JP2005334785A - 液剤塗布ロボット - Google Patents
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Abstract
【課題】 所望の塗布を効率よく実施することが可能な液剤塗布ロボットを提供することにある。
【解決手段】 液剤を液滴状態で非接触にて噴射可能に構成された液剤塗布ノズルと、上記液剤塗布ノズルを相互に直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動させる液剤塗布ノズル駆動手段と、上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御して液剤塗布ノズルを位置決めすると共に任意のタイミングで連射吐出信号を出力して上記液剤塗布ノズルに連射吐出させるように制御する制御手段と、を具備したことを特徴とするものである。
【選択図】 図3
【解決手段】 液剤を液滴状態で非接触にて噴射可能に構成された液剤塗布ノズルと、上記液剤塗布ノズルを相互に直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動させる液剤塗布ノズル駆動手段と、上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御して液剤塗布ノズルを位置決めすると共に任意のタイミングで連射吐出信号を出力して上記液剤塗布ノズルに連射吐出させるように制御する制御手段と、を具備したことを特徴とするものである。
【選択図】 図3
Description
本願発明は、例えば、各種液剤をワークの所定位置に塗布する液剤塗布ロボットに係り、特に、所望の液剤塗布を効率よく実施することができるように工夫したものに関する。
従来の液剤塗布装置としては、例えば、液剤を液滴にして噴射するノズルを有するヘッドをロボットに取り付けたものがある。このロボットはティーチングさせた位置にヘッドを移動させて位置決めして停止し、そのポイントで液剤を点塗布する。そして、再び次のポイントに移動して同様の動作を実行するような構成になっている。つまり、「位置決め」、「停止」、「点塗布」を
繰り返し行うことにより所望の液剤塗布を行うものである。
繰り返し行うことにより所望の液剤塗布を行うものである。
又、別のタイプの液剤塗布ロボットがある。これは液剤をシャワー状に噴射するノズルを有するヘッドをロボットに取り付けたものである。このロボットは液剤をシャワー状に噴射しながらヘッドを移動させ線状又は面状の広域のエリアに液剤を塗布していくものである。
又、さらに別のタイプの液剤塗布ロボットとして、ヘッドのノズル先端をワークに近接させて線状に塗布を行うようなものがある。いわゆる「線塗布ロボット」と称されるものである。
又、さらに別のタイプの液剤塗布ロボットとして、ヘッドのノズル先端をワークに近接させて線状に塗布を行うようなものがある。いわゆる「線塗布ロボット」と称されるものである。
尚、上記した液剤塗布ロボットと全く同じではないが、この種の液剤塗布ロボットを開示するものとして、例えば、特許文献1、特許文献2がある。
上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、最初の液剤塗布ロボットの場合であるが、狭いエリア内で液剤塗布作業を行っている場合には問題ないが、塗布エリアが線状または面状に拡がっている場合には、塗布作業に長時間を要してしまうという問題があった。すなわち、前者の液剤塗布ロボットの場合には、「位置決め」、「停止」、「点塗布」を繰り返し行うことにより所望の液剤塗布を行うものであり、そのため、
停止動作が頻繁に実行されることになるからである。
又、次の液剤塗布ロボットの場合には次のような問題があった。すなわち、液剤をシャワー状に塗布する液剤塗布ロボットの場合では常に連続して液剤を吐出し続ける構成になっている。その為、粘度が低くて濡れ拡がる性質を持つ液体材料を線状または面状の狭エリアに対して少量だけ塗布するような場合には、塗布量の制御が困難であるという問題があった。
又、最後の液剤塗布ロボットの場合には、高粘度材料を線状又は面状に塗布する場合には適しているが、濡れ拡がる低粘度材料を狭エリアに対して少量塗布するには上記二番目の液剤塗布ロボットの場合と同様に、塗布量の細かな制御が困難であった。又、ノズルを塗布対象ワークに近接させる必要があるので、凹凸があるワークには不向きであった。
