JP2005525545A - 接触力制御を備えた接触作動器 - Google Patents
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Abstract
Description
2 固定永久磁石ブロック
3 固定永久磁石ブロック
4 電気コイル
5 リンクロッド
6 リンクロッド
7 逆転レバー
8 台
9 レール
20 支柱
21 磁石
22 磁石
30 支柱
31 磁石
32 磁石
41 コイルの螺旋部分
42 コイルの螺旋部分
55 軸
56 顎部
57 円筒
58 弾性金属の刃
65 軸
66 顎部
67 円筒
68 弾性金属の刃
81 フランジ
82 フランジ
91 軸受け
92 軸受け
93 誘導センサ
94 誘導センサ
95 ビス
96 ビス
Claims (14)
- 半導体部品の接触器の作動システムであり、該システムが、
線形運動発生器と、
接触力の制御システムとを具備するものであって、
前記運動発生器が有限数の離散状態を有する電気機械変換器(2、3、4)であることを特徴とする作動システム。 - 前記電気機械変換器がボイスコイルモーターである、請求項1に記載の作動システム。
- 前記ボイスコイルモーターが、二つの固定永久磁石ブロック(2、3)の間に配置された可動性電気コイル(4)を具備する、請求項2に記載の作動システム。
- 前記可動性電気コイル(4)が、前記二つの永久磁石ブロック(2、3)の間の最も短い区分の中心面にほぼ平行な軸に沿って案内される、請求項3に記載の作動システム。
- 前記可動性電気コイル(4)が、少なくとも一本の線形レール(9)の上を案内される少なくとも一つのフランジ(81、82)に取り付けられている、請求項3または請求項4に記載の作動システム。
- 前記可動性電気コイル(4)の運動の振幅が軸受け(91、92)によって各側で制限される、請求項3〜請求項5のいずれか一つに記載の作動システム。
- 前記接触力の制限機構が少なくとも一つのリンクロッド(5、6)を備える、請求項1〜請求項6のいずれか一つに記載の作動システム。
- 前記少なくとも一つのリンクロッド(5、6)の第一端が前記運動発生器の可動部(4、8)と連動する、請求項7に記載の作動システム。
- 前記少なくとも一つのリンクロッド(5、6)の第二端が半導体部品の接触器の第一の顎部(56)と連動する、請求項7または請求項8に記載の作動システム。
- 前記少なくとも一つのリンクロッド(5、6)の第二端の移動の軸が、前記少なくとも一つのリンクロッド(5、6)の第一端の移動の軸とは線形的に独立した軸に沿って案内される、請求項7〜請求項9のいずれか一つに記載の作動システム。
- 二本のリンクロッド(5、6)を備えている、請求項7〜請求項10のいずれか一つに記載の作動システム。
- 前記二本のリンクロッド(5、6)のそれぞれが、半導体部品の接触器の顎部(56、66)を作動させる、請求項11に記載の作動システム。
- 第二のリンクロッド(6)の第二端に取り付けられた逆転器(7)を具備する、請求項11または請求項12に記載の作動システム。
- 接触器の閉鎖を引き起こす電流の発生と、
接触器を閉鎖位置に維持する、より弱い電流の発生と、
接触器の開放を引き起こす、先に発生させた電流の方向と反対方向の電流の発生と、
接触器を開放位置に維持する、より弱い電流の発生を含んでいる、
請求項1〜請求項13のいずれか一つに記載の接触器の作動システムの操作サイクル。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH2882002 | 2002-02-20 | ||
PCT/CH2003/000043 WO2003071288A1 (fr) | 2002-02-20 | 2003-01-21 | Actionneur de contacts avec contrôle de la force de contact |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005525545A true JP2005525545A (ja) | 2005-08-25 |
Family
ID=27740044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003570138A Pending JP2005525545A (ja) | 2002-02-20 | 2003-01-21 | 接触力制御を備えた接触作動器 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050011027A1 (ja) |
EP (1) | EP1476761B1 (ja) |
JP (1) | JP2005525545A (ja) |
KR (1) | KR20040086412A (ja) |
CN (1) | CN100437122C (ja) |
AU (1) | AU2003201259A1 (ja) |
DE (1) | DE60317634T2 (ja) |
MY (1) | MY139030A (ja) |
WO (1) | WO2003071288A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3991229B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
JP4074999B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2008-04-16 | 村田機械株式会社 | 搬送台車システム |
CN105008941B (zh) * | 2012-12-19 | 2018-12-04 | 伊斯梅卡半导体控股公司 | 用于限制力的装置和方法 |
JP6238869B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2017-11-29 | アズビル株式会社 | 接触制御装置 |
GB201620548D0 (en) * | 2016-12-02 | 2017-01-18 | Nordson Corp | Bond test apparatus and method |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4956923A (en) * | 1989-11-06 | 1990-09-18 | The Micromanipulator Co., Inc. | Probe assembly including touchdown sensor |
