JP5182754B2 - パターン形成方法およびパターン形成装置 - Google Patents
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また好ましくは、第3のステップでは、フィルムは、少なくとも基板に対峙する範囲で一定の張力を与えられて基板と略平行に配置される。
Claims (13)
- 基板上に微細パターンを形成するパターン形成方法であって、
前記微細パターンに応じた形状の貫通孔をフィルムに形成する第1のステップと、
前記フィルムの表面の少なくとも前記貫通孔を含む範囲に前記微細パターンを形成するための液状材料を供給する第2のステップと、
前記フィルムの裏面と前記基板とを隙間を開けて対峙させる第3のステップと、
前記フィルムの表面の少なくとも前記貫通孔を含む範囲に気体を噴射し、噴射した前記気体の圧力により、前記フィルムを変形させて前記フィルムの裏面側の前記貫通孔の開口部を前記基板に接触させるとともに前記貫通孔内の前記液状材料を前記フィルムの裏面側に押し出して前記基板上に塗布する第4のステップと、
前記気体の噴射を停止し、前記フィルムの復元力によって前記フィルムを前記基板から剥離させる第5のステップとを含むことを特徴とする、パターン形成方法。 - さらに、前記基板上に塗布された前記液状材料を硬化または焼成処理する第6のステップを含むことを特徴とする、請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記第4のステップの前記気体の圧力と噴射時間は予め設定されていることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のパターン形成方法。
- 前記第3のステップでは、前記フィルムは、少なくとも前記基板に対峙する範囲で一定の張力を与えられて前記基板と略平行に配置されることを特徴とする、請求項1から請求項3までのいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第4のステップでは、前記貫通孔に向けて前記フィルムに対して略垂直に前記気体を噴射することを特徴とする、請求項1から請求項4までのいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第3のステップでは、前記隙間は、前記気体の噴射によって前記フィルムが下方に変形する量よりも小さく設定される、請求項1から請求項5までのいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記フィルムの表面の前記貫通孔を含む範囲に前記液状材料が塗布された状態で、前記基板上で位置を変えながら前記第3〜第5のステップを繰り返し、同じ貫通孔を使用して前記液状材料を複数回塗布することを特徴とする、請求項1から請求項6までのいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第1のステップでは、1または2以上の前記貫通孔を形成し、複数の前記貫通孔を形成する場合には、前記複数の貫通孔で閉じた領域を作らないようにすることを特徴とする、請求項1から請求項7までのいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第1のステップでは、前記貫通孔の位置を確認するための目印を前記フィルムの表面に形成することを特徴とする、請求項1から請求項8までのいずれかに記載のパターン形成方法。
- 前記第1のステップでは、前記フィルムの上面にレーザ光を照射して前記貫通孔を形成し、前記貫通孔を含む範囲に弱いパワーのレーザ光を照射してゴミを除去した後、前記フィルムを反転させて前記フィルムの下面を前記フィルムの表面とすることを特徴とする、請求項1から請求項9に記載のパターン形成方法。
- 前記第1のステップでは、前記液状材料を保持するための溝を前記フィルムの表面に形成し、
前記第2のステップでは、前記液状材料を前記溝内にも供給することを特徴とする、請求項1から請求項10までのいずれかに記載のパターン形成方法。 - 基板上に微細パターンを形成するパターン形成装置であって、
フィルムを供給するフィルム供給手段と、
前記微細パターンに応じた形状の貫通孔を前記フィルムに形成する貫通孔形成手段と、
前記フィルムの表面の少なくとも前記貫通孔を含む範囲に前記微細パターンを形成するための液状材料を供給する液状材料供給手段と、
前記フィルムの裏面と前記基板とを隙間を開けて対峙させ、前記フィルムと前記基板の相対位置を調整する位置調整手段と、
前記フィルムの表面の少なくとも前記貫通孔を含む範囲に気体を噴射し、噴射した前記気体の圧力により、前記フィルムを変形させて前記フィルムの裏面側の前記貫通孔の開口部を前記基板に接触させるとともに前記貫通孔内の前記液状材料を前記フィルムの裏面側に押し出して前記基板上に塗布した後、前記気体の噴射を停止し、前記フィルムの復元力によって前記フィルムを前記基板から剥離させる気体噴射手段とを備えることを特徴とする、パターン形成装置。 - さらに、前記基板上に塗布された前記液状材料を硬化または焼成処理する液状材料処理手段を備えることを特徴とする、請求項12に記載のパターン形成装置。
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