まず、最初の液剤塗布ロボットの場合であるが、狭いエリア内で液剤塗布作業を行っている場合には問題ないが、塗布エリアが線状または面状に拡がっている場合には、塗布作業に長時間を要してしまうという問題があった。すなわち、前者の液剤塗布ロボットの場合には、「位置決め」、「停止」、「点塗布」を繰り返し行うことにより所望の液剤塗布を行うものであり、そのため、
停止動作が頻繁に実行されることになるからである。
又、次の液剤塗布ロボットの場合には次のような問題があった。すなわち、液剤をシャワー状に塗布する液剤塗布ロボットの場合では常に連続して液剤を吐出し続ける構成になっている。その為、粘度が低くて濡れ拡がる性質を持つ液体材料を線状または面状の狭エリアに対して少量だけ塗布するような場合には、塗布量の制御が困難であるという問題があった。
又、最後の液剤塗布ロボットの場合には、高粘度材料を線状又は面状に塗布する場合には適しているが、濡れ拡がる低粘度材料を狭エリアに対して少量塗布するには上記二番目の液剤塗布ロボットの場合と同様に、塗布量の細かな制御が困難であった。又、ノズルを塗布対象ワークに近接させる必要があるので、凹凸があるワークには不向きであった。
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、所望の塗布を効率よく実施することが可能な液剤塗布ロボットを提供することにある。
上記目的を達成するべく本願発明の請求項1による液剤塗布ロボットは、液剤を液滴状態で非接触にて噴射可能に構成された液剤塗布ノズルと、上記液剤塗布ノズルを移動させる液剤塗布ノズル駆動手段と、上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御して液剤塗布ノズルを移動制御すると共に任意のタイミングで連射吐出信号を出力して上記液剤塗布ノズルを移動させながら液剤を連射吐出させるように制御する制御手段と、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項2による液剤塗布ロボットは、請求項1記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は、上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御すると共に所定のタイミングで吐出信号を出力するロボットコントローラと、ロボットコントローラからの吐出信号を入力して連射吐出信号を出力する吐出制御装置と、を備えていることを特徴とするものである。
又、請求項3による液剤塗布ロボットは、請求項2記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は上記吐出制御装置から出力される連射吐出信号の周波数を調整することにより液剤塗布量を調整するものであることを特徴とするものである。
又、請求項4による液剤塗布ロボットは、請求項2記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は上記吐出制御装置から出力される上記連射吐出信号のデューティー比(T1/T2、T1:吐出時間、T2:吐出時間間隔)を調整することにより液剤塗布量を調整するものであることを特徴とするものである。
又、請求項5による液剤塗布ロボットは、請求項1〜請求項4の何れかに記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は、液剤塗布動作が終了した後に、位置ずれの有無を確認し、位置ずれが有ると判断した場合には警報を出力するものであることを特徴とするものである。
又、請求項6による液剤塗布ロボットは、請求項1〜請求項5の何れかに記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記液剤塗布ノズル駆動手段は上記液剤塗布ノズルを相互に直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動させるものであることを特徴とするものである。
又、請求項2による液剤塗布ロボットは、請求項1記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は、上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御すると共に所定のタイミングで吐出信号を出力するロボットコントローラと、ロボットコントローラからの吐出信号を入力して連射吐出信号を出力する吐出制御装置と、を備えていることを特徴とするものである。
又、請求項3による液剤塗布ロボットは、請求項2記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は上記吐出制御装置から出力される連射吐出信号の周波数を調整することにより液剤塗布量を調整するものであることを特徴とするものである。
又、請求項4による液剤塗布ロボットは、請求項2記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は上記吐出制御装置から出力される上記連射吐出信号のデューティー比(T1/T2、T1:吐出時間、T2:吐出時間間隔)を調整することにより液剤塗布量を調整するものであることを特徴とするものである。
又、請求項5による液剤塗布ロボットは、請求項1〜請求項4の何れかに記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記制御手段は、液剤塗布動作が終了した後に、位置ずれの有無を確認し、位置ずれが有ると判断した場合には警報を出力するものであることを特徴とするものである。
又、請求項6による液剤塗布ロボットは、請求項1〜請求項5の何れかに記載の液剤塗布ロボットにおいて、上記液剤塗布ノズル駆動手段は上記液剤塗布ノズルを相互に直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動させるものであることを特徴とするものである。
以上述べたように本願発明による液剤塗布ロボットによると、液剤を液滴状態で非接触にて噴射可能に構成された液剤塗布ノズルと、上記液剤塗布ノズルを移動させる液剤塗布ノズル駆動手段と、上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御して液剤塗布ノズルを位置決めすると共に任意のタイミングで連射吐出信号を出力して上記液剤塗布ノズルに連射吐出させるように制御する制御手段と、を具備した構成になっているので、必要な範囲に液剤を塗布する際に、液剤塗布ノズルを頻繁に停止動作させることなく連続動作させながら連射吐出することにより、所望の液剤塗布を短い時間で済ませることが可能になった。又、塗布精度も高いものである。
又、制御手段を 連射吐出信号の周波数やデューティー比(T1/T2、T1:吐出時間、T2:吐出時間間隔)を調整することにより液剤塗布量を調整するものとして構成した場合には、塗布量の制御が容易になると共に精度も高くなるものである。
又、制御手段を液剤塗布動作が終了した後に、位置ずれの有無を確認し、位置ずれが有ると判断したときには警報を出力するものとして構成した場合には、不良品の発生を防止する上で効果的である。
又、上記液剤塗布ノズル駆動手段を上記液剤塗布ノズルを相互に直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動させるものとして構成した場合には、
液剤塗布ノズルを三次元の範囲内で任意の場所に移動させて位置決めすることができる。
又、制御手段を 連射吐出信号の周波数やデューティー比(T1/T2、T1:吐出時間、T2:吐出時間間隔)を調整することにより液剤塗布量を調整するものとして構成した場合には、塗布量の制御が容易になると共に精度も高くなるものである。
又、制御手段を液剤塗布動作が終了した後に、位置ずれの有無を確認し、位置ずれが有ると判断したときには警報を出力するものとして構成した場合には、不良品の発生を防止する上で効果的である。
又、上記液剤塗布ノズル駆動手段を上記液剤塗布ノズルを相互に直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動させるものとして構成した場合には、
液剤塗布ノズルを三次元の範囲内で任意の場所に移動させて位置決めすることができる。
以下、図1〜図7を参照して本発明の一実施の形態を説明する。図1は本実施の形態による液剤塗布ロボットの構成を示す図であり、Y軸ガイド装置1があり、このY軸ガイド装置1は、Y軸サーボモータ3と、このY軸サーボモータ3に連結されたY軸ボールネジ・ボールナット手段5等から構成されている。上記Y軸ボールネジ・ボールナット手段のボールナットには移動台が取り付けられていて、該移動台にはX軸ガイド装置7が取り付けられている。
上記X軸ガイド装置7は、X軸サーボモータ9と、このX軸サーボモータ9に連結されたX軸ボールネジ・ボールナット手段11等から構成されている。上記X軸ボールネジ・ボールナット手段のボールナットには移動台が取り付けられていて、この移動台にはZ軸ガイド装置13が取り付けられている。
上記Z軸ガイド装置13は、Z軸サーボモータ15と、このZ軸サーボモータ15に連結されたZ軸ボールネジ・ボールナット手段17等から構成されている。上記Z軸ボールネジ・ボールナット手段17のボールナットにはヘッドが取り付けられていて、このヘッドには液剤塗布ノズル19が取り付けられている。この液剤塗布ノズル19は、上記Y軸ガイド装置1、X軸ガイド装置7、Z軸ガイド装置13によって、X・Y・Z軸方向に適宜移動可能な構成になっている。そして、この液剤塗布ノズル19によってワーク21の所定箇所に液剤を塗布するものである。
又、上記液剤塗布ノズル19は、液剤を液滴状態で非接触にて噴射可能に構成されたものである。
一方、上記Y軸ガイド装置1、X軸ガイド装置7、Z軸ガイド装置13、液剤塗布ノズル19を制御するための制御手段22が設けられている。この制御手段22は、ロボットコントローラ23と吐出制御装置25を備えている。上記ロボットコントローラ23は、上記Y軸ガイド装置1、X軸ガイド装置7、Z軸ガイド装置13を制御すると共に、吐出制御装置25を介して液剤塗布ノズル19を制御するものである。すなわち、図2に示すように、ロボットコントローラ23から吐出制御装置25に対して吐出信号が出力される。又、吐出制御装置25からは液剤塗布ノズル19のバルブに対して連射吐出信号が出力されることになる。
上記ワーク21の近傍には、待機位置31、拭き取りステーション33、捨て打ちステーション35が設置されている。上記待機位置には図示しない容器があり、該容器内には液剤が収容されている。そして、上記液剤塗布ノズル19が待機位置にある時にはこの容器内の液剤中に浸漬されている。それによって、液剤塗布ノズル19の先端部の液剤の硬化を防止するようにしている。上記拭き取りステーション33においては、液剤塗布ノズル19の先端部に付着している液剤を拭き取るものである。又、上記捨て打ちステーションでは、液剤塗布ノズル19による捨て打ちが実行され、液剤の正常な吐出の有無が確認される。
以上の構成を基に、図3のフローチャートを参照しながらその作用を説明する。
まず、液剤塗布ノズル19は待機位置において待機している。その状態でスタートする。まず、ステップS1において液剤塗布ノズル19の拭き取り動作が実行される。すなわち、液剤塗布ノズル19を吹き取りステーション33に移動させて、そこで吹き取り動作が実行されるものである。次に、ステップS2に移行して、吐出が「OK」か否かの判別を行う。すなわち、液剤塗布ノズル19を捨て打ちステーション35に移動させて、そこで捨て打ちを実行させるものである。吐出が「NG」であると判別された場合には、ステップS3に移行する。ステップS3ではアラームが出力される。そして、ステップS4に移行して、液剤塗布ノズル19を待機位置に戻す。そこで、必要な保守・点検を行うものである。
まず、液剤塗布ノズル19は待機位置において待機している。その状態でスタートする。まず、ステップS1において液剤塗布ノズル19の拭き取り動作が実行される。すなわち、液剤塗布ノズル19を吹き取りステーション33に移動させて、そこで吹き取り動作が実行されるものである。次に、ステップS2に移行して、吐出が「OK」か否かの判別を行う。すなわち、液剤塗布ノズル19を捨て打ちステーション35に移動させて、そこで捨て打ちを実行させるものである。吐出が「NG」であると判別された場合には、ステップS3に移行する。ステップS3ではアラームが出力される。そして、ステップS4に移行して、液剤塗布ノズル19を待機位置に戻す。そこで、必要な保守・点検を行うものである。
これに対して、ステップS2において、吐出が「OK」であると判別された場合には、ステップS5に移行する。このステップS5では、液剤塗布ノズル19が塗布開始ポイント1へ移動する。次に、ステップS6に移行して、吐出信号を「オン」する。この吐出信号の「オン」によって連射吐出信号が出力される。次に、ステップS7に移行して、液剤塗布ノズル19が移動を開始する。それと同時に液剤の連射吐出が実行されるものである。次に、ステップS8に移行して、液剤塗布ノズル19が移動を終了する。
次に、ステップS9に移行して吐出信号を「オフ」にする。ここまでの動作で最初の液剤塗布動作が終了したことになる。次に、ステップS10に移行して、塗布開始ポイント2へ移動する。次に、ステップS11に移行して、吐出信号を「オン」する。この吐出信号の「オン」によって連射吐出信号が出力される。次に、ステップS12に移行して、液剤塗布ノズル19が移動を開始する。それと同時に液剤の連射吐出が実行されるものである。次に、ステップS13に移行して、液剤塗布ノズル19が移動を終了する。次に、ステップS14に移行して吐出信号を「オフ」にする。ここまでの動作で二番目の液剤塗布動作が終了したことになる。
以下、同様の処理をn回だけ繰り返し実行する。すなわち、ステップSn1に移行して、塗布開始ポイントnへ移動する。次に、ステップSn2に移行して、吐出信号をオンする。次に、ステップSn3に移行して、液剤塗布ノズル19が移動を開始する。次に、ステップSn4に移行して、液剤塗布ノズル19が移動を終了する。次に、ステップSn5に移行して吐出信号を「オフ」にする。
次に、ステップSn6に移行して、位置ずれ「OK」か否かを判別する。位置ずれ「NG」の場合にはステップS3に移行する。これに対して、位置ずれ「OK」の場合にはステップS4に移行する。そして、終了することになる。
次に、液剤の塗布量の制御に関して説明する。本実施の形態の場合には、吐出制御装置25より出力される連射吐出信号の周波数、デューティー比を調整することにより、液剤の塗布量を制御するようにしている。以下、具体的に説明する。図4、図5、図6は制御の一例を示す図である。まず、図4に示す場合であるが、図4は連射吐出信号を示す波形図であり、吐出時間(T1)は10msecに設定されている。又、吐出時間間隔(T2)は50msecに設定されている。そして、周波数は20Hz、デューティー比(T1/T2)は20%である。
次に、図5に示す場合であるが、この場合には、図4に示す場合に比べて、吐出時間(T1)は10msecと同じに設定されているが、吐出時間間隔(T2)は20msecと短く設定されている。そして、周波数は50Hz、デューティー比(T1/T2)は50%である。つまり、吐出時間間隔(T2)を短く設定することにより吐出回数を増加させ、それによって、吐出量を 増大させているものである。
次に、図6に示す場合であるが、この場合には、図4に示す場合に比べて、吐出時間間隔(T2)は50msecと同じに設定されているが、吐出時間(T1)は30msecと長く設定されている。そして、周波数は20Hz、デューティー比(T1/T2)は60%である。つまり、吐出時間(T1)を長く設定することにより吐出回数は同じであるが吐出量を増大させているものである。
このように、吐出制御装置25より出力される連射吐出信号の周波数、デューティー比を調整することにより、液剤の塗布量を制御するようにしている。
このように、吐出制御装置25より出力される連射吐出信号の周波数、デューティー比を調整することにより、液剤の塗布量を制御するようにしている。
次に、図7を参照して実際の塗布例を説明する。この場合には、ワーク21において二箇所の塗布ポイントA、Bがあり、これら二箇所の塗布ポイントA、Bに対して液剤塗布ノズル19を移動させながら連射吐出によって液剤を塗布していくものである。以下、順次説明していく。
まず、図3におけるステップS5に示すように、最初の塗布開始ポイントAへ液剤塗布ノズル19を移動させる。次に、ステップS6に示すように、吐出信号を「オン」する。それによって、連射吐出信号が出力されると共に液剤塗布ノズル19が移動を開始する(ステップS7)。そして、液剤の連射塗布が実行される。
尚、図7の上部に示すように、その間吐出信号は「オン」 の状態であり、連射吐出信号は所定の周波数、デューティー比に設定されたものとなっている。
尚、図7の上部に示すように、その間吐出信号は「オン」 の状態であり、連射吐出信号は所定の周波数、デューティー比に設定されたものとなっている。
次に、塗布ポイントAに対する液剤塗布が終了すると、液剤塗布ノズル19の移動が終了し(ステップS8)、吐出信号が「オフ」となる(ステップS9)。そして、次の塗布ポイントBへの移動を開始する(ステップS10)。そして、次の塗布ポイントBに至ったところで、上記と同様の動作を実行する。すなわち、吐出信号を「オン」する(ステップS11)。それによって、連射吐出信号が出力されると共に液剤塗布ノズル19が移動を開始する(ステップS12)。そして、液剤の連射塗布が実行される。この場合も吐出信号は「オン」
の状態であり、連射吐出信号は所定の周波数、デューティー比に設定されたものとなっている。次に、塗布ポイントBに対する液剤塗布が終了すると、液剤塗布ノズル19の移動が終了し(ステップS13)、吐出信号が「オフ」となる(ステップS14)。
の状態であり、連射吐出信号は所定の周波数、デューティー比に設定されたものとなっている。次に、塗布ポイントBに対する液剤塗布が終了すると、液剤塗布ノズル19の移動が終了し(ステップS13)、吐出信号が「オフ」となる(ステップS14)。
そして、この場合には、必要な液剤塗布は完了しているので、位置ずれのチェックを行う(ステップSn6)。位置ずれがなければ待機位置31に戻り(ステップS4)、位置ずれがあればアラーム出力となる(ステップS3)。
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、所望の液剤塗布を短時間で行うことが可能になった。これは、液剤塗布ノズル19を頻繁に停止させることなく移動動作を継続して行わせるようにしたからである。
又、液剤の塗布に関しては、シャワー状に噴射させるのではなく、液滴の連射吐出としているので、粘度が低くて濡れ広がる性質を持つ液体材料を線状または面状の狭エリアに対して少量だけ塗布するような場合にも、精度良く塗布することが可能になった。
又、塗布量の制御に関しても、連射吐出信号の周波数とデューティー比を適宜調整することにより容易に制御することができる。
又、塗布終了後に位置ずれのチェックを行うようにしているので、不良品の発生を防止することができる。
まず、所望の液剤塗布を短時間で行うことが可能になった。これは、液剤塗布ノズル19を頻繁に停止させることなく移動動作を継続して行わせるようにしたからである。
又、液剤の塗布に関しては、シャワー状に噴射させるのではなく、液滴の連射吐出としているので、粘度が低くて濡れ広がる性質を持つ液体材料を線状または面状の狭エリアに対して少量だけ塗布するような場合にも、精度良く塗布することが可能になった。
又、塗布量の制御に関しても、連射吐出信号の周波数とデューティー比を適宜調整することにより容易に制御することができる。
又、塗布終了後に位置ずれのチェックを行うようにしているので、不良品の発生を防止することができる。
尚、本発明は前記一実施の形態に限定されるものではない。
本願発明は、例えば、各種液剤をワークの所定位置に塗布する液剤塗布ロボットに係り、特に、所望の液剤塗布を効率よく実施することができるように工夫したものに関する。
1 Y軸ガイド装置
7 X軸ガイド装置
13 Z軸ガイド装置
19 液剤塗布ノズル
21 ワーク
23 ロボットコントローラ
25 吐出制御装置
7 X軸ガイド装置
13 Z軸ガイド装置
19 液剤塗布ノズル
21 ワーク
23 ロボットコントローラ
25 吐出制御装置
Claims (6)
- 液剤を液滴状態で非接触にて噴射可能に構成された液剤塗布ノズルと、
上記液剤塗布ノズルを移動させる液剤塗布ノズル駆動手段と、
上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御して液剤塗布ノズルを移動制御すると共に任意のタイミングで連射吐出信号を出力して上記液剤塗布ノズルを移動させながら液剤を連射吐出させるように制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とする液剤塗布ロボット。 - 請求項1記載の液剤塗布ロボットにおいて、
上記制御手段は、上記液剤塗布ノズル駆動手段を制御すると共に所定のタイミングで吐出信号を出力するロボットコントローラと、該ロボットコントローラからの吐出信号を入力して連射吐出信号を出力する吐出制御装置と、を備えていることを特徴とする液剤塗布ロボット。 - 請求項2記載の液剤塗布ロボットにおいて、
上記制御手段は上記吐出制御装置から出力される連射吐出信号の周波数を調整することにより液剤塗布量を調整するものであることを特徴とする液剤塗布ロボット。 - 請求項2記載の液剤塗布ロボットにおいて、
上記制御手段は上記吐出制御装置から出力される上記連射吐出信号のデューティー比(T1/T2、T1:吐出時間、T2:吐出時間間隔)を調整することにより液剤塗布量を調整するものであることを特徴とする液剤塗布ロボット。 - 請求項1〜請求項4の何れかに記載の液剤塗布ロボットにおいて、
上記制御手段は、液剤塗布動作が終了した後に、位置ずれの有無を確認し、位置ずれが有ると判断した場合には警報を出力するものであることを特徴とする液剤塗布ロボット。 - 請求項1〜請求項5の何れかに記載の液剤塗布ロボットにおいて、
上記液剤塗布ノズル駆動手段は上記液剤塗布ノズルを相互に直交するX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に移動させるものであることを特徴とする液剤塗布ロボット。
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- 2004-05-27 JP JP2004157971A patent/JP2005334785A/ja active Pending
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