US5012186A (en) * | 1990-06-08 | 1991-04-30 | Cascade Microtech, Inc. | Electrical probe with contact force protection |
JPH07501437A (ja) * | 1991-07-12 | 1995-02-09 | デンネ ディベロプメンツ リミテッド | 直線駆動用電磁装置 |
EP0615131A1 (en) * | 1993-03-10 | 1994-09-14 | Co-Operative Facility For Aging Tester Development | Prober for semiconductor integrated circuit element wafer |
US5808381A (en) * | 1994-08-09 | 1998-09-15 | Hitachi Metals, Ltd. | Linear motor |
US5847474A (en) * | 1994-12-05 | 1998-12-08 | Itt Automotive Electrical Systems, Inc. | Lorentz force actuator |
JPH09182410A (ja) * | 1995-12-20 | 1997-07-11 | Minolta Co Ltd | リニアモータ |
KR0176627B1 (ko) * | 1995-12-30 | 1999-05-15 | 김광호 | 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치 |
JP4164905B2 (ja) * | 1997-09-25 | 2008-10-15 | 株式会社ニコン | 電磁力モータ、ステージ装置および露光装置 |
DE19844428B4 (de) * | 1998-09-28 | 2004-05-13 | Atg Test Systems Gmbh & Co.Kg | Prüfsonde für einen Fingertester, ein Verfahren zum Ansteuern einer Prüfsonde, Fingertester zum Prüfen von Leiterplatten und ein Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten mit einem Fingertester |
GB2343997B (en) * | 1998-11-23 | 2003-06-25 | Linear Drives Ltd | Coaxial linear motor for extended travel |
DE19913050A1 (de) * | 1999-03-23 | 2000-09-28 | Fev Motorentech Gmbh | Verfahren zur Erfassung der Position und/oder Bewegungsgeschwindigkeit eines zwischen zwei Schaltstellungen hin und her bewegbaren Stellelements |
DE19922423A1 (de) * | 1999-05-14 | 2000-11-30 | Siemens Ag | Elektromechanischer Stellantrieb |
CN100574059C (zh) * | 2002-01-16 | 2009-12-23 | 科龙勇发株式会社 | 线性电动机 |
-
2003
- 2003-01-21 CN CNB038043599A patent/CN100437122C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-21 JP JP2003570138A patent/JP2005525545A/ja active Pending
- 2003-01-21 AU AU2003201259A patent/AU2003201259A1/en not_active Abandoned
- 2003-01-21 EP EP03742481A patent/EP1476761B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-21 DE DE60317634T patent/DE60317634T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-21 KR KR10-2004-7012932A patent/KR20040086412A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-01-21 WO PCT/CH2003/000043 patent/WO2003071288A1/fr active IP Right Grant
- 2003-01-28 MY MYPI20030277A patent/MY139030A/en unknown
-
2004
- 2004-08-16 US US10/919,107 patent/US20050011027A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60317634T2 (de) | 2008-10-30 |
US20050011027A1 (en) | 2005-01-20 |
EP1476761A1 (fr) | 2004-11-17 |
MY139030A (en) | 2009-08-28 |
EP1476761B1 (fr) | 2007-11-21 |
DE60317634D1 (de) | 2008-01-03 |
CN1636142A (zh) | 2005-07-06 |
KR20040086412A (ko) | 2004-10-08 |
AU2003201259A1 (en) | 2003-09-09 |
CN100437122C (zh) | 2008-11-26 |
WO2003071288A1 (fr) | 2003-08-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A602 | Written permission of extension of time |
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|
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