JP2005340536A - 可変容量コンデンサ - Google Patents
可変容量コンデンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005340536A JP2005340536A JP2004158440A JP2004158440A JP2005340536A JP 2005340536 A JP2005340536 A JP 2005340536A JP 2004158440 A JP2004158440 A JP 2004158440A JP 2004158440 A JP2004158440 A JP 2004158440A JP 2005340536 A JP2005340536 A JP 2005340536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- upper electrode
- lower electrode
- variable capacitor
- support member
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】 基板1上に広面積の下部電極2が形成され、下部電極2に対向させて広面積の上部電極4が配置されているとともに、下部電極2と上部電極4との間に、上部電極4を複数の可動領域に分けてそれぞれを下部電極2側に変位させるための絶縁性の支持部材3が配置されている可変コンデンサである。支持部材3により上部電極4を複数の可動領域に分けて支持していることにより、各可動領域において上部電極4が下部電極2側へ安定して変位することができるため、設計した容量値に対してばらつきが少なく、外部からの振動やノイズ等のある場合でも安定した容量値を実現することができる。
【選択図】 図1
Description
2:下部電極
3:支持部材
4:上部電極
5:孔
6:誘電体
7:犠牲層
Claims (3)
- 基板上に広面積の下部電極が形成され、該下部電極に対向させて広面積の上部電極が配置されているとともに、前記下部電極と前記上部電極との間に、前記上部電極を複数の可動領域に分けてそれぞれを前記下部電極側に変位させるための絶縁性の支持部材が配置されていることを特徴とする可変容量コンデンサ。
- 前記上部電極の前記可動領域に孔が開いていることを特徴とする請求項1記載の可変容量コンデンサ。
- 前記可動領域の前記下部電極と前記上部電極との間に誘電体が配置されていることを特徴とする請求項1記載の可変容量コンデンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004158440A JP2005340536A (ja) | 2004-05-27 | 2004-05-27 | 可変容量コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004158440A JP2005340536A (ja) | 2004-05-27 | 2004-05-27 | 可変容量コンデンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005340536A true JP2005340536A (ja) | 2005-12-08 |
Family
ID=35493749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004158440A Pending JP2005340536A (ja) | 2004-05-27 | 2004-05-27 | 可変容量コンデンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005340536A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007273932A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-10-18 | Fujitsu Ltd | 可変キャパシタおよび可変キャパシタ製造方法 |
WO2010137447A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | 株式会社村田製作所 | 可変容量素子 |
US8218285B2 (en) | 2009-04-06 | 2012-07-10 | Fujitsu Limited | Variable capacitance element |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04250611A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-09-07 | General Electric Co <Ge> | 無電極高光度放電ランプ用安定器およびランプ装置 |
JPH0821967A (ja) * | 1993-07-27 | 1996-01-23 | Texas Instr Inc <Ti> | 超小形モノリシック可変電気デバイスおよびそれを含む装置 |
JPH08213803A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-08-20 | Texas Instr Inc <Ti> | 高周波信号用スイッチを含む移相器 |
JP2003297671A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-17 | Agilent Technol Inc | プレート懸架構造を有するマイクロマシン加工された平行板可変コンデンサ |
JP2004006588A (ja) * | 2002-03-25 | 2004-01-08 | Fujitsu Media Device Kk | 可変キャパシタ及びその製造方法 |
JP2004503313A (ja) * | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
JP2004074341A (ja) * | 2002-08-15 | 2004-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004130509A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-30 | Eastman Kodak Co | 連続可変変位型マイクロエレクトロメカニカルデバイス |
-
2004
- 2004-05-27 JP JP2004158440A patent/JP2005340536A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04250611A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-09-07 | General Electric Co <Ge> | 無電極高光度放電ランプ用安定器およびランプ装置 |
JPH0821967A (ja) * | 1993-07-27 | 1996-01-23 | Texas Instr Inc <Ti> | 超小形モノリシック可変電気デバイスおよびそれを含む装置 |
JPH08213803A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-08-20 | Texas Instr Inc <Ti> | 高周波信号用スイッチを含む移相器 |
JP2004503313A (ja) * | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
JP2003297671A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-17 | Agilent Technol Inc | プレート懸架構造を有するマイクロマシン加工された平行板可変コンデンサ |
JP2004006588A (ja) * | 2002-03-25 | 2004-01-08 | Fujitsu Media Device Kk | 可変キャパシタ及びその製造方法 |
JP2004074341A (ja) * | 2002-08-15 | 2004-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004130509A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-30 | Eastman Kodak Co | 連続可変変位型マイクロエレクトロメカニカルデバイス |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007273932A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-10-18 | Fujitsu Ltd | 可変キャパシタおよび可変キャパシタ製造方法 |
US8218285B2 (en) | 2009-04-06 | 2012-07-10 | Fujitsu Limited | Variable capacitance element |
WO2010137447A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | 株式会社村田製作所 | 可変容量素子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7215061B2 (en) | Micromechanical electrostatic resonator | |
TWI224878B (en) | Piezoelectric actuator for tunable electronic components | |
JP2005260208A (ja) | 薄膜圧電アクチュエータ | |
US20070052324A1 (en) | Surface acoustic wave device and method for fabricating the same | |
KR100542557B1 (ko) | 박막 공진기와, 박막 공진기의 제조 방법 및 박막공진기를 구비하는 필터 | |
US20230019457A1 (en) | Piezoelectric element and method for producing a piezoelectric element | |
CN110636421A (zh) | 一种mems结构及其制造方法 | |
CN108964628A (zh) | 体声波谐振器 | |
JP2007521612A (ja) | 微小電気機械装置及びモジュール並びにその製造方法 | |
US9767966B2 (en) | Electric equipment having movable portion, and its manufacture | |
JP2006165380A (ja) | 可変容量コンデンサ | |
US20230013976A1 (en) | Movable piezo element and method for producing a movable piezo element | |
JP2005340536A (ja) | 可変容量コンデンサ | |
JP4576898B2 (ja) | マイクロメカニカル静電振動子 | |
JP2011023468A (ja) | 可変容量素子 | |
JP2018058150A (ja) | Mems素子及びその製造方法 | |
JP2011189423A (ja) | Mems素子および発振器 | |
KR101703379B1 (ko) | 막을 갖는 멤스 장치 및 그 제조 방법 | |
EP2100176B1 (en) | Substrates with slotted metals and related methods | |
JP5227566B2 (ja) | アクチュエータ | |
US6600644B1 (en) | Microelectronic tunable capacitor and method for fabrication | |
JP5812096B2 (ja) | Memsスイッチ | |
JP4359923B2 (ja) | エレクトロメカニカルスイッチの製造方法 | |
JP5743383B2 (ja) | 圧電素子及び圧電装置の製造方法 | |
JP2007522609A (ja) | ピエゾ電気材料でできたマイクロ電気機械スイッチを備える電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100819 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110111 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110311 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110809 |