JP5177968B2 - 貫通孔形成方法および配線回路基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(1−1)導体張積層板の構成
図1は、導体張積層板としての積層体の例を示す断面図である。
ここで、導体張積層板としての上記積層体10を用いた配線回路基板の製造方法について図面を参照しながら説明する。
続いて、上記積層体10に第2の貫通孔31を形成する貫通孔形成方法について図面を参照しながら説明する。
図5は、積層体の他の例を示す断面図である。
上記実施の形態においては、第1の貫通孔30を形成した後、当該第1の貫通孔30と同心で径大な第2の貫通孔31を形成する際に、レーザ光の熱エネルギーが第1の貫通孔30の内部における空気層に拡散される。それにより、第2の貫通孔31の内壁における各接着剤層に熱エネルギーが吸収されにくくなり、第2の貫通孔31の内壁における各接着剤層が抉り取られることが抑制される。したがって、第2の貫通孔31を良好に形成することが可能となる。
上記第1および第2の実施の形態における積層体10,20の各層の構成についてはこれらに限定されるものではない。例えば、図1において絶縁層3と第2の導体層4との間に接着剤層を設けてもよいし、図5において第3の導体層6と第2の絶縁層7との間に接着剤層を設けてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
図6は、実施例1における貫通孔形成方法の順序を示す説明図である。
本実施例では、上記第2の実施の形態に係る積層体20(図5)を用意した。この積層体20における第1の導体層1の厚さは18μmとし、第2の接着剤層5の厚さは10μmとし、第1の絶縁層3の厚さは12.5μmとし、第1の接着剤層2の厚さは25μmとし、第3の導体層6の厚さは18μmとし、第2の絶縁層7の厚さは25μmとし、第2の導体層4の厚さは18μmとした。
本比較例では、上記第1の実施の形態に係る積層体10(図1)を用意した。そして、1回のトレパン加工法で積層体10に孔径150μmの貫通孔を形成した。
本比較例では、上記第2の実施の形態に係る積層体20(図5)を用意した。そして、1回のトレパン加工法で積層体20に孔径150μmの貫通孔を形成した。
実施例1および比較例1の積層体10の接着剤層2において、レーザ光による熱エネルギーにより抉り取られた深さを測定した。測定結果は、それぞれ13.7μmおよび14.6μmであった。なお、この深さは第2の貫通孔31の内壁における第1の導体層1を基準としたものである。
1a 導体パターン
2 接着剤層(第1の接着剤層)
3 絶縁層(第1の絶縁層)
4 第2の導体層
4a 導体パターン
5 第2の接着剤層
6 第3の導体層
7 第2の絶縁層
8 無電解銅めっき層
9 電解銅めっき層
10,20 積層体(導体張積層板)
11 接触(コンタクト)部
12 カバーレイ
13 無電解金めっき層
30 第1の貫通孔
31 第2の貫通孔
Claims (6)
- 導体層と絶縁層とが接着剤層を介して積層されてなる導体張積層板に貫通孔を形成する貫通孔形成方法であって、
前記導体張積層板に第1の径を有する第1の貫通孔を形成する工程と、
前記第1の貫通孔の内周壁をレーザ光により除去することによって、前記第1の貫通孔と略同心で前記第1の径より大きい第2の径を有する第2の貫通孔を形成する工程とを備え、
前記第1の貫通孔を形成する工程においては、前記第1の貫通孔の略中心領域から前記第1の径を有する円の一部を通って略中心領域に戻る軌跡を描くようにレーザ光を繰り返し移動させ、
前記第2の貫通孔を形成する工程においては、前記第1の貫通孔の略中心領域から前記第2の径を有する円の一部を通って略中心領域に戻る軌跡を描くようにレーザ光を繰り返し移動させることを特徴とする貫通孔形成方法。 - 前記導体張積層板は、複数の前記導体層を含むことを特徴とする請求項1記載の貫通孔形成方法。
- 前記絶縁層はポリイミドを含むことを特徴とする請求項1または2記載の貫通孔形成方法。
- 前記接着剤層はアクリル系接着剤、エポキシ系接着剤およびゴム系接着剤のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の貫通孔形成方法。
- 前記導体層は銅箔を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の貫通孔形成方法。
- 絶縁層の両面に少なくとも1つの接着剤層を介して導体層を有する導体張積層板を準備する工程と、
請求項1〜5のいずれかに記載の貫通孔形成方法により前記導体張積層板を貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔の内周面および前記導体層の表面に導電体層を形成する工程と、
前記導体層を加工して導体パターンを形成する工程とを含むことを特徴とする配線回路基板の製造方法。
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