し、レーザーを照射して直径3〜300μmφ、好ましくは30〜300μmφ、より好ましくは30〜200μmφの貫通孔を形成するコンフォーマルマスク法だけでなく、ビームを絞ったレーザーで穿孔することもできる。金属層を有するポリイミド樹脂にレーザーを照射してレーザー穿孔する場合、金属層を化学エッチングして、所望の断面形状の金属層をマスクとし、レーザーを照射して直径3〜300μmφ、好ましくは30〜300μmφ、より好ましくは30〜200μmφの貫通孔を形成するコンフォーマルマスク法が一般的であるが、所望のビアホールより大きいポリイミド露出部を有する金属マスク層を作成後、ビームを絞ったレーザーで穿孔することもできる。
厚さ25ミクロンのビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミドフィルムの両面に厚さ18ミクロンの銅箔を有する銅張積層板に、市販のプリント配線板製造用ドリルで直径約200μmの孔を穿孔し、純水で水洗し、クリーンルーム内で乾燥してこれを材料Aとした。材料Aの貫通孔の裏面から照明をあてて、光学顕微鏡で透過像で形状を観察し、異常な形状の貫通孔試料Bを見つけた。図1に貫通孔試料Bの光学顕微鏡写真を示す。
表1の液1の構成のデスミア液を調製した。残部を水(純水)とした。
上記の貫通孔試料Bを有する銅張積層板を80℃で保温した液1に攪拌しながら1分間浸漬し、純水で水洗後、50℃の熱風で乾燥して、貫通孔試料Cを得た。貫通孔試料Cを光学顕微鏡で観察した。図2に貫通孔試料Cの光学顕微鏡写真を示す。デスミア処理により、貫通孔が完全な円形になっていることが確認できた。さらに銅箔に隠れたポリイミドフィルムの貫通孔の形状を観察するために、銅箔を塩化第2鉄系エッチング液で除去し、水洗・乾燥して、貫通孔試料Dを得た。図3に貫通孔試料Dの光学顕微鏡写真を示す。貫通孔Dは直径202μmの完全な円形であり、良好にデスミアされていることが確認された。
さらに液1に攪拌しながら2分間、3分間浸漬した以外は、貫通孔試料Dと全く同じ方法で、銅箔剥離後の貫通孔試料E、Fを得た。また比較のため、液1に浸漬せずに銅箔を剥離して貫通孔試料Gを得た。貫通孔試料の直径は、E:201μm、F:203μm、G:200μmであり、液1のデスミア液は貫通孔の直径方向にはポリイミド樹脂を溶解させず、絶縁層の形状が変化していない。
厚さ25ミクロンのビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミドフィルムの両面に厚さ18ミクロンの銅箔を有する銅張積層板の片面に、円形パターンを有するフォトマスクを通して紫外光で密着露光・現像して、円形のポリイミドフィルムの露出部を作製した。もう一方の面は全面をエッチングマスクした。これに炭酸ガスレーザーを照射して、コンフォーマルマスク法で直径80ミクロンの有底ビアホールを得た。これを純水で水洗し、クリーンルーム内で乾燥して材料Hとした。光学顕微鏡で反射像を観察したところ、スミアが孔内や周辺に残留・飛散していた。
表2の液2〜液5の構成のデスミア液を調製した。残部を水(純水)とした。
材料Hを80℃で保温した液2〜液5に攪拌しながら3分間浸漬し、純水で水洗後、50℃の熱風で乾燥した。光学顕微鏡で孔内・孔周辺のスミアを観察し、グレード評価した。グレードは、
3:完全にスミアが除去されている
2:若干スミアが残留しているが、実用的には可のレベルである
1:スミアが除去されていない
の3段階で評価した。結果を表2に示す。
3:完全にスミアが除去されている
2:若干スミアが残留しているが、実用的には可のレベルである
1:スミアが除去されていない
の3段階で評価した。結果を表2に示す。
さらに銅箔に隠れたポリイミドフィルムのビアホールの形状を観察するために、銅箔を塩化第2鉄系エッチング液で除去し(裏面は、全面をエッチングマスクして、銅箔を除去ていない)、水洗・乾燥して、光学顕微鏡でビアホールの形状を観察し、グレード評価した。グレードは、
A:完全な円形である
B:ポリイミドの溶解が進み、ビアホールが変形している
の2段階で評価した。結果を表2に示す。本発明のデスミア液によって、ビアホールの形状を変形することなく、有効にスミアが除去されている。
A:完全な円形である
B:ポリイミドの溶解が進み、ビアホールが変形している
の2段階で評価した。結果を表2に示す。本発明のデスミア液によって、ビアホールの形状を変形することなく、有効にスミアが除去されている。
(比較例)
表2の液6〜10(残部を純水とした)を用いて実施例2と同様の操作でビアホールのスミア、形状をグレード評価した。結果を表2に示す。ビアホールの形状を変形することなく、有効にスミアを除去することができない。
表2の液6〜10(残部を純水とした)を用いて実施例2と同様の操作でビアホールのスミア、形状をグレード評価した。結果を表2に示す。ビアホールの形状を変形することなく、有効にスミアを除去することができない。
厚さ25ミクロンのピロメリット酸系ポリイミドフィルムの両面に厚さ12ミクロンの銅箔を有する銅張積層板に、市販のプリント配線板製造用ドリルで直径約200μmの孔を穿孔し、純水で水洗し、クリーンルーム内で乾燥してこれを材料Jとした。光学顕微鏡で観察したところ、スミアが孔壁や周辺に残留・飛散していた。
表3の液11〜液24の構成のデスミア液を調製した。残部を水(純水)とした。
材料Jを60℃で保温した液11〜液24に3分間浸漬・静置し、純水で水洗後、50℃の熱風で乾燥した。複数の貫通孔について光学顕微鏡で孔内・孔周辺のスミアを観察し、グレード評価した。グレードは、
3:完全にスミアが除去されている
2:ほぼ完全にスミアが除去されているが、スミアが除去されていない貫通孔がある
1:スミアが除去されていない
の3段階で評価した。結果を表3に示す。
3:完全にスミアが除去されている
2:ほぼ完全にスミアが除去されているが、スミアが除去されていない貫通孔がある
1:スミアが除去されていない
の3段階で評価した。結果を表3に示す。
さらに銅箔に隠れたポリイミドフィルムの貫通孔の形状を観察するために、銅箔を塩化第2鉄系エッチング液で除去し(裏面は、全面をエッチングマスクして、銅箔を除去ていない)、水洗・乾燥して、光学顕微鏡で貫通孔の形状を観察し、グレード評価した。グレードは、
A:完全な円形である
B:ポリイミドの溶解が進み、貫通孔が変形している
の2段階で評価した。結果を表3に示す。本発明の好ましい態様である、10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウムに加えて、0.1〜4重量%のモノエタノールアミン、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするデスミア液で、より安定してスミアが除去されている。
A:完全な円形である
B:ポリイミドの溶解が進み、貫通孔が変形している
の2段階で評価した。結果を表3に示す。本発明の好ましい態様である、10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウムに加えて、0.1〜4重量%のモノエタノールアミン、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするデスミア液で、より安定してスミアが除去されている。
Claims (3)
- 10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウム、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするプリント配線板のデスミア液。
- 10〜40重量%のN−(β−アミノエチル)エタノールアミン、および20〜40重量%の水酸化カリウム、および0.1〜4重量%のモノエタノールアミン、および残部の水を含む水溶液からなることを特徴とするプリント配線板のデスミア液。
- 絶縁樹脂がポリイミド樹脂を主成分とするプリント配線板材料を、レーザー照射、またはドリル、またはパンチング、またはそれらの組み合わせで穿孔したあと、請求項1または2のデスミア液でデスミア処理することを特徴とするデスミア方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004183647A JP2006012892A (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | デスミア液、およびデスミア方法 |
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JP2004183647A JP2006012892A (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | デスミア液、およびデスミア方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110461920A (zh) * | 2017-04-06 | 2019-11-15 | 三菱制纸株式会社 | 用于树脂组合物的蚀刻液和蚀刻方法 |
CN112912466A (zh) * | 2018-10-24 | 2021-06-04 | 三菱制纸株式会社 | 树脂组合物的蚀刻液及蚀刻方法 |
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2004
- 2004-06-22 JP JP2004183647A patent/JP2006012892A/ja active Pending